JPS5997044A - 回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置 - Google Patents

回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置

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JPS5997044A
JPS5997044A JP58205013A JP20501383A JPS5997044A JP S5997044 A JPS5997044 A JP S5997044A JP 58205013 A JP58205013 A JP 58205013A JP 20501383 A JP20501383 A JP 20501383A JP S5997044 A JPS5997044 A JP S5997044A
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JP
Japan
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data
radiation
diffraction
diffracted
sample
Prior art date
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Pending
Application number
JP58205013A
Other languages
English (en)
Inventor
ロナルド・ジエンキンス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips North America LLC
US Philips Corp
Original Assignee
US Philips Corp
North American Philips Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by US Philips Corp, North American Philips Corp filed Critical US Philips Corp
Publication of JPS5997044A publication Critical patent/JPS5997044A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光写真型データの同時捕集システムに関するものである
。特に本発明は比例検出器構体を用いて照射された試料
から回折放射及び螢光放射を同時に捕集し、その後分析
のための回折放射及び螢光放射の何れかを選択するよう
にした回折データ及び分光写真データの同時捕集装置に
関するものであ５る。
この比例検出器によって入射光子のエネルギーに比例す
る出力パルス波高値を発生させる。
地球上には数百万の原子配列が存在し、これら原子配列
の各々は夫々特定の回折パターンを有しているものと推
定されている。これら原子配列が多数であるため単一相
聞の類似が著しく従って多相分析が著しく困難となる。
近年、分光測定及びＸ線回折配＠を組合せることが行わ
れてき始めた。その理由はＸ線帯光分析゛方法によって
相確詔処理の手助けとなり得る追加の情報を提供するが
らである・回折データを正しく解明できるか、又は解明
できないかは、多くの要因、例えば実験者の実験、未知
のパターンにおけるデータの特性、試料の可能な紐取に
関する予想概念、及び試料に関する池の情報の有効性等
に依存するため、定性識別を行うのが著しく困難となる
。例えば分析における大部分のＭ！は多層物質であり、
この際定性識別の最大の問題は種々のｍ　ハターンを解
明して約ａｏｏｏｏエントリーを含む純物質の標準基準
パターンのファイルとの整合を行うことである。殆んど
の相は、識別の角度領域において】０〜８０ラインを発
生し、且つこれらラインの各々が回折ビームにおいて約
０．３゜の半波高値幅を有するため、４〜５の相混合を
行ｌうことによって多数のライン重畳により極めて複雑
なディフラクトグラムが得られるようになる。
更に機器又は試料アーティファクトによりライン拡大及
びライン変位が生ずるようになる。
従来、Ｘ線回折測定及びＸ線分光測定を組合せ遣る試み
がエネルギー分散分光測定及び波長分散回折測定の分野
で特に行われている。例えば、１９７８年に発行された
アトパンシス　イン　エックスレイ　アナリシス、第２
１巻、第７〜２１可に記載されたアール　ジエンキンス
による論文°１インターディペンデンス　オプ　エック
ス　レイ　ディ７ラクシヨン　アンド　エックス　レイ
　フルオレセンスデータ”及び１９７７年に発行された
プロシーディング　エイ　シー　エイ　ワークシップ、
第４８〜５４頁に記載されたアール　ジエンキンスによ
る論文“′ザ　ロール　オブ　ザ　エナジー　ディスパ
ーシブ　ディテクタ　イン　エックス　レイ　ディ７ラ
クトメトリイ”参照０これらの従来技術に強調されてい
るように分光写真測定及び回折測光装置を組合せること
は可能であ不が極めて困難である。
不発明の目的は、と述した欠点を除去し、分光写真測定
及び回折測定ご容易に組合せ得るようにした回折及び分
光写真データを同時に捕集Ｔる装置ご提供せんとするに
ある。
不発明回折及び分光写真データの同時捕集装置は照射さ
れる試料から特性回折光子及び螢光光子を捕集する比例
検出器を用い、これをコンピュータ制御されるプログラ
ム可能なパルス波高値選択器に接続して放射線源からの
回折１次光子又は試・・料からの螢光特性光子の何れか
を選択し得るようにする。このコンピュータ制御を適宜
配設して回折１次光子又は螢光特性光子が百分の一秒で
サンプルされてどれら両光子を同時に観察し得るように
する。
かように配設することにより回折及び螢光放出データを
同時に捕集し、例えばボット−フラックス　サンプルの
研究のような正確な分析を行う際に追加の九累データを
用いるのが臨界的となる場合にこれら回折データ及び螢
光放出データ？用い得るようにする。特に制御されたパ
ルス波高値選択器によって定量データ捕集走査中、かか
る選択を行うことができ、且つ螢光放出及び回折光子は
データ捕集の終了時のワークアップに対し種々の異るフ
ァイルに記憶することができる。これがため、回折デー
タのみでは完全な解析が不充分である定量相分析を行う
ことができる。
不発明の好適な例では第２パルス選択器を追加してパル
スの波高値を交互に測定するため情報の損失は生じなく
なる。
図面につき不発明を説明する。
第１図から明らかなように試料ｌを、表面に対する法線
が１次ビームに対して角度θす収すゴニオメータの中心
に位置させるようにした通常の回折計の試料１に放射線
源２からの放射＠８Ｐ照射させる０比例検出器６を１次
ビームから角度２θの位置に配置して回折された１次元
子４ご捕集し得るようにする。又、螢光特性の放射線５
も同一の比例検出器６に同けるようにする。第２図に示
すように比例検出器６によって回折光子及び螢光光子の
エネルギーＥ□及びＥ２に夫々関連する電圧パルスＶ及
びｖ２を発生させるようにする。
第２図に示す電圧対時間グラフにおいては平均！圧しベ
ルｖ０のパルスはパルス波高値Ｓ０に対シて捕集するこ
とができ、平均電圧レベルｖ２のパルスはパルス波高値
Ｓ□に対して捕集することかできる。これらの電圧レベ
ルによって螢光光子から回折光子を識別表示し且つ分離
し得るようにする。
コンピュータ制御され且つプログラムし得るパルス波高
値選択器７ご用いて放射源からの回折光子又は試料から
の螢光光子ご選択し得るようにする。この選択は定置デ
ータ捕集走査中桁われ、且つ回折光子及び螢光放出を異
るデータファイル即ちコンピュータ１０のデータファイ
ル８及び９に記憶する。かようにして回折データ及び螢
光放出データを同時捕集することができる。
本発明は上述した例にのみ限定されるものではなく種々
の変更を加えることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明回折データ及び分光写真データの同時捕
集装置の横殴を示すブロック図、第２図は本発明による
パルス測定の態様を示す説明図である。 ｌ・・・試料　　　　　　　２・・・放射源８・・・放
射線傷・・・回折１次九子 ５・・・螢光特性放出　　　６・・・比例検出器７・・
・パルス波高値選択器　８，９・・・データファイル］
０・・・コンピュータ Ｖ□、■２・・・平均パルス電圧レベルｓ、　、　ｓ２
・・・パルス波高値。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １　放射線源と、該放射線源からの放射を受けて前記放
    射線源からの回折放射及び自体からの螢光放射を発生す
    る試料と、該回折放射及び螢光放射の双方を同時に捕集
    する比例検出手段と、該比例検出手段から前記回折放射
    及び螢光放射の何れかを選択するパルス波高値選択手段
    と、前記回折放射及び螢光放射から回折データ及び螢光
    放出データを同時に記憶する計算手段とを具えることを
    特徴とする回折データ及び分光写真データの同時捕集装
    置。 区　第２パルス波高値選択手段を追加することを特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載の回折データ及び分光写
    真データの同時捕集装置。
JP58205013A 1982-11-04 1983-11-02 回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置 Pending JPS5997044A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US43923482A 1982-11-04 1982-11-04
US439234 1982-11-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5997044A true JPS5997044A (ja) 1984-06-04

Family

ID=23743867

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58205013A Pending JPS5997044A (ja) 1982-11-04 1983-11-02 回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置

Country Status (2)

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EP (1) EP0108447A3 (ja)
JP (1) JPS5997044A (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
EP0108447A3 (en) 1985-07-17
EP0108447A2 (en) 1984-05-16

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