JPH0275944A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
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- JPH0275944A JPH0275944A JP63227424A JP22742488A JPH0275944A JP H0275944 A JPH0275944 A JP H0275944A JP 63227424 A JP63227424 A JP 63227424A JP 22742488 A JP22742488 A JP 22742488A JP H0275944 A JPH0275944 A JP H0275944A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は同一試料について、単一のＸ線管および単一の
Ｘ線検出器により、蛍光分析と回折測定とを同時に行う
ことのできる装置に関する。
Ｘ線検出器により、蛍光分析と回折測定とを同時に行う
ことのできる装置に関する。
例えば熔融亜鉛メツキ鋼板の製造工程においては、一般
に通常の亜鉛メツキ鋼板と合金化された合金化熔融亜鉛
メツキ鋼板とを同一の製造設備で生産する。この場合、
亜鉛メツキ鋼板の製造に際しては、鋼板上に破着された
亜鉛層の付着量を測定する必要があるに対して、合金化
熔融亜鉛メツキ鋼板の製造に際しては、メツキ層におけ
る亜鉛と鉄との割合、すなわち合金化度をも測定しなけ
ればならない。しかし亜鉛の付着量のみの測定に際して
は蛍光Ｘ線分析による測定が優れているに対して、鉄の
含有率の検出に対してはＸ線回折の利用が有効である。
に通常の亜鉛メツキ鋼板と合金化された合金化熔融亜鉛
メツキ鋼板とを同一の製造設備で生産する。この場合、
亜鉛メツキ鋼板の製造に際しては、鋼板上に破着された
亜鉛層の付着量を測定する必要があるに対して、合金化
熔融亜鉛メツキ鋼板の製造に際しては、メツキ層におけ
る亜鉛と鉄との割合、すなわち合金化度をも測定しなけ
ればならない。しかし亜鉛の付着量のみの測定に際して
は蛍光Ｘ線分析による測定が優れているに対して、鉄の
含有率の検出に対してはＸ線回折の利用が有効である。
このため従来は同一の亜鉛メツキ鋼板製造装置に亜鉛の
蛍光Ｘ線分析装置並びに亜鉛と鉄との合金によって回折
したＸ線の検出装置すなわちＸ線回折装置の両者をそれ
ぞれ別個に設置していた。従ってこれらの設置に広い空
間を必要として、メツキ鋼板の製造装置が大形になると
共に多大の設備費を要する等の難点があった。
蛍光Ｘ線分析装置並びに亜鉛と鉄との合金によって回折
したＸ線の検出装置すなわちＸ線回折装置の両者をそれ
ぞれ別個に設置していた。従ってこれらの設置に広い空
間を必要として、メツキ鋼板の製造装置が大形になると
共に多大の設備費を要する等の難点があった。
従って本発明は従来のメツキ装置における上述のような
欠点を除去しようとする乙のである。
欠点を除去しようとする乙のである。
本発明は、Ｘ線管における１つのターゲットから発生し
たその材質の特性Ｘ線および連続Ｘ線等よりなる一次Ｘ
線を１つの被分析体に照射して、ごの分析体から発生す
る蛍光Ｘ線および分析体で回折した上記特性Ｘ線の両者
を１つのＸ線検出器に入射させ、この検出器の出力を、
エネルギ分析器に加えることにより、被分析体で発生し
たその蛍光Ｘ線とＸ線管で発生したそのターゲット材質
の特性Ｘ線が回折した成分とをそれぞれ別個に検出する
ようにしたらのである。すなわちターゲットの特性Ｘ線
は試料で回折して検出器に入射し、また被分析体の蛍光
Ｘ線はこの被分析体の物質成分によって定まるから、本
発明により１組のｘｉ発生部および検出部のみによって
、例えば亜鉛メツキ鋼板および合金化熔融亜鉛メツキ鋼
板の製造装置を簡単小形で、かつ安価に構成することが
できる効果がある。
たその材質の特性Ｘ線および連続Ｘ線等よりなる一次Ｘ
線を１つの被分析体に照射して、ごの分析体から発生す
る蛍光Ｘ線および分析体で回折した上記特性Ｘ線の両者
を１つのＸ線検出器に入射させ、この検出器の出力を、
エネルギ分析器に加えることにより、被分析体で発生し
たその蛍光Ｘ線とＸ線管で発生したそのターゲット材質
の特性Ｘ線が回折した成分とをそれぞれ別個に検出する
ようにしたらのである。すなわちターゲットの特性Ｘ線
は試料で回折して検出器に入射し、また被分析体の蛍光
Ｘ線はこの被分析体の物質成分によって定まるから、本
発明により１組のｘｉ発生部および検出部のみによって
、例えば亜鉛メツキ鋼板および合金化熔融亜鉛メツキ鋼
板の製造装置を簡単小形で、かつ安価に構成することが
できる効果がある。
第１図は本発明実施例の構成を示した図で被分析体Ｉは
、例えば亜鉛メツキ鋼板あるいは合金化亜鉛メツキ鋼板
であって、これらは同一の製造設備を用いることにより
製造条件の切り替えのみによって、その何れを６任萄に
製造することができる。また被分析体１は帯状をなした
もので、矢印ａのように所定の速度で長平方向へ移動し
ている。
、例えば亜鉛メツキ鋼板あるいは合金化亜鉛メツキ鋼板
であって、これらは同一の製造設備を用いることにより
製造条件の切り替えのみによって、その何れを６任萄に
製造することができる。また被分析体１は帯状をなした
もので、矢印ａのように所定の速度で長平方向へ移動し
ている。
上述のような被分析体１に対して、固設されたＸ線管、
例えばクロムターゲットのＸ線管２からソーラースリッ
ト３により平行Ｘ線を入射させ、この被分析体１で発生
したその蛍光Ｘ線および被分析体で回折した上記ターゲ
ットの特性Ｘ線を例えばキセノンガス封入型比例計数管
４にソーラースリット５を介して入射させである。また
上記計数管４の出力は、これをエネルギ分析器６および
７に並列に加えである。なお複数の回折Ｘ線を検出する
場合は、できるだけ高角度の回折線を選択して検出する
ことにより、計数管相互の機械的干渉を防止して、これ
らを容易に設置することが出来ると共に被分析体Ｉの振
動あるいは揺動等に起因する位置の変動にもとづく誤差
を小さくすることができる。従って図のように被分析体
１に対するＸ線の入射角を例えば６０度とし、回折角２
θが１２０度の回折Ｘ線および表面から６０度方向へ放
射される蛍光Ｘ線を前記比例計数管４のような検出器で
検出する。
例えばクロムターゲットのＸ線管２からソーラースリッ
ト３により平行Ｘ線を入射させ、この被分析体１で発生
したその蛍光Ｘ線および被分析体で回折した上記ターゲ
ットの特性Ｘ線を例えばキセノンガス封入型比例計数管
４にソーラースリット５を介して入射させである。また
上記計数管４の出力は、これをエネルギ分析器６および
７に並列に加えである。なお複数の回折Ｘ線を検出する
場合は、できるだけ高角度の回折線を選択して検出する
ことにより、計数管相互の機械的干渉を防止して、これ
らを容易に設置することが出来ると共に被分析体Ｉの振
動あるいは揺動等に起因する位置の変動にもとづく誤差
を小さくすることができる。従って図のように被分析体
１に対するＸ線の入射角を例えば６０度とし、回折角２
θが１２０度の回折Ｘ線および表面から６０度方向へ放
射される蛍光Ｘ線を前記比例計数管４のような検出器で
検出する。
上述の装置において、被分析体ｌが合金化熔融亜鉛メツ
キ層板であるとＶると、ＸＩＩＡ管２のターゲットから
発生するその特性Ｘ線Ｃｒ−Ｋａ線が上記被分析体ｌの
表面で回折して計数管４に入射する。またＸ線管２から
発生する連続Ｘ線成分は被分析体１における亜鉛および
鉄を励起することにより、Ｚｎ−にαまたはＦ ｅ −
Ｋαの蛍光Ｘ線を発生させる。すなわら第２図はクロム
ターゲット蛍光Ｘ線管２から放射されるＸ線強度Ｉのエ
ネルギＥに対する分布曲線で、前述のようにＣｒ−にα
線が回折に利用され、連続Ｘ１ｉＣｏは上記蛍光Ｘ線の
励起に寄与する。更に比例計数管４の封入ガスがキセノ
ンであるとすると、この゛計数管から第３図Ｉこエネル
ギＥと強度Ｉとの関係を示したような出力が送出される
。すなわちこの曲線におけるＣｒ−にα成分は被分析体
！で回折したＸ線によるものであり、またＺｎ−ＫＸ線
は試料に含まれる亜鉛で発生した蛍光Ｘ線である。なお
第１図に示したように計数管４の前面に■フィルタ８を
設けることによって、被分析体■における鉄の蛍光Ｘ線
Ｆｅ−にαおよびＸ線管におけるターゲット材質の特性
Ｘ線Ｃｒ−にβを除去することができる。
キ層板であるとＶると、ＸＩＩＡ管２のターゲットから
発生するその特性Ｘ線Ｃｒ−Ｋａ線が上記被分析体ｌの
表面で回折して計数管４に入射する。またＸ線管２から
発生する連続Ｘ線成分は被分析体１における亜鉛および
鉄を励起することにより、Ｚｎ−にαまたはＦ ｅ −
Ｋαの蛍光Ｘ線を発生させる。すなわら第２図はクロム
ターゲット蛍光Ｘ線管２から放射されるＸ線強度Ｉのエ
ネルギＥに対する分布曲線で、前述のようにＣｒ−にα
線が回折に利用され、連続Ｘ１ｉＣｏは上記蛍光Ｘ線の
励起に寄与する。更に比例計数管４の封入ガスがキセノ
ンであるとすると、この゛計数管から第３図Ｉこエネル
ギＥと強度Ｉとの関係を示したような出力が送出される
。すなわちこの曲線におけるＣｒ−にα成分は被分析体
！で回折したＸ線によるものであり、またＺｎ−ＫＸ線
は試料に含まれる亜鉛で発生した蛍光Ｘ線である。なお
第１図に示したように計数管４の前面に■フィルタ８を
設けることによって、被分析体■における鉄の蛍光Ｘ線
Ｆｅ−にαおよびＸ線管におけるターゲット材質の特性
Ｘ線Ｃｒ−にβを除去することができる。
」二連のように本発明の装置はｌっのＸ線検出器から被
分析体によって回折したＸ線成分に対応するエネルギの
出力と上記被分析体で発生した蛍光Ｘ線に対応するエネ
ルギの出力とが同時に送出される。従ってこれらをエネ
ルギ分析により分離して検出することにより、それぞれ
１組のｘＩｉＩ発生部と検出部とのみによって、同一装
置を利用する亜鉛メツキ鋼板の製造管理と合金化熔融亜
鉛メツキ鋼板の製造管理との何れをも行うことができる
もので、このため製造装置を簡単小形で安価に構成し得
る効果がある。
分析体によって回折したＸ線成分に対応するエネルギの
出力と上記被分析体で発生した蛍光Ｘ線に対応するエネ
ルギの出力とが同時に送出される。従ってこれらをエネ
ルギ分析により分離して検出することにより、それぞれ
１組のｘＩｉＩ発生部と検出部とのみによって、同一装
置を利用する亜鉛メツキ鋼板の製造管理と合金化熔融亜
鉛メツキ鋼板の製造管理との何れをも行うことができる
もので、このため製造装置を簡単小形で安価に構成し得
る効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明実施例の構成を示した図、また第２図、
第３図は本発明の作用説明図で、１は被分析体、２はＸ
線管、４は比例計数管である。 特許出願人 理学電機工業株式会社
第３図は本発明の作用説明図で、１は被分析体、２はＸ
線管、４は比例計数管である。 特許出願人 理学電機工業株式会社
Claims (1)
- Ｘ線管における１つのターゲットから発生した一次Ｘ線
を１つの被分析体に照射してその被分析体から発生する
蛍光Ｘ線およびこの被分析体で回折した前記ターゲット
材質の特性Ｘ線を単一のＸ線検出器に入射させると共に
このＸ線検出器の出力を前記被分析体の蛍光Ｘ線を抽出
するエネルギ分析器と前記ターゲット材料の特性Ｘ線を
抽出するエネルギ分析器とに加えたＸ線分析装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63227424A JPH0275944A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63227424A JPH0275944A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | Ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275944A true JPH0275944A (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=16860631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63227424A Pending JPH0275944A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0275944A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019584A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Central Japan Railway Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
| US11319611B2 (en) | 2016-03-14 | 2022-05-03 | Sms Group Gmbh | Method for rolling and/or heat treating a metal strip |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538165A (en) * | 1976-07-12 | 1978-01-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thickness measuring method of thin film material and thin film material thickness measuring apparatus |
| JPS54685A (en) * | 1977-06-02 | 1979-01-06 | Nippon Steel Corp | Simultaneously measurement of florescent x ray and diffracted x ray of minute area |
| JPS5997044A (ja) * | 1982-11-04 | 1984-06-04 | ノ−ス・アメリカン・フイリツプス・コ−ポレ−シヨン | 回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置 |
| JPS61259151A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Ｘ線分析装置 |
-
1988
- 1988-09-13 JP JP63227424A patent/JPH0275944A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538165A (en) * | 1976-07-12 | 1978-01-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thickness measuring method of thin film material and thin film material thickness measuring apparatus |
| JPS54685A (en) * | 1977-06-02 | 1979-01-06 | Nippon Steel Corp | Simultaneously measurement of florescent x ray and diffracted x ray of minute area |
| JPS5997044A (ja) * | 1982-11-04 | 1984-06-04 | ノ−ス・アメリカン・フイリツプス・コ−ポレ−シヨン | 回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置 |
| JPS61259151A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Ｘ線分析装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010019584A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-01-28 | Central Japan Railway Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
| US11319611B2 (en) | 2016-03-14 | 2022-05-03 | Sms Group Gmbh | Method for rolling and/or heat treating a metal strip |
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