JPH07260715A - 合金めっき相の厚さ測定方法及び装置 - Google Patents
合金めっき相の厚さ測定方法及び装置Info
- Publication number
- JPH07260715A JPH07260715A JP4701594A JP4701594A JPH07260715A JP H07260715 A JPH07260715 A JP H07260715A JP 4701594 A JP4701594 A JP 4701594A JP 4701594 A JP4701594 A JP 4701594A JP H07260715 A JPH07260715 A JP H07260715A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- thickness
- ray
- alloy plating
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の
厚さ、特に３つのめっき相の最下層であるΓ相の厚さが
精度良く測定できる合金めっき相の厚さ測定方法及び装
置。 【構成】 合金めっき鋼板３の表面に、Ｃｒ管球１より
第１のＸ線を、Ｍｏ管球２より第２のＸ線をそれぞれ入
射し、前記第１のＸ線に基づき出射される第１のＦｅ及
びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度を半導体検出器５により、また
共に出射される３つの各相の回折Ｘ線の強度をＰＳＰＣ
検出器４によりそれぞれ測定し、また前記第２のＸ線に
基づき射出される第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度
を半導体検出器６により測定し、前記測定した第１及び
第２の両蛍光Ｘ線の強度情報から得られる合金めっき相
内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を
示す２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求め、次に前
記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用い
てΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算
出する厚さ測定方法及び装置。
厚さ、特に３つのめっき相の最下層であるΓ相の厚さが
精度良く測定できる合金めっき相の厚さ測定方法及び装
置。 【構成】 合金めっき鋼板３の表面に、Ｃｒ管球１より
第１のＸ線を、Ｍｏ管球２より第２のＸ線をそれぞれ入
射し、前記第１のＸ線に基づき出射される第１のＦｅ及
びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度を半導体検出器５により、また
共に出射される３つの各相の回折Ｘ線の強度をＰＳＰＣ
検出器４によりそれぞれ測定し、また前記第２のＸ線に
基づき射出される第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度
を半導体検出器６により測定し、前記測定した第１及び
第２の両蛍光Ｘ線の強度情報から得られる合金めっき相
内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を
示す２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求め、次に前
記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用い
てΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算
出する厚さ測定方法及び装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、合金化溶融亜鉛めっき
鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法及び装置に関するも
のである。
鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法及び装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】合金化溶融亜鉛めっき鋼板は、鋼板を溶
融亜鉛めっきした後、直ちに加熱炉に導き、亜鉛層と鉄
地層との間で相互拡散を行わせ、めっき層全体をＦｅ−
Ｚｎ合金としたものであり、塗装性、耐食性などに優れ
ていることから、近年、自動車用を中心に広く用いられ
ている。
融亜鉛めっきした後、直ちに加熱炉に導き、亜鉛層と鉄
地層との間で相互拡散を行わせ、めっき層全体をＦｅ−
Ｚｎ合金としたものであり、塗装性、耐食性などに優れ
ていることから、近年、自動車用を中心に広く用いられ
ている。
【０００３】図１０は合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金
めっき相の構造を示す図であり、同図に示すように結晶
構造の異なる３相から成り、上層よりζ相（ＦｅＺ
ｎ13）、δ1 相（ＦｅＺｎ7 ）、Γ相（Ｆｅ5 Ｚｎ21）
と呼ばれる。合金化溶融亜鉛めっき鋼板の品質は、この
各合金相の厚さに依存する。つまりζ相厚さはプレス性
と、Γ相厚さはパウダリング性（剥離性）と相関があ
る。図９はΓ相厚さとパウダリング特性との関係を示す
図であり、同図に示すようにΓ相厚さが大きくなると剥
離性が増大し、好ましくない。
めっき相の構造を示す図であり、同図に示すように結晶
構造の異なる３相から成り、上層よりζ相（ＦｅＺ
ｎ13）、δ1 相（ＦｅＺｎ7 ）、Γ相（Ｆｅ5 Ｚｎ21）
と呼ばれる。合金化溶融亜鉛めっき鋼板の品質は、この
各合金相の厚さに依存する。つまりζ相厚さはプレス性
と、Γ相厚さはパウダリング性（剥離性）と相関があ
る。図９はΓ相厚さとパウダリング特性との関係を示す
図であり、同図に示すようにΓ相厚さが大きくなると剥
離性が増大し、好ましくない。
【０００４】特にパウダリング性（Γ相厚さ）は、合金
化溶融亜鉛めっき鋼板の品質に大きな影響を与えるた
め、品質保証上重要な管理項目である。従って品質の高
いめっき鋼板を製造するには、ζ相とΓ相の厚さを抑
え、合金めっき相をδ1 相主体にしなければならない。
特にΓ相の厚さの管理は重要である。そこで、品質の高
い製品を製造するために、各合金めっき相の厚さを測定
することが必要となってきている。特に、オンラインで
の測定技術のニーズが高い。
化溶融亜鉛めっき鋼板の品質に大きな影響を与えるた
め、品質保証上重要な管理項目である。従って品質の高
いめっき鋼板を製造するには、ζ相とΓ相の厚さを抑
え、合金めっき相をδ1 相主体にしなければならない。
特にΓ相の厚さの管理は重要である。そこで、品質の高
い製品を製造するために、各合金めっき相の厚さを測定
することが必要となってきている。特に、オンラインで
の測定技術のニーズが高い。
【０００５】従来、合金めっき相の厚さ測定法として
は、例えば、特開平４−４２０４４号公報に示されたよ
うに、合金めっきにＸ線を照射し、各合金めっき相より
回折される回折Ｘ線強度より各合金めっき相の厚さを定
量化している。上記公報には、最もニーズが高く、合金
めっき相のうち最下層であるΓ相の厚さ測定は、ζ相、
δ1 相の厚さをパラメーターとして採用し、補正をする
と記載されている。
は、例えば、特開平４−４２０４４号公報に示されたよ
うに、合金めっきにＸ線を照射し、各合金めっき相より
回折される回折Ｘ線強度より各合金めっき相の厚さを定
量化している。上記公報には、最もニーズが高く、合金
めっき相のうち最下層であるΓ相の厚さ測定は、ζ相、
δ1 相の厚さをパラメーターとして採用し、補正をする
と記載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】回折Ｘ線法は、Ｘ線の
結晶格子による回折を利用するものであり、Ｘ線回折の
基礎式であるＢｒａｇｇの法則は次の（８）式で示され
る。 λ＝２ｄ・ｓｉｎθ …(8) ここで λ：Ｘ線の波長 ｄ：結晶格子面間隔 θ：回折角 である。Ｘ線回折は結晶による回折であるため、結晶の
状態の影響を受け誤差が生じる。例えば、結晶の状態に
より格子面間隔（ｄの値）が変化し、Ｂｒａｇｇの法則
から回折角（θ）が変化する。特にδ1 相においてその
影響は大きい。
結晶格子による回折を利用するものであり、Ｘ線回折の
基礎式であるＢｒａｇｇの法則は次の（８）式で示され
る。 λ＝２ｄ・ｓｉｎθ …(8) ここで λ：Ｘ線の波長 ｄ：結晶格子面間隔 θ：回折角 である。Ｘ線回折は結晶による回折であるため、結晶の
状態の影響を受け誤差が生じる。例えば、結晶の状態に
より格子面間隔（ｄの値）が変化し、Ｂｒａｇｇの法則
から回折角（θ）が変化する。特にδ1 相においてその
影響は大きい。
【０００７】図８は合金めっき相組成に対するδ1 相回
折角の関係を示す図であり、合金めっき相の組成（Ｆｅ
含有率）の変化に対するδ1 相の回折角をプロットした
ものであるが、組成の変化に対し回折角が大きく変化す
る。そのため合金めっきの組成が変化する場合、回折Ｘ
線ピークが検出器に有効に入射せず、回折Ｘ線強度の測
定に誤差が生じる。
折角の関係を示す図であり、合金めっき相の組成（Ｆｅ
含有率）の変化に対するδ1 相の回折角をプロットした
ものであるが、組成の変化に対し回折角が大きく変化す
る。そのため合金めっきの組成が変化する場合、回折Ｘ
線ピークが検出器に有効に入射せず、回折Ｘ線強度の測
定に誤差が生じる。
【０００８】また、回折Ｘ線法は蛍光Ｘ線法に比較して
バックグランド成分が大きい。バックグランド成分は、
主に、他ピークの重畳、コンプトン散乱Ｘ線、蛍光Ｘ線
である。バックグランド成分のうち蛍光Ｘ線は、薄膜フ
ィルターを用いることによりある程度は低減することが
できるが、他ピークの重畳、コンプトン散乱Ｘ線、エネ
ルギーの近接した蛍光Ｘ線を完全に除去することは難し
い。そのため、回折Ｘ線法は感度が低く測定誤差が大き
い。
バックグランド成分が大きい。バックグランド成分は、
主に、他ピークの重畳、コンプトン散乱Ｘ線、蛍光Ｘ線
である。バックグランド成分のうち蛍光Ｘ線は、薄膜フ
ィルターを用いることによりある程度は低減することが
できるが、他ピークの重畳、コンプトン散乱Ｘ線、エネ
ルギーの近接した蛍光Ｘ線を完全に除去することは難し
い。そのため、回折Ｘ線法は感度が低く測定誤差が大き
い。
【０００９】また、回折Ｘ線は一般に低エネルギーであ
り、物質による吸収が大きい。そのため、下層の合金め
っき相の厚さ測定においては、上層の合金めっき相中で
の回折Ｘ線の吸収を考慮する必要があり、上層の合金め
っきの厚さも同時に測定しなければならない。そのた
め、Γ相の厚さ算出式は、Γ相からの回折Ｘ線強度のみ
ならず上層のζ相、δ1 相からの回折Ｘ線強度も含んだ
複雑な形となる。したがって、ζ相、δ1 相からの回折
Ｘ線強度の測定誤差も、Γ相の厚さ測定に影響を与える
ことになる。
り、物質による吸収が大きい。そのため、下層の合金め
っき相の厚さ測定においては、上層の合金めっき相中で
の回折Ｘ線の吸収を考慮する必要があり、上層の合金め
っきの厚さも同時に測定しなければならない。そのた
め、Γ相の厚さ算出式は、Γ相からの回折Ｘ線強度のみ
ならず上層のζ相、δ1 相からの回折Ｘ線強度も含んだ
複雑な形となる。したがって、ζ相、δ1 相からの回折
Ｘ線強度の測定誤差も、Γ相の厚さ測定に影響を与える
ことになる。
【００１０】以上述べたように従来の回折Ｘ線法は定量
化の精度が悪い。特にδ1 相の回折Ｘ線強度に対しての
精度が低い。また、上層の合金めっきの厚さ測定誤差
が、下層の合金めっきの厚さ測定の精度に影響する。し
たがって、合金めっきを評価する上で最も重要なΓ相の
厚さが、精度良く測定できない現状にある。本発明はか
かる問題点を解決するためになされたもので、合金化溶
融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ、特に３つのめ
っき相の最下層であるΓ相の厚さが精度良く測定できる
合金めっき相の厚さ測定方法及び装置を得ることを目的
とする。
化の精度が悪い。特にδ1 相の回折Ｘ線強度に対しての
精度が低い。また、上層の合金めっきの厚さ測定誤差
が、下層の合金めっきの厚さ測定の精度に影響する。し
たがって、合金めっきを評価する上で最も重要なΓ相の
厚さが、精度良く測定できない現状にある。本発明はか
かる問題点を解決するためになされたもので、合金化溶
融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ、特に３つのめ
っき相の最下層であるΓ相の厚さが精度良く測定できる
合金めっき相の厚さ測定方法及び装置を得ることを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
合金めっき相の厚さ測定方法は、合金化溶融亜鉛めっき
鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法において、ζ相、δ
1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の表面にＸ
線を入射し、該表面から出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光
Ｘ線の強度と前記３つの各相の回折Ｘ線の強度及び回折
角とを、それぞれ対応する受光検出器を介して共に測定
する工程と、前記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合
金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴ
との関係を示す解曲線を求め、次に前記測定した３つの
各相の回折Ｘ線の強度情報又は回折角情報に基づき得ら
れる合金めっき相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線よ
り前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の
回折Ｘ線の強度情報を用い前記３つの各相の線吸収係数
を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づ
き前記ｔΓを算出する工程とを有するものである。
合金めっき相の厚さ測定方法は、合金化溶融亜鉛めっき
鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法において、ζ相、δ
1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の表面にＸ
線を入射し、該表面から出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光
Ｘ線の強度と前記３つの各相の回折Ｘ線の強度及び回折
角とを、それぞれ対応する受光検出器を介して共に測定
する工程と、前記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合
金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴ
との関係を示す解曲線を求め、次に前記測定した３つの
各相の回折Ｘ線の強度情報又は回折角情報に基づき得ら
れる合金めっき相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線よ
り前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の
回折Ｘ線の強度情報を用い前記３つの各相の線吸収係数
を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づ
き前記ｔΓを算出する工程とを有するものである。
【００１２】本発明の請求項２に係る合金めっき相の厚
さ測定方法は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定方法において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３
相よりなる合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる
第１のＸ線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表
面から出射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ
及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ
線の強度と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺ
ｎ両蛍光Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器
を介して共に測定する工程と、前記測定した第１及び第
２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金めっき
相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係
を示す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線の交
点より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ
相の回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相の線
吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める演算
式に基づき前記ｔΓを算出する工程とを有するものであ
る。
さ測定方法は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定方法において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３
相よりなる合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる
第１のＸ線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表
面から出射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ
及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ
線の強度と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺ
ｎ両蛍光Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器
を介して共に測定する工程と、前記測定した第１及び第
２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金めっき
相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係
を示す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線の交
点より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ
相の回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相の線
吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める演算
式に基づき前記ｔΓを算出する工程とを有するものであ
る。
【００１３】本発明の請求項３に係る合金めっき相の厚
さ測定方法は、前記請求項１又は請求項２に係る合金め
っき相の厚さ測定方法において、前記Γ相の厚さｔΓを
求める演算式として下記の（１）式を用いて前記ｔΓを
算出する工程を有するものである。
さ測定方法は、前記請求項１又は請求項２に係る合金め
っき相の厚さ測定方法において、前記Γ相の厚さｔΓを
求める演算式として下記の（１）式を用いて前記ｔΓを
算出する工程を有するものである。
【００１４】
【数３】
【００１５】なお（１）式において、Ｔは合金めっき相
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
【００１６】本発明の請求項４に係る合金めっき相の厚
さ測定方法は、前記請求項１、請求項２又は請求項３に
係る合金めっき相の厚さ測定方法において、前記ζ相、
δ1相及びΓ相の各相の厚さ測定方法として、ζ相の厚
さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算出し、Γ
相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金めっ
き相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、δ1 相の厚さ
ｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζとｔΓとの和を
減算して算出する工程を有するものである。
さ測定方法は、前記請求項１、請求項２又は請求項３に
係る合金めっき相の厚さ測定方法において、前記ζ相、
δ1相及びΓ相の各相の厚さ測定方法として、ζ相の厚
さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算出し、Γ
相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金めっ
き相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、δ1 相の厚さ
ｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζとｔΓとの和を
減算して算出する工程を有するものである。
【００１７】本発明の請求項５に係る合金めっき相の厚
さ測定装置は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定装置において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３
相よりなる合金めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表
面から出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記
３つの各相の回折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ
対応する受光検出器を介して共に測定する測定手段と、
前記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内
のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示
す解曲線を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ
線の強度情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっ
き相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴ
を求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強
度情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみな
してΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを
算出する演算手段とを備えたものである。
さ測定装置は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定装置において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３
相よりなる合金めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表
面から出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記
３つの各相の回折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ
対応する受光検出器を介して共に測定する測定手段と、
前記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内
のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示
す解曲線を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ
線の強度情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっ
き相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴ
を求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強
度情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみな
してΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを
算出する演算手段とを備えたものである。
【００１８】本発明の請求項６に係る合金めっき相の厚
さ測定装置は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定装置において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３
相よりなる合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる
第１のＸ線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表
面から出射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ
及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ
線の強度と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺ
ｎ両蛍光Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器
を介して共に測定する測定手段と、前記測定した第１及
び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金め
っき相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの
関係を示す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線
の交点より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定し
たΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相
の線吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める
演算式に基づき前記ｔΓを算出する演算手段とを備えた
ものである。
さ測定装置は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定装置において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３
相よりなる合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる
第１のＸ線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表
面から出射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ
及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ
線の強度と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺ
ｎ両蛍光Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器
を介して共に測定する測定手段と、前記測定した第１及
び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金め
っき相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの
関係を示す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線
の交点より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定し
たΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相
の線吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める
演算式に基づき前記ｔΓを算出する演算手段とを備えた
ものである。
【００１９】本発明の請求項７に係る合金めっき相の厚
さ測定装置は、前記請求項５又は請求項６に係る合金め
っき相の厚さ測定装置において、前記Γ相の厚さｔΓを
求める演算式として下記の（１）式を用いて前記ｔΓを
算出する演算手段を備えたものである。
さ測定装置は、前記請求項５又は請求項６に係る合金め
っき相の厚さ測定装置において、前記Γ相の厚さｔΓを
求める演算式として下記の（１）式を用いて前記ｔΓを
算出する演算手段を備えたものである。
【００２０】
【数４】
【００２１】なお（１）式において、Ｔは合金めっき相
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
【００２２】本発明の請求項８に係る合金めっき相の厚
さ測定装置は、前記請求項５、請求項６又は請求項７に
係る合金めっき相の厚さ測定装置において、前記ζ相、
δ1相及びΓ相の各相の厚さ測定装置として、ζ相の厚
さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算出し、Γ
相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金めっ
き相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、δ1 相の厚さ
ｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζとｔΓとの和を
減算して算出する演算手段を備えたものである。
さ測定装置は、前記請求項５、請求項６又は請求項７に
係る合金めっき相の厚さ測定装置において、前記ζ相、
δ1相及びΓ相の各相の厚さ測定装置として、ζ相の厚
さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算出し、Γ
相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金めっ
き相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、δ1 相の厚さ
ｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζとｔΓとの和を
減算して算出する演算手段を備えたものである。
【００２３】
【作用】本請求項１に係る発明においては、合金化溶融
亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法におい
て、測定工程により、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相より
なる合金めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表面から
出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの
各相の回折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ対応す
る受光検出器を介して共に測定し、演算工程により、前
記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内の
Ｆｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示す
解曲線を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ線
の強度情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっき
相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴを
求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度
情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなし
てΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算
出する。
亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法におい
て、測定工程により、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相より
なる合金めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表面から
出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの
各相の回折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ対応す
る受光検出器を介して共に測定し、演算工程により、前
記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内の
Ｆｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示す
解曲線を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ線
の強度情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっき
相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴを
求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度
情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなし
てΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算
出する。
【００２４】本請求項２に係る発明においては、合金化
溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法にお
いて、測定工程により、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よ
りなる合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる第１
のＸ線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表面か
ら出射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及び
Ｚｎ両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ線の
強度と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両
蛍光Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器を介
して共に測定し、演算工程により、前記測定した第１及
び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金め
っき相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの
関係を示す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線
の交点より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定し
たΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相
の線吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める
演算式に基づき前記ｔΓを算出する。
溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法にお
いて、測定工程により、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よ
りなる合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる第１
のＸ線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表面か
ら出射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及び
Ｚｎ両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ線の
強度と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両
蛍光Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器を介
して共に測定し、演算工程により、前記測定した第１及
び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金め
っき相内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの
関係を示す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線
の交点より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定し
たΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相
の線吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める
演算式に基づき前記ｔΓを算出する。
【００２５】本請求項３に係る発明においては、前記請
求項１又は請求項２に係る発明における演算工程は、前
記Γ相の厚さｔΓを求める演算式として下記の（１）式
を用いて前記ｔΓを算出する。
求項１又は請求項２に係る発明における演算工程は、前
記Γ相の厚さｔΓを求める演算式として下記の（１）式
を用いて前記ｔΓを算出する。
【００２６】
【数５】
【００２７】なお（１）式において、Ｔは合金めっき相
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
【００２８】本請求項４に係る発明においては、前記請
求項１、請求項２又は請求項３に係る発明における前記
ζ相、δ1 相及びΓ相の各相の厚さ測定方法として、前
記演算工程により、ζ相の厚さｔζは、ζ相の回折Ｘ線
強度情報に基づき算出し、Γ相の厚さｔΓは、Γ相の回
折Ｘ線強度情報及び合金めっき相全体の厚さＴの情報に
基づき算出し、δ1 相の厚さｔδ1 は、前記Ｔから前記
算出したｔζとｔΓとの和を減算して算出する。
求項１、請求項２又は請求項３に係る発明における前記
ζ相、δ1 相及びΓ相の各相の厚さ測定方法として、前
記演算工程により、ζ相の厚さｔζは、ζ相の回折Ｘ線
強度情報に基づき算出し、Γ相の厚さｔΓは、Γ相の回
折Ｘ線強度情報及び合金めっき相全体の厚さＴの情報に
基づき算出し、δ1 相の厚さｔδ1 は、前記Ｔから前記
算出したｔζとｔΓとの和を減算して算出する。
【００２９】本請求項５に係る発明においては、合金化
溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定装置にお
いて、測定手段は、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりな
る合金めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表面から出
射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの各
相の回折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ対応する
受光検出器を介して共に測定し、演算手段は、前記測定
した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内のＦｅ含
有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示す解曲線
を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ線の強度
情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっき相内の
Ｆｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴを求め、
次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報を
用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなしてΓ相
の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算出す
る。
溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定装置にお
いて、測定手段は、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりな
る合金めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表面から出
射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの各
相の回折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ対応する
受光検出器を介して共に測定し、演算手段は、前記測定
した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内のＦｅ含
有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示す解曲線
を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ線の強度
情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっき相内の
Ｆｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴを求め、
次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報を
用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなしてΓ相
の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算出す
る。
【００３０】本請求項６に係る発明においては、合金化
溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定装置にお
いて、測定手段は、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりな
る合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる第１のＸ
線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表面から出
射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及びＺｎ
両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ線の強度
と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光
Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器を介して
共に測定し、演算手段は、前記測定した第１及び第２の
両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金めっき相内
のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示
す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線の交点よ
り前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の
回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相の線吸収
係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める演算式に
基づき前記ｔΓを算出する。
溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定装置にお
いて、測定手段は、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりな
る合金めっき鋼板の表面に、Ｘ線波長の異なる第１のＸ
線と第２のＸ線をそれぞれ入射し、前記鋼板表面から出
射される、第１の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及びＺｎ
両蛍光Ｘ線の強度及び前記３つの各相の回折Ｘ線の強度
と、第２の入射Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光
Ｘ線の強度とを、それぞれ対応する受光検出器を介して
共に測定し、演算手段は、前記測定した第１及び第２の
両蛍光Ｘ線の強度情報を用いてそれぞれ合金めっき相内
のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示
す２つの解曲線を求め、次に前記２つの解曲線の交点よ
り前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の
回折Ｘ線の強度情報とを用いて前記３つの各相の線吸収
係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める演算式に
基づき前記ｔΓを算出する。
【００３１】本請求項７に係る発明においては、前記請
求項５又は請求項６に係る発明における演算手段は、前
記Γ相の厚さｔΓを求める演算式として下記の（１）式
を用いて前記ｔΓを算出する。
求項５又は請求項６に係る発明における演算手段は、前
記Γ相の厚さｔΓを求める演算式として下記の（１）式
を用いて前記ｔΓを算出する。
【００３２】
【数６】
【００３３】なお（１）式において、Ｔは合金めっき相
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
全体の厚さ、μは合金めっき各相で同一とみなした線吸
収係数、Ｉ0 は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、
Ｘ線波長、入射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回
折面等によって決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強
度、γは１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ
前記φ3 ，Ψ3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であ
り、φ3 とΨ3 の和はΓ相の回折角に等しい。
【００３４】本請求項８に係る発明においては、前記請
求項５、請求項６又は請求項７に係る発明における前記
ζ相、δ1 相及びΓ相の各相の厚さ測定装置として、前
記演算手段により、ζ相の厚さｔζは、ζ相の回折Ｘ線
強度情報に基づき算出し、Γ相の厚さｔΓは、Γ相の回
折Ｘ線強度情報及び合金めっき相全体の厚さＴの情報に
基づき算出し、δ1 相の厚さｔδ1 は、前記Ｔから前記
算出したｔζとｔΓとの和を減算して算出する。
求項５、請求項６又は請求項７に係る発明における前記
ζ相、δ1 相及びΓ相の各相の厚さ測定装置として、前
記演算手段により、ζ相の厚さｔζは、ζ相の回折Ｘ線
強度情報に基づき算出し、Γ相の厚さｔΓは、Γ相の回
折Ｘ線強度情報及び合金めっき相全体の厚さＴの情報に
基づき算出し、δ1 相の厚さｔδ1 は、前記Ｔから前記
算出したｔζとｔΓとの和を減算して算出する。
【００３５】
【実施例】最初に本発明の演算工程又は演算手段が実行
する演算式の導入について説明する。合金めっきの各合
金めっき相毎の厚さ測定法としては、回折Ｘ線法が唯一
の方法である。しかしながら、従来の回折Ｘ線法では定
量化の精度が低く測定誤差が大きいという問題であり、
それを解決する本発明の計測法と演算式を説明する。回
折Ｘ線による溶融亜鉛めっき鋼板の各合金相の厚さ測定
の原理は以下の通りである。 （１）最上層のζ相からの回折Ｘ線強度は、ζ相自身で
のＸ線の吸収があるため、理論的に次の（２）式で導か
れる。
する演算式の導入について説明する。合金めっきの各合
金めっき相毎の厚さ測定法としては、回折Ｘ線法が唯一
の方法である。しかしながら、従来の回折Ｘ線法では定
量化の精度が低く測定誤差が大きいという問題であり、
それを解決する本発明の計測法と演算式を説明する。回
折Ｘ線による溶融亜鉛めっき鋼板の各合金相の厚さ測定
の原理は以下の通りである。 （１）最上層のζ相からの回折Ｘ線強度は、ζ相自身で
のＸ線の吸収があるため、理論的に次の（２）式で導か
れる。
【００３６】
【数７】
【００３７】（２）式で、Ｉζ：ζ相回折Ｘ線強度 Ｉ0 ：入射Ｘ線強度 Ｋζ：Ｘ線装置、試料、Ｘ線波長、入射角−取出角、回
折角、ζ相の回折面などによって決定する定数 μζ：ζ相の線吸収係数 ｔζ：ζ相の厚さ α ：１／ｓｉｎφ1 ＋１／ｓｉｎΨ1 φ1 ：入射角 Ψ1 ：取出角（φ1 ＋Ψ1 ＝ζ相の回折角）である。 ζ相は、結晶の配向の影響が多少あるものの、組成の変
化に伴う回折角の変化は無視でき、δ1 相に比べれば定
量性に優れる。また、合金めっき相中最上層に存在する
ため、他の合金めっき相における吸収を考慮する必要が
ない。そのため、（２）式を用いても十分精度良くその
厚さを測定することができる。
折角、ζ相の回折面などによって決定する定数 μζ：ζ相の線吸収係数 ｔζ：ζ相の厚さ α ：１／ｓｉｎφ1 ＋１／ｓｉｎΨ1 φ1 ：入射角 Ψ1 ：取出角（φ1 ＋Ψ1 ＝ζ相の回折角）である。 ζ相は、結晶の配向の影響が多少あるものの、組成の変
化に伴う回折角の変化は無視でき、δ1 相に比べれば定
量性に優れる。また、合金めっき相中最上層に存在する
ため、他の合金めっき相における吸収を考慮する必要が
ない。そのため、（２）式を用いても十分精度良くその
厚さを測定することができる。
【００３８】（２）中間層のδ1 相の回折Ｘ線強度は、
ζ相での吸収を考慮すると、理論的に次の（３）式とな
る。
ζ相での吸収を考慮すると、理論的に次の（３）式とな
る。
【００３９】
【数８】
【００４０】（３）式で、Ｉ0 ：入射Ｘ線強度 Ｉδ1 ：δ1 相の回折Ｘ線強度 Ｋδ1 ：Ｘ線装置、試料、Ｘ線波長、入射角−取出角、
回折角、δ1 相の回折面などによって決定する定数 μδ1 ：δ1 相の線吸収係数 ｔδ1 ：δ1 相の厚さ β ：１／ｓｉｎφ2 ＋１／ｓｉｎΨ2 φ2 ：入射角 Ψ2 ：取出角（φ2 ＋Ψ2 ＝δ1 相の回折角）であ
る。 δ1 相は、先に述べたように回折Ｘ線強度の定量性に劣
るため、精度良い厚さ測定は困難である。
回折角、δ1 相の回折面などによって決定する定数 μδ1 ：δ1 相の線吸収係数 ｔδ1 ：δ1 相の厚さ β ：１／ｓｉｎφ2 ＋１／ｓｉｎΨ2 φ2 ：入射角 Ψ2 ：取出角（φ2 ＋Ψ2 ＝δ1 相の回折角）であ
る。 δ1 相は、先に述べたように回折Ｘ線強度の定量性に劣
るため、精度良い厚さ測定は困難である。
【００４１】（３）最下層のΓ相では、ζ相及びδ1 相
での吸収を受けるため次の（４）式のように複雑な式と
なる。
での吸収を受けるため次の（４）式のように複雑な式と
なる。
【００４２】
【数９】
【００４３】（４）式で、Ｉ0 ：入射Ｘ線強度 ＩΓ：Γ相の回折Ｘ線強度 ＫΓ：Ｘ線装置、試料、Ｘ線波長、入射角−取出角、回
折角、Γ相の回折面などによって決定する定数 μΓ：Γ相の線吸収係数 ｔΓ：Γ相の厚さ γ ：１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 φ3 ：入射角 Ψ3 ：取出角（φ3 ＋Ψ3 ＝Γ相の回折角）である。
折角、Γ相の回折面などによって決定する定数 μΓ：Γ相の線吸収係数 ｔΓ：Γ相の厚さ γ ：１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 φ3 ：入射角 Ψ3 ：取出角（φ3 ＋Ψ3 ＝Γ相の回折角）である。
【００４４】ここで、式（２）、（３）、（４）におい
て、α＝β＝γとみなせるような近接した回折角を持つ
回折Ｘ線を使用し、これら３式を連立させてζ相厚さ、
δ1相厚さを消去し、Γ相の厚さ算出の式に直すと次の
（５）式のようになる。
て、α＝β＝γとみなせるような近接した回折角を持つ
回折Ｘ線を使用し、これら３式を連立させてζ相厚さ、
δ1相厚さを消去し、Γ相の厚さ算出の式に直すと次の
（５）式のようになる。
【００４５】
【数１０】
【００４６】（５）式のように、回折Ｘ線情報だけを用
いたのでは、Γ相の厚さの算出式は複雑になる。また、
上層のδ1 相の回折Ｘ線は定量性が低い。そのため、こ
の式を用いたのではΓ相の厚さ測定に関して誤差が大き
くなる。また、この理論強度式を導くには、α＝β＝γ
とみなせるような回折角を持つ回折Ｘ線に限定される。
従って本発明では（５）式を演算式としては採用せず、
代りに３相の線吸収係数の値がほぼ同一値とみなせるこ
とに着目した演算式を考えた。
いたのでは、Γ相の厚さの算出式は複雑になる。また、
上層のδ1 相の回折Ｘ線は定量性が低い。そのため、こ
の式を用いたのではΓ相の厚さ測定に関して誤差が大き
くなる。また、この理論強度式を導くには、α＝β＝γ
とみなせるような回折角を持つ回折Ｘ線に限定される。
従って本発明では（５）式を演算式としては採用せず、
代りに３相の線吸収係数の値がほぼ同一値とみなせるこ
とに着目した演算式を考えた。
【００４７】例えばＸ線にＣｒＫα線を用いた場合、線
吸収係数はζ相では１．２８×１０3 ｃｍ-1、δ1 相で
は１．２５×１０3 ｃｍ-1、Γ相では１．２２×１０3
ｃｍ1 であり、合金めっき相におけるζ相、δ1 相、Γ
相での線吸収係数はほぼ同じ値とみなすことができる。
従っていま合金めっき相の線吸収係数を各相に共通な値
のμとすると、（４）式は次の（６）式のように書き直
すことができる。
吸収係数はζ相では１．２８×１０3 ｃｍ-1、δ1 相で
は１．２５×１０3 ｃｍ-1、Γ相では１．２２×１０3
ｃｍ1 であり、合金めっき相におけるζ相、δ1 相、Γ
相での線吸収係数はほぼ同じ値とみなすことができる。
従っていま合金めっき相の線吸収係数を各相に共通な値
のμとすると、（４）式は次の（６）式のように書き直
すことができる。
【００４８】
【数１１】
【００４９】さらに、合金めっき相の全体の厚さが既知
の場合、いま合金めっき相の全厚さをＴとすると（６）
式は次の（７）式のようになる。
の場合、いま合金めっき相の全厚さをＴとすると（６）
式は次の（７）式のようになる。
【００５０】
【数１２】
【００５１】したがって、Γ相厚さの算出式は下記の
（１）式のように簡略化できる。
（１）式のように簡略化できる。
【００５２】
【数１３】
【００５３】（１）式で、ｔΓ：Γ相厚さ Ｔ ：合金めっき相の全厚さ μ ：合金めっき各相で同一とみなした線吸収係数 Ｉ0 ：入射Ｘ線強度 ＫΓ：Ｘ線装置、試料、Ｘ線波長、入射角−取出角、回
折角、Γ相の回折面などによって決定する定数 ＩΓ：Γ相回折Ｘ線強度 γ ：１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 φ3 ：入射角 Ψ3 ：取出角（φ3 ＋Ψ3 ＝Γ相の回折角）である。
折角、Γ相の回折面などによって決定する定数 ＩΓ：Γ相回折Ｘ線強度 γ ：１／ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 φ3 ：入射角 Ψ3 ：取出角（φ3 ＋Ψ3 ＝Γ相の回折角）である。
【００５４】従って合金めっき相全体の厚さＴとΓ相か
らの回折Ｘ線強度ＩΓが求められれば、前記（１）式を
用いてΓ相の厚さｔΓを算出することができる。Γ相
は、結晶の配向の影響が多少あるものの、δ1 相に比較
すれば定量性に優れ、精度良くΓ相の回折Ｘ線強度を測
定することができる。また、Γ相からのピークに対し、
任意の回折角のものが使用でき、回折面に限定されな
い。この発明の主眼はこの点にあり、合金相中最下層で
その厚さの定量化の困難なΓ相の厚さ測定において、ま
ず合金めっき相全体の厚さＴを測定し、次にこのＴとΓ
相のみの回折Ｘ線強度ＩΓとを用いて、Γ相の厚さを精
度良く測定することにある。
らの回折Ｘ線強度ＩΓが求められれば、前記（１）式を
用いてΓ相の厚さｔΓを算出することができる。Γ相
は、結晶の配向の影響が多少あるものの、δ1 相に比較
すれば定量性に優れ、精度良くΓ相の回折Ｘ線強度を測
定することができる。また、Γ相からのピークに対し、
任意の回折角のものが使用でき、回折面に限定されな
い。この発明の主眼はこの点にあり、合金相中最下層で
その厚さの定量化の困難なΓ相の厚さ測定において、ま
ず合金めっき相全体の厚さＴを測定し、次にこのＴとΓ
相のみの回折Ｘ線強度ＩΓとを用いて、Γ相の厚さを精
度良く測定することにある。
【００５５】次に合金めっき相全体の厚さＴの測定手法
について述べる。合金めっき相全体の厚さは、合金めっ
き鋼板の表面にＸ線を入射し、回折Ｘ線と同時に発生す
る蛍光Ｘ線を用い共に測定する。蛍光Ｘ線法は、結晶の
影響を受けない、吸収が小さい、感度が高い、バックグ
ランド成分がほとんどなく、あらゆる方向に発散する、
ことなどから定量性に極めて優れるが、合金相毎の細か
い測定はできない。また回折Ｘ線法は、先に述べたよう
に定量性に劣るが、合金相毎の細かい測定ができる。こ
の発明は、回折Ｘ線法と蛍光Ｘ線法の両Ｘ線法を使用
し、両者の長所を兼ね備えるようにするものである。
について述べる。合金めっき相全体の厚さは、合金めっ
き鋼板の表面にＸ線を入射し、回折Ｘ線と同時に発生す
る蛍光Ｘ線を用い共に測定する。蛍光Ｘ線法は、結晶の
影響を受けない、吸収が小さい、感度が高い、バックグ
ランド成分がほとんどなく、あらゆる方向に発散する、
ことなどから定量性に極めて優れるが、合金相毎の細か
い測定はできない。また回折Ｘ線法は、先に述べたよう
に定量性に劣るが、合金相毎の細かい測定ができる。こ
の発明は、回折Ｘ線法と蛍光Ｘ線法の両Ｘ線法を使用
し、両者の長所を兼ね備えるようにするものである。
【００５６】蛍光Ｘ線法では、溶融亜鉛めっき鋼板にお
いて、ＦｅとＺｎの両蛍光Ｘ線が得られる。蛍光Ｘ線法
においては、ラインの距離変動や機器変動の影響を考慮
して、Ｆｅ蛍光Ｘ線強度／Ｚｎ蛍光Ｘ線強度を測定値と
して用いるのが一般的である。ところが、蛍光Ｘ線法に
おける合金めっき相に関する未知量は、合金めっき相全
体の厚さと合金相内での組成（Ｆｅ含有率）であるの
で、１つの蛍光Ｘ線光学系での測定値だけでは、この両
者を一意に定めることはできない。図５は蛍光Ｘ線法に
より得られる合金めっき相全体の厚さと組成（Ｆｅ含有
率）との関係（解曲線）を示す図であり、１つの蛍光Ｘ
線光学系では図５に示されるような解曲線が得られるだ
けである。
いて、ＦｅとＺｎの両蛍光Ｘ線が得られる。蛍光Ｘ線法
においては、ラインの距離変動や機器変動の影響を考慮
して、Ｆｅ蛍光Ｘ線強度／Ｚｎ蛍光Ｘ線強度を測定値と
して用いるのが一般的である。ところが、蛍光Ｘ線法に
おける合金めっき相に関する未知量は、合金めっき相全
体の厚さと合金相内での組成（Ｆｅ含有率）であるの
で、１つの蛍光Ｘ線光学系での測定値だけでは、この両
者を一意に定めることはできない。図５は蛍光Ｘ線法に
より得られる合金めっき相全体の厚さと組成（Ｆｅ含有
率）との関係（解曲線）を示す図であり、１つの蛍光Ｘ
線光学系では図５に示されるような解曲線が得られるだ
けである。
【００５７】合金めっき相全厚さと合金相内での組成を
一意に求める第１の方法は、特開平２−２５７０４５号
公報に示されたように、Ｘ線波長及び取出角の異なるも
う一つの蛍光Ｘ線光学系を設置するものである。図６は
２つの蛍光Ｘ線光学系で得られる解曲線を示す図であ
り、同図の第１及び第２の光学系でそれぞれ得られる２
つの解曲線の交点から合金めっき相全厚さと組成の両方
を一意に求めることができる。
一意に求める第１の方法は、特開平２−２５７０４５号
公報に示されたように、Ｘ線波長及び取出角の異なるも
う一つの蛍光Ｘ線光学系を設置するものである。図６は
２つの蛍光Ｘ線光学系で得られる解曲線を示す図であ
り、同図の第１及び第２の光学系でそれぞれ得られる２
つの解曲線の交点から合金めっき相全厚さと組成の両方
を一意に求めることができる。
【００５８】また、第２の方法として次の手法も考えら
れる。合金めっき相のＦｅ含有率（平均Ｆｅ％）が減る
とζ相の厚さが増す傾向にあり、また、平均Ｆｅ％が増
すとΓ相の厚さが増す傾向にある。図７は組成の変化に
伴うζ相及びΓ相回折Ｘ線強度の変化を示す図であり、
上記ζ相及びΓ相の厚さとＦｅ含有率との関係を示して
いる。また図８で述べたように、平均Ｆｅ％とδ1 相の
回折角とは相関がある。
れる。合金めっき相のＦｅ含有率（平均Ｆｅ％）が減る
とζ相の厚さが増す傾向にあり、また、平均Ｆｅ％が増
すとΓ相の厚さが増す傾向にある。図７は組成の変化に
伴うζ相及びΓ相回折Ｘ線強度の変化を示す図であり、
上記ζ相及びΓ相の厚さとＦｅ含有率との関係を示して
いる。また図８で述べたように、平均Ｆｅ％とδ1 相の
回折角とは相関がある。
【００５９】そこで、ζ相またはΓ相からの回折Ｘ線強
度情報または、δ1 相の回折角情報のうちどれか少なく
とも一つの情報から合金めっき相での平均Ｆｅ％を推定
する。この場合に、定量性の低い回折Ｘ線情報を用いて
もある程度の平均Ｆｅ％の推定は可能である。そして、
得られた平均Ｆｅ％の推定値を用い、１つの蛍光Ｘ線光
学系で得られる解曲線（前記図５）から合金めっき相全
厚さを求めることができる。
度情報または、δ1 相の回折角情報のうちどれか少なく
とも一つの情報から合金めっき相での平均Ｆｅ％を推定
する。この場合に、定量性の低い回折Ｘ線情報を用いて
もある程度の平均Ｆｅ％の推定は可能である。そして、
得られた平均Ｆｅ％の推定値を用い、１つの蛍光Ｘ線光
学系で得られる解曲線（前記図５）から合金めっき相全
厚さを求めることができる。
【００６０】蛍光Ｘ線光学系としては、高入射角、高取
出角、高Ｘ線エネルギーのもので構成し、合金めっき相
全体の厚さに対する平均Ｆｅ％の勾配の大きい解曲線に
することが望ましい。これらの蛍光Ｘ線光学系を用いる
ことにより、回折Ｘ線測定と同時に蛍光Ｘ線強度を測定
し、合金めっき相の全体の厚さＴを知ることができる。
そしてこの全体の厚さＴとΓ相の回折Ｘ線強度ＩΓとか
ら（１）式を用いてΓ相の厚さｔΓを算出することがで
きる。なお（１）式等の演算は、市販のマイクロプロセ
ッサ（ＣＰＵ）又はデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）
等を用いて容易に実行することが可能である。
出角、高Ｘ線エネルギーのもので構成し、合金めっき相
全体の厚さに対する平均Ｆｅ％の勾配の大きい解曲線に
することが望ましい。これらの蛍光Ｘ線光学系を用いる
ことにより、回折Ｘ線測定と同時に蛍光Ｘ線強度を測定
し、合金めっき相の全体の厚さＴを知ることができる。
そしてこの全体の厚さＴとΓ相の回折Ｘ線強度ＩΓとか
ら（１）式を用いてΓ相の厚さｔΓを算出することがで
きる。なお（１）式等の演算は、市販のマイクロプロセ
ッサ（ＣＰＵ）又はデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）
等を用いて容易に実行することが可能である。
【００６１】次に本発明の光学的な測定工程又は測定手
段について説明する。図１は本発明の合金めっき相の厚
さ測定光学系の第１の例を示す図であり、同図において
は、２組の蛍光Ｘ線光学系を用いて、それぞれの光学系
から得られる２つの解曲線の交点から合金めっき相全体
の厚さＴを求める測定法を示している。
段について説明する。図１は本発明の合金めっき相の厚
さ測定光学系の第１の例を示す図であり、同図において
は、２組の蛍光Ｘ線光学系を用いて、それぞれの光学系
から得られる２つの解曲線の交点から合金めっき相全体
の厚さＴを求める測定法を示している。
【００６２】図１においては、２組の光学系のＸ線管球
には、それぞれＸ線波長の異なるＣｒ管球１及びＭｏ管
球２を使用し、またそれぞれの入射角も異なる値にして
入射している。回折Ｘ線の受光検出器にはＰＳＰＣ検出
器（位置敏感型比例計数管）４を用い、ζ相、δ1 相及
びΓ相の各相の回折Ｘ線強度情報と回折角情報とが測定
できるようにした。また蛍光Ｘ線の受光検出器には半導
体検出器５，６を用い、Ｆｅ、Ｚｎ両蛍光Ｘ線強度情報
をエネルギー分散法により測定できるようにした。
には、それぞれＸ線波長の異なるＣｒ管球１及びＭｏ管
球２を使用し、またそれぞれの入射角も異なる値にして
入射している。回折Ｘ線の受光検出器にはＰＳＰＣ検出
器（位置敏感型比例計数管）４を用い、ζ相、δ1 相及
びΓ相の各相の回折Ｘ線強度情報と回折角情報とが測定
できるようにした。また蛍光Ｘ線の受光検出器には半導
体検出器５，６を用い、Ｆｅ、Ｚｎ両蛍光Ｘ線強度情報
をエネルギー分散法により測定できるようにした。
【００６３】図１の例においては、Ｃｒ管球１から合金
めっき鋼板３への入射Ｘ線の入射角は２５°、蛍光Ｘ線
の取出角は４５°、回折Ｘ線の取出角９０°〜１２０°
（回折角：１１０〜１４５°）とした。図１のＣｒ管球
１は白色Ｘ線を用い、前記入射角で合金めっき鋼板３へ
白色Ｘ線を入射し、前記取出角において、そのＣｒＫα
成分をＶフィルターを通して抽出しＰＳＰＣ検出器４に
より各相の回折Ｘ線強度と回折角の情報を得る。この回
折Ｘ線情報は、ＰＳＰＣ検出器４を走査することなく、
所定角度（この例では３０°）内の情報を同時に得るこ
とができる。また回折Ｘ線に対しては、バックグランド
補正を行った。また、同じＣｒ管球１の白色Ｘ線成分に
よる励起により得られた蛍光Ｘ線を、前記取出角におい
て半導体検出器５により検出して、そのＦｅ、Ｚｎ両蛍
光Ｘ線強度をエネルギー分散法により測定する。
めっき鋼板３への入射Ｘ線の入射角は２５°、蛍光Ｘ線
の取出角は４５°、回折Ｘ線の取出角９０°〜１２０°
（回折角：１１０〜１４５°）とした。図１のＣｒ管球
１は白色Ｘ線を用い、前記入射角で合金めっき鋼板３へ
白色Ｘ線を入射し、前記取出角において、そのＣｒＫα
成分をＶフィルターを通して抽出しＰＳＰＣ検出器４に
より各相の回折Ｘ線強度と回折角の情報を得る。この回
折Ｘ線情報は、ＰＳＰＣ検出器４を走査することなく、
所定角度（この例では３０°）内の情報を同時に得るこ
とができる。また回折Ｘ線に対しては、バックグランド
補正を行った。また、同じＣｒ管球１の白色Ｘ線成分に
よる励起により得られた蛍光Ｘ線を、前記取出角におい
て半導体検出器５により検出して、そのＦｅ、Ｚｎ両蛍
光Ｘ線強度をエネルギー分散法により測定する。
【００６４】Ｍｏ管球２は、モノクロメーターを通し単
色化してから試料に照射し、合金めっき成分を励起して
得られた蛍光Ｘ線を半導体検出器６により検出して、そ
のＦｅ、Ｚｎ両蛍光Ｘ線強度をエネルギー分散測定法に
より得る。この例においては、Ｍｏ管球２から合金めっ
き鋼板３への入射Ｘ線の入射角は７５°、蛍光Ｘ線の取
出角は６０°とした。位置敏感型比例計数管で検出した
回折Ｘ線は、図１１に示すように、増幅器を経て、時間
波高変換器で１次元情報に変換され、マルチチャンネル
アナライザーで１次元的な回折Ｘ線強度情報が得られた
後、演算器に導かれる。半導体検出器で検出した蛍光Ｘ
線は、図１２に示すように、増幅器を経て、マルチチャ
ンネルアナライザーにてエネルギーごとの計数値が得ら
れた後、演算器に導かれる。
色化してから試料に照射し、合金めっき成分を励起して
得られた蛍光Ｘ線を半導体検出器６により検出して、そ
のＦｅ、Ｚｎ両蛍光Ｘ線強度をエネルギー分散測定法に
より得る。この例においては、Ｍｏ管球２から合金めっ
き鋼板３への入射Ｘ線の入射角は７５°、蛍光Ｘ線の取
出角は６０°とした。位置敏感型比例計数管で検出した
回折Ｘ線は、図１１に示すように、増幅器を経て、時間
波高変換器で１次元情報に変換され、マルチチャンネル
アナライザーで１次元的な回折Ｘ線強度情報が得られた
後、演算器に導かれる。半導体検出器で検出した蛍光Ｘ
線は、図１２に示すように、増幅器を経て、マルチチャ
ンネルアナライザーにてエネルギーごとの計数値が得ら
れた後、演算器に導かれる。
【００６５】図１の例における演算工程又は演算手段
は、次の順序でΓ相の厚さを算出する。 （１）前記光学系で測定した第１及び第２の両（Ｆｅ、
Ｚｎ）蛍光Ｘ線の強度比を用いてそれぞれ合金めっき相
内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を
示す２つの解曲線を求め、 （２）次に前記２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求
め（図６を参照）。 （３）次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度
情報とを用いて前記３つの各相の線吸収係数を同一とみ
なしてΓ相の厚さｔΓを求める前記演算式（１）に基づ
き前記ｔΓを算出する。 図１の測定光学系と市販のＣＰＵ又はＤＳＰ等を用い、
前記演算式（１）によりΓ相の厚さｔΓを測定するのに
要する時間は約１０秒と短時間であり、オンラインでの
測定が十分に可能である。
は、次の順序でΓ相の厚さを算出する。 （１）前記光学系で測定した第１及び第２の両（Ｆｅ、
Ｚｎ）蛍光Ｘ線の強度比を用いてそれぞれ合金めっき相
内のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を
示す２つの解曲線を求め、 （２）次に前記２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求
め（図６を参照）。 （３）次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度
情報とを用いて前記３つの各相の線吸収係数を同一とみ
なしてΓ相の厚さｔΓを求める前記演算式（１）に基づ
き前記ｔΓを算出する。 図１の測定光学系と市販のＣＰＵ又はＤＳＰ等を用い、
前記演算式（１）によりΓ相の厚さｔΓを測定するのに
要する時間は約１０秒と短時間であり、オンラインでの
測定が十分に可能である。
【００６６】図１の蛍光Ｘ線と回折Ｘ線の両方を使用す
る両Ｘ線法と従来の回折Ｘ線法によるΓ相厚さ測定結果
の比較を行った。サンプルはΓ相の厚さの異なるものを
２０種類選択し、Ｃｒ管球を用いたときの回折角とし
て、ζ相は１３０．６°、δ1 は１２６．５°〜１２
７．４°、Γ相は１３８．８°のものを用いた。蛍光Ｘ
線は、ＦｅＫα線・ＺｎＫα線を用いた。２つの蛍光Ｘ
線光学系で得られる合金めっき相全厚さと鉄含有率の解
曲線の交点から、合金めっき相の全厚さを測定した。サ
ンプルの平均Ｆｅ％と合金めっき相全厚さは、化学分析
により得た。Γ相厚さは、合金めっき断面のＳＥＭ（走
査型電子顕微鏡）による観察により得た。
る両Ｘ線法と従来の回折Ｘ線法によるΓ相厚さ測定結果
の比較を行った。サンプルはΓ相の厚さの異なるものを
２０種類選択し、Ｃｒ管球を用いたときの回折角とし
て、ζ相は１３０．６°、δ1 は１２６．５°〜１２
７．４°、Γ相は１３８．８°のものを用いた。蛍光Ｘ
線は、ＦｅＫα線・ＺｎＫα線を用いた。２つの蛍光Ｘ
線光学系で得られる合金めっき相全厚さと鉄含有率の解
曲線の交点から、合金めっき相の全厚さを測定した。サ
ンプルの平均Ｆｅ％と合金めっき相全厚さは、化学分析
により得た。Γ相厚さは、合金めっき断面のＳＥＭ（走
査型電子顕微鏡）による観察により得た。
【００６７】図２は図１の両Ｘ線法と従来方法（回折Ｘ
線法）とによるΓ相厚さの測定結果の比較例を示す図で
あり、黒丸は図１の両Ｘ線法による測定値を、白丸は従
来方法による測定値を、それぞれＳＥＭによる測定値と
対比して示している。この図により、本発明の両Ｘ線法
を用いることにより従来よりも精度良くΓ相厚さが測定
できることがわかる。また、δ1 相の厚さも、蛍光Ｘ線
法による合金めっき相の全厚さＴの測定値から、Γ相厚
さ測定値とζ相厚さ測定値との和を減算することにより
精度良く測定することができる。図１３に、図１の光学
系を用いた測定のフローチャートを示す。また、本発明
法は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板のみならず、錫めっき
など複層のめっき相からなるめっき金属に対しても適用
は可能である。
線法）とによるΓ相厚さの測定結果の比較例を示す図で
あり、黒丸は図１の両Ｘ線法による測定値を、白丸は従
来方法による測定値を、それぞれＳＥＭによる測定値と
対比して示している。この図により、本発明の両Ｘ線法
を用いることにより従来よりも精度良くΓ相厚さが測定
できることがわかる。また、δ1 相の厚さも、蛍光Ｘ線
法による合金めっき相の全厚さＴの測定値から、Γ相厚
さ測定値とζ相厚さ測定値との和を減算することにより
精度良く測定することができる。図１３に、図１の光学
系を用いた測定のフローチャートを示す。また、本発明
法は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板のみならず、錫めっき
など複層のめっき相からなるめっき金属に対しても適用
は可能である。
【００６８】図３は本発明の合金めっき相の厚さ測定光
学系の第２の例を示す図であり、同図は１組の光学系に
よる回折Ｘ線情報と蛍光Ｘ線情報とによりΓ相の厚さを
求める測定法を示している。この場合は１つの解曲線か
ら合金めっき相全体の厚さＴを求めることになる。図３
において、Ｃｒ管球１、ＰＳＰＣ検出器４及び半導体検
出器５は図１と同一のものを使用することができる。図
３の例においては、Ｃｒ管球１から合金めっき鋼板３へ
の入射Ｘ線の入射角は７０°、蛍光Ｘ線の取出角は９０
°、回折Ｘ線の取出角は４５°〜７５°である。
学系の第２の例を示す図であり、同図は１組の光学系に
よる回折Ｘ線情報と蛍光Ｘ線情報とによりΓ相の厚さを
求める測定法を示している。この場合は１つの解曲線か
ら合金めっき相全体の厚さＴを求めることになる。図３
において、Ｃｒ管球１、ＰＳＰＣ検出器４及び半導体検
出器５は図１と同一のものを使用することができる。図
３の例においては、Ｃｒ管球１から合金めっき鋼板３へ
の入射Ｘ線の入射角は７０°、蛍光Ｘ線の取出角は９０
°、回折Ｘ線の取出角は４５°〜７５°である。
【００６９】図３においても、図１と同様に、ζ相、δ
1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の表面にＸ
線を入射し、表面から出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ
線の強度を半導体検出器５により測定し、前記３つの各
相の回折Ｘ線の強度と回折角とをＰＳＰＣ検出器４によ
り測定する。位置敏感型比例計数管で検出した回折Ｘ線
は、図１１に示すように、増幅器を経て、時間波高変換
器で１次元情報に変換され、マルチチャンネルアナライ
ザーで１次元的な回折Ｘ線強度情報が得られた後、演算
器に導かれる。半導体検出器で検出した蛍光Ｘ線は、図
１２に示すように、増幅器を経て、マルチチャンネルア
ナライザーにてエネルギーごとの計数値が得られた後、
演算器に導かれる。
1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の表面にＸ
線を入射し、表面から出射されるＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ
線の強度を半導体検出器５により測定し、前記３つの各
相の回折Ｘ線の強度と回折角とをＰＳＰＣ検出器４によ
り測定する。位置敏感型比例計数管で検出した回折Ｘ線
は、図１１に示すように、増幅器を経て、時間波高変換
器で１次元情報に変換され、マルチチャンネルアナライ
ザーで１次元的な回折Ｘ線強度情報が得られた後、演算
器に導かれる。半導体検出器で検出した蛍光Ｘ線は、図
１２に示すように、増幅器を経て、マルチチャンネルア
ナライザーにてエネルギーごとの計数値が得られた後、
演算器に導かれる。
【００７０】図３の例における演算工程又は演算手段
は、次の順序でΓ相の厚さを算出する。 （１）前記光学系で測定した両（Ｆｅ、Ｚｎ）蛍光Ｘ線
の強度比より合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき
相全体の厚さＴとの関係を示す解曲線を求め、 （２）次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ線の強度情
報又は回折角情報に基づき得られる合金めっき相内のＦ
ｅ含有率を用いて前記解曲線により前記厚さＴを求め
（図５、図７を参照）。 （３）次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度
情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなし
てΓ相の厚さｔΓを求める前記演算式（１）に基づき前
記ｔΓを算出する。
は、次の順序でΓ相の厚さを算出する。 （１）前記光学系で測定した両（Ｆｅ、Ｚｎ）蛍光Ｘ線
の強度比より合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき
相全体の厚さＴとの関係を示す解曲線を求め、 （２）次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ線の強度情
報又は回折角情報に基づき得られる合金めっき相内のＦ
ｅ含有率を用いて前記解曲線により前記厚さＴを求め
（図５、図７を参照）。 （３）次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度
情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなし
てΓ相の厚さｔΓを求める前記演算式（１）に基づき前
記ｔΓを算出する。
【００７１】図４は図３の蛍光Ｘ線と回折Ｘ線の両方を
使用する両Ｘ線法と従来方法（回折Ｘ線法）とによるΓ
相厚さの測定結果の比較例を示す図であり、黒丸は図３
の両Ｘ線法による測定値を、白丸は従来方法による測定
値を、それぞれＳＥＭによる測定値と対比して示してい
る。この図においても、本発明の両Ｘ線法が従来方法よ
りも精度が良いことがわかる。図１４に、図３の光学系
を用いた測定のフローチャートを示す。なお図４におけ
るサンプル及びＣｒ管球を用いたときの回折角等は図２
の場合と同一である。
使用する両Ｘ線法と従来方法（回折Ｘ線法）とによるΓ
相厚さの測定結果の比較例を示す図であり、黒丸は図３
の両Ｘ線法による測定値を、白丸は従来方法による測定
値を、それぞれＳＥＭによる測定値と対比して示してい
る。この図においても、本発明の両Ｘ線法が従来方法よ
りも精度が良いことがわかる。図１４に、図３の光学系
を用いた測定のフローチャートを示す。なお図４におけ
るサンプル及びＣｒ管球を用いたときの回折角等は図２
の場合と同一である。
【００７２】本発明は、主に蛍光Ｘ線情報に基づきまず
合金めっき相全体の厚さＴを求め、同時に得られる回折
Ｘ線情報と前記Ｔとに基づきΓ相の厚さｔΓを求める手
法を用いた厚さ測定方法又は装置であればよい。
合金めっき相全体の厚さＴを求め、同時に得られる回折
Ｘ線情報と前記Ｔとに基づきΓ相の厚さｔΓを求める手
法を用いた厚さ測定方法又は装置であればよい。
【００７３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、合金化溶
融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法及び装
置において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金
めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表面から出射され
るＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの各相の回
折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ対応する受光検
出器を介して共に測定し、前記測定した両蛍光Ｘ線の強
度情報より合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき相
全体の厚さＴとの関係を示す解曲線を求め、次に前記測
定した３つの各相の回折Ｘ線の強度情報又は回折角情報
に基づき得られる合金めっき相内のＦｅ含有率を用いて
前記解曲線より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測
定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報を用い前記３つの各相
の線吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める
演算式に基づき前記ｔΓを算出するようにしたので、従
来の回折Ｘ線法に比較して精度の良いΓ相の厚さ測定値
が得られる。
融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法及び装
置において、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金
めっき鋼板の表面にＸ線を入射し、該表面から出射され
るＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの各相の回
折Ｘ線の強度及び回折角とを、それぞれ対応する受光検
出器を介して共に測定し、前記測定した両蛍光Ｘ線の強
度情報より合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき相
全体の厚さＴとの関係を示す解曲線を求め、次に前記測
定した３つの各相の回折Ｘ線の強度情報又は回折角情報
に基づき得られる合金めっき相内のＦｅ含有率を用いて
前記解曲線より前記厚さＴを求め、次に前記Ｔと前記測
定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報を用い前記３つの各相
の線吸収係数を同一とみなしてΓ相の厚さｔΓを求める
演算式に基づき前記ｔΓを算出するようにしたので、従
来の回折Ｘ線法に比較して精度の良いΓ相の厚さ測定値
が得られる。
【００７４】また本発明によれば、合金化溶融亜鉛めっ
き鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法及び装置におい
て、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼
板の表面に、Ｘ線波長の異なる第１のＸ線と第２のＸ線
をそれぞれ入射し、前記鋼板表面から出射される、第１
の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強
度及び前記３つの各相の回折Ｘ線の強度と、第２の入射
Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と
を、それぞれ対応する受光検出器を介して共に測定し、
前記測定した第１及び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用
いてそれぞれ合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき
相全体の厚さＴとの関係を示す２つの解曲線を求め、次
に前記２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求め、次に
前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用
いて前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなしてΓ相
の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算出する
ようにしたので、前記１つの解曲線を用いた場合よりも
さらに精度の高いΓ相の厚さ測定値が得られる。
き鋼板の合金めっき相の厚さ測定方法及び装置におい
て、ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼
板の表面に、Ｘ線波長の異なる第１のＸ線と第２のＸ線
をそれぞれ入射し、前記鋼板表面から出射される、第１
の入射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強
度及び前記３つの各相の回折Ｘ線の強度と、第２の入射
Ｘ線に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度と
を、それぞれ対応する受光検出器を介して共に測定し、
前記測定した第１及び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用
いてそれぞれ合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき
相全体の厚さＴとの関係を示す２つの解曲線を求め、次
に前記２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求め、次に
前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用
いて前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなしてΓ相
の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算出する
ようにしたので、前記１つの解曲線を用いた場合よりも
さらに精度の高いΓ相の厚さ測定値が得られる。
【００７５】また本発明によれば、前記Γ相の厚さｔΓ
を求める演算式として前記の（１）式を用いて前記ｔΓ
を算出するようにしたので、演算が比較的簡単で短時間
で処理でき、オンラインでΓ相の厚さ測定ができるよう
になった。
を求める演算式として前記の（１）式を用いて前記ｔΓ
を算出するようにしたので、演算が比較的簡単で短時間
で処理でき、オンラインでΓ相の厚さ測定ができるよう
になった。
【００７６】また本発明によれば、前記ζ相、δ1 相及
びΓ相の各相の厚さ測定方法及び装置として、ζ相の厚
さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算出し、Γ
相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金めっ
き相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、δ1 相の厚さ
ｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζとｔΓとの和を
減算して算出するようにしたので、Γ相のみならず、ζ
相とδ1 相の厚さもそれぞれ精度良く測定することがで
きるようになった。
びΓ相の各相の厚さ測定方法及び装置として、ζ相の厚
さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算出し、Γ
相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金めっ
き相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、δ1 相の厚さ
ｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζとｔΓとの和を
減算して算出するようにしたので、Γ相のみならず、ζ
相とδ1 相の厚さもそれぞれ精度良く測定することがで
きるようになった。
【００７７】また本発明は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板
のみならず、錫めっきなど複数のめっき相からなるめっ
き金属に対しても適用は可能であり、これらのめっき相
の厚さも精度良く測定できるようになった。
のみならず、錫めっきなど複数のめっき相からなるめっ
き金属に対しても適用は可能であり、これらのめっき相
の厚さも精度良く測定できるようになった。
【図１】本発明の合金めっき相の厚さ測定光学系の第１
の例を示す図である。
の例を示す図である。
【図２】図１の両Ｘ線法と従来方法によるΓ相厚さの測
定結果の比較例を示す図である。
定結果の比較例を示す図である。
【図３】本発明の合金めっき相の厚さ測定光学系の第２
の例を示す図である。
の例を示す図である。
【図４】図３の両Ｘ線法と従来方法によるΓ相厚さの測
定結果の比較例を示す図である。
定結果の比較例を示す図である。
【図５】蛍光Ｘ線法により得られる合金めっき相全体の
厚さと組成との関係を示す図である。
厚さと組成との関係を示す図である。
【図６】２つの蛍光Ｘ線光学系で得られる解曲線を示す
図である。
図である。
【図７】組成の変化に伴うζ相及びΓ相回折Ｘ線強度の
変化を示す図である。
変化を示す図である。
【図８】合金めっき相組成に対するδ1 相回折角の関係
を示す図である。
を示す図である。
【図９】Γ相厚さとパウダリング特性との関係を示す図
である。
である。
【図１０】合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき相の
構造を示す図である。
構造を示す図である。
【図１１】位置敏感型比例計数管の検出信号の信号処理
を示す図である。
を示す図である。
【図１２】半導体検出器の検出信号の信号処理を示す図
である。
である。
【図１３】図１の光学系を用いた測定のフローチャート
である。
である。
【図１４】図３の光学系を用いた測定のフローチャート
である。
である。
１ Ｃｒ管球 ２ Ｍｏ管球 ３ 合金めっき鋼板 ４ ＰＳＰＣ検出器 ５ 半導体検出器 ６ 半導体検出器
Claims (8)
- 【請求項１】 合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定方法において、 ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の
表面にＸ線を入射し、該表面から出射されるＦｅ及びＺ
ｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの各相の回折Ｘ線の強度
及び回折角とを、それぞれ対応する受光検出器を介して
共に測定し、 前記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内
のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示
す解曲線を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ
線の強度情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっ
き相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴ
を求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強
度情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみな
してΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを
算出することを特徴とする合金めっき相の厚さ測定方
法。 - 【請求項２】 合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定方法において、 ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の
表面に、Ｘ線波長の異なる第１のＸ線と第２のＸ線をそ
れぞれ入射し、前記鋼板表面から出射される、第１の入
射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度及
び前記３つの各相の回折Ｘ線の強度と、第２の入射Ｘ線
に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度とを、そ
れぞれ対応する受光検出器を介して共に測定し、 前記測定した第１及び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用
いてそれぞれ合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき
相全体の厚さＴとの関係を示す２つの解曲線を求め、次
に前記２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求め、次に
前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用
いて前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなしてΓ相
の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算出する
ことを特徴とする合金めっき相の厚さ測定方法。 - 【請求項３】 前記Γ相の厚さｔΓを求める演算式とし
て下記の（１）式を用いて前記ｔΓを算出することを特
徴とする請求項１又は請求項２記載の合金めっき相の厚
さ測定方法。 【数１】 なお（１）式において、Ｔは合金めっき相全体の厚さ、
μは合金めっき各相で同一とみなした線吸収係数、Ｉ0
は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、Ｘ線波長、入
射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回折面等によっ
て決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強度、γは１／
ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ前記φ3 ，Ψ
3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であり、φ3 とΨ3
の和はΓ相の回折角に等しい。 - 【請求項４】 前記ζ相、δ1 相及びΓ相の各相の厚さ
測定方法として、 ζ相の厚さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算
出し、 Γ相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金め
っき相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、 δ1 相の厚さｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζと
ｔΓとの和を減算して算出することを特徴とする請求項
１、請求項２又は請求項３記載の合金めっき相の厚さ測
定方法。 - 【請求項５】 合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定装置において、 ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の
表面にＸ線を入射し、該表面から出射されるＦｅ及びＺ
ｎ両蛍光Ｘ線の強度と前記３つの各相の回折Ｘ線の強度
及び回折角とを、それぞれ対応する受光検出器を介して
共に測定する測定手段と、 前記測定した両蛍光Ｘ線の強度情報より合金めっき相内
のＦｅ含有率と合金めっき相全体の厚さＴとの関係を示
す解曲線を求め、次に前記測定した３つの各相の回折Ｘ
線の強度情報又は回折角情報に基づき得られる合金めっ
き相内のＦｅ含有率を用いて前記解曲線より前記厚さＴ
を求め、次に前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強
度情報を用い前記３つの各相の線吸収係数を同一とみな
してΓ相の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを
算出する演算手段とを備えたことを特徴とする合金めっ
き相の厚さ測定装置。 - 【請求項６】 合金化溶融亜鉛めっき鋼板の合金めっき
相の厚さ測定装置において、 ζ相、δ1 相及びΓ相の３相よりなる合金めっき鋼板の
表面に、Ｘ線波長の異なる第１のＸ線と第２のＸ線をそ
れぞれ入射し、前記鋼板表面から出射される、第１の入
射Ｘ線に基づく第１のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度及
び前記３つの各相の回折Ｘ線の強度と、第２の入射Ｘ線
に基づく第２のＦｅ及びＺｎ両蛍光Ｘ線の強度とを、そ
れぞれ対応する受光検出器を介して共に測定する測定手
段と、 前記測定した第１及び第２の両蛍光Ｘ線の強度情報を用
いてそれぞれ合金めっき相内のＦｅ含有率と合金めっき
相全体の厚さＴとの関係を示す２つの解曲線を求め、次
に前記２つの解曲線の交点より前記厚さＴを求め、次に
前記Ｔと前記測定したΓ相の回折Ｘ線の強度情報とを用
いて前記３つの各相の線吸収係数を同一とみなしてΓ相
の厚さｔΓを求める演算式に基づき前記ｔΓを算出する
演算手段とを備えたことを特徴とする合金めっき相の厚
さ測定装置。 - 【請求項７】 前記Γ相の厚さｔΓを求める演算式とし
て下記の（１）式を用いて前記ｔΓを算出する演算手段
を備えたことを特徴とする請求項５又は請求項６記載の
合金めっき相の厚さ測定装置。 【数２】 なお（１）式において、Ｔは合金めっき相全体の厚さ、
μは合金めっき各相で同一とみなした線吸収係数、Ｉ0
は入射Ｘ線強度、ＫΓはＸ線装置、試料、Ｘ線波長、入
射角及び取出角、回折角、並びにΓ相の回折面等によっ
て決定する定数、ＩΓはΓ相の回折Ｘ線強度、γは１／
ｓｉｎφ3 ＋１／ｓｉｎΨ3 であり、且つ前記φ3 ，Ψ
3 はそれぞれΓ相の入射角、取出角であり、φ3 とΨ3
の和はΓ相の回折角に等しい。 - 【請求項８】 前記ζ相、δ1 相及びΓ相の各相の厚さ
測定装置として、 ζ相の厚さｔζは、ζ相の回折Ｘ線強度情報に基づき算
出し、 Γ相の厚さｔΓは、Γ相の回折Ｘ線強度情報及び合金め
っき相全体の厚さＴの情報に基づき算出し、 δ1 相の厚さｔδ1 は、前記Ｔから前記算出したｔζと
ｔΓとの和を減算して算出する演算手段を備えたことを
特徴とする請求項５、請求項６又は請求項７記載の合金
めっき相の厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4701594A JPH07260715A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 合金めっき相の厚さ測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4701594A JPH07260715A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 合金めっき相の厚さ測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260715A true JPH07260715A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=12763353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4701594A Pending JPH07260715A (ja) | 1994-03-17 | 1994-03-17 | 合金めっき相の厚さ測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07260715A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013161922A1 (ja) | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 新日鐵住金株式会社 | 合金化溶融亜鉛めっき鋼板のＦｅ－Ｚｎ合金相厚さの測定方法および測定装置 |
| WO2015059835A1 (ja) | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 新日鐵住金株式会社 | 合金化溶融亜鉛めっき鋼板のオンラインめっき密着性判定装置及び合金化溶融亜鉛めっき鋼板製造ライン |
-
1994
- 1994-03-17 JP JP4701594A patent/JPH07260715A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013161922A1 (ja) | 2012-04-25 | 2013-10-31 | 新日鐵住金株式会社 | 合金化溶融亜鉛めっき鋼板のＦｅ－Ｚｎ合金相厚さの測定方法および測定装置 |
| US9417197B2 (en) | 2012-04-25 | 2016-08-16 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Method of measuring thickness of Fe—Zn alloy phase of galvannealed steel sheet and apparatus for measuring the same |
| WO2015059835A1 (ja) | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 新日鐵住金株式会社 | 合金化溶融亜鉛めっき鋼板のオンラインめっき密着性判定装置及び合金化溶融亜鉛めっき鋼板製造ライン |
| US9927378B2 (en) | 2013-10-25 | 2018-03-27 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | On-line coating adhesion determination apparatus of galvannealed steel sheet, and galvannealed steel sheet manufacturing line |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4262734B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置および方法 | |
| KR900008955B1 (ko) | 합금피막의 피막두께 및 조성 측정방법 | |
| CA2009698C (en) | Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor | |
| JP2003506700A (ja) | 複層試料のｘ線蛍光分析 | |
| JPS58223047A (ja) | 螢光ｘ線分析方法 | |
| EP0348574B1 (en) | Method of simultaneously measuring thickness and composition of film and apparatus therefor | |
| JPH0660879B2 (ja) | 被膜の厚みと組成の同時分析法 | |
| JPH07260715A (ja) | 合金めっき相の厚さ測定方法及び装置 | |
| JP4302852B2 (ja) | 金属材表面酸化物の測定方法およびｘ線回折装置 | |
| JPH0619268B2 (ja) | 金属上塗膜の厚さ測定方法 | |
| JP2006313132A (ja) | 試料分析方法およびｘ線分析装置 | |
| JP6520865B2 (ja) | 亜鉛めっき鋼板の合金化度および／またはめっき付着量測定方法 | |
| JP2003107020A (ja) | 薄膜の蛍光ｘ線分析方法 | |
| WO2007034570A1 (ja) | 亜鉛系めっき鋼板のプレス成形性評価方法 | |
| JP2873125B2 (ja) | めっき付着量の測定方法および装置 | |
| JPH0576574B2 (ja) | ||
| JPS6014109A (ja) | めつき鋼板のめつき付着量測定装置 | |
| JPH04355313A (ja) | 金属上塗膜の厚さ測定方法 | |
| JPS6188128A (ja) | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 | |
| JPH06331576A (ja) | 鉄上の鉄亜鉛合金メッキ層の分析方法 | |
| KR20040056207A (ko) | ×선 회절을 이용한 합금화 용융 아연 도금 강판의합금화도 측정 방법 | |
| JPH0726921B2 (ja) | メツキ鋼板の表層皮膜の機器分析法 | |
| JPH056139B2 (ja) | ||
| JPS6367121B2 (ja) | ||
| JPH0435028B2 (ja) |