JP2003506700A - 複層試料のｘ線蛍光分析 - Google Patents
複層試料のｘ線蛍光分析Info
- Publication number
- JP2003506700A JP2003506700A JP2001515925A JP2001515925A JP2003506700A JP 2003506700 A JP2003506700 A JP 2003506700A JP 2001515925 A JP2001515925 A JP 2001515925A JP 2001515925 A JP2001515925 A JP 2001515925A JP 2003506700 A JP2003506700 A JP 2003506700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- ray
- layer
- intensity
- fluorescent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 48
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 238000005275 alloying Methods 0.000 claims description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 23
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 22
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 15
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 14
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 8
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 7
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 229910017488 Cu K Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910017541 Cu-K Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018666 Mn—K Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004993 emission spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000013068 control sample Substances 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 101100321669 Fagopyrum esculentum FA02 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000001636 atomic emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 238000012921 fluorescence analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011545 laboratory measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012067 mathematical method Methods 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 238000000399 optical microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
本発明は、電流をＸ線に変換することにより多色一次Ｘ線ビームをＸ線管中において発生させ、該ビームを試料に導き、検知装置を用いて元素固有の蛍光Ｘ線を選択的に検知し該蛍光Ｘ線の強度を測定することによる、複合物質からなる試料のＸ線蛍光分析による分析方法に関する。電流をＸ線管に流し、元素固有の蛍光Ｘ線の強度を測定した後、前の電流とは異なった値の電流を流しながら元素固有の蛍光Ｘ線の第二の強度を測定し、そして複合物質中に存在する化学元素の少くとも相対的な含有量を両方の強度値を用いて定量する。第一層の厚みを同時に測定することが可能である。
Description
【０００１】
本発明は、Ｘ線管中において電流をＸ線に変換することにより多色一次Ｘ線ビ
ームを発生させ、該ビームを試料に導き試料内で一次Ｘ線を化学元素固有の蛍光
Ｘ線に変換し、検知装置を用いて元素固有の蛍光Ｘ線を選択的に検知し、該蛍光
Ｘ線の強度を測定することによる、複合物質を含む試料のＸ線蛍光分析による分
析方法に関する。
ームを発生させ、該ビームを試料に導き試料内で一次Ｘ線を化学元素固有の蛍光
Ｘ線に変換し、検知装置を用いて元素固有の蛍光Ｘ線を選択的に検知し、該蛍光
Ｘ線の強度を測定することによる、複合物質を含む試料のＸ線蛍光分析による分
析方法に関する。
【０００２】
本出願の目的のためには、複合物質は、物質が金属である場合には合金のよう
な、異なった化学元素の混合物を含む物質である。
な、異なった化学元素の混合物を含む物質である。
【０００３】
上記のような方法は、ＵＳ第２，７１１，４８０号から公知である。この公知
の方法においては、下地材および下地材を被覆する薄層からなる金属シートの試
料は、Ｘ線蛍光分析を用いて分析される。金属シートを一次Ｘ線で照射する間に
、一次Ｘ線の一部は金属シート中に吸収され、金属シート中に含まれる化学元素
によって蛍光Ｘ線が再放出される。これらの蛍光Ｘ線の一部は選択的に検知され
る。薄層の厚さを測定するために、下地材中の化学元素から再放出された蛍光Ｘ
線は薄層を通過した後に選択的に検知される。蛍光Ｘ線は薄層中で部分的に吸収
される。薄層の厚さを測定するためには、測定された強度を、薄層が存在しない
金属シートについての対照試料を用いて測定した基準強度と比較する。
の方法においては、下地材および下地材を被覆する薄層からなる金属シートの試
料は、Ｘ線蛍光分析を用いて分析される。金属シートを一次Ｘ線で照射する間に
、一次Ｘ線の一部は金属シート中に吸収され、金属シート中に含まれる化学元素
によって蛍光Ｘ線が再放出される。これらの蛍光Ｘ線の一部は選択的に検知され
る。薄層の厚さを測定するために、下地材中の化学元素から再放出された蛍光Ｘ
線は薄層を通過した後に選択的に検知される。蛍光Ｘ線は薄層中で部分的に吸収
される。薄層の厚さを測定するためには、測定された強度を、薄層が存在しない
金属シートについての対照試料を用いて測定した基準強度と比較する。
【０００４】
本発明の目的は、複合物質を含む試料中の化学元素の少くとも相対含有量を測
定するためのＸ線蛍光分析の方法を提供することである。本特許出願の目的のた
めには、相対的含有量という用語は、重量パーセントで示した複合物質中の化学
元素の含有量のために用いられる。本発明の他の目的は、下地材を被覆する薄層
の厚さを測定するための公知の方法と容易に組み合せうるＸ線蛍光分析の方法を
提供することである。
定するためのＸ線蛍光分析の方法を提供することである。本特許出願の目的のた
めには、相対的含有量という用語は、重量パーセントで示した複合物質中の化学
元素の含有量のために用いられる。本発明の他の目的は、下地材を被覆する薄層
の厚さを測定するための公知の方法と容易に組み合せうるＸ線蛍光分析の方法を
提供することである。
【０００５】
本発明によれば、これらの目的の一つ以上は、本説明の第一パラグラフによる
方法によって達成され、ここでは、電流をＸ線管に流して、元素固有の蛍光Ｘ線
の強度を測定した後、前の電流とは異なる値をもつ電流を用いて一次Ｘ線の第二
ビームを発生させながら元素固有の蛍光Ｘ線の第二の強度を測定し、そして次に
複合物質中に存在する化学元素の少くとも相対的な含有量を両方の強度値を用い
て定量する。
方法によって達成され、ここでは、電流をＸ線管に流して、元素固有の蛍光Ｘ線
の強度を測定した後、前の電流とは異なる値をもつ電流を用いて一次Ｘ線の第二
ビームを発生させながら元素固有の蛍光Ｘ線の第二の強度を測定し、そして次に
複合物質中に存在する化学元素の少くとも相対的な含有量を両方の強度値を用い
て定量する。
【０００６】
本発明は、二つの異なった管電流を流す間にＸ線蛍光が検知される場合、計数
率の比が複合物質中の化学元素の相対的含有率（すなわち重量％）に応じて変化
するという発見に基く。それゆえ、測定される強度の比は複合物質中の化学元素
の相対的含有量の尺度となる。本分析法は強度の相対的測定からなるので、シー
トと検知装置の間に物質の吸収層が存在する場合のように、たとえ他の要因が強
度の絶対値に影響しても、化学元素の相対的含有量はなお測定可能である。
率の比が複合物質中の化学元素の相対的含有率（すなわち重量％）に応じて変化
するという発見に基く。それゆえ、測定される強度の比は複合物質中の化学元素
の相対的含有量の尺度となる。本分析法は強度の相対的測定からなるので、シー
トと検知装置の間に物質の吸収層が存在する場合のように、たとえ他の要因が強
度の絶対値に影響しても、化学元素の相対的含有量はなお測定可能である。
【０００７】
二つの異なった管電流の場合に検知されるＸ線蛍光の強度の比は、始めの多色
Ｘ線または再放出蛍光Ｘ線または双方の吸収特性が変化する結果、複合物質中の
化学元素の相対的含有量に応じて変化すると信じられている。相対的含有量は、
直接化学分析のような独立した方法を用いて化学元素の相対的含有量が確立され
ている対照試料を用いて定めた較正値と比較することにより、強度の測定値から
容易に定量することができる。
Ｘ線または再放出蛍光Ｘ線または双方の吸収特性が変化する結果、複合物質中の
化学元素の相対的含有量に応じて変化すると信じられている。相対的含有量は、
直接化学分析のような独立した方法を用いて化学元素の相対的含有量が確立され
ている対照試料を用いて定めた較正値と比較することにより、強度の測定値から
容易に定量することができる。
【０００８】
一次Ｘ線の第二ビームは第二のＸ線管を用いて発生させてもよい。しかしなが
ら、一次Ｘ線の第二ビームは一次Ｘ線の前のビームの場合と同一のＸ線管を用い
て発生させることが好ましい。これは本法の安価な態様である。その単一のＸ線
管は固定して設置されてもよい。これは試料に対するＸ線ビームの角度が可変で
ある測定器と比較して相対的に容易であるし、さらに角度が異なることによって
起る影響を考慮に入れる必要がなくなる。
ら、一次Ｘ線の第二ビームは一次Ｘ線の前のビームの場合と同一のＸ線管を用い
て発生させることが好ましい。これは本法の安価な態様である。その単一のＸ線
管は固定して設置されてもよい。これは試料に対するＸ線ビームの角度が可変で
ある測定器と比較して相対的に容易であるし、さらに角度が異なることによって
起る影響を考慮に入れる必要がなくなる。
【０００９】
本発明による分析法は、物質の第二層上の第一層の厚さを測定するための公知
の方法と容易に組み合せうる。この場合、測定される化学元素の相対的含有量は
好ましくは、第一層の厚みを測定するために少なくとも測定強度値の一つと比較
するための、基準Ｘ線蛍光強度を計算するために用いられる。これにより、第一
層を持たない対照試料の基準強度を別途測定する必要なしに、第一層の厚さをＸ
線蛍光分析により測定することが達成される。試料中に存在する化学元素の相対
的含有量が定量されさえすれば、較正値は用いた各Ｘ線管電流について蛍光Ｘ線
の基準強度を計算するのに必要な情報を含む。
の方法と容易に組み合せうる。この場合、測定される化学元素の相対的含有量は
好ましくは、第一層の厚みを測定するために少なくとも測定強度値の一つと比較
するための、基準Ｘ線蛍光強度を計算するために用いられる。これにより、第一
層を持たない対照試料の基準強度を別途測定する必要なしに、第一層の厚さをＸ
線蛍光分析により測定することが達成される。試料中に存在する化学元素の相対
的含有量が定量されさえすれば、較正値は用いた各Ｘ線管電流について蛍光Ｘ線
の基準強度を計算するのに必要な情報を含む。
【００１０】
第一層が一つ以上の副次層からなる場合、含まれる化学元素の濃度を測定すべ
き各層または各副次層について、各回異なった値の電流を流しながら選択的に検
知される蛍光Ｘ線強度の追加的測定を行うのが好ましい。こうして測定した強度
から、各副次層中の望まれる化学元素の各相対的含有量を抽出することが可能で
ある。
き各層または各副次層について、各回異なった値の電流を流しながら選択的に検
知される蛍光Ｘ線強度の追加的測定を行うのが好ましい。こうして測定した強度
から、各副次層中の望まれる化学元素の各相対的含有量を抽出することが可能で
ある。
【００１１】
好ましくは、複合物質として金属合金が選択され、金属合金はより好ましくは
アルミニウム合金であり、アルミニウム合金は好ましくはＣｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｆ
ｅのグループの化学合金元素を含む。これによりアルミニウム合金中にしばしば
用いられる合金元素の相対的含有量を、金属シート製造工場において応用可能な
速やかで安価な方法によって測定することが可能となる。Ｃｕはアルミニウムシ
ートのようなアルミニウム製品中に合金元素としてしばしば用いられる。Ｃｕは
拡散が速やかな元素であり、製造の各段階の間に製品中で再分布し得る。それ故
、Ｃｕ含有試料の非破壊分析法は非常に重要である。アルミニウムシート中のＣ
ｕの分析のために本発明による方法を用いる利点は、Ｃｕもまた適当なＸ線蛍光
放出元素であることである。本出願の目的のためには、アルミニウムシートはア
ルミニウム合金シートを包含するものとする。
アルミニウム合金であり、アルミニウム合金は好ましくはＣｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｆ
ｅのグループの化学合金元素を含む。これによりアルミニウム合金中にしばしば
用いられる合金元素の相対的含有量を、金属シート製造工場において応用可能な
速やかで安価な方法によって測定することが可能となる。Ｃｕはアルミニウムシ
ートのようなアルミニウム製品中に合金元素としてしばしば用いられる。Ｃｕは
拡散が速やかな元素であり、製造の各段階の間に製品中で再分布し得る。それ故
、Ｃｕ含有試料の非破壊分析法は非常に重要である。アルミニウムシート中のＣ
ｕの分析のために本発明による方法を用いる利点は、Ｃｕもまた適当なＸ線蛍光
放出元素であることである。本出願の目的のためには、アルミニウムシートはア
ルミニウム合金シートを包含するものとする。
【００１２】
本発明は次にアルミニウム合金中の合金元素の含有量の測定に適用した本発明
による方法の実施例を用いて、図を参照しながら説明するが、ここで 図１はアルミニウム中のＣｕについて実験的に求めた感度曲線の例を示す； 図２はアルミニウム中のＣｕの重量％の関数としての、二つの感度曲線の比の例
を示す； 図３はアルミニウム中のＭｎについて実験的に求めた感度曲線の例を示す； 図４は本発明の一つの態様による検知系構成の断面概要図を示す； 図５はＣｕ−Ｋα蛍光Ｘ線の強度因子とアルミニウムシート中の第一層の厚さと
の間の実験的関係を示す；そして 図６はＭｎ−Ｋα蛍光Ｘ線の強度因子とアルミニウムシート中の第一層の厚さと
の間の実験的関係を示す。
による方法の実施例を用いて、図を参照しながら説明するが、ここで 図１はアルミニウム中のＣｕについて実験的に求めた感度曲線の例を示す； 図２はアルミニウム中のＣｕの重量％の関数としての、二つの感度曲線の比の例
を示す； 図３はアルミニウム中のＭｎについて実験的に求めた感度曲線の例を示す； 図４は本発明の一つの態様による検知系構成の断面概要図を示す； 図５はＣｕ−Ｋα蛍光Ｘ線の強度因子とアルミニウムシート中の第一層の厚さと
の間の実験的関係を示す；そして 図６はＭｎ−Ｋα蛍光Ｘ線の強度因子とアルミニウムシート中の第一層の厚さと
の間の実験的関係を示す。
【００１３】
本発明による方法を実行するためにまず較正を行う。較正値は、各タイプの物
質およびＸ線管を含む各実験的検知系構成および検知効率ごとに、独自のものと
なるであろう。
質およびＸ線管を含む各実験的検知系構成および検知効率ごとに、独自のものと
なるであろう。
【００１４】
図１はアルミニウム中のＣｕについて実験的に求めた、％Ｃｕの関数としての
感度曲線を示す。感度曲線は蛍光Ｘ線検知感度と問題とする蛍光元素の重量分率
またはその元素の重量％あたりの計数率（カウント／ｓ／％）との間の関係に適
用される。感度曲線は各々のＣｕ重量分率が既知であるアルミニウムの較正試料
（複数）を用いて求めた。Ｘ線の一次ビームはＸ線管をある一定の管電流で操作
して発生させ、Ｃｕ固有のＫαＸ線を検知し、その計数率を測定した。図１から
わかるようにアルミニウム合金中のＣｕ％あたりの計数率は、Ｃｕの濃度がほぼ
０．２％を越えるとほぼ一定であり、Ｃｕの濃度が０．８％を越えるとより一定
にさえなる。しかしながら、非線型の範囲はＣｕ濃度がほぼ０．８％未満の時点
から始まる。％Ｃｕあたりの計数率は０．２％未満で急激に増加することが観察
される。図１中に描かれた線は 感度＝ａ＋ｂ／％ の形の式への適合線であり、式中ａおよびｂは適合化パラメーターであり、％は
蛍光放散元素の濃度を示す。
感度曲線を示す。感度曲線は蛍光Ｘ線検知感度と問題とする蛍光元素の重量分率
またはその元素の重量％あたりの計数率（カウント／ｓ／％）との間の関係に適
用される。感度曲線は各々のＣｕ重量分率が既知であるアルミニウムの較正試料
（複数）を用いて求めた。Ｘ線の一次ビームはＸ線管をある一定の管電流で操作
して発生させ、Ｃｕ固有のＫαＸ線を検知し、その計数率を測定した。図１から
わかるようにアルミニウム合金中のＣｕ％あたりの計数率は、Ｃｕの濃度がほぼ
０．２％を越えるとほぼ一定であり、Ｃｕの濃度が０．８％を越えるとより一定
にさえなる。しかしながら、非線型の範囲はＣｕ濃度がほぼ０．８％未満の時点
から始まる。％Ｃｕあたりの計数率は０．２％未満で急激に増加することが観察
される。図１中に描かれた線は 感度＝ａ＋ｂ／％ の形の式への適合線であり、式中ａおよびｂは適合化パラメーターであり、％は
蛍光放散元素の濃度を示す。
【００１５】
図１に示したような感度曲線はアルミニウム中のＣｕ含有量の測定に直接用い
てもよく、測定したＣｕ−ＫαＸ線蛍光の計数率をＣｕの％に変換することがで
きる。しかしながら、多くの場合未知量のＸ線蛍光吸収物質が、元素固有のＸ線
蛍光を発生する物質と元素固有のＸ線蛍光を検知する装置との間に存在する。こ
の場合、追加的な一つの未知数が存在するため，独立した測定がもう一つ必要と
なる。
てもよく、測定したＣｕ−ＫαＸ線蛍光の計数率をＣｕの％に変換することがで
きる。しかしながら、多くの場合未知量のＸ線蛍光吸収物質が、元素固有のＸ線
蛍光を発生する物質と元素固有のＸ線蛍光を検知する装置との間に存在する。こ
の場合、追加的な一つの未知数が存在するため，独立した測定がもう一つ必要と
なる。
【００１６】
このような独立した測定は、Ｘ線管を異なった管電流で操作しながら上記の手
順を繰り返すことによって提供される。二つの異なる管電流について測定された
感度の比は、アルミニウム層中のＣｕの重量％に応じて変化することが見出され
た。この一例が図２に示され、ここにはＸ線管を４．５ｍＡで操作しながら測定
したデータに適合させた感度曲線（感度＝ａ＋ｂ／％の式による）と、Ｘ線管を
３．５ｍＡで操作しながら得たデータに適合させた感度曲線との比が示される。
順を繰り返すことによって提供される。二つの異なる管電流について測定された
感度の比は、アルミニウム層中のＣｕの重量％に応じて変化することが見出され
た。この一例が図２に示され、ここにはＸ線管を４．５ｍＡで操作しながら測定
したデータに適合させた感度曲線（感度＝ａ＋ｂ／％の式による）と、Ｘ線管を
３．５ｍＡで操作しながら得たデータに適合させた感度曲線との比が示される。
【００１７】
図２に示される比は、アルミニウム合金中に存在するＣｕの含有量に応じて変
化する。それゆえ、Ｘ線管を操作する電流を変化させることにより、物質中に存
在するＸ線蛍光元素の量を定量するために必要な独立した測定値が提供される。
化する。それゆえ、Ｘ線管を操作する電流を変化させることにより、物質中に存
在するＸ線蛍光元素の量を定量するために必要な独立した測定値が提供される。
【００１８】
試料分析のための上記の方法はきわめて多種類の異なった物質および物質系に
適用することができる。しかしながら、この方法は金属シート製造工場において
特に有利であることが見出された。アルミニウム試料の場合、Ｍｎ，Ｆｅ，およ
びＺｎもまた上記の方法に適した化学元素である。図３はアルミニウム中のＭｎ
について得られた感度曲線を示す。
適用することができる。しかしながら、この方法は金属シート製造工場において
特に有利であることが見出された。アルミニウム試料の場合、Ｍｎ，Ｆｅ，およ
びＺｎもまた上記の方法に適した化学元素である。図３はアルミニウム中のＭｎ
について得られた感度曲線を示す。
【００１９】
金属シート製造工場においては、金属シート、特にアルミニウム合金製品、中
の合金元素の含有量に関する量的情報は、通常は成型工程の間に溶融金属、特に
溶融アルミニウム合金、の発光分光分析装置分析から得られるのみである。この
段階で得られる組成値は、例えば熱間圧延操作または焼鈍操作の間の、例えば異
なった合金層間の合金元素の相互拡散の結果、最終の金属シート製品については
妥当でないかも知れない。さらに、この分析法は相当労働集約的であり、少なく
とも数時間もの受け入れ難い長い所要時間を伴う。
の合金元素の含有量に関する量的情報は、通常は成型工程の間に溶融金属、特に
溶融アルミニウム合金、の発光分光分析装置分析から得られるのみである。この
段階で得られる組成値は、例えば熱間圧延操作または焼鈍操作の間の、例えば異
なった合金層間の合金元素の相互拡散の結果、最終の金属シート製品については
妥当でないかも知れない。さらに、この分析法は相当労働集約的であり、少なく
とも数時間もの受け入れ難い長い所要時間を伴う。
【００２０】
現在、アルミニウムシート材料からなる重要な製品はブレージングシートであ
る。ブレージングシートは通常自動車のラジエーター、エアコンの蒸発器、熱交
換器などに用いられる。ブレージングシートは、アルミニウム合金のコアを含む
複合物質であり、片面または両面の第一層が異なった合金、最も多くの場合異な
ったアルミニウム合金、の一層以上の副次層からなる。クラッド化の目的は、シ
ート製品の外層に、可ブレージング性、耐食性、耐摩食性、耐磨耗性のような特
性を付与しながら、一方コア合金は強度のような他の必要特性を維持することで
ある。
る。ブレージングシートは通常自動車のラジエーター、エアコンの蒸発器、熱交
換器などに用いられる。ブレージングシートは、アルミニウム合金のコアを含む
複合物質であり、片面または両面の第一層が異なった合金、最も多くの場合異な
ったアルミニウム合金、の一層以上の副次層からなる。クラッド化の目的は、シ
ート製品の外層に、可ブレージング性、耐食性、耐摩食性、耐磨耗性のような特
性を付与しながら、一方コア合金は強度のような他の必要特性を維持することで
ある。
【００２１】
ブレージングシート複合材は、クラッディング材のスラブをコア材のインゴッ
トに載せる熱間圧延によって製造することができる。この組合せ材に対し次に熱
間圧延法を実施する。最終製品中ではコアおよびクラッディングは、異なった量
の合金元素を含有しながら、主として同一金属からなるという事実のため強固に
結合する。通常コアおよびクラッディングはともに８０％を越えるアルミニウム
からなる。最終シートの仕様が通常硬質であるため、この製法はきわめて微妙で
あり、厳密な運転操作を必要とする。満たさねばならない仕様のうちには、クラ
ッディング厚さならびにブレージングシートの全厚さがある。
トに載せる熱間圧延によって製造することができる。この組合せ材に対し次に熱
間圧延法を実施する。最終製品中ではコアおよびクラッディングは、異なった量
の合金元素を含有しながら、主として同一金属からなるという事実のため強固に
結合する。通常コアおよびクラッディングはともに８０％を越えるアルミニウム
からなる。最終シートの仕様が通常硬質であるため、この製法はきわめて微妙で
あり、厳密な運転操作を必要とする。満たさねばならない仕様のうちには、クラ
ッディング厚さならびにブレージングシートの全厚さがある。
【００２２】
当分野において、ＸＲＦ放射を用いてシート物質の厚さまたは第二層上の第一
層の物質の厚さを測定するためには一般に二法がある：（ａ）それ自体が分析対
象である層の蛍光強度はその層の厚さにほぼ比例するというＵＳ第２，９２６，
２５７号に開示された方法、および（ｂ）下層または下地材の蛍光の、測定対象
の層またはシート中における減衰は厚さの尺度となるというＵＳ第２，７１１，
４８０号に開示された方法、である。本発明の一つの態様による方法は、測定さ
れた強度が処理および解釈される数学的手法に応じて両者に従うことが可能であ
る。
層の物質の厚さを測定するためには一般に二法がある：（ａ）それ自体が分析対
象である層の蛍光強度はその層の厚さにほぼ比例するというＵＳ第２，９２６，
２５７号に開示された方法、および（ｂ）下層または下地材の蛍光の、測定対象
の層またはシート中における減衰は厚さの尺度となるというＵＳ第２，７１１，
４８０号に開示された方法、である。本発明の一つの態様による方法は、測定さ
れた強度が処理および解釈される数学的手法に応じて両者に従うことが可能であ
る。
【００２３】
次に本発明の一つの態様による検知系構成の断面概要図を示す図４について述
べる。図４は、外部の試料裏面支持体（１）、一次Ｘ線（３）の一次ビームを発
生させ、この場合は金属シート（４）である試料に導く装置（２）、および当分
野においてＸＲＦ、またはＸ線誘導蛍光としても知られる元素固有の蛍光Ｘ線（
６１，６２）の検知および強度測定を行うための装置（５１，５２）を示す。金
属シートは断面として示され、シート内の層のいくつかを可視化するために、そ
の厚さは図中では非常に誇張されている。
べる。図４は、外部の試料裏面支持体（１）、一次Ｘ線（３）の一次ビームを発
生させ、この場合は金属シート（４）である試料に導く装置（２）、および当分
野においてＸＲＦ、またはＸ線誘導蛍光としても知られる元素固有の蛍光Ｘ線（
６１，６２）の検知および強度測定を行うための装置（５１，５２）を示す。金
属シートは断面として示され、シート内の層のいくつかを可視化するために、そ
の厚さは図中では非常に誇張されている。
【００２４】
一次Ｘ線ビームを導くための装置は、従来当分野において公知のＸ線源からな
ってよい。例えば、タングステンターゲットを含む３０ｋＶ Ｘ線管は、アルミ
ニウム中の大部分の合金元素中で蛍光Ｘ線を励起するのに適した、すぐれた多色
Ｘ線の発生源を提供することが見出された。検知装置はあらかじめ選ばれた元素
に特有な蛍光を選択的に受光するように配置される。元素Ｋのレベルの元素に特
有の蛍光は通常この目的に全く適当である。
ってよい。例えば、タングステンターゲットを含む３０ｋＶ Ｘ線管は、アルミ
ニウム中の大部分の合金元素中で蛍光Ｘ線を励起するのに適した、すぐれた多色
Ｘ線の発生源を提供することが見出された。検知装置はあらかじめ選ばれた元素
に特有な蛍光を選択的に受光するように配置される。元素Ｋのレベルの元素に特
有の蛍光は通常この目的に全く適当である。
【００２５】
蛍光Ｘ線を検知し、またその強度を測定するための装置は、当分野において一
般的に公知のものから選択してよい。それらはコリメーター、（ＬｉＦのような
）分光結晶、および比例計数装置からなるものでよい。密閉した比例計数管を含
む検知チャンネルが非常に好適であることが見出された。Ｘ線を導き検知する装
置は、Ｘ線窓（８）を備えた、（移動可能な）一体型設備（１１）に包含させる
ことができる。
般的に公知のものから選択してよい。それらはコリメーター、（ＬｉＦのような
）分光結晶、および比例計数装置からなるものでよい。密閉した比例計数管を含
む検知チャンネルが非常に好適であることが見出された。Ｘ線を導き検知する装
置は、Ｘ線窓（８）を備えた、（移動可能な）一体型設備（１１）に包含させる
ことができる。
【００２６】
物質中のＸ線の減衰は、特定の物質およびＸ線波長について公表されている減
衰および吸収係数によって数値化される。一般に、一定距離を伝播するＸ線の減
衰は、ランベルト−ベールの法則により示される。層を通って伝播する以前およ
び以後のＸＲＦ放射の強度比から層の厚さについての正確な値を求めるためには
、金属シートの正確な化学分析、および／または金属シートの吸収係数および密
度の正確な値が必要である。
衰および吸収係数によって数値化される。一般に、一定距離を伝播するＸ線の減
衰は、ランベルト−ベールの法則により示される。層を通って伝播する以前およ
び以後のＸＲＦ放射の強度比から層の厚さについての正確な値を求めるためには
、金属シートの正確な化学分析、および／または金属シートの吸収係数および密
度の正確な値が必要である。
【００２７】
さらに説明を進めるために、本発明による方法を適用して、方法（ｂ）を実施
すると仮定する。図４において、第二層、すなわちコア４２と、Ｘ線管２および
検出装置５２との間にはさまれた、第一層、すなわちクラッディング４１、の厚
さはすなわち第二層（４２）中に含まれる蛍光元素のＸ線蛍光放射（６２）のク
ラッディング４１内における減衰から求められる。
すると仮定する。図４において、第二層、すなわちコア４２と、Ｘ線管２および
検出装置５２との間にはさまれた、第一層、すなわちクラッディング４１、の厚
さはすなわち第二層（４２）中に含まれる蛍光元素のＸ線蛍光放射（６２）のク
ラッディング４１内における減衰から求められる。
【００２８】
アルミニウム合金の第一層中で、一定の厚さの間に吸収されるＸ線蛍光の分率
、すなわち強度比ＩＦ、を確立するために実験室測定を実施した。第二層（４２
）がＣｕ含有合金を含んでいる一連のアルミニウムブレージングシートについて
Ｃｕ−Ｋα蛍光測定を実施し、そしてＭｎ−Ｋα蛍光の強度比を第一層４１の厚
さの関数として測定した。第一層の厚さを、上記の金属組織学的／光学的方法を
用いて別途測定すると、０．０３８〜０．１３ｍｍの範囲であった。次に強度比
を測定した。各試験について強度比に対する第一層の厚さを図５に示したグラフ
にプロットした。図からわかるように、測定した厚さの範囲に対する強度比は２
．５から２７へ滑らかで単調な関数として変化した。図からわかるように、０．
０４０ｍｍの厚さは３．８のＩＦに対応し、一方０．１３０ｍｍの厚さは２７の
ＩＦに対応した。
、すなわち強度比ＩＦ、を確立するために実験室測定を実施した。第二層（４２
）がＣｕ含有合金を含んでいる一連のアルミニウムブレージングシートについて
Ｃｕ−Ｋα蛍光測定を実施し、そしてＭｎ−Ｋα蛍光の強度比を第一層４１の厚
さの関数として測定した。第一層の厚さを、上記の金属組織学的／光学的方法を
用いて別途測定すると、０．０３８〜０．１３ｍｍの範囲であった。次に強度比
を測定した。各試験について強度比に対する第一層の厚さを図５に示したグラフ
にプロットした。図からわかるように、測定した厚さの範囲に対する強度比は２
．５から２７へ滑らかで単調な関数として変化した。図からわかるように、０．
０４０ｍｍの厚さは３．８のＩＦに対応し、一方０．１３０ｍｍの厚さは２７の
ＩＦに対応した。
【００２９】
図６は、本発明による装置を用いて、一連のアルミニウムブレージングシート
について測定した第一層（４１）の厚さについての較正データの一例を示す。こ
の場合、Ｍｎ含有合金からなるコア（４２）を有するブレージングシートを用い
，そしてＭｎ−Ｋα蛍光の強度比を第一層４１の厚さの関数として測定した。０
．０２２ｍｍの厚さが４．０のＩＦに対応し、一方０．０５７ｍｍの厚さは１７
５のＩＦに対応し、この間では単調に変化する挙動が観察された。
について測定した第一層（４１）の厚さについての較正データの一例を示す。こ
の場合、Ｍｎ含有合金からなるコア（４２）を有するブレージングシートを用い
，そしてＭｎ−Ｋα蛍光の強度比を第一層４１の厚さの関数として測定した。０
．０２２ｍｍの厚さが４．０のＩＦに対応し、一方０．０５７ｍｍの厚さは１７
５のＩＦに対応し、この間では単調に変化する挙動が観察された。
【００３０】
図５および６中に描かれた線は
厚さ＝ａ・ｅｘｐ（ｂ／ＩＦ）
の形の式による最適線であり、式中ａおよびｂは実験的に求めたパラメーターで
ある。この形は図５および６からわかるように、実測データを十分よく記述する
。にもかかわらず、他の形の式が厚さとＩＦの間のこの関係を記述するのに有用
である可能性も除外はできない。例えば 厚さ＝ａ＋ｂ・ｌｎ（ＩＦ） の形の式もまた多くの場合に較正データのパラメーター化に有用であることが見
出されている。
ある。この形は図５および６からわかるように、実測データを十分よく記述する
。にもかかわらず、他の形の式が厚さとＩＦの間のこの関係を記述するのに有用
である可能性も除外はできない。例えば 厚さ＝ａ＋ｂ・ｌｎ（ＩＦ） の形の式もまた多くの場合に較正データのパラメーター化に有用であることが見
出されている。
【００３１】
第一層に、選ばれた元素固有の蛍光をもつ元素が含まれない場合、二つの未知
パラメーターが存在する：第二層中の蛍光元素の相対的含有量および第一層の厚
さである。測定される蛍光Ｘ線の強度は第二層から放出される蛍光の量に依存し
、これは明らかにその化学元素の相対的含有量ならびに強度因子に依存する。本
発明の方法によってこれらのパラメーターは異なった管電流値における二つの測
定から求めることができる、何故ならばそれらは独立した測定であり、二つの未
知数を持つ二つの式を導くからである。
パラメーターが存在する：第二層中の蛍光元素の相対的含有量および第一層の厚
さである。測定される蛍光Ｘ線の強度は第二層から放出される蛍光の量に依存し
、これは明らかにその化学元素の相対的含有量ならびに強度因子に依存する。本
発明の方法によってこれらのパラメーターは異なった管電流値における二つの測
定から求めることができる、何故ならばそれらは独立した測定であり、二つの未
知数を持つ二つの式を導くからである。
【００３２】
選ばれた元素固有の蛍光をもつ元素が一つ以上の層に含まれる場合、測定され
た蛍光強度比を解析するための数学式は、各々が三つの未知数、すなわち第一層
の厚さ、第一および第二層中の蛍光元素の量、を有する三つの独立式を含むであ
ろう。この場合には本法は、複合試料に含まれる蛍光元素の蛍光強度の三つの独
立した測定値を得るために、Ｘ線管に三つの異なる電流値、３．０，３．５，お
よび４．０ｍＡ、を流すことを含むであろう。他の値を用いてもよいことはいう
までもない。これらの測定の結果を用いて、三つの独立式を解くことが可能であ
り、第一層の厚さについての値、および第一および第二層中の蛍光元素の量が得
られる。独立した各測定に対して、一つの未知のパラメーターについての値、例
えばある層の厚さまたは蛍光元素の含有量、が得られる。
た蛍光強度比を解析するための数学式は、各々が三つの未知数、すなわち第一層
の厚さ、第一および第二層中の蛍光元素の量、を有する三つの独立式を含むであ
ろう。この場合には本法は、複合試料に含まれる蛍光元素の蛍光強度の三つの独
立した測定値を得るために、Ｘ線管に三つの異なる電流値、３．０，３．５，お
よび４．０ｍＡ、を流すことを含むであろう。他の値を用いてもよいことはいう
までもない。これらの測定の結果を用いて、三つの独立式を解くことが可能であ
り、第一層の厚さについての値、および第一および第二層中の蛍光元素の量が得
られる。独立した各測定に対して、一つの未知のパラメーターについての値、例
えばある層の厚さまたは蛍光元素の含有量、が得られる。
【００３３】
実施例として、図４中に示した一連の試料を実験室で試験した。各試料の第二
層（４２）はＣｕを含むアルミニウム合金であり、アルミニウムの第一層もまた
少量のＣｕを含んだ。当然ながら、両層中のＣｕはＸ線蛍光を放出する。次表参
照。
層（４２）はＣｕを含むアルミニウム合金であり、アルミニウムの第一層もまた
少量のＣｕを含んだ。当然ながら、両層中のＣｕはＸ線蛍光を放出する。次表参
照。
【００３４】
【表１】
【００３５】
表中、Ａ列は試料識別番号を示す；Ｂ列は成型工程中に溶融金属の発光分光分
析装置分析を用いて測定したアルミニウム第二層中のＣｕの相対的含有量（重量
％）；Ｃ列はＸ線管を３．５ｍＡで操作した場合の計数率測定値（カウント／秒
）を示す；Ｄ列はＸ線管を４．５ｍＡで操作した場合の計数率測定値（カウント
／秒）を示す；Ｅ列は断面の光学顕微鏡観察により測定した第一層の厚さ（ｍｍ
）を示す；Ｆ列は本発明の方法により測定した第一層の厚さ（ｍｍ）を示す；Ｇ
列は成型工程中に溶融金属の発光分光分析装置分析を用いて測定したアルミニウ
ム第一層中のＣｕの相対的含有量（重量％）を示す；そしてＨ列は本発明の方法
により測定したアルミニウム第一層中のＣｕの相対的含有量（重量％）を示す。
析装置分析を用いて測定したアルミニウム第二層中のＣｕの相対的含有量（重量
％）；Ｃ列はＸ線管を３．５ｍＡで操作した場合の計数率測定値（カウント／秒
）を示す；Ｄ列はＸ線管を４．５ｍＡで操作した場合の計数率測定値（カウント
／秒）を示す；Ｅ列は断面の光学顕微鏡観察により測定した第一層の厚さ（ｍｍ
）を示す；Ｆ列は本発明の方法により測定した第一層の厚さ（ｍｍ）を示す；Ｇ
列は成型工程中に溶融金属の発光分光分析装置分析を用いて測定したアルミニウ
ム第一層中のＣｕの相対的含有量（重量％）を示す；そしてＨ列は本発明の方法
により測定したアルミニウム第一層中のＣｕの相対的含有量（重量％）を示す。
【００３６】
この実施例については、第一層の厚さおよび第一層中の蛍光元素の相対的含有
量をいかにして測定するかを例示するために本発明による方法を用いた。結果は
、成型工程中に溶融金属の発光分光分析装置分析を用いて測定した第一層中のＣ
ｕの相対的含有量、および断面の光学顕微鏡観察により測定した第一層の厚さと
比較した。
量をいかにして測定するかを例示するために本発明による方法を用いた。結果は
、成型工程中に溶融金属の発光分光分析装置分析を用いて測定した第一層中のＣ
ｕの相対的含有量、および断面の光学顕微鏡観察により測定した第一層の厚さと
比較した。
【００３７】
試料のＸ線蛍光の強度は実験室において図４に示した構成を用いて測定し、Ｃ
列はＸ線管を３．５ｍＡで操作した場合の対応する計数率を示し、Ｄ列はＸ線管
を４．５ｍＡで操作した場合の対応する計数率を示した。
列はＸ線管を３．５ｍＡで操作した場合の対応する計数率を示し、Ｄ列はＸ線管
を４．５ｍＡで操作した場合の対応する計数率を示した。
【００３８】
計数率の結果および較正データから、各試料について二つの未知パラメーター
（第二層中のＣｕの相対的含有量は既知量とみなした）をもつ二つの独立した式
が得られた。式を解いた後、得られたパラメーターはＦおよびＨ列に示した。表
からわかるように、本発明による方法を用いて厚さは約０．００５ｍｍの精度で
測定された。
（第二層中のＣｕの相対的含有量は既知量とみなした）をもつ二つの独立した式
が得られた。式を解いた後、得られたパラメーターはＦおよびＨ列に示した。表
からわかるように、本発明による方法を用いて厚さは約０．００５ｍｍの精度で
測定された。
【００３９】
圧延された金属シートの第一層中のＣｕの相対的含有量は、溶融金属の発光分
光分析装置測定から相当強く偏ることが見出され、ある場合には比が最大２倍ま
でに達した。この相対的に高い偏りはおそらくクラッド中のＣｕの量は第二層中
のＣｕの量と比較して相当低いという事実が、Ｃｕは圧延工程の間に層間に再配
分される可能性があるという事実とおそらく組み合わされたためであろう。これ
は本発明による方法の重要性を示す。
光分析装置測定から相当強く偏ることが見出され、ある場合には比が最大２倍ま
でに達した。この相対的に高い偏りはおそらくクラッド中のＣｕの量は第二層中
のＣｕの量と比較して相当低いという事実が、Ｃｕは圧延工程の間に層間に再配
分される可能性があるという事実とおそらく組み合わされたためであろう。これ
は本発明による方法の重要性を示す。
【００４０】
本発明による方法は幾つかの副次層の組成の測定にも用いることができる。こ
のためには操作者は、たとえばすべての副次層中の蛍光元素の相対的含有量に応
じて、第一層中の各副次層について適切な蛍光元素を選定することになろう。次
に各副次層からの蛍光の強度を測定した後、較正曲線を用いてその層より上の副
次層の厚さを求めることができる。異なった電流値をＸ線管に流して、各層の組
成および厚さの測定のために十分な数の式を得ることができる。
のためには操作者は、たとえばすべての副次層中の蛍光元素の相対的含有量に応
じて、第一層中の各副次層について適切な蛍光元素を選定することになろう。次
に各副次層からの蛍光の強度を測定した後、較正曲線を用いてその層より上の副
次層の厚さを求めることができる。異なった電流値をＸ線管に流して、各層の組
成および厚さの測定のために十分な数の式を得ることができる。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１３年６月１６日（２００１．６．１６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，
ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ
Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ
，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，
ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ
Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ
，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，
ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，
ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ
Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ
，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，
ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，Ｋ
Ｒ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ
，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，
ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，Ｓ
Ｉ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ
，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ
Ｆターム(参考） 2F067 AA27 BB16 DD05 DD06 GG01
HH04 HH12 JJ03 KK01
2G001 AA01 BA04 CA01 DA06 FA02
GA01 KA02 KA11 MA06 NA10
NA13 NA17
Claims (5)
- 【請求項１】 電流をＸ線管に流し、元素固有の蛍光Ｘ線の強度を測定した
後、前の電流とは異なる値をもつ電流を用いて一次Ｘ線の第二ビームを発生させ
ながら元素固有の蛍光Ｘ線の第二の強度を測定し、次に両方の強度値を用いて複
合物質中に存在する化学元素の少くとも相対的な含有量を定量することを特徴と
する、電流をＸ線に変換することにより多色一次Ｘ線のビームをＸ線管中におい
て発生させ、該ビームを試料に導き、試料内で一次Ｘ線を化学元素固有の蛍光Ｘ
線に変換させ、その元素固有の蛍光Ｘ線を検知装置を用いて選択的に検知し、該
蛍光Ｘ線の強度を測定することによる、複合物質からなる試料のＸ線蛍光分析に
よる分析法。 - 【請求項２】 一次Ｘ線の第二ビームを、一次Ｘ線の前のビームの場合と同
一のＸ線管を用いて発生させることを特徴とする、請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 試料が物質の第二層上に第一層を含み、測定される化学元素
の相対的含有量が、第一層の厚み測定のために少なくとも強度測定値の一つと比
較するための基準Ｘ線蛍光強度を計算するために用いられることを特徴とする、
請求項１または２記載の方法。 - 【請求項４】 第一層が一つ以上の副次層からなり、含まれる化学元素の濃
度を測定すべき各層または各副次層について、各回異なった値の電流を流してい
る間選択的に検知される蛍光Ｘ線の追加的強度の測定を行うことを特徴とする、
請求項３記載の方法。 - 【請求項５】 複合物質として金属合金が選択され、金属合金は好ましくは
アルミニウム合金であり、アルミニウム合金は好ましくはＣｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｆ
ｅのグループの化学合金元素を含むことを特徴とする、先行請求項のいずれか一
項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP99202608.8 | 1999-08-10 | ||
| EP99202608A EP1076222A1 (en) | 1999-08-10 | 1999-08-10 | X-ray fluorescence measurement of aluminium sheet thickness |
| PCT/EP2000/007817 WO2001011315A1 (en) | 1999-08-10 | 2000-08-10 | X-ray fluorescence analysis of multilayered samples |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003506700A true JP2003506700A (ja) | 2003-02-18 |
Family
ID=8240533
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001515925A Pending JP2003506700A (ja) | 1999-08-10 | 2000-08-10 | 複層試料のｘ線蛍光分析 |
| JP2001515926A Pending JP2003506701A (ja) | 1999-08-10 | 2000-08-10 | 金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001515926A Pending JP2003506701A (ja) | 1999-08-10 | 2000-08-10 | 金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6512810B1 (ja) |
| EP (3) | EP1076222A1 (ja) |
| JP (2) | JP2003506700A (ja) |
| AT (2) | ATE243840T1 (ja) |
| AU (2) | AU6281800A (ja) |
| CA (2) | CA2381398C (ja) |
| DE (2) | DE60003695T2 (ja) |
| ES (1) | ES2200907T3 (ja) |
| WO (2) | WO2001011316A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003506701A (ja) * | 1999-08-10 | 2003-02-18 | コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー | 金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3811089B2 (ja) * | 2002-04-15 | 2006-08-16 | 株式会社東芝 | 摩耗量測定方法 |
| DE10307356A1 (de) * | 2003-02-21 | 2004-09-16 | Sikora Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Dicke der Isolation eines Flachkabels in Bereichen der metallischen Leiterbahnen |
| WO2004089056A2 (en) * | 2003-04-01 | 2004-10-21 | Keymaster Technologies, Inc. | Exempt source for an x-ray fluorescence device |
| US7203276B2 (en) | 2004-08-27 | 2007-04-10 | University Of New Brunswick | X-ray scatter image reconstruction by balancing of discrepancies between detector responses, and apparatus therefor |
| DE102005048644A1 (de) * | 2005-05-03 | 2006-11-16 | Mahlo Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Bestimmung eines Flächengewichtes und/oder einer chemischen Zusammensetzung einer geförderten Materialprobe |
| JP2008210783A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電池とその負極の製造方法、負極の製造装置 |
| JP2008210784A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非水電解質二次電池とその負極の検査方法、製造方法、負極の検査装置、製造装置 |
| JP5266662B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2013-08-21 | 横河電機株式会社 | シート物理量測定装置 |
| EP3333280A1 (en) * | 2007-09-12 | 2018-06-13 | Flisom AG | Method for manufacturing a compound film with compositional grading |
| CN101226921B (zh) * | 2008-02-15 | 2010-12-01 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 可检测接点厚度的基板及其检测方法 |
| WO2010036906A1 (en) * | 2008-09-26 | 2010-04-01 | Andrew Hession-Kunz | Handheld spectrometer |
| DE102009057119A1 (de) | 2009-12-08 | 2011-06-09 | Titech Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Abtrennung von schweren, mit unerwünschten Zusammensetzungen anfallenden Brocken |
| CN103884727B (zh) * | 2012-12-20 | 2016-06-22 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 一种检测掺磷二氧化硅中磷浓度的方法 |
| US10203202B2 (en) * | 2014-04-07 | 2019-02-12 | John Weber Schultz | Non-contact determination of coating thickness |
| WO2015200112A1 (en) | 2014-06-24 | 2015-12-30 | Revera, Incorporated | Feed-forward of multi-layer and multi-process information using xps and xrf technologies |
| US10012603B2 (en) * | 2014-06-25 | 2018-07-03 | Sciaps, Inc. | Combined handheld XRF and OES systems and methods |
| US9851313B2 (en) * | 2015-03-03 | 2017-12-26 | Panalytical B.V. | Quantitative X-ray analysis—ratio correction |
| US11169100B2 (en) | 2018-04-02 | 2021-11-09 | Sciaps, Inc. | Portable, hand held aluminum alloy XRF analyzer and method |
| WO2019218051A1 (en) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | Enersoft Inc. | Systems, devices, and methods for analysis of geological samples |
| WO2021118966A1 (en) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | Schlumberger Technology Corporation | Measurement of thickness of scale or corrosion |
| CN111024009B (zh) * | 2019-12-31 | 2022-06-07 | 北京君融创新科技有限公司 | 一种测量云母片厚度的系统及方法 |
Family Cites Families (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2711480A (en) * | 1948-06-29 | 1955-06-21 | Friedman Herbert | Method of measuring thickness of thin layers |
| US2926257A (en) * | 1955-05-16 | 1960-02-23 | Friedman Herbert | Method of measuring the thickness of thin coatings |
| US3919548A (en) * | 1974-07-24 | 1975-11-11 | David E Porter | X-Ray energy spectrometer system |
| JPS585364B2 (ja) * | 1976-05-18 | 1983-01-31 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 放射線厚み測定装置 |
| FI68321C (fi) * | 1982-12-01 | 1985-08-12 | Valtion Teknillinen | Foerfarande foer att medelst straolning utsaend av ett roentgenroer utan att foerstoera provet maeta foerdelningen av fyll- och/eller belaeggningsmedel i tjockleksriktningen av papper kartong eller liknande och halten av dessa medel anordningar foer tillaempande av foerfarandet samt anvaendningar av foerfarandet och anordningarna |
| JPS59105547A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-18 | Kawasaki Steel Corp | 螢光ｘ線分光装置 |
| JPH0660879B2 (ja) * | 1984-05-10 | 1994-08-10 | 理学電機工業株式会社 | 被膜の厚みと組成の同時分析法 |
| DE3583436D1 (de) * | 1984-10-05 | 1991-08-14 | Kawasaki Steel Co | Verfahren zur bestimmung der dicke und der zusammensetzung eines legierungsfilms. |
| JPS61195335A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-29 | Shimadzu Corp | 薄層の定量分析方法 |
| JPS61250509A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-07 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 高分子膜上の磁性体膜厚測定方法 |
| JPS62137552A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 合金メツキ付着量計 |
| JPS6453144A (en) * | 1987-08-24 | 1989-03-01 | Oki Electric Ind Co Ltd | Method for evaluating thin film by fluorescent x-ray analysis |
| GB8811459D0 (en) * | 1988-05-13 | 1988-06-15 | Dmc Boyle Ltd | Method & apparatus for measuring thickness of coating on substrate |
| US5081658A (en) * | 1989-03-30 | 1992-01-14 | Nkk Corporation | Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor |
| JP2926857B2 (ja) * | 1990-03-31 | 1999-07-28 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線による定性分析装置 |
| JPH04118510A (ja) * | 1990-09-07 | 1992-04-20 | Seiko Instr Inc | ケイ光ｘ線膜厚計 |
| JP2955025B2 (ja) * | 1990-12-25 | 1999-10-04 | 富士通株式会社 | 多層膜の膜厚測定方法 |
| GB9113990D0 (en) * | 1991-06-28 | 1991-08-14 | Data Measurement Corp | Means of calibrating x-ray gauging systems |
| GB2260403B (en) * | 1991-09-19 | 1995-10-11 | Rigaku Ind Corp | Method of and apparatus for the quantitative measurement of paint coating |
| JP2706601B2 (ja) * | 1991-10-18 | 1998-01-28 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
| JPH05240808A (ja) * | 1992-02-29 | 1993-09-21 | Horiba Ltd | 蛍光ｘ線定量方法 |
| GB9223592D0 (en) * | 1992-11-11 | 1992-12-23 | Fisons Plc | X-ray analysis apparatus |
| US5325416A (en) * | 1993-10-25 | 1994-06-28 | Nisshin Steel Co., Ltd. | Method for measuring Fe coating weight of Fe-coated stainless steel sheet |
| JPH10221047A (ja) * | 1997-02-03 | 1998-08-21 | Jeol Ltd | 蛍光ｘ線膜厚分析装置及び方法 |
| DE19710420C2 (de) * | 1997-03-13 | 2001-07-12 | Helmut Fischer Gmbh & Co | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicken dünner Schichten mittels Röntgenfluoreszenz |
| JPH1114336A (ja) * | 1997-06-18 | 1999-01-22 | Futec Inc | 厚さ及び厚さ換算単重測定方法 |
| JP3820049B2 (ja) * | 1998-07-16 | 2006-09-13 | パナリティカル ビー ヴィ | 薄膜の蛍光ｘ線分析方法及び装置 |
| EP1076222A1 (en) * | 1999-08-10 | 2001-02-14 | Corus Aluminium Walzprodukte GmbH | X-ray fluorescence measurement of aluminium sheet thickness |
| US6381303B1 (en) * | 1999-09-29 | 2002-04-30 | Jordan Valley Applied Radiation Ltd. | X-ray microanalyzer for thin films |
-
1999
- 1999-08-10 EP EP99202608A patent/EP1076222A1/en not_active Withdrawn
-
2000
- 2000-08-08 US US09/635,003 patent/US6512810B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-10 AT AT00951504T patent/ATE243840T1/de active
- 2000-08-10 AT AT00949483T patent/ATE244396T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-08-10 JP JP2001515925A patent/JP2003506700A/ja active Pending
- 2000-08-10 DE DE60003695T patent/DE60003695T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-10 AU AU62818/00A patent/AU6281800A/en not_active Abandoned
- 2000-08-10 EP EP00949483A patent/EP1206679B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-10 EP EP00951504A patent/EP1208353B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-10 US US09/635,686 patent/US6631177B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-10 CA CA002381398A patent/CA2381398C/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-10 WO PCT/EP2000/007898 patent/WO2001011316A1/en active IP Right Grant
- 2000-08-10 ES ES00951504T patent/ES2200907T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2000-08-10 JP JP2001515926A patent/JP2003506701A/ja active Pending
- 2000-08-10 AU AU64416/00A patent/AU6441600A/en not_active Abandoned
- 2000-08-10 CA CA002393885A patent/CA2393885C/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-08-10 WO PCT/EP2000/007817 patent/WO2001011315A1/en active IP Right Grant
- 2000-08-10 DE DE60003566T patent/DE60003566T2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003506701A (ja) * | 1999-08-10 | 2003-02-18 | コラス・アルミニウム・バルツプロドウクテ・ゲーエムベーハー | 金属シートの厚み測定用のｘ線蛍光センサー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1206679B1 (en) | 2003-07-02 |
| ES2200907T3 (es) | 2004-03-16 |
| DE60003566T2 (de) | 2004-05-13 |
| US6631177B1 (en) | 2003-10-07 |
| CA2393885A1 (en) | 2001-02-15 |
| US6512810B1 (en) | 2003-01-28 |
| EP1206679A1 (en) | 2002-05-22 |
| WO2001011316A1 (en) | 2001-02-15 |
| DE60003695T2 (de) | 2004-06-03 |
| CA2381398C (en) | 2006-01-24 |
| AU6281800A (en) | 2001-03-05 |
| DE60003566D1 (de) | 2003-07-31 |
| DE60003695D1 (de) | 2003-08-07 |
| EP1076222A1 (en) | 2001-02-14 |
| WO2001011315A1 (en) | 2001-02-15 |
| EP1208353B1 (en) | 2003-06-25 |
| ATE244396T1 (de) | 2003-07-15 |
| CA2381398A1 (en) | 2001-02-15 |
| JP2003506701A (ja) | 2003-02-18 |
| CA2393885C (en) | 2006-01-31 |
| EP1208353A1 (en) | 2002-05-29 |
| ATE243840T1 (de) | 2003-07-15 |
| AU6441600A (en) | 2001-03-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003506700A (ja) | 複層試料のｘ線蛍光分析 | |
| Cumpson | The Thickogram: a method for easy film thickness measurement in XPS | |
| US20070058776A1 (en) | X-ray fluorescence spectrometer | |
| WO1986002164A1 (en) | Method of determining thickness and composition of alloy film | |
| US20030118148A1 (en) | X-ray fluorescense spectrometer | |
| Queralt et al. | Thickness measurement of semiconductor thin films by energy dispersive X-ray fluorescence benchtop instrumentation: Application to GaN epilayers grown by molecular beam epitaxy | |
| Cazaux | Minimum detectable dimension, resolving power and quantification of scanning Auger microscopy at high lateral resolution | |
| CN110132188B (zh) | 一种基于多元素x射线特征光谱综合分析的涂渗层厚度计算方法 | |
| CN113748333B (zh) | 荧光x射线分析装置 | |
| US20070212787A1 (en) | Method of quantitatively measuring trace amounts of metals in polymer samples | |
| JP2006313132A (ja) | 試料分析方法およびｘ線分析装置 | |
| JP3729186B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| EP1521947B1 (en) | Scatter spectra method for x-ray fluorescent analysis with optical components | |
| JPH0619268B2 (ja) | 金属上塗膜の厚さ測定方法 | |
| JP3569734B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP4834613B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置およびその方法 | |
| JPH1038821A (ja) | 薄膜積層体検査方法 | |
| Kataoka et al. | XRF analysis of Zn–Fe alloy coatings by using measurements at two take‐off angles | |
| US5173929A (en) | Method for determining the thickness of a metallic coating on a gas turbine blade | |
| JPH07260715A (ja) | 合金めっき相の厚さ測定方法及び装置 | |
| JP3369918B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JP2563016B2 (ja) | 有効波長を用いた蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JP2001281176A (ja) | 鉄鋼中炭素の高精度分析方法 | |
| JP2001356103A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH04355313A (ja) | 金属上塗膜の厚さ測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050411 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050601 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060814 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080912 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080922 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081015 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081022 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081117 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081125 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081127 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090515 |