JPS585364B2 - 放射線厚み測定装置 - Google Patents
放射線厚み測定装置Info
- Publication number
- JPS585364B2 JPS585364B2 JP51057007A JP5700776A JPS585364B2 JP S585364 B2 JPS585364 B2 JP S585364B2 JP 51057007 A JP51057007 A JP 51057007A JP 5700776 A JP5700776 A JP 5700776A JP S585364 B2 JPS585364 B2 JP S585364B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- rays
- thickness
- plate
- target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、放射線を板厚み測定物に照射し、その吸収量
により厚みを測定する装置において、ターゲツト板の付
加により線源と検出器の位置関係を改良した装置に関す
るものである。
により厚みを測定する装置において、ターゲツト板の付
加により線源と検出器の位置関係を改良した装置に関す
るものである。
さらに詳しくは、たとえばX線・γ線等の放射線を被測
定物を介して透過させてターゲットと呼ばれるケイ光X
線発生用物質に照射し、この物質から発生する特定の波
長の螢光X線を板厚み測定物質を透過させたのち放射線
検出器で検出し、カウントし、透過の際の吸収の量に基
づいて前記板厚み測定物質の厚みを算出する放射線厚み
測定装置に関するものである。
定物を介して透過させてターゲットと呼ばれるケイ光X
線発生用物質に照射し、この物質から発生する特定の波
長の螢光X線を板厚み測定物質を透過させたのち放射線
検出器で検出し、カウントし、透過の際の吸収の量に基
づいて前記板厚み測定物質の厚みを算出する放射線厚み
測定装置に関するものである。
従来、放射線を用いて紙・高分子フィルム・アルミバク
・ナマリハク等の被測定物に放射線を照射し、透過して
被測定物の厚みを測定する場合、第1図に示す様な構造
の放射線厚み測定装置が知られている。
・ナマリハク等の被測定物に放射線を照射し、透過して
被測定物の厚みを測定する場合、第1図に示す様な構造
の放射線厚み測定装置が知られている。
この第1図に示される放射線厚み測定装置は、ケイ光X
線源または低エネルギX線源1と、この線源1より発生
するケイ光X線が板厚み測定物質2を介して透過後の強
度を測定する検出器3と、この検出器3からの計数率を
前記板厚み測定物質、2の厚みを算出するための計数回
路4から成っている。
線源または低エネルギX線源1と、この線源1より発生
するケイ光X線が板厚み測定物質2を介して透過後の強
度を測定する検出器3と、この検出器3からの計数率を
前記板厚み測定物質、2の厚みを算出するための計数回
路4から成っている。
前記線源1のうち、ケイ光X線源は、第2図のようにア
イソトープ12およびターゲットメタル13から成る。
イソトープ12およびターゲットメタル13から成る。
そして、前記アイソトープ12より発生する放射線は前
記ターゲットメタル13に照射され、このターゲットメ
タル13からは、ターゲットメタルの種類たとえば鉄の
場合、鉄特有のケイ光X線を発生し、そして、そのケイ
光X線は、ケイ光X線発生器1の開口部14より発生さ
せる。
記ターゲットメタル13に照射され、このターゲットメ
タル13からは、ターゲットメタルの種類たとえば鉄の
場合、鉄特有のケイ光X線を発生し、そして、そのケイ
光X線は、ケイ光X線発生器1の開口部14より発生さ
せる。
しかし、この様な構成から成る従来の放射線厚み測定装
置は、どうしてもこの装置のフレームを第3図に示すよ
うに0字型か図示しないC型に形成し、その0字内ある
いは6字の側内に相対応させて螢光X線発生器1および
検出器3を配置しなければならない。
置は、どうしてもこの装置のフレームを第3図に示すよ
うに0字型か図示しないC型に形成し、その0字内ある
いは6字の側内に相対応させて螢光X線発生器1および
検出器3を配置しなければならない。
この場合、前記螢光X線発生器1および検出器3は、矢
印AB力方向常に対向して、フレーム内部に装備された
駆動装置(たとえば同期プーリ装置)によって駆動され
、板厚み測定物質2を走査する。
印AB力方向常に対向して、フレーム内部に装備された
駆動装置(たとえば同期プーリ装置)によって駆動され
、板厚み測定物質2を走査する。
そして、これにより、前記線源1より発生する放射線は
順次板厚み測定物質2を介して検出器3に照射され、板
厚み測定物質2の厚みを測定することができる。
順次板厚み測定物質2を介して検出器3に照射され、板
厚み測定物質2の厚みを測定することができる。
この様なO字型フレームもしくはC字型フレームである
と、フレームがきわめて大型化してしまいコストアップ
になり、また、取り付は場所に大きな制約があるばかり
か、フレームに高い精度が要求され製造・運搬・取付・
保守に問題が多い。
と、フレームがきわめて大型化してしまいコストアップ
になり、また、取り付は場所に大きな制約があるばかり
か、フレームに高い精度が要求され製造・運搬・取付・
保守に問題が多い。
また、紙や高分子フィルム等のように、吸収係数が低く
、しかも薄い測定対象では、X線では減衰が少く充分な
精度が出ない。
、しかも薄い測定対象では、X線では減衰が少く充分な
精度が出ない。
さらに従来、単に1種類の検量線だけでは、板厚み測定
物質の厚みあるいは材料等によっては検量線の極端に傾
きの小さい区間も使用しなければならなくなり、この結
果、板厚み測定物の厚さの変化に対するケイ光X線の検
出強度がごく僅かであり、測定精度が悪くなる。
物質の厚みあるいは材料等によっては検量線の極端に傾
きの小さい区間も使用しなければならなくなり、この結
果、板厚み測定物の厚さの変化に対するケイ光X線の検
出強度がごく僅かであり、測定精度が悪くなる。
この解決策としてラジオアイソトープの線源を何種類か
用意する方法では、半減期の長く、しかもエネルギの適
当な線源が少ないこと、複数の線源をもつことは安全・
管理上から好ましくない。
用意する方法では、半減期の長く、しかもエネルギの適
当な線源が少ないこと、複数の線源をもつことは安全・
管理上から好ましくない。
ターゲットのアッセンブリを線源とすれば、最適エネル
ギは得られるが強度が得られにくく、また、線源を増す
ことは安全管理上好ましくない。
ギは得られるが強度が得られにくく、また、線源を増す
ことは安全管理上好ましくない。
本発明は以上従来の種々の欠点を解消するために発明さ
れたものであり、構造が簡単であり、長いライフで流さ
れている帯状の物体の厚みを測定するのに適する放射線
厚み測定装置を得ることを目的とする。
れたものであり、構造が簡単であり、長いライフで流さ
れている帯状の物体の厚みを測定するのに適する放射線
厚み測定装置を得ることを目的とする。
以下本発明を第4図に示す一実施例を基にして説明する
。
。
第4図は、本発明放射線測定装置の概略図を示し、ラジ
オアイソトープ5(γ線またはX線源)またはX線管を
用いた線源と、ケイ光X線を検出してその強度を測定す
るための検出器6と、これらの線源5および検出器6を
収納するためのケース体1と、板厚み測定物質2を境と
して前記ケース体Iと反対側に配置されるターゲツト板
8とから構成されている。
オアイソトープ5(γ線またはX線源)またはX線管を
用いた線源と、ケイ光X線を検出してその強度を測定す
るための検出器6と、これらの線源5および検出器6を
収納するためのケース体1と、板厚み測定物質2を境と
して前記ケース体Iと反対側に配置されるターゲツト板
8とから構成されている。
この実施例の放射線測定装置は、次の様にして板厚み測
定物質の厚みを測定する。
定物質の厚みを測定する。
まず、X線またはγ線が線源5から前記板厚み測定物質
2を介して透過して前記ターゲツト板8に照射する。
2を介して透過して前記ターゲツト板8に照射する。
これにより、前記ターゲツト板8にターゲツト板8の材
質特有のエネルギのケイ光X線を発生させる。
質特有のエネルギのケイ光X線を発生させる。
このターゲツト板8より発生するケイ光X線は、前記板
厚み測定物質2を介し透過して前記検出器6を照射する
。
厚み測定物質2を介し透過して前記検出器6を照射する
。
この場合、線源5からの放射線(X線またはγ線)およ
び前記ターゲツト板8より発生したケイ光X線は、前記
板厚み測定物質2を透過する際に、その測定物質8の厚
みに応じてその強度が減衰する。
び前記ターゲツト板8より発生したケイ光X線は、前記
板厚み測定物質2を透過する際に、その測定物質8の厚
みに応じてその強度が減衰する。
そして、これらの減衰は、前記検出器6によって検出さ
れ、その検出値は、板厚み測定物質の厚さとケイ光X線
の強度を線図化した検量線と比較され、板厚み測定物質
2の厚みが決定される。
れ、その検出値は、板厚み測定物質の厚さとケイ光X線
の強度を線図化した検量線と比較され、板厚み測定物質
2の厚みが決定される。
なお、前記検量線は、第5図に示すように前記ターゲツ
ト板8と検出器6との間に既知の厚みをもつ板厚み測定
サンプル材を介在させ、順次様々のサンプルがX線また
はγ線を吸収する値を測定し、サンプルの厚みとX線強
度との関係をグラフ化した線図である。
ト板8と検出器6との間に既知の厚みをもつ板厚み測定
サンプル材を介在させ、順次様々のサンプルがX線また
はγ線を吸収する値を測定し、サンプルの厚みとX線強
度との関係をグラフ化した線図である。
検量線の傾きは、前記ターゲツト板8の材質を変えるか
、あるいは、前記放射線源5を変えれば変化させること
ができる。
、あるいは、前記放射線源5を変えれば変化させること
ができる。
次に第6図に示す他の実施例について説明する。
この実施例は、前述した実施例のターゲツト板8で丸棒
状のロール本体81の外周部分に巻き付けるようにおお
いターゲットロール9を形成し、このターゲットロール
9に板厚み測定物21を接触させ、ケース体7の内部に
収納されたラジオアイソトープまたはX線管5より放射
線(X線またはγ線)を前記板厚み測定物21を透過さ
せ前記ターゲツト板8に照射し、このターゲツト板8よ
り発生するケイ光X線を前記検出器6により検出するこ
とにより、前記板厚み測定物21の厚みを測定するもの
である。
状のロール本体81の外周部分に巻き付けるようにおお
いターゲットロール9を形成し、このターゲットロール
9に板厚み測定物21を接触させ、ケース体7の内部に
収納されたラジオアイソトープまたはX線管5より放射
線(X線またはγ線)を前記板厚み測定物21を透過さ
せ前記ターゲツト板8に照射し、このターゲツト板8よ
り発生するケイ光X線を前記検出器6により検出するこ
とにより、前記板厚み測定物21の厚みを測定するもの
である。
他の構成および動作は、前に述べた実施例に順するので
これの説明を省略するとともに前の実施例と同一の構成
については。
これの説明を省略するとともに前の実施例と同一の構成
については。
対応符号をもって省略する。
以上本発明の構成によれば、次の効果がある。
(1)放射線発生源とケイ光X線検出器は、被測定物を
はさんで配置する必要が無いため、幅広い帯状の物質の
厚みを測定するのに、放射線源およびケイ光X線検出器
を動かしてケイ光X線を被測定物上を走査する場合、被
測定物の片側で動かすだけでよいので、非常に簡単なフ
レームおよび機械装置ですむ。
はさんで配置する必要が無いため、幅広い帯状の物質の
厚みを測定するのに、放射線源およびケイ光X線検出器
を動かしてケイ光X線を被測定物上を走査する場合、被
測定物の片側で動かすだけでよいので、非常に簡単なフ
レームおよび機械装置ですむ。
特に第6図のロールを使ったものでは既設ラインに取付
ける場合、既設ロールをそのまま利用でき、小型化でき
るので、スペースのないラインでもゲージを入れられる
。
ける場合、既設ロールをそのまま利用でき、小型化でき
るので、スペースのないラインでもゲージを入れられる
。
(2)また、ターゲツト板は、前記放射線源およびケイ
光X線検出器と全く別体に構成配置することができるた
め、ターゲットの取り換えがきわめて容易である。
光X線検出器と全く別体に構成配置することができるた
め、ターゲットの取り換えがきわめて容易である。
従って、種々の厚さ・材質について被測定物を測る場合
、種々の検量線が必要であるが、それは多−ゲットの金
属の変更ですむため、複数の強度の異なる放射線源を用
いることなく安全度高く放射性物質の管理ができる。
、種々の検量線が必要であるが、それは多−ゲットの金
属の変更ですむため、複数の強度の異なる放射線源を用
いることなく安全度高く放射性物質の管理ができる。
また、この構成によると、被厚み測定物質の厚み材質に
応じて常に適切な検量線で被厚み測定物質の厚みの測定
を行うことができ、しかも線源は1つで済み、危険を伴
う線源の交換作業が不要となる。
応じて常に適切な検量線で被厚み測定物質の厚みの測定
を行うことができ、しかも線源は1つで済み、危険を伴
う線源の交換作業が不要となる。
また、線源に半減期の長いラジオアイソトープを使用し
た場合は安定した測定が可能な上、保守が簡単になる。
た場合は安定した測定が可能な上、保守が簡単になる。
(3)紙や高分子フィルムのような吸収係数の小さく薄
い物をX線やγ線で測定する場合、従来の構成より精度
が高い。
い物をX線やγ線で測定する場合、従来の構成より精度
が高い。
(4)ターゲツト板がX線源で広い面積からX線が出る
ので測定面積を大きくすることができる。
ので測定面積を大きくすることができる。
従って、被測定物の正確な厚さの平均値を測ることがで
きる。
きる。
第1図〜第3図は、従来の放射線厚み測定装置の説明図
およびケイ光X線源(ターゲットアッセンブリー)の断
面図(平面・正面断面図)ならびに斜視図である。 第4図は、本発明の一実施例を示す放射線厚み測定装置
の説明図。 第5図は、検量線図、第6図は、他の実施例を示す断面
略図である。 5・・・・・・放射線源〔ラジオアイソトープ(γ線ま
たはX線用)またはX線管法〕6・・・・・・検出器、
2・・・被厚み測定物質、8・・・・・・ターゲツト板
。
およびケイ光X線源(ターゲットアッセンブリー)の断
面図(平面・正面断面図)ならびに斜視図である。 第4図は、本発明の一実施例を示す放射線厚み測定装置
の説明図。 第5図は、検量線図、第6図は、他の実施例を示す断面
略図である。 5・・・・・・放射線源〔ラジオアイソトープ(γ線ま
たはX線用)またはX線管法〕6・・・・・・検出器、
2・・・被厚み測定物質、8・・・・・・ターゲツト板
。
Claims (1)
- 1 X線又はγ線を被測定物に照射すると共に透過させ
、そのX線又はγ線の減衰を検出することによって板厚
み測定物質の厚さを測定するものにおいて、板厚み測定
物の一方の側に設けられたX線又はγ線の発生源および
放射線検出器と、板厚み測定物の他方の側に設けられ金
属よりなるターゲツト板とを備え、前記X線又はγ線の
発生源からの放射線がターゲツト板に照射され、ターゲ
ツト板からのケイ光大線の強度を前記放射線検出器によ
り検出し板厚み測定物の厚さを測定するようにしたこと
を特徴とする放射線吸収型厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51057007A JPS585364B2 (ja) | 1976-05-18 | 1976-05-18 | 放射線厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51057007A JPS585364B2 (ja) | 1976-05-18 | 1976-05-18 | 放射線厚み測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52140354A JPS52140354A (en) | 1977-11-22 |
| JPS585364B2 true JPS585364B2 (ja) | 1983-01-31 |
Family
ID=13043389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51057007A Expired JPS585364B2 (ja) | 1976-05-18 | 1976-05-18 | 放射線厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS585364B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1076222A1 (en) * | 1999-08-10 | 2001-02-14 | Corus Aluminium Walzprodukte GmbH | X-ray fluorescence measurement of aluminium sheet thickness |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5235770Y2 (ja) * | 1973-07-26 | 1977-08-15 |
-
1976
- 1976-05-18 JP JP51057007A patent/JPS585364B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52140354A (en) | 1977-11-22 |
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