JPS6188128A - 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 - Google Patents
合金被膜の膜厚及び組成測定方法Info
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- JPS6188128A JPS6188128A JP59209097A JP20909784A JPS6188128A JP S6188128 A JPS6188128 A JP S6188128A JP 59209097 A JP59209097 A JP 59209097A JP 20909784 A JP20909784 A JP 20909784A JP S6188128 A JPS6188128 A JP S6188128A
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野1
本発明は、合金被膜の膜厚及び組成測定方法に係り、特
に、Zn−Fe系合金めっき鋼板の分析に用いるのに好
適な、下地金属と同じ金1を含む合金被膜の膜厚及び組
成を測定する方法の改良に関する。 [従来の技術] 自動車車体、家庭電気製品及び建築材料用として、耐蝕
性、加工性、塗装性、溶接性等に優れた各種めっき鋼板
が開発されており、広く使用されている。、これらのめ
つき鋼板の生産に際して、その品質を安定させるために
は、めっき被膜の厚さく 何着! )及び組成(成分含
有率)を分析して工程管理することが不可欠である。 めっき鋼板の分析方法としては、Znめっき隅板やZn
−N+金合金っき鋼板等のように、めっき被膜が下地鋼
板であるFe以外の成分からなるものについては、螢光
X線分析法により比較的筒単にめっき被膜の厚さ及び組
成が分析でき、この種の分析装置は既に実用化されてい
る。 しかしながら、最近、特に優れた特性が注目されている
Zn−1”e系合金めつき鋼板については、通常の螢光
XII法では、Znの螢光xm強度がめつき被膜中の7
n又はl”eの含有率やめつき被膜の厚さによって変化
すること、及び、FCについては、下地鋼板から多量の
Feの螢光X線が発生し、それがめつき被膜中のFeの
螢光xPJと区別がつかないことにより分析は不可能で
あった。 そのために、Zn−Fe系合金めっき鋼板の分析方法と
しては、次のような方法が従来から提案されている。そ
の第1は、特開昭55−24680で提案されている方
法で、これは、Zn −Feの合金化処理を旌したln
めつき鋼板について、下地鋼板のFe以外の金属、即ち
、Zllの螢光X線強度を相箕なる2種の取出角で測定
し、両側定値を基に所定の連立方程式を解いて、前記め
っき鋼板のめつき厚さ及び合金化度(Fe含有率)を求
めるものである。この方法では、別に予め2種の取出角
で充分厚い純亜鉛試料のZllの螢光X線強度を測定し
ておき、次に、同じXts分光器で合金化処理を施した
znめつき鋼板の7nの螢光X線強度を測定して、それ
ぞれの取出角について、先に求めた純亜鉛の螢光X線強
度との比で解析する。この取出角を変化させての螢光X
線定量法は、古くから教科書等に掲載されている螢光X
線分析法の基礎的理論で、誰もが知っている公知のも°
のである。 又、第2は特開昭58−223047で提案されている
方法で、これはZn−Fe合金めつき鋼板について、下
地M板からのFeの螢光Xmが実質的に検出されない第
1の励起線入射角及び螢光X線取出角によるFeの螢光
X線強度から前記めっき?+!膜中のFe含有率を求め
、又、下地鋼板からのleeの螢光X線が検出される第
2の励起線入射角及び螢光X線取出角によるl”eの螢
光X線強度から前記めっき被膜の厚さを求めるものであ
る。 【発明が解決しようとする問題点) しかしながら、生産ラインでは、めっき鋼板は例えば1
00m /minという8速で流れているので、めっき
鋼板は必ず大なり小なりばたついており、このばたつき
の影響はめつき鋼板の方だけが受けることになるので、
特開昭55−24680で提案された前者の方法では、
当然分析精度が悲くなる。 又、合金めっき鋼板のめつき被膜の厚さは一般に20〜
30(1/m 2 (約3〜4μn+)と非常に薄いの
で、特開昭58−223047で提案された後者の方法
で、めっき被膜中の金属の螢光X線を正確に測定できる
程の強い強度を得ようとすると、その薄いめっき被膜層
だけを励起することは実際上不可能で、どうしても下地
鋼板の金属も励起することになる。従って、この場合、
めっき被膜中のFeと下地u4+flのl”eの両方の
螢光X線強度を測定することになって、正確な分析がで
きなくなる。更に、オンライン化を考えた場合、第1゛
のX線光学系における低角度の入射角−取出角=″′
5′では、XI!管球の大きざ、X線分光系の構造上、
分析計の保護カバー等からしても実際にそのような装置
を作製することは不可能であった。 従って、従来提案されているような方法にはいずれも問
題があるので、結局は、従来通り、めつき被膜層だけを
電解又は適当な酸により溶解除去し、その除去量からめ
つき被膜の厚さを、又、溶解液の鉄量を化学分析してめ
っき被膜中のFe含有率を求めるという化学分析法に頼
らざるを傳ない。しかしながら、この化学分析法は、下
地鋼板を溶かさずにめっき被fIA層だけを溶解するこ
とは大変困難であるので、著しい熟練と長時間を要し、
しかも製品から試料を採取する破壊分析であり、オンラ
イン化もできないので、工程管理への測定結果の反映が
非常にi!くなるという問題点を有していた。 一方、本発明に類似するものとして、特開昭50−17
695において、連続的に移0 vる鋼板に一定角度を
もって特性X線及び白色X線を照射する手段と、この照
射点からのブラッグの条件を満足する波長の回折X線及
び螢光X線を検出する手段と、これらの検出信号を分析
してそれぞれの集合相識、元素等の強度直を検知する手
段とをINえたことを特徴とする鋼板の連続品質検査装
置も提案されているが、本発明とは目的及び構成が異な
るだけでなく、膜厚を検出することは?テわれでいなか
った。 【発明の目的】 本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、下地金属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚没び組
成を、同時に且つ非破壊的にエリ定することができる合
金被膜の膜厚及び組成測定方法を提供づることを目的と
する。 [問題点を解決するための手段j 本発明は、下地金属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚及
び組成を測定するに際して、第1図にその要旨を示す如
く、測定対象に特性XII及び白色X線を照射し、前記
特性X線の、合金被膜の金属間化合物による回折X線の
回折角を検出して、該回折角から合金被膜の組成を測定
すると共に、前記白色X線による合金被膜中の下地金属
と異なる金属からの螢光X線の強度を検出して、該螢光
X線強度及び前記合金被膜組成から合金被膜の膜厚を同
時に測定するようにして、前記目的を達成したものであ
る。 又、本発明の実KV様は、前記特性xIil及び白色X
線を単一のX線源から発生させるようにして、測定ii
の構成を簡略化できるようにしたものである。
に、Zn−Fe系合金めっき鋼板の分析に用いるのに好
適な、下地金属と同じ金1を含む合金被膜の膜厚及び組
成を測定する方法の改良に関する。 [従来の技術] 自動車車体、家庭電気製品及び建築材料用として、耐蝕
性、加工性、塗装性、溶接性等に優れた各種めっき鋼板
が開発されており、広く使用されている。、これらのめ
つき鋼板の生産に際して、その品質を安定させるために
は、めっき被膜の厚さく 何着! )及び組成(成分含
有率)を分析して工程管理することが不可欠である。 めっき鋼板の分析方法としては、Znめっき隅板やZn
−N+金合金っき鋼板等のように、めっき被膜が下地鋼
板であるFe以外の成分からなるものについては、螢光
X線分析法により比較的筒単にめっき被膜の厚さ及び組
成が分析でき、この種の分析装置は既に実用化されてい
る。 しかしながら、最近、特に優れた特性が注目されている
Zn−1”e系合金めつき鋼板については、通常の螢光
XII法では、Znの螢光xm強度がめつき被膜中の7
n又はl”eの含有率やめつき被膜の厚さによって変化
すること、及び、FCについては、下地鋼板から多量の
Feの螢光X線が発生し、それがめつき被膜中のFeの
螢光xPJと区別がつかないことにより分析は不可能で
あった。 そのために、Zn−Fe系合金めっき鋼板の分析方法と
しては、次のような方法が従来から提案されている。そ
の第1は、特開昭55−24680で提案されている方
法で、これは、Zn −Feの合金化処理を旌したln
めつき鋼板について、下地鋼板のFe以外の金属、即ち
、Zllの螢光X線強度を相箕なる2種の取出角で測定
し、両側定値を基に所定の連立方程式を解いて、前記め
っき鋼板のめつき厚さ及び合金化度(Fe含有率)を求
めるものである。この方法では、別に予め2種の取出角
で充分厚い純亜鉛試料のZllの螢光X線強度を測定し
ておき、次に、同じXts分光器で合金化処理を施した
znめつき鋼板の7nの螢光X線強度を測定して、それ
ぞれの取出角について、先に求めた純亜鉛の螢光X線強
度との比で解析する。この取出角を変化させての螢光X
線定量法は、古くから教科書等に掲載されている螢光X
線分析法の基礎的理論で、誰もが知っている公知のも°
のである。 又、第2は特開昭58−223047で提案されている
方法で、これはZn−Fe合金めつき鋼板について、下
地M板からのFeの螢光Xmが実質的に検出されない第
1の励起線入射角及び螢光X線取出角によるFeの螢光
X線強度から前記めっき?+!膜中のFe含有率を求め
、又、下地鋼板からのleeの螢光X線が検出される第
2の励起線入射角及び螢光X線取出角によるl”eの螢
光X線強度から前記めっき被膜の厚さを求めるものであ
る。 【発明が解決しようとする問題点) しかしながら、生産ラインでは、めっき鋼板は例えば1
00m /minという8速で流れているので、めっき
鋼板は必ず大なり小なりばたついており、このばたつき
の影響はめつき鋼板の方だけが受けることになるので、
特開昭55−24680で提案された前者の方法では、
当然分析精度が悲くなる。 又、合金めっき鋼板のめつき被膜の厚さは一般に20〜
30(1/m 2 (約3〜4μn+)と非常に薄いの
で、特開昭58−223047で提案された後者の方法
で、めっき被膜中の金属の螢光X線を正確に測定できる
程の強い強度を得ようとすると、その薄いめっき被膜層
だけを励起することは実際上不可能で、どうしても下地
鋼板の金属も励起することになる。従って、この場合、
めっき被膜中のFeと下地u4+flのl”eの両方の
螢光X線強度を測定することになって、正確な分析がで
きなくなる。更に、オンライン化を考えた場合、第1゛
のX線光学系における低角度の入射角−取出角=″′
5′では、XI!管球の大きざ、X線分光系の構造上、
分析計の保護カバー等からしても実際にそのような装置
を作製することは不可能であった。 従って、従来提案されているような方法にはいずれも問
題があるので、結局は、従来通り、めつき被膜層だけを
電解又は適当な酸により溶解除去し、その除去量からめ
つき被膜の厚さを、又、溶解液の鉄量を化学分析してめ
っき被膜中のFe含有率を求めるという化学分析法に頼
らざるを傳ない。しかしながら、この化学分析法は、下
地鋼板を溶かさずにめっき被fIA層だけを溶解するこ
とは大変困難であるので、著しい熟練と長時間を要し、
しかも製品から試料を採取する破壊分析であり、オンラ
イン化もできないので、工程管理への測定結果の反映が
非常にi!くなるという問題点を有していた。 一方、本発明に類似するものとして、特開昭50−17
695において、連続的に移0 vる鋼板に一定角度を
もって特性X線及び白色X線を照射する手段と、この照
射点からのブラッグの条件を満足する波長の回折X線及
び螢光X線を検出する手段と、これらの検出信号を分析
してそれぞれの集合相識、元素等の強度直を検知する手
段とをINえたことを特徴とする鋼板の連続品質検査装
置も提案されているが、本発明とは目的及び構成が異な
るだけでなく、膜厚を検出することは?テわれでいなか
った。 【発明の目的】 本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、下地金属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚没び組
成を、同時に且つ非破壊的にエリ定することができる合
金被膜の膜厚及び組成測定方法を提供づることを目的と
する。 [問題点を解決するための手段j 本発明は、下地金属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚及
び組成を測定するに際して、第1図にその要旨を示す如
く、測定対象に特性XII及び白色X線を照射し、前記
特性X線の、合金被膜の金属間化合物による回折X線の
回折角を検出して、該回折角から合金被膜の組成を測定
すると共に、前記白色X線による合金被膜中の下地金属
と異なる金属からの螢光X線の強度を検出して、該螢光
X線強度及び前記合金被膜組成から合金被膜の膜厚を同
時に測定するようにして、前記目的を達成したものであ
る。 又、本発明の実KV様は、前記特性xIil及び白色X
線を単一のX線源から発生させるようにして、測定ii
の構成を簡略化できるようにしたものである。
【作用1
本発明は、螢光X線分析法とX線回折法を併用するよう
にしたもので、測定対象に特性xi及び白色X線を照射
し、前記特性X線の、合金被膜の金属間化合物による回
折X線の回折角を検出して、該同折角から合金被膜の組
成を測定すると共に、前記白色X線による合金被膜中の
下地金属と異なる金属からの螢光X線の強度を検出して
、該螢光X腺強度及び前記合金被膜組成から合金被膜の
膜厚を同時に測定するようにしたので、合金被膜の膜厚
及び組成を、同時に且つ非破壊的に測定することが可能
となる。 【実施例] 以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。 本実施例は、14板上にZn−Fe合金めつきを施した
Zn−Fe合金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び
組成測定に本発明を適用したもので、その測定装置の実
゛前例は、第2図に示す如(構成されている。 この実施例において、めつき槽10でめっきされたZn
−Fe合金めつきw4板12は、矢印六方1〜に搬送さ
れている6該7n−Fe合金めつき鋼板12の水平搬送
部(又は垂直搬送部)の適当な位置には、Orツタ−ッ
ト等適当な波長の特性X線を発生する強力なX線管球1
4が配設され、該X線管球14から照射されるX線が、
ソーラースリット16を介してZll−Fe合金めつき
鋼板12に向けて入射角ψで入射されている。すると、
Zn−Fe合金めつき鋼板12のめつき?!!2膜層に
形成されているZn−Fe金属間化合物の相の各結晶格
子面により、X線は次に示すブラッグの式で回折される
。 λ=2dsinθ−(1) ここで、λは波長、θは角度、dは、Zn −Fe金金
量間化合物結晶格子面間隔である。 このとき、Zn−Fe金属間化合物の結晶は、Fe
(又はZn)の含有率によって格子常数が変化づるので
、xi回折角2θが偏位する。即ち、Fe (又はZ
n)の含有率に応じてX線回折角2θが変化するので、
ソーラースリット17、ゴニオメータ18、回折xm検
出器20及び計数回路22により、第3図の例に示す如
く、任意の結晶格子面について、Fe (又はZn)
の含有率(%)とX線回折角2θとの関係を求めておい
て、めっき層からの同じ結品俗子面によるX線回折角2
θを測定すれば、7−n−Fe合金めつき鋼板12のめ
つき被膜中のFe含有率(%) (又はZn含有率(9
6) = 100 F e含有率(%))が求められ
るものである。 一方、特性X線を発生させるX線管球14からは、通常
第4図に示す如く、白色X線も発生しているので、本実
施例では、この白色x1Mを有効に利用している。即ち
、この白色X線は、Zn −Fe合金めつきtJ4板1
2に含まれている金属を励起して、その金属に対応する
波長をもった螢光X@を発生させるので、そのときのz
nの螢光X線を用いて分析を行う。具体的には、白色X
線により励起された20−Fe合金めつき鋼板12中に
含まれている金属の螢光X線は、ソーラースリット24
を介して分光結晶26によりZ 11の螢光X線だけが
分光され、ソーラースリット28を介して螢光X線検出
器30及び計数回路32によってその強度が測定される
。 この螢光X線検出器3oによって検出されるZnの螢光
X線強度は、先に述べたようにZn−Fe合金めつき被
膜中のzn <又はFe)の含有率と厚さによって変
化するので、通常の方法では分析できないが、前記の通
りX線回折法でめっき被膜中のZn含有率が分析できる
ので、Znの螢光X1i1強度からめつき被膜の厚さを
求めることができる。 第5図は、Znの螢光X線強度とめつき被膜の厚さくめ
つき付着量)との関係を調べた一例であるが、Fe含有
率(%)がわかれば、Znの螢光X線強度から容易にめ
っき被膜の厚さが求められることかわかる。このとき、
lnの螢光X線強度に対するFeの影響量を求めておい
て、Fe含有率で補正することによりめっき被膜の厚さ
を求めるようにしてもよい。 なお、X線の入射角ψは、ばたつきの影響や1lil+
定格子而のX線回折角2θを考慮して、できるだけ小さ
くした方が、X線の下地m thへの浸入が浅くなり、
従って、めっき被膜からの情報が増えるので有効である
。 前記xi回折法の任意の結晶格子面の回折角度2θを求
めるための走査による一連のxi回折強度と、前記螢光
X線強度は同時に測定され、それぞれコンピュータ34
に入力される。このコンピュータ34では各種演算が行
われて、合金めっき被膜中のl”e含有率とめつき厚さ
が求められる。 その結果は、現場ラインの表示器36に表示されると共
に、プロセスコンピュータ38にも入力され、その分析
値を基にしてめっきPlloのめつき条件等が制御され
る。 本実施例においては、特性X線及び白色X線を単一のX
線管球14から発生させるようにしているので、測定装
置の開成が簡略である。なお特性X線及び白色X線を発
生させる方法はこれに限定されず、特性X線を発生させ
る、例えばCrターゲットのX線管球と、白色X線の発
生強度が強い、例えばタングステンターゲットのXK1
管球の2種のX線管球を使用したり、他のX線源を使用
することも可能である。 なお前記実施例においては、本発明が、zn −Fe合
金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び組成の測定に
適用されていたが、本発明の適用範囲はこれに限定され
ず、下地金属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚及び組成
の測定全てに適用できることは明らかである。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、従来非常に測定が
困難であった、Zn−Fe合金めつき鋼板等の、下地金
属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚及び組成を、同時に
且つ非破壊的に測定することが可能となる。従って、合
金被膜の膜厚及び組成を、オンラインで測定して、分析
結果を直ちにラインにフィードバックすることが可能と
なり、Zll−Fe合金めつき!I仮等の安定操業、品
質向上に寄与するところが非常に大である等の優れた効
果を有づる。
にしたもので、測定対象に特性xi及び白色X線を照射
し、前記特性X線の、合金被膜の金属間化合物による回
折X線の回折角を検出して、該同折角から合金被膜の組
成を測定すると共に、前記白色X線による合金被膜中の
下地金属と異なる金属からの螢光X線の強度を検出して
、該螢光X腺強度及び前記合金被膜組成から合金被膜の
膜厚を同時に測定するようにしたので、合金被膜の膜厚
及び組成を、同時に且つ非破壊的に測定することが可能
となる。 【実施例] 以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する
。 本実施例は、14板上にZn−Fe合金めつきを施した
Zn−Fe合金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び
組成測定に本発明を適用したもので、その測定装置の実
゛前例は、第2図に示す如(構成されている。 この実施例において、めつき槽10でめっきされたZn
−Fe合金めつきw4板12は、矢印六方1〜に搬送さ
れている6該7n−Fe合金めつき鋼板12の水平搬送
部(又は垂直搬送部)の適当な位置には、Orツタ−ッ
ト等適当な波長の特性X線を発生する強力なX線管球1
4が配設され、該X線管球14から照射されるX線が、
ソーラースリット16を介してZll−Fe合金めつき
鋼板12に向けて入射角ψで入射されている。すると、
Zn−Fe合金めつき鋼板12のめつき?!!2膜層に
形成されているZn−Fe金属間化合物の相の各結晶格
子面により、X線は次に示すブラッグの式で回折される
。 λ=2dsinθ−(1) ここで、λは波長、θは角度、dは、Zn −Fe金金
量間化合物結晶格子面間隔である。 このとき、Zn−Fe金属間化合物の結晶は、Fe
(又はZn)の含有率によって格子常数が変化づるので
、xi回折角2θが偏位する。即ち、Fe (又はZ
n)の含有率に応じてX線回折角2θが変化するので、
ソーラースリット17、ゴニオメータ18、回折xm検
出器20及び計数回路22により、第3図の例に示す如
く、任意の結晶格子面について、Fe (又はZn)
の含有率(%)とX線回折角2θとの関係を求めておい
て、めっき層からの同じ結品俗子面によるX線回折角2
θを測定すれば、7−n−Fe合金めつき鋼板12のめ
つき被膜中のFe含有率(%) (又はZn含有率(9
6) = 100 F e含有率(%))が求められ
るものである。 一方、特性X線を発生させるX線管球14からは、通常
第4図に示す如く、白色X線も発生しているので、本実
施例では、この白色x1Mを有効に利用している。即ち
、この白色X線は、Zn −Fe合金めつきtJ4板1
2に含まれている金属を励起して、その金属に対応する
波長をもった螢光X@を発生させるので、そのときのz
nの螢光X線を用いて分析を行う。具体的には、白色X
線により励起された20−Fe合金めつき鋼板12中に
含まれている金属の螢光X線は、ソーラースリット24
を介して分光結晶26によりZ 11の螢光X線だけが
分光され、ソーラースリット28を介して螢光X線検出
器30及び計数回路32によってその強度が測定される
。 この螢光X線検出器3oによって検出されるZnの螢光
X線強度は、先に述べたようにZn−Fe合金めつき被
膜中のzn <又はFe)の含有率と厚さによって変
化するので、通常の方法では分析できないが、前記の通
りX線回折法でめっき被膜中のZn含有率が分析できる
ので、Znの螢光X1i1強度からめつき被膜の厚さを
求めることができる。 第5図は、Znの螢光X線強度とめつき被膜の厚さくめ
つき付着量)との関係を調べた一例であるが、Fe含有
率(%)がわかれば、Znの螢光X線強度から容易にめ
っき被膜の厚さが求められることかわかる。このとき、
lnの螢光X線強度に対するFeの影響量を求めておい
て、Fe含有率で補正することによりめっき被膜の厚さ
を求めるようにしてもよい。 なお、X線の入射角ψは、ばたつきの影響や1lil+
定格子而のX線回折角2θを考慮して、できるだけ小さ
くした方が、X線の下地m thへの浸入が浅くなり、
従って、めっき被膜からの情報が増えるので有効である
。 前記xi回折法の任意の結晶格子面の回折角度2θを求
めるための走査による一連のxi回折強度と、前記螢光
X線強度は同時に測定され、それぞれコンピュータ34
に入力される。このコンピュータ34では各種演算が行
われて、合金めっき被膜中のl”e含有率とめつき厚さ
が求められる。 その結果は、現場ラインの表示器36に表示されると共
に、プロセスコンピュータ38にも入力され、その分析
値を基にしてめっきPlloのめつき条件等が制御され
る。 本実施例においては、特性X線及び白色X線を単一のX
線管球14から発生させるようにしているので、測定装
置の開成が簡略である。なお特性X線及び白色X線を発
生させる方法はこれに限定されず、特性X線を発生させ
る、例えばCrターゲットのX線管球と、白色X線の発
生強度が強い、例えばタングステンターゲットのXK1
管球の2種のX線管球を使用したり、他のX線源を使用
することも可能である。 なお前記実施例においては、本発明が、zn −Fe合
金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び組成の測定に
適用されていたが、本発明の適用範囲はこれに限定され
ず、下地金属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚及び組成
の測定全てに適用できることは明らかである。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、従来非常に測定が
困難であった、Zn−Fe合金めつき鋼板等の、下地金
属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚及び組成を、同時に
且つ非破壊的に測定することが可能となる。従って、合
金被膜の膜厚及び組成を、オンラインで測定して、分析
結果を直ちにラインにフィードバックすることが可能と
なり、Zll−Fe合金めつき!I仮等の安定操業、品
質向上に寄与するところが非常に大である等の優れた効
果を有づる。
第1図は、本発明に係る合金被膜の膜厚及び組成測定方
法の要旨を示す流れ図、第2図は、本発明が採用された
Zn−Fe合金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び
組成測定装置の実施例の開成を示すブロック線図、第3
図は、本発明の詳細な説明するための、XFa回折角と
Fe含有率の関係の例を示づ線図、第4図は、前記実施
例で用いられているCrターゲットのX線管球から発生
ずるxiの波長分布を示す線図、第5図は、本発明の詳
細な説明するための、Znの螢光X線強度及びFe含有
率とめつき付着量(膜厚)の関係の例を承り線図である
。 12・・・Zll−Fe合金めっき鋼板、14・・・X
線管球、 2θ・・・X線回折角、 18・・・ゴニオメータ、 20・・・同所X線検出器、 26・・・分光結晶、 30・・・螢光X線検出器、 34・・・コンピュータ。
法の要旨を示す流れ図、第2図は、本発明が採用された
Zn−Fe合金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び
組成測定装置の実施例の開成を示すブロック線図、第3
図は、本発明の詳細な説明するための、XFa回折角と
Fe含有率の関係の例を示づ線図、第4図は、前記実施
例で用いられているCrターゲットのX線管球から発生
ずるxiの波長分布を示す線図、第5図は、本発明の詳
細な説明するための、Znの螢光X線強度及びFe含有
率とめつき付着量(膜厚)の関係の例を承り線図である
。 12・・・Zll−Fe合金めっき鋼板、14・・・X
線管球、 2θ・・・X線回折角、 18・・・ゴニオメータ、 20・・・同所X線検出器、 26・・・分光結晶、 30・・・螢光X線検出器、 34・・・コンピュータ。
Claims (2)
- (1)下地金属と同じ金属を含む合金被膜の膜厚及び組
成を測定するに際して、 測定対象に特性X線及び白色X線を照射し、前記特性X
線の、合金被膜の金属間化合物による回折X線の回折角
を検出して、該回折角から合金被膜の組成を測定すると
共に、 前記白色X線による合金被膜中の下地金属と異なる金属
からの螢光X線の強度を検出して、該螢光X線強度及び
前記合金被膜組成から合金被膜の膜厚を同時に測定する
ようにしたことを特徴とする合金被膜の膜厚及び組成測
定方法。 - (2)前記特性X線及び白色X線を、単一のX線源から
発生させるようにした特許請求の範囲第1項記載の合金
被膜の膜厚及び組成測定方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59209097A JPH0610660B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
DE8585904879T DE3583436D1 (de) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Verfahren zur bestimmung der dicke und der zusammensetzung eines legierungsfilms. |
EP85904879A EP0197157B1 (en) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Method of determining thickness and composition of alloy film |
US06/860,190 US4764945A (en) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating |
PCT/JP1985/000551 WO1986002164A1 (en) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Method of determining thickness and composition of alloy film |
KR1019860700334A KR900008955B1 (ko) | 1984-05-10 | 1985-10-03 | 합금피막의 피막두께 및 조성 측정방법 |
CA000492333A CA1250061A (en) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59209097A JPH0610660B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6188128A true JPS6188128A (ja) | 1986-05-06 |
JPH0610660B2 JPH0610660B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=16567234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP59209097A Expired - Lifetime JPH0610660B2 (ja) | 1984-05-10 | 1984-10-05 | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0610660B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6378056A (ja) * | 1986-09-20 | 1988-04-08 | Rigaku Denki Kogyo Kk | 全反射蛍光x線分析装置 |
JPH01216244A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-08-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体混晶の組成分布評価方法及び装置 |
JPH01244344A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Hitachi Ltd | X線吸収スペクトル測定装置 |
WO2010026750A1 (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-11 | 国立大学法人京都大学 | 全反射蛍光x線分析装置及び全反射蛍光x線分析方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5017695A (ja) * | 1973-06-14 | 1975-02-25 | ||
JPS58223047A (ja) * | 1982-06-18 | 1983-12-24 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 螢光x線分析方法 |
JPS59195146A (ja) * | 1983-04-19 | 1984-11-06 | Sumitomo Metal Ind Ltd | メツキ被膜の螢光x線分析法 |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP59209097A patent/JPH0610660B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
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WO2010026750A1 (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-11 | 国立大学法人京都大学 | 全反射蛍光x線分析装置及び全反射蛍光x線分析方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0610660B2 (ja) | 1994-02-09 |
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