JPS59195146A - メツキ被膜の螢光ｘ線分析法 - Google Patents
メツキ被膜の螢光ｘ線分析法Info
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- JPS59195146A JPS59195146A JP6981483A JP6981483A JPS59195146A JP S59195146 A JPS59195146 A JP S59195146A JP 6981483 A JP6981483 A JP 6981483A JP 6981483 A JP6981483 A JP 6981483A JP S59195146 A JPS59195146 A JP S59195146A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
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- G—PHYSICS
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- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は蛍光Ｘ線強度に基づいてメッキ被膜の早及び／
又は組成を定量する蛍光Ｘ線分析方法間するものである
。
又は組成を定量する蛍光Ｘ線分析方法間するものである
。
耐食性、溶接性、〜〉装性、経済性に優れた各種メッキ
鋼板が製造されているが、耐食性、溶接、窪装性はメッ
キ被膜の膜厚９組成と密接な関にあり、品質管理上、膜
厚９組成の正確な測定キ被膜の膜厚又は付を・量（ｇ／
ｒｎ２）の測定にはメッキｍｆＪ ｒ後の鋼板重量及び
銅板表面積上に基づいて求める重量法が、また組成には
化７？分析法が採られていたが、これらの方法は正確な
分析を行えるが結果を得る迄に時間を要するためメッキ
鋼板の製造ラインにおいてメッキ被膜の付、有量７組成
の制御にＩ″ｉ適用出来ない難点がある。このため近年
にあっては蛍光Ｘ線分析法が利用び九つつある。
鋼板が製造されているが、耐食性、溶接、窪装性はメッ
キ被膜の膜厚９組成と密接な関にあり、品質管理上、膜
厚９組成の正確な測定キ被膜の膜厚又は付を・量（ｇ／
ｒｎ２）の測定にはメッキｍｆＪ ｒ後の鋼板重量及び
銅板表面積上に基づいて求める重量法が、また組成には
化７？分析法が採られていたが、これらの方法は正確な
分析を行えるが結果を得る迄に時間を要するためメッキ
鋼板の製造ラインにおいてメッキ被膜の付、有量７組成
の制御にＩ″ｉ適用出来ない難点がある。このため近年
にあっては蛍光Ｘ線分析法が利用び九つつある。
蛍光Ｘ線分析法は測定対象物に励起Ｘ線を照射し、これ
によって測定対象物から発生する１、ｌ’＝Ｊ有Ｘ線有
産線強度蛍光Ｘ線強度を測定し、予め求めておいた検量
娠から目標元素の定量を行い、また蛍光Ｘ線強度と１漢
Ｐ＝’との関係に基づき膜厚を求めるようになっている
。
によって測定対象物から発生する１、ｌ’＝Ｊ有Ｘ線有
産線強度蛍光Ｘ線強度を測定し、予め求めておいた検量
娠から目標元素の定量を行い、また蛍光Ｘ線強度と１漢
Ｐ＝’との関係に基づき膜厚を求めるようになっている
。
ところで従来における蛍光Ｘ線分析法はいずれも単層メ
ッキ鋼板についての膜厚２紀成を定量する方法であって
、例えば５ｎ−Ｐｂの二元メッキ鋼板の膜厚Ｘと、Ｓｎ
（又はＰｂ）７．）度ｙを求める場合にはＳｎの特性
Ｘ線の測定強度と純ＳｎのＸ線強度との比Ｉｓと、Ｐｂ
の特性Ｘ線の測定強度と純ＰｂのＸ線強度との比ｉｐと
を求め、下記（１） 、 （２）式の連立方程式を求め
ることによってＸ＋Ｙを得ている（特公昭５６−１ｇｅ
６′８号）。
ッキ鋼板についての膜厚２紀成を定量する方法であって
、例えば５ｎ−Ｐｂの二元メッキ鋼板の膜厚Ｘと、Ｓｎ
（又はＰｂ）７．）度ｙを求める場合にはＳｎの特性
Ｘ線の測定強度と純ＳｎのＸ線強度との比Ｉｓと、Ｐｂ
の特性Ｘ線の測定強度と純ＰｂのＸ線強度との比ｉｐと
を求め、下記（１） 、 （２）式の連立方程式を求め
ることによってＸ＋Ｙを得ている（特公昭５６−１ｇｅ
６′８号）。
ｌ５＝ｆｌ（Ｘ 、 Ｖ ） −ＩＩ）
■ｐ−ｆ２（Ｘ、ｙ） ・・（２）しか
しこの方法は下地金属とメッキ被膜とに共通の元素が含
まれているような場合、例えば鋼板にＦｅ −Ｚｎ合金
メッキを施したような場１−・１には被膜厚さ５組成の
定量が゛出来ず、また近年開発が進められている耐食性
、溶接性、塗装性等により優れた多層メッキ鋼板、例え
ば鋼板表１川に夫々組成の異なるＦｅ −Ｚｎ合金メッ
キを二層にわたって積層形成してなる二層メッキ鋼板に
２ける各層の膜厚。
■ｐ−ｆ２（Ｘ、ｙ） ・・（２）しか
しこの方法は下地金属とメッキ被膜とに共通の元素が含
まれているような場合、例えば鋼板にＦｅ −Ｚｎ合金
メッキを施したような場１−・１には被膜厚さ５組成の
定量が゛出来ず、また近年開発が進められている耐食性
、溶接性、塗装性等により優れた多層メッキ鋼板、例え
ば鋼板表１川に夫々組成の異なるＦｅ −Ｚｎ合金メッ
キを二層にわたって積層形成してなる二層メッキ鋼板に
２ける各層の膜厚。
組成を測定することも出来ないという欠点があった。
との対重として本発明者等は鋼４μにＦｅ −Ｚｎ合金
をメンキした単層メッキ鋼板、即ち下地金属とメッキ被
膜とに共通の元素が含まれている場合においても、メッ
キ被膜の付−ａｍ及び組成の分析が可能な蛍光Ｘ線分析
法につき既に出頭を行っている（特願１召５７−１０５
７０９号）。本発明は更にこの方法を発展させたもので
あって、鋼板等の下地金属６上に二層又はそれ以上の多
層にわたって、純金属又は二元、三元、或いはそれ以上
の多元合金メッキ被膜を形成した場合についても、下地
金ノ１」ル及び各層のメッキ被膜に共通の元素が含せハ
てめるか否かＫかかわらず各メッキ被膜の付４量及び各
成分の組成を分析することをｉ”Ｊ能としたメッキ被１
１％の蛍光Ｘ線分析法を提供するにある。
をメンキした単層メッキ鋼板、即ち下地金属とメッキ被
膜とに共通の元素が含まれている場合においても、メッ
キ被膜の付−ａｍ及び組成の分析が可能な蛍光Ｘ線分析
法につき既に出頭を行っている（特願１召５７−１０５
７０９号）。本発明は更にこの方法を発展させたもので
あって、鋼板等の下地金属６上に二層又はそれ以上の多
層にわたって、純金属又は二元、三元、或いはそれ以上
の多元合金メッキ被膜を形成した場合についても、下地
金ノ１」ル及び各層のメッキ被膜に共通の元素が含せハ
てめるか否かＫかかわらず各メッキ被膜の付４量及び各
成分の組成を分析することをｉ”Ｊ能としたメッキ被１
１％の蛍光Ｘ線分析法を提供するにある。
本発明に係るメッキ被１俟の蛍光Ｘ森分析法は純金ノ萬
又は合金の複層メッキ被膜の付着量及び／又は組成を定
量する方法において、一層目のメッキ被膜を形成した後
、該一層目のメッキ被１１シ３についての付看力ｉ、叉
び／又は組成を蛍光Ｘ線分析し、次いで二層のメッキ被
膜を形成した後、前記蛍光Ｘ誠分析を行った一層目のメ
ッキ被朕位ｉ！？と対応する位置について、蛍光Ｘ線分
析を行い、両蛍光Ｘ線分析結果に基づいて二層目のメッ
キ被膜についての付着量及び／又は組成を算出すること
を特数とする。
又は合金の複層メッキ被膜の付着量及び／又は組成を定
量する方法において、一層目のメッキ被膜を形成した後
、該一層目のメッキ被１１シ３についての付看力ｉ、叉
び／又は組成を蛍光Ｘ線分析し、次いで二層のメッキ被
膜を形成した後、前記蛍光Ｘ誠分析を行った一層目のメ
ッキ被朕位ｉ！？と対応する位置について、蛍光Ｘ線分
析を行い、両蛍光Ｘ線分析結果に基づいて二層目のメッ
キ被膜についての付着量及び／又は組成を算出すること
を特数とする。
以下本発明方法の原理を、下地金偶たる鋼板の表面に大
々組成の異なるＦｅ−、Ｚｎ合金を二層メンキした場合
における各層の＃ｌ阪及びメッキ被１１・、・の付扁量
（ｇ／ｍ２）を測定する場合につき説ゆ〜］する。
々組成の異なるＦｅ−、Ｚｎ合金を二層メンキした場合
における各層の＃ｌ阪及びメッキ被１１・、・の付扁量
（ｇ／ｍ２）を測定する場合につき説ゆ〜］する。
第１，４図は末完り」方法の原理説明〆１であり、第１
図は多絢板１表面に一層目のＦｅ −’−Ｚｎ ＠曽メ
ッキ被腺１１を形成した時点での一層目におけるＩ’
ｅ濃度ＷＦｅ工及び一層目の膜厚ｄ１を測定する過程を
示し、また第４図は鋼＆１に施した一層目のＦｅＺｎ合
金メッキ彼１ｊ呆１■表面に更に二層１＝］のＦｅ ＝
ＺｎＺｎ合金メッキ仮り１２を形ｊ戎した時点での二層
目におけるＦｅ茹度”Ｉ’ｅｉｌ及び二層目の１模厚ｄ
２を測定する虚程を／Ｊζしている。即ち、先ず第１１
゛ズｌに示す如く一層目のメッキ彼１１１Ａ！１１を形
成した時点で、下地金属たる（（胴板１からの蛍光Ｘ線
を検出しないよう低角度の入射〕ｊ」ψ で励、１μＸ
線をメッキ被１１桑ＩＩ１ に入射１且つ低角度の収出角φＬ１で蛍光Ｘ線を検出し
、メッキ被膜１１のＦｅからの蛍光Ｘ９強度’ＦｅＫａ
を７１Ｊ１１定する。この蛍光Ｘ＃％ＫＩＦｅＫｚけメ
ッキ被膜１１の中のＦｅｊｋ ：Ｗ： 漉Ｗ Ｗ、、−
＝、と下記（１）式に示す如き一義対応の関係にありメ
ッキ被＋俣１＋甲のＦｅｌ量濃度”Ｆｅｌが容易に求め
られる。
図は多絢板１表面に一層目のＦｅ −’−Ｚｎ ＠曽メ
ッキ被腺１１を形成した時点での一層目におけるＩ’
ｅ濃度ＷＦｅ工及び一層目の膜厚ｄ１を測定する過程を
示し、また第４図は鋼＆１に施した一層目のＦｅＺｎ合
金メッキ彼１ｊ呆１■表面に更に二層１＝］のＦｅ ＝
ＺｎＺｎ合金メッキ仮り１２を形ｊ戎した時点での二層
目におけるＦｅ茹度”Ｉ’ｅｉｌ及び二層目の１模厚ｄ
２を測定する虚程を／Ｊζしている。即ち、先ず第１１
゛ズｌに示す如く一層目のメッキ彼１１１Ａ！１１を形
成した時点で、下地金属たる（（胴板１からの蛍光Ｘ線
を検出しないよう低角度の入射〕ｊ」ψ で励、１μＸ
線をメッキ被１１桑ＩＩ１ に入射１且つ低角度の収出角φＬ１で蛍光Ｘ線を検出し
、メッキ被膜１１のＦｅからの蛍光Ｘ９強度’ＦｅＫａ
を７１Ｊ１１定する。この蛍光Ｘ＃％ＫＩＦｅＫｚけメ
ッキ被膜１１の中のＦｅｊｋ ：Ｗ： 漉Ｗ Ｗ、、−
＝、と下記（１）式に示す如き一義対応の関係にありメ
ッキ被＋俣１＋甲のＦｅｌ量濃度”Ｆｅｌが容易に求め
られる。
−１１，！Ｌｋ：単位質喰の分析元素Ｆｅがり、）Ｊ起
Ｘ線を蛍光Ｘ線に変換する割合 Ｉｏ：励起Ｘ娠の強度 ＷＦｅ：メンキｇ、映中のＦｅ重叡湿度（９）、：励起
Ｘ線に対するＦｅ −Ｚｎメッキ被膜層の質量扱収係故 （ニ）２：蛍光Ｘ１球に対するＦｅ −Ｚｎメッキ被被 膜層の質量吸収係攻 次に実験結果に基き上記関係を明らかにする。
Ｘ線を蛍光Ｘ線に変換する割合 Ｉｏ：励起Ｘ娠の強度 ＷＦｅ：メンキｇ、映中のＦｅ重叡湿度（９）、：励起
Ｘ線に対するＦｅ −Ｚｎメッキ被膜層の質量扱収係故 （ニ）２：蛍光Ｘ１球に対するＦｅ −Ｚｎメッキ被被 膜層の質量吸収係攻 次に実験結果に基き上記関係を明らかにする。
実験の供試料としてはＦｅ２＋、 Ｚｎ２＋から構成さ
れているメッキ液中で電気メッキを行ったものを使用す
る。測定条件は励起源のＸ線管球としてはタングステン
を用い、励起条件としての・閾電圧−管′ｒ竜１ｆｉ（
、ｒ：Ｌ ３０ ＫＶ−３０ｍＡとし測定時１１」は１
０秒としたＯ 力２図は付着量：が１９〜５３ｇ／ｍ２
のｕｕ、 ＶＪＩで、−４板Ｉからの蛍光Ｘｆ＠強度が
実質的に最低となる低角度の入射角ψＴｌ−収用角ψ
−５°の条件にて測定したＦｅ蛍１ 光Ｘ蝋強度’Ｆｅ□（、、Ｃｃｐｓ ）を縦軸に、捷た
化学分析で得られたメッキ被膜中のＦｅの重量篠度ｗ１
．８□〔％〕を横軸にとって示したものであってその場
合の検］社線も図示している。この図に示されるように
’ＦｅＫａとＷＦ ｅ Ｉとは〜義対后の関係に・ちる
ことが実証された。
れているメッキ液中で電気メッキを行ったものを使用す
る。測定条件は励起源のＸ線管球としてはタングステン
を用い、励起条件としての・閾電圧−管′ｒ竜１ｆｉ（
、ｒ：Ｌ ３０ ＫＶ−３０ｍＡとし測定時１１」は１
０秒としたＯ 力２図は付着量：が１９〜５３ｇ／ｍ２
のｕｕ、 ＶＪＩで、−４板Ｉからの蛍光Ｘｆ＠強度が
実質的に最低となる低角度の入射角ψＴｌ−収用角ψ
−５°の条件にて測定したＦｅ蛍１ 光Ｘ蝋強度’Ｆｅ□（、、Ｃｃｐｓ ）を縦軸に、捷た
化学分析で得られたメッキ被膜中のＦｅの重量篠度ｗ１
．８□〔％〕を横軸にとって示したものであってその場
合の検］社線も図示している。この図に示されるように
’ＦｅＫａとＷＦ ｅ Ｉとは〜義対后の関係に・ちる
ことが実証された。
次に前記した角度ψ１□、ψ１□と異なるこれよりも大
きい角度、即ち高角度の入射角ψ１，１で励起ｘｇを略
同じ位置に入射し、且つ高角度の収出角部、で蛍光Ｘ線
を快出し、鋼板１及びメッキ被膜ＩＩのＦｅからの蛍光
Ｘ線強度■Ｆｅあを測定する。この蛍光Ｘ裸強度■Ｆｅ
Ｋ（ｙ、はメッキ被膜１１の１戻ｊ学ｄ１と下記（２）
式の如き一義対応の関係があり、メッキ層１１の月Ｑノ
与毛ｄ□を求め７停る。
きい角度、即ち高角度の入射角ψ１，１で励起ｘｇを略
同じ位置に入射し、且つ高角度の収出角部、で蛍光Ｘ線
を快出し、鋼板１及びメッキ被膜ＩＩのＦｅからの蛍光
Ｘ線強度■Ｆｅあを測定する。この蛍光Ｘ裸強度■Ｆｅ
Ｋ（ｙ、はメッキ被膜１１の１戻ｊ学ｄ１と下記（２）
式の如き一義対応の関係があり、メッキ層１１の月Ｑノ
与毛ｄ□を求め７停る。
１１−↓し Ｃｐ ）１ ＊ ＋’）Ｊ） １ｌｌＰ
Ｘ ｐＨｔに対する下」ｍ金（−１３の’ＩｊＵ１ｉｌ
ン１史収句丈≠う〔 （Ｌ）′２：頂光Ｘ課に対する下地金、馬のア↓１１支
ρ １１及収係、′父 ρＦｅ−Ｚｎ：Ｆｅ−Ｚｎ：メッキ被照１分１曽１５８
図は尚角度の入射ブΔ］釉、−収１ｊ′１角ψ、、１＝
６０°の条件にて測定したＦｅ蛍光Ｘ 気”ｊＭ ｇ
ｌＦｅ１（、（ｃｐｓ〕Ｌ 市ｊＪ（法で得られた付右
昂：Ｃｇ／ｍ２）との関１糸忙目１１記低角度の蛍光Ｘ
線分析によって得たＷＦｅｌを変改としてンバしたもの
であって、縦軸に’ＦｅＫａを、址だ横軸に付着量金と
って示している。この図によりＩＦｅゎＷＦｅＩ及びメ
ッキ被腺厚さく付積量）ｄｌの間に対応関係があること
が解かる。なお第３図において、り点（実線連結）ホＷ
Ｆｅ１か０９０（即ちＺｎのみ）、Ｘ点（破、寂ｌ！］
！結）は同じ＜５．７〜６．３％、Ｚ＼点（欠株連結）
は向しく １２．１〜１５．８％、・９点（イ１１ｂ尿
連結）は回じ＜ ３３．５〜３６．７％、Ｘ点（仄諒連
結）は同じ＜４４．．０〜４７．５％の試料・片につい
てのに１宋を示している。以上詳述したように、低角度
の蛍光Ｘ、線測定で得られるＷＦｅＩを変数として高角
度でりど光Ｘ赤強度を測定することにより、該測定値に
対欝する何名ｉ１が得られることが解る。
Ｘ ｐＨｔに対する下」ｍ金（−１３の’ＩｊＵ１ｉｌ
ン１史収句丈≠う〔 （Ｌ）′２：頂光Ｘ課に対する下地金、馬のア↓１１支
ρ １１及収係、′父 ρＦｅ−Ｚｎ：Ｆｅ−Ｚｎ：メッキ被照１分１曽１５８
図は尚角度の入射ブΔ］釉、−収１ｊ′１角ψ、、１＝
６０°の条件にて測定したＦｅ蛍光Ｘ 気”ｊＭ ｇ
ｌＦｅ１（、（ｃｐｓ〕Ｌ 市ｊＪ（法で得られた付右
昂：Ｃｇ／ｍ２）との関１糸忙目１１記低角度の蛍光Ｘ
線分析によって得たＷＦｅｌを変改としてンバしたもの
であって、縦軸に’ＦｅＫａを、址だ横軸に付着量金と
って示している。この図によりＩＦｅゎＷＦｅＩ及びメ
ッキ被腺厚さく付積量）ｄｌの間に対応関係があること
が解かる。なお第３図において、り点（実線連結）ホＷ
Ｆｅ１か０９０（即ちＺｎのみ）、Ｘ点（破、寂ｌ！］
！結）は同じ＜５．７〜６．３％、Ｚ＼点（欠株連結）
は向しく １２．１〜１５．８％、・９点（イ１１ｂ尿
連結）は回じ＜ ３３．５〜３６．７％、Ｘ点（仄諒連
結）は同じ＜４４．．０〜４７．５％の試料・片につい
てのに１宋を示している。以上詳述したように、低角度
の蛍光Ｘ、線測定で得られるＷＦｅＩを変数として高角
度でりど光Ｘ赤強度を測定することにより、該測定値に
対欝する何名ｉ１が得られることが解る。
而して上述した列」くシー板１に一層目のメッキ液１か
１１か形成された時点で下地金１．蝿たる鋼板１からの
蛍光Ｘ線強度が実質的に最低となる低角度の入射角、収
出角を定めて、励起Ｘ線の入射及び蛍光Ｘ線強度の測定
を行うことにより、この測定結果から一層目のメッキ液
１＃１１における成分の組成が求まり、また前記入射角
、収出角とは異なるこれよりも高角度の入射角、取出角
を定めて、励起Ｘ線の入射及び蛍光Ｘ緑飄度の測定を行
うこ々により、この測定結果から一層目のメッキ被膜１
１の付着量（ｇ／ｍ２’）を求め得ることとなる。
１１か形成された時点で下地金１．蝿たる鋼板１からの
蛍光Ｘ線強度が実質的に最低となる低角度の入射角、収
出角を定めて、励起Ｘ線の入射及び蛍光Ｘ線強度の測定
を行うことにより、この測定結果から一層目のメッキ液
１＃１１における成分の組成が求まり、また前記入射角
、収出角とは異なるこれよりも高角度の入射角、取出角
を定めて、励起Ｘ線の入射及び蛍光Ｘ緑飄度の測定を行
うこ々により、この測定結果から一層目のメッキ被膜１
１の付着量（ｇ／ｍ２’）を求め得ることとなる。
次に二層目のメッキ被膜１２における組成及び付着量を
求める過程について説明する。第゛４図に示す如く二層
目のメッキ被膜１２が形成された時点で、先ず一一目の
メッキ被膜１１からの蛍光Ｘ線強度が最低となる低角度
の入射角丸２．収出角ψＬ２を選定し、前記蛍光Ｘ盪分
析金行った一層目のメッキ被ｉｉｎ １１位置と対応す
る位置において、上記入射角ψ１□での１必起ｘ ａＱ
の人別及び収出角ψＬ２でのＦｅ蛍光Ｘ線強ｔＫ ｒ
を測定する。この蛍光ＸＦｅＫα 線強度１ とメッキ彼映Ｉ２中のＦｅ重量瀘度Ｉ？ｅ
Ｋα ＷＦｅｌとの１３！、Ｉ保は前記第２図に示した一層目
メツキ被膜ｌｌ中のＦｅ重枇濃度ＷＦｅｌと蛍光Ｘ線強
度との関係に近似したものであり、二層目メッキ被膜１
２中のＦｅ屯量濃Ｊ蔓ＷＦｅＬｌが容易に水する。
求める過程について説明する。第゛４図に示す如く二層
目のメッキ被膜１２が形成された時点で、先ず一一目の
メッキ被膜１１からの蛍光Ｘ線強度が最低となる低角度
の入射角丸２．収出角ψＬ２を選定し、前記蛍光Ｘ盪分
析金行った一層目のメッキ被ｉｉｎ １１位置と対応す
る位置において、上記入射角ψ１□での１必起ｘ ａＱ
の人別及び収出角ψＬ２でのＦｅ蛍光Ｘ線強ｔＫ ｒ
を測定する。この蛍光ＸＦｅＫα 線強度１ とメッキ彼映Ｉ２中のＦｅ重量瀘度Ｉ？ｅ
Ｋα ＷＦｅｌとの１３！、Ｉ保は前記第２図に示した一層目
メツキ被膜ｌｌ中のＦｅ重枇濃度ＷＦｅｌと蛍光Ｘ線強
度との関係に近似したものであり、二層目メッキ被膜１
２中のＦｅ屯量濃Ｊ蔓ＷＦｅＬｌが容易に水する。
次に前記した低角度の入射角ψ１，１．収出角φ１，１
と異なるこれよりも大きい角度、即ち高角度の入射角ψ
Ｈ２＋取出角取出全幅め、同じ位置に入射角ψ、１□で
励起Ｘ線の入射及び収出角９！ＩＨ２でＦｅ蛍光Ｘ線強
度’ＦｅＫｔｔ （又はＺｎ蛍光ＸｇＡ 強ＪＫ ＩＺ
、に、、 ）を測定する。この蛍光Ｘ線強度ＩＦｅゎ（
又はＩｚ□や）は二ｊψ目のメッキ被膜１２における１
戻厚ｄ２及び各成分組成の重重濃度ＷＦｅ１１． 、
ＷＺｎｌ［の影響を受けており、これら” ”Ｆｅ１ｌ
、”ＷＺｅｌＪ並ひに一層目のメッキ被膜１１におけ
る組成ＷＦｅＩ、映厚ｄ工間には下記（３）。
と異なるこれよりも大きい角度、即ち高角度の入射角ψ
Ｈ２＋取出角取出全幅め、同じ位置に入射角ψ、１□で
励起Ｘ線の入射及び収出角９！ＩＨ２でＦｅ蛍光Ｘ線強
度’ＦｅＫｔｔ （又はＺｎ蛍光ＸｇＡ 強ＪＫ ＩＺ
、に、、 ）を測定する。この蛍光Ｘ線強度ＩＦｅゎ（
又はＩｚ□や）は二ｊψ目のメッキ被膜１２における１
戻厚ｄ２及び各成分組成の重重濃度ＷＦｅ１１． 、
ＷＺｎｌ［の影響を受けており、これら” ”Ｆｅ１ｌ
、”ＷＺｅｌＪ並ひに一層目のメッキ被膜１１におけ
る組成ＷＦｅＩ、映厚ｄ工間には下記（３）。
（４）式で示す如き関係式（回帰式）が成立する。
’ＦｅＫｔｘ −ｆ （ｄ２ ＋ ν’Ｆｅ１ｌ
、 ｄｌ 、 Ｖｖｐ−８ｌ）
−・ （３）■：ｇ（ｄ２）Ｗ５ｄしＷＺｎ
ｌ）・・・（４）ＺｎＫα Ｚｎ１Ｊ （３） 、 （４）式を解くことによって、ｄ２ ＋
ＷＦｅ［＋ ｌ１ｖＺｎｌｌが求まる。
、 ｄｌ 、 Ｖｖｐ−８ｌ）
−・ （３）■：ｇ（ｄ２）Ｗ５ｄしＷＺｎ
ｌ）・・・（４）ＺｎＫα Ｚｎ１Ｊ （３） 、 （４）式を解くことによって、ｄ２ ＋
ＷＦｅ［＋ ｌ１ｖＺｎｌｌが求まる。
次に実、強結果に基づき上記関係を明らかにする。
供試料としては倶；イΔ櫂にＦｅ２÷からなるメンキ液
中で電気メッキを施し、一層目のメッキ被膜は組成（Ｆ
ｅ ： ８０％）、付着量（２５ｇ／ｒｎ” ）を一定
とし、これに組成及び付着量を異にするＦｅ −Ｚｎ合
企による二層目のメッキ被膜を形成したものを用いた。
中で電気メッキを施し、一層目のメッキ被膜は組成（Ｆ
ｅ ： ８０％）、付着量（２５ｇ／ｒｎ” ）を一定
とし、これに組成及び付着量を異にするＦｅ −Ｚｎ合
企による二層目のメッキ被膜を形成したものを用いた。
捷た蛍光Ｘ線分析計における入射角、取出角の設定には
Ｘ線回折分析に用いられているゴニオメータを利用し、
更に蛍光Ｘ線の検出にはＦｅ、Ｚｎの谷蛍光Ｘ線強度を
分離測定し得る半辱体検出器を用い、隘７匝ターゲット
にはタングステンを用いた。
Ｘ線回折分析に用いられているゴニオメータを利用し、
更に蛍光Ｘ線の検出にはＦｅ、Ｚｎの谷蛍光Ｘ線強度を
分離測定し得る半辱体検出器を用い、隘７匝ターゲット
にはタングステンを用いた。
励起条件とｋての管電圧−管軍電流は３０ＫＶ〜３０ｍ
Ａとし、励起Ｘ線側には厚さ０．１０ｍｍのジルコニク
ムフィルタを用いた。
Ａとし、励起Ｘ線側には厚さ０．１０ｍｍのジルコニク
ムフィルタを用いた。
この実験に鋭いて、低角度の入射角ψＬ−５°。
取出角ψＬ２＝５°の条件で測定した二層目のメッキ被
１１竪からのＦｅ蛍光Ｘ線強度ＩＦｅＫｇ （又は’ｉ
ｎ、Ｋａ ’と化学分析法によって求めた二層１゜１の
メッキ彼１ｊ呆中のＦｅ＋を辰ｊｆｉ＋７度、との関係
は−ハ＠ ｌ：Ｊのメッキ被１１央についての両者の１
カー系である第２図に下すものと１・・／； ｌ’１じ
てあった。弔５，６図（ｄ高角度の人！４１角ψ１□２
−１０°、収１−１１月ψＨ２＝１０°の条件で似；ｌ
定したｌ？ｅ、Ｚｎ蛍光Ｘ・べり：Ｍ ）Ｋ ■Ｆ ｅ
Ｋａ 、 ’ ＺｎＫ１ ’ 消つ（Ｆｅ蛍元Ｘ尿１匝
）変死（６ｔｉｉｌ ）奴のＦｅＫα蛍光Ｘ外泉Ｉｊ虫
度を１としたときの４ｌ文寸通度）Ｚｎ′虫光Ｘ娠強度
比（夷核試料中最大の１圧度になる試料の強度を１とし
たときの相対’：”！”ｖ度）を犬々’Ｆ、ｌＩ［軸に
、また事最分析法によって求めたＦｅ、Ｚｎの付着量（
ｇ’／ｍ２）を、）黄軸にとり、先に１氏用ノ斐の入射
角、収出角で氷めた二層目のメッキ被１１１尾中のＺｎ
組成（へ））ＷＺｎｌｌｌを変数として示しである。
１１竪からのＦｅ蛍光Ｘ線強度ＩＦｅＫｇ （又は’ｉ
ｎ、Ｋａ ’と化学分析法によって求めた二層１゜１の
メッキ彼１ｊ呆中のＦｅ＋を辰ｊｆｉ＋７度、との関係
は−ハ＠ ｌ：Ｊのメッキ被１１央についての両者の１
カー系である第２図に下すものと１・・／； ｌ’１じ
てあった。弔５，６図（ｄ高角度の人！４１角ψ１□２
−１０°、収１−１１月ψＨ２＝１０°の条件で似；ｌ
定したｌ？ｅ、Ｚｎ蛍光Ｘ・べり：Ｍ ）Ｋ ■Ｆ ｅ
Ｋａ 、 ’ ＺｎＫ１ ’ 消つ（Ｆｅ蛍元Ｘ尿１匝
）変死（６ｔｉｉｌ ）奴のＦｅＫα蛍光Ｘ外泉Ｉｊ虫
度を１としたときの４ｌ文寸通度）Ｚｎ′虫光Ｘ娠強度
比（夷核試料中最大の１圧度になる試料の強度を１とし
たときの相対’：”！”ｖ度）を犬々’Ｆ、ｌＩ［軸に
、また事最分析法によって求めたＦｅ、Ｚｎの付着量（
ｇ’／ｍ２）を、）黄軸にとり、先に１氏用ノ斐の入射
角、収出角で氷めた二層目のメッキ被１１１尾中のＺｎ
組成（へ））ＷＺｎｌｌｌを変数として示しである。
これらのグラフから明らかな如く、Ｆｅ蛍光Ｘ・尿強度
比、Ｚｎ蛍光Ｘ線強度比と二層目のメッキ被膜の付着量
との間には対応関係があることが解る。
比、Ｚｎ蛍光Ｘ線強度比と二層目のメッキ被膜の付着量
との間には対応関係があることが解る。
而して一層目からの蛍光Ｘ線強度が最低となる低角度で
の励起Ｘ線の入射及び低角度での蛍光Ｘ線強度の測定結
果から求めた二層目のメッキ被膜中のＺｎ重量濃度ＷＺ
ｎ■を愛飲として高角度でＦｅ、Ｚｎの蛍光Ｘ ？１Ｍ
強Ｊ” ＦｅＫヶ＋ ＩＺｎＫヶの測定を行うことによ
り二層目のメッキ被膜の付＃量が求められる。
の励起Ｘ線の入射及び低角度での蛍光Ｘ線強度の測定結
果から求めた二層目のメッキ被膜中のＺｎ重量濃度ＷＺ
ｎ■を愛飲として高角度でＦｅ、Ｚｎの蛍光Ｘ ？１Ｍ
強Ｊ” ＦｅＫヶ＋ ＩＺｎＫヶの測定を行うことによ
り二層目のメッキ被膜の付＃量が求められる。
次に本発明方法を実施する装置を二層メッキ鋼板の製造
ラインに適用した場合につき具体的にｄ１セリ１する。
ラインに適用した場合につき具体的にｄ１セリ１する。
弔７図は本発明方法を二層（至）メッキ（イ）板の製造
ラインに適用した状態を示す模式図であり、図中１は鋼
板を示している。銅＆ｌは図示しないペイオフリールか
ら保り出されてｌｆ■処坤工程を経た後、先ず一層目の
メッキ用タンク２に通され、その両面にメッキを施され
、スプレィタンク３に通されて洸１録された後、その丘
、下面通過域に臨ませた蛍光ｘ裸分析計４ ｕ ｒ ４
ｄにて相対応する両面のメッキ被膜の膜厚（付着量）
及び組成（濃度）全、第１図に示したＩＡ」き原理に従
って、具体的には第８図に示す如き装置自で測定される
。第８図は蛍光Ｘ線分析計４ｕのブロック図であり、各
励起妃から発せられた励起Ｘ線のうち低角度の入射角ψ
□、でメッキ被）戻１１に照射されたＸ線によって励起
されメッキ被ＩＮＩＩから収出角錐１で収出された蛍光
Ｘ線は検出器３１に尋かれて電気信号に変換される。検
出器３Ｉの出力電気信号は増ＩＭ器３２に人って増媚）
された後に、波高分析器８３及びδ−１゛敗器３４によ
ってメッキ彼ｊ関中の金１．Ｑ１２の蛍光Ｘ線強度に変
換される。
ラインに適用した状態を示す模式図であり、図中１は鋼
板を示している。銅＆ｌは図示しないペイオフリールか
ら保り出されてｌｆ■処坤工程を経た後、先ず一層目の
メッキ用タンク２に通され、その両面にメッキを施され
、スプレィタンク３に通されて洸１録された後、その丘
、下面通過域に臨ませた蛍光ｘ裸分析計４ ｕ ｒ ４
ｄにて相対応する両面のメッキ被膜の膜厚（付着量）
及び組成（濃度）全、第１図に示したＩＡ」き原理に従
って、具体的には第８図に示す如き装置自で測定される
。第８図は蛍光Ｘ線分析計４ｕのブロック図であり、各
励起妃から発せられた励起Ｘ線のうち低角度の入射角ψ
□、でメッキ被）戻１１に照射されたＸ線によって励起
されメッキ被ＩＮＩＩから収出角錐１で収出された蛍光
Ｘ線は検出器３１に尋かれて電気信号に変換される。検
出器３Ｉの出力電気信号は増ＩＭ器３２に人って増媚）
された後に、波高分析器８３及びδ−１゛敗器３４によ
ってメッキ彼ｊ関中の金１．Ｑ１２の蛍光Ｘ線強度に変
換される。
一方、高角度の入射角ψ１．１で鋼板１に照射されたＸ
線によって励起され鋼板１から収出角ψ１（１で収出さ
れた蛍光Ｘ線は、上述の低角度測定の場合と同様に構成
されている検出器４１．増幅器４２．波高分析器４３及
び計数器４４によって鋼＆１の蛍光Ｘ線強度に変換され
る。計数器３４．４４の蛍光Ｘ線強度に対応する出力は
演算器５０に棉かれる。
線によって励起され鋼板１から収出角ψ１（１で収出さ
れた蛍光Ｘ線は、上述の低角度測定の場合と同様に構成
されている検出器４１．増幅器４２．波高分析器４３及
び計数器４４によって鋼＆１の蛍光Ｘ線強度に変換され
る。計数器３４．４４の蛍光Ｘ線強度に対応する出力は
演算器５０に棉かれる。
この演算器５０には、ｖＪ２図で示される如き’ＦｅＫ
ｒｘとＷＦｅＩの胸係式ｗＦｅｌ ＝ ｆ（■ＦｅＫａ
”びクコ３図で示される如き’ＦｅＫｃｃ ’ ”ｌｉ
’ｅＩ及び目付ｔ１．（厚さ） Ｃ１ｌの１４１４．４
式ｄ、＝ ” ＩＦ ｅＫ（ｚ ’νｖＦｅＩ’が予め
設定されており、上述の１７！Ｄ ＜ シて得られる蛍
光Ｘ線強度に対応する重量媒）ｙ及び目付量が演算され
表示器５１に表示される。な寂、検出器３１．４１とし
てけＦｅ及びＺｎの蛍光強度が容易に分離測定できる半
導体検出１嚇を用いるのがよい。
ｒｘとＷＦｅＩの胸係式ｗＦｅｌ ＝ ｆ（■ＦｅＫａ
”びクコ３図で示される如き’ＦｅＫｃｃ ’ ”ｌｉ
’ｅＩ及び目付ｔ１．（厚さ） Ｃ１ｌの１４１４．４
式ｄ、＝ ” ＩＦ ｅＫ（ｚ ’νｖＦｅＩ’が予め
設定されており、上述の１７！Ｄ ＜ シて得られる蛍
光Ｘ線強度に対応する重量媒）ｙ及び目付量が演算され
表示器５１に表示される。な寂、検出器３１．４１とし
てけＦｅ及びＺｎの蛍光強度が容易に分離測定できる半
導体検出１嚇を用いるのがよい。
型光Ｘ線分析計４ｕ、４ｄを経た鋼＆１は二層目のメッ
キ用タンク５に通され、同様にその１匈ｍ１にメンキを
施ぎれスプレィタンク６に１ｉＪｉされてｆｋ ／Ｉ［
ａされた後、その上、ド、ｊｕ過域に國ませた蛍光Ｘ
１１分析計７ｕ、７ｄに達し、ここで前記第４図におい
て説明した如き連用Ｉによって、二層目のメッキ層にお
ける膜厚及び目保冗素の組成がγＩ（１１定される。
キ用タンク５に通され、同様にその１匈ｍ１にメンキを
施ぎれスプレィタンク６に１ｉＪｉされてｆｋ ／Ｉ［
ａされた後、その上、ド、ｊｕ過域に國ませた蛍光Ｘ
１１分析計７ｕ、７ｄに達し、ここで前記第４図におい
て説明した如き連用Ｉによって、二層目のメッキ層にお
ける膜厚及び目保冗素の組成がγＩ（１１定される。
具体的な蛍光Ｘ猟分析計の構成は第８図に示しだ構成と
同じである。
同じである。
第９，１０図は上述した手順で分析した二層目のメッキ
被＋１＝ １２ ｔｃついての付ｆｔ ｆ＜ （ｇ ／
ｒｎす、Ｚｎ賞＠→と、従来行なわれている重量法に
ょる二層目メッキ被膜の付着ｍ（ｇ／ｍす、化学分析法
によるＺｎ量−との結果を示すグラフである。第９図の
グラフは横軸に重量法により求めた二層目のメッキ被膜
の付着量（ｇ／ｍ２）を、また縦軸に本発明方法により
求めた二層目メッキ被膜の付着量（ｇ／ｍ２）をとって
示してあり、一方＠１０図は横１１に化学分析法により
求めた二層目のメッキ被膜のＺ ｎ Ｑ）。
被＋１＝ １２ ｔｃついての付ｆｔ ｆ＜ （ｇ ／
ｒｎす、Ｚｎ賞＠→と、従来行なわれている重量法に
ょる二層目メッキ被膜の付着ｍ（ｇ／ｍす、化学分析法
によるＺｎ量−との結果を示すグラフである。第９図の
グラフは横軸に重量法により求めた二層目のメッキ被膜
の付着量（ｇ／ｍ２）を、また縦軸に本発明方法により
求めた二層目メッキ被膜の付着量（ｇ／ｍ２）をとって
示してあり、一方＠１０図は横１１に化学分析法により
求めた二層目のメッキ被膜のＺ ｎ Ｑ）。
（＠を、ま７ζ縦頓に本発明方法により求めた二層目の
メッキ被膜の付着量（ｇ ／ １ｉ）２）をとって示し
である。
メッキ被膜の付着量（ｇ ／ １ｉ）２）をとって示し
である。
これらのグラフから明らかな如く、末完１月方法てよる
二層目メッキ被膜の付着量（ｇ／ｌη２）、Ｚｎけ１（
＠はいずれも従来方法によって求めたイ１１〕と一致し
ており、十分な測定精度が寿られることを示している。
二層目メッキ被膜の付着量（ｇ／ｌη２）、Ｚｎけ１（
＠はいずれも従来方法によって求めたイ１１〕と一致し
ており、十分な測定精度が寿られることを示している。
次に木発り４方法を鋼板表面に一層目としてｉｒｅ、−
Ｚｎ合金勿、二層目には組成の異なるＦｅ−Ｚｎｎ合金
メンキする二層メッキ鋼板の製造ラインに適用して二層
目のメッキ被膜の付着量（ｇ ／ １１１２） 、及び
Ｚｎ量を分析した結果と、従来より実施されている市昂
、法を適用して二層目のメッキ被膜の付着量（ｇＡｎ２
）を、また化学分析法を適用して二層ｌのＺｎ量を分析
した結果とを示す。
Ｚｎ合金勿、二層目には組成の異なるＦｅ−Ｚｎｎ合金
メンキする二層メッキ鋼板の製造ラインに適用して二層
目のメッキ被膜の付着量（ｇ ／ １１１２） 、及び
Ｚｎ量を分析した結果と、従来より実施されている市昂
、法を適用して二層目のメッキ被膜の付着量（ｇＡｎ２
）を、また化学分析法を適用して二層ｌのＺｎ量を分析
した結果とを示す。
なお本発明法としては、鋼板表面に一層目としてＦｅ−
Ｚｎ合金をメッキした諺に、鋼板からの蛍光Ｘ線強度が
実質的に最低となる入射角丸、−５°。
Ｚｎ合金をメッキした諺に、鋼板からの蛍光Ｘ線強度が
実質的に最低となる入射角丸、−５°。
取出角ψ１□＝５°、で天測し、次いで、高角度の入射
角軸□＝６０°、収出角ψＨ１＝６０°、ご実測した後
、二層目として一層目の組成と異なるＦｅ−Ｚｎ合金の
メッキを施し、一層目の蛍光Ｘ線分析位１ｆｆｉと同位
置において、再び、一層目からの蛍光Ｘ線強度が実質的
に最低となる入射角！ｐＬ２−５°、収出角ψＬ２−５
°。
角軸□＝６０°、収出角ψＨ１＝６０°、ご実測した後
、二層目として一層目の組成と異なるＦｅ−Ｚｎ合金の
メッキを施し、一層目の蛍光Ｘ線分析位１ｆｆｉと同位
置において、再び、一層目からの蛍光Ｘ線強度が実質的
に最低となる入射角！ｐＬ２−５°、収出角ψＬ２−５
°。
で実測し１２次いで、一層目から蛍光Ｘ線が測定される
比較的高角度の入射角軸２−１０°、収出角ψ１，２−
１Ｏ９で実測した。第１１図は横軸に重量法によシ氷め
た二層目のメッキ被膜付着、請： （ｇ／ｒｎ２）を、
また縦軸に本発明方法により求めた二層目のメッキ鼓膜
付着量（ｇ／１ｎ２）をとって示してあり、一方第１２
図は横軸に化学分析法により求めた二層目メッキ被膜中
のＺｎ量（ロ）を、また縦軸に本発明方法により求めた
二層目メッキ被膜中のＺｎ量に）をとって示しである。
比較的高角度の入射角軸２−１０°、収出角ψ１，２−
１Ｏ９で実測した。第１１図は横軸に重量法によシ氷め
た二層目のメッキ被膜付着、請： （ｇ／ｒｎ２）を、
また縦軸に本発明方法により求めた二層目のメッキ鼓膜
付着量（ｇ／１ｎ２）をとって示してあり、一方第１２
図は横軸に化学分析法により求めた二層目メッキ被膜中
のＺｎ量（ロ）を、また縦軸に本発明方法により求めた
二層目メッキ被膜中のＺｎ量に）をとって示しである。
これら両グラフから明らかな如く、いずれも本発明方法
にて得た二層目のメッキ被膜の付着量、Ｚｎ量とも大々
重量法、化学分析法による結果と一致する結果が得られ
ている。
にて得た二層目のメッキ被膜の付着量、Ｚｎ量とも大々
重量法、化学分析法による結果と一致する結果が得られ
ている。
更に本発明法の別の態様として、鋼板表面に一層目とし
てＮ ｉ −Ｚ ｎ合金を７メツキした後に、二層目と
してＦｅ−Ｚ’ｎ合金をメンキした場合について示す。
てＮ ｉ −Ｚ ｎ合金を７メツキした後に、二層目と
してＦｅ−Ｚ’ｎ合金をメンキした場合について示す。
鋼板表面に一層目としてＮｉ−Ｚｎ合金をメッキしたの
ちに、入射角ψ−９０°、収出角ψ−８５゜の条件で、
犬々の蛍光Ｘ線強度■ＦｅＫａ ”Ｎ１Ｋａ及び■Ｚｎ
Ｋｇ 全測定し、■ 蛍光Ｘ線強度測定値及ＦｅＫ−
α ひ予め定めておいたＩＦ ｅＫｚ蛍゛光Ｘ思：類１度と
、付−着量二との関係から付着量を求め、また’Ｎ１Ｋ
ａ、蛍光Ｘ線強度測定値と’ＺｎＫａ蛍光Ｘ線強度測定
値との比、文ひ予め定めておいたｌＮ１Ｋａ蛍光Ｘ練強
度と’ＺｎＫａ蛍光Ｘ線強度との比とＮｉ量又はＺｎ量
との関係から１東量又はＺｎ量を求めた。この様にして
一層目のメッキの付着量とＮｉ量又はＺｎ量を測定した
のちに、Ｆｅ−Ｚｎ合金メッキを施し、一層目の蛍光Ｘ
ａ分析位百と同位１百において、再び一層目からの蛍光
Ｘ線強度が夫質的に最低となる入射角丸、＝５°、収出
角ψ５□＝５°で実測し、次いで一層目からの蛍光Ｘ線
が測定される比較的高角度の入射角６λＨ２−１０°、
収出角ψＨ２−１０°、で測定した。この様にして求め
た結果を、第１３図、第１４図に示す。第１３図は、横
ｌ紬に重量法により求めた二層目のメッキ被）模付着量
（ｇ／／１１１２）を、また縦軸に本発明法で求めた二
層目のメッキ被膜付着量（ｇ／ｍ２）’ｅとって示しで
ある。また、第１４図は、横軸に化学分析法により求め
た二層目のメッキ被膜中Ｚｎ量（％）を、縦ＩＩＩ洸末
完明法で求めた二層目のメンキ被１模中Ｚ ｎ 敏（％
）をとって示しである。
ちに、入射角ψ−９０°、収出角ψ−８５゜の条件で、
犬々の蛍光Ｘ線強度■ＦｅＫａ ”Ｎ１Ｋａ及び■Ｚｎ
Ｋｇ 全測定し、■ 蛍光Ｘ線強度測定値及ＦｅＫ−
α ひ予め定めておいたＩＦ ｅＫｚ蛍゛光Ｘ思：類１度と
、付−着量二との関係から付着量を求め、また’Ｎ１Ｋ
ａ、蛍光Ｘ線強度測定値と’ＺｎＫａ蛍光Ｘ線強度測定
値との比、文ひ予め定めておいたｌＮ１Ｋａ蛍光Ｘ練強
度と’ＺｎＫａ蛍光Ｘ線強度との比とＮｉ量又はＺｎ量
との関係から１東量又はＺｎ量を求めた。この様にして
一層目のメッキの付着量とＮｉ量又はＺｎ量を測定した
のちに、Ｆｅ−Ｚｎ合金メッキを施し、一層目の蛍光Ｘ
ａ分析位百と同位１百において、再び一層目からの蛍光
Ｘ線強度が夫質的に最低となる入射角丸、＝５°、収出
角ψ５□＝５°で実測し、次いで一層目からの蛍光Ｘ線
が測定される比較的高角度の入射角６λＨ２−１０°、
収出角ψＨ２−１０°、で測定した。この様にして求め
た結果を、第１３図、第１４図に示す。第１３図は、横
ｌ紬に重量法により求めた二層目のメッキ被）模付着量
（ｇ／／１１１２）を、また縦軸に本発明法で求めた二
層目のメッキ被膜付着量（ｇ／ｍ２）’ｅとって示しで
ある。また、第１４図は、横軸に化学分析法により求め
た二層目のメッキ被膜中Ｚｎ量（％）を、縦ＩＩＩ洸末
完明法で求めた二層目のメンキ被１模中Ｚ ｎ 敏（％
）をとって示しである。
この両グラフから、いずれも本発明方法、ｌごて得。
た二層目のメッキ被膜の付着量は、Ｚｎ−はともに、弔
１１図、第１２図と同椋に、重量法、化学分析法による
ものと一致する結果がイ４Ｉられた。
１１図、第１２図と同椋に、重量法、化学分析法による
ものと一致する結果がイ４Ｉられた。
以上の如く本発明方法にあっては複層メッキ製品であっ
て、しかも各メンキ被ｊ模に共通の元素を含む場合にお
いても各メッキ被膜の膜厚及び組成を正確に、しかも自
動的に定量することが出来て、オンラインに適用して膜
厚９組成の制御に利用することが出来るなど、木発すＪ
は侵れた効果を奏するものである。
て、しかも各メンキ被ｊ模に共通の元素を含む場合にお
いても各メッキ被膜の膜厚及び組成を正確に、しかも自
動的に定量することが出来て、オンラインに適用して膜
厚９組成の制御に利用することが出来るなど、木発すＪ
は侵れた効果を奏するものである。
多５１図は不発（７）方法の原理説１１図、第２図はｍ
一層目のメッキ被膜における’ＰｅＫａ ’ＦｅＩの
相関関係を示すグラフ、第３図は一層目のメッキ被膜に
おけるＷＦｅＩ全変べとしたＩＦｅ紐−付４量のｒ＋」
＋＝開保を示すグラフ、第４図は本発明方法の原理説明
図、ｔｉ、ｉ ５ 、６図は二層目のメッキ被膜におけ
るＷＺｅｌをノＳ般とした１ −付を゛量１ ’Ｚｎ
Ｋｚ−付肴尾の４ｕ関関ＦｅＫα 俤を示すグラフ、弗７図は本発明方法を二層メッキ銅板
の製造ラインに適用し之ときの具体的な構１μ、を示す
模式図、第８図は一層目のメッキ被膜に対する蛍光Ｘ線
分析計のブロック図、９６９図は不発ゾＪ方法と従来の
重量法とを適用して二層目メッキ液１１Ｑの付着量を測
定した結果を比較して示すグラフ、第１０図は本発明方
法と従来の化学分析法と全適用して二層目メッキ被膜中
のＺｎ量を測定した結果をｊｔＩ吠して示すグラフ、・
帛１１図は本発明方法を二層メッキ鋼板の製造ラインに
適用してニル４目のメッキ被膜付着量を検出した結果を
、従来の４１童法によって検出した結果と比較して示す
グラフ、第１２図は本発明方法を同じく二層メッキ鋼板
の製造ラインに適用して二層目のメッキ被１模中のＺｎ
１ｄを測定した結果を従来の化学分析法によって測定し
た結果と比較して示すグラフ、第１３図は本発明の他の
夫原則について二層目のメッキ被膜付着量を本発明方法
の結果と「重量法によって検出した結果を比較して示す
グラフ、弔１４図は同じく二層目のメッキｆ＆膜中のＺ
ｌけ本発明方法の結果と化学分析法によって検出した結
果を比較して示すグラフである。 ■・・・副板 ２・・・メッキタンク ３・・・スプレ
ィタンク ４ｕ、４ｄ・・・蛍光Ｘ裸分析計 ５・・二
層目メッキタンク ６・スプレィタンク ７ｕ、７ｄ・
・・蛍光Ｘ線分析計 １１・・・一層目メッキ被膜１２
・・・二層目メッキ彼Ｉ模 ３１，４１・・・検出器８
２．４２・・・増幅器 ８８．４３・・・波高分析器３
４．４４・・・計疾器 ５０・・・演算器 ５１−・表
示器第 １ 図 ０ １０ ２０ ．３Ｑ
４０ ５００ Ｉｏ
２０ ３０ ４ＯＳ０４目メツキ
ネ皮鰻のイす 尤 量 〔９ん２〕（重量法【２よろ
値） 第 ３ 図 菓卆図 二層目メヅキネｉｆｆ？イ呼名量（＃／、−）第 ５
図 ニＥ目メッキオ崖月埠の４４者ｔ（ｆｆ％慈）第 ６
図 第７図 一＼−１ 第８ 図 二層目メツリ皮月葵の付名量ｇＡ？Ｃ１しＱ第９図 ＝Ｍ目メ・ツキ移月暴中のｚ、８％、（／ヒ学分才を請
菓 ７０ 図 （（４） 第 ｌｌ 図 ）″′ 二鳥目メッキ被月莫の付着量（重量法）９ム・第７３図 二層目メッキ粧月φ中のｚ７量（イＩＺ営分耕ｓ大）鰯
第 ／ｌ−Ａ 図
一層目のメッキ被膜における’ＰｅＫａ ’ＦｅＩの
相関関係を示すグラフ、第３図は一層目のメッキ被膜に
おけるＷＦｅＩ全変べとしたＩＦｅ紐−付４量のｒ＋」
＋＝開保を示すグラフ、第４図は本発明方法の原理説明
図、ｔｉ、ｉ ５ 、６図は二層目のメッキ被膜におけ
るＷＺｅｌをノＳ般とした１ −付を゛量１ ’Ｚｎ
Ｋｚ−付肴尾の４ｕ関関ＦｅＫα 俤を示すグラフ、弗７図は本発明方法を二層メッキ銅板
の製造ラインに適用し之ときの具体的な構１μ、を示す
模式図、第８図は一層目のメッキ被膜に対する蛍光Ｘ線
分析計のブロック図、９６９図は不発ゾＪ方法と従来の
重量法とを適用して二層目メッキ液１１Ｑの付着量を測
定した結果を比較して示すグラフ、第１０図は本発明方
法と従来の化学分析法と全適用して二層目メッキ被膜中
のＺｎ量を測定した結果をｊｔＩ吠して示すグラフ、・
帛１１図は本発明方法を二層メッキ鋼板の製造ラインに
適用してニル４目のメッキ被膜付着量を検出した結果を
、従来の４１童法によって検出した結果と比較して示す
グラフ、第１２図は本発明方法を同じく二層メッキ鋼板
の製造ラインに適用して二層目のメッキ被１模中のＺｎ
１ｄを測定した結果を従来の化学分析法によって測定し
た結果と比較して示すグラフ、第１３図は本発明の他の
夫原則について二層目のメッキ被膜付着量を本発明方法
の結果と「重量法によって検出した結果を比較して示す
グラフ、弔１４図は同じく二層目のメッキｆ＆膜中のＺ
ｌけ本発明方法の結果と化学分析法によって検出した結
果を比較して示すグラフである。 ■・・・副板 ２・・・メッキタンク ３・・・スプレ
ィタンク ４ｕ、４ｄ・・・蛍光Ｘ裸分析計 ５・・二
層目メッキタンク ６・スプレィタンク ７ｕ、７ｄ・
・・蛍光Ｘ線分析計 １１・・・一層目メッキ被膜１２
・・・二層目メッキ彼Ｉ模 ３１，４１・・・検出器８
２．４２・・・増幅器 ８８．４３・・・波高分析器３
４．４４・・・計疾器 ５０・・・演算器 ５１−・表
示器第 １ 図 ０ １０ ２０ ．３Ｑ
４０ ５００ Ｉｏ
２０ ３０ ４ＯＳ０４目メツキ
ネ皮鰻のイす 尤 量 〔９ん２〕（重量法【２よろ
値） 第 ３ 図 菓卆図 二層目メヅキネｉｆｆ？イ呼名量（＃／、−）第 ５
図 ニＥ目メッキオ崖月埠の４４者ｔ（ｆｆ％慈）第 ６
図 第７図 一＼−１ 第８ 図 二層目メツリ皮月葵の付名量ｇＡ？Ｃ１しＱ第９図 ＝Ｍ目メ・ツキ移月暴中のｚ、８％、（／ヒ学分才を請
菓 ７０ 図 （（４） 第 ｌｌ 図 ）″′ 二鳥目メッキ被月莫の付着量（重量法）９ム・第７３図 二層目メッキ粧月φ中のｚ７量（イＩＺ営分耕ｓ大）鰯
第 ／ｌ−Ａ 図
Claims (1)
- １、純金属又は合金の複層メッキ披ｊｊＱの付着量及び
／又は組成を定量する方法において、一層目のメッキ被
膜を形成した後、該一層目のメッキ被膜についての付着
量及び／又は組成を蛍光Ｘ線分析し、次いで二層目のメ
ッキｍ１ｉＱｌを形成した後、前記蛍光Ｘ線分析を行っ
た一層目のメッキ被１侯位論゛と対応する位置について
蛍光Ｘ線分析を行い、両賞光Ｘ線分析結果に基づいて二
層目のメッキ被膜についての付 ３着量及び／又は組成
を算出することを特徴とするメッキ被膜の蛍光Ｘ線分析
法。 映２、純金属又は合金の複層メッキ被膜
の付着量 に及び／又は組成を定量する方法において、
一層目のメッキ被膜を形成した後、該一層目の のメッ
キ被１侯についての付着量及び／又は組成 性を蛍光Ｘ
、ａｔｔ分析し、次いで二層目のメッキ披 係一層目
のメッキ被膜位置と対応する位置について、一層目のメ
ッキ被膜からの蛍光Ｘ線強度が実質的に最低となる入射
角で励起Ｘ線を照射し、且つ収出角で蛍光Ｘ線強度を測
定すると共にこれら入射角、収出角とは異なる入射角及
び取出角で励起Ｘ線の照射及び蛍光Ｘ線の測定を行い、
これら測定値及び一層目のメッキ被膜についての蛍光Ｘ
線分析結果に基づき二層目のメッキ被膜についての付着
量及び／又は組成を算出することを特徴とする蛍光Ｘ慰
分析法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6981483A JPS59195146A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | メツキ被膜の螢光ｘ線分析法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6981483A JPS59195146A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | メツキ被膜の螢光ｘ線分析法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195146A true JPS59195146A (ja) | 1984-11-06 |
| JPH056139B2 JPH056139B2 (ja) | 1993-01-25 |
Family
ID=13413601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6981483A Granted JPS59195146A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | メツキ被膜の螢光ｘ線分析法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195146A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6188128A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-06 | Kawasaki Steel Corp | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
| JPS61132847A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ２層メツキ被膜の螢光ｘ線分析方法及び装置 |
| US5113421A (en) * | 1988-05-13 | 1992-05-12 | Data Measurement Corporation | Method and apparatus for measuring the thickness of a coating on a substrate |
| WO2012008513A1 (ja) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | 株式会社堀場製作所 | 蛍光ｘ線検出方法及び蛍光ｘ線検出装置 |
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-
1983
- 1983-04-19 JP JP6981483A patent/JPS59195146A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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| JPH0576574B2 (ja) * | 1984-11-30 | 1993-10-22 | Sumitomo Metal Ind | |
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| WO2012008513A1 (ja) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | 株式会社堀場製作所 | 蛍光ｘ線検出方法及び蛍光ｘ線検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH056139B2 (ja) | 1993-01-25 |
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