JPS6188129A - 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 - Google Patents
合金被膜の膜厚及び組成測定方法Info
- Publication number
- JPS6188129A JPS6188129A JP59209098A JP20909884A JPS6188129A JP S6188129 A JPS6188129 A JP S6188129A JP 59209098 A JP59209098 A JP 59209098A JP 20909884 A JP20909884 A JP 20909884A JP S6188129 A JPS6188129 A JP S6188129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- layer
- alloy
- fluorescent
- composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、合金被膜の膜厚及び組成測定方法に係り、特
に、第１層（下層）にＺｎ−Ｆｅ合金めつき、第２１！
（上層）にＦｅを主成分とするＦｅめつきを施したＺｎ
−Ｆｅ茶系２層金めっき鋼板の分析に用いるのに好適な
、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２Ｍの合金
被膜のｉ厚及び組成をそれぞれ測定する方法に関する。
に、第１層（下層）にＺｎ−Ｆｅ合金めつき、第２１！
（上層）にＦｅを主成分とするＦｅめつきを施したＺｎ
−Ｆｅ茶系２層金めっき鋼板の分析に用いるのに好適な
、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２Ｍの合金
被膜のｉ厚及び組成をそれぞれ測定する方法に関する。
自動車車体、家庭電気製品及び建築材料用として、耐蝕
性、加工性、塗装性、溶接性等に濠れた各種めっき鋼板
が開発されており、広く使用されている。これらのめつ
き鋼板の生産に際して、その品質を安定させるためには
、めっき被膜の厚さく付１１及び組成（成分含有率）を
分析して工Ｐｉ管理することが不可欠である。 めっき鋼板の分析方法としては、ｌｎめっき鋼板やＺｎ
−１’Ｊｉ合金めっき鋼板等のように、めっき？！ｌ！
ｉ膜が下地鋼板であるＦｅ以外の成分からなるものにつ
いては、螢光Ｘ線分析法により比較的簡単にめっき被膜
の厚さ及び組成が分析でき、この種の分析装置は既に実
用化されている。 しかしながら、最近、特に滉れた特性が注目されている
ｚｎ−Ｆｅ系合金めっき鋼板については、通常の景光Ｘ
＄１法では、ｌｎの螢光Ｘ線強度がめつき被膜中のＺｎ
又はＦｅの含有率やめっき被膜の厚さによって変化する
こと、及び、Ｆｅについては、下地鋼板から多量のＦｅ
の螢光Ｘ線が発生し、それがめつき被膜中のＦｅの螢光
Ｘ線と区別がつかないことにより分析は不可能であった
。 そのために、Ｚｎ−Ｆｅ系１層合金めっき鋼板の分析方
法としては、次のような方法が従来がら提案されている
。その第１は、特開昭５５−２４６８０で提案されてい
る方法で、これは、Ｚｎ −Ｆｅの合金化処理を施した
７ｎめっき鋼板について、下地鋼板のＦｅ以外の金属、
即ち、ｚｎの螢光Ｘ線強度を相異なる２種の取出角で測
定し、両側定値を基に所定の連立方程式を解いて、前記
めっき鋼板のめつき厚さ及び合金化度（Ｆｅ含有率）を
求めるものである。この方法では、別に予め２種の取出
角で充分厚い純亜鉛試料のｚｎの螢光Ｘ線強度を測定し
ておき、次に、同じＸ線分光器で合金七叫理を施したＺ
ｎめつき鋼板のｌｎの蛍光ＸＩ！強度を」り定して、そ
れぞれの取出角について、先に求めた純亜鉛の螢光ＸＩ
Ｉ強度との比で解析する。この取出角を変化させての螢
光ＸＩＩ定量法は、古くから教科書等に掲載されている
螢光Ｘ線分析法の基礎的理論で、誰もが知っている公知
のものである。 又、第２は特開昭５８−２２３０４７で提案されている
方法で、これはＺｎ−１”ｅ合金めつき鋼板について、
下地鋼板からのＦｅの螢光Ｘ線が実質的に検出されない
第１の励起線入射角及び螢光Ｘ線取出角によるＦｅの螢
光Ｘ線強度から前記めっき被膜中のＦｅ含有率を求め、
又、下地鋼板からのＦｅの螢光Ｘ線が検出される第２の
励起線入射角及び螢光Ｘ線取出色によるＦｅの螢光Ｘ線
強度から前記めっき被膜の厚さを求めるものである。
性、加工性、塗装性、溶接性等に濠れた各種めっき鋼板
が開発されており、広く使用されている。これらのめつ
き鋼板の生産に際して、その品質を安定させるためには
、めっき被膜の厚さく付１１及び組成（成分含有率）を
分析して工Ｐｉ管理することが不可欠である。 めっき鋼板の分析方法としては、ｌｎめっき鋼板やＺｎ
−１’Ｊｉ合金めっき鋼板等のように、めっき？！ｌ！
ｉ膜が下地鋼板であるＦｅ以外の成分からなるものにつ
いては、螢光Ｘ線分析法により比較的簡単にめっき被膜
の厚さ及び組成が分析でき、この種の分析装置は既に実
用化されている。 しかしながら、最近、特に滉れた特性が注目されている
ｚｎ−Ｆｅ系合金めっき鋼板については、通常の景光Ｘ
＄１法では、ｌｎの螢光Ｘ線強度がめつき被膜中のＺｎ
又はＦｅの含有率やめっき被膜の厚さによって変化する
こと、及び、Ｆｅについては、下地鋼板から多量のＦｅ
の螢光Ｘ線が発生し、それがめつき被膜中のＦｅの螢光
Ｘ線と区別がつかないことにより分析は不可能であった
。 そのために、Ｚｎ−Ｆｅ系１層合金めっき鋼板の分析方
法としては、次のような方法が従来がら提案されている
。その第１は、特開昭５５−２４６８０で提案されてい
る方法で、これは、Ｚｎ −Ｆｅの合金化処理を施した
７ｎめっき鋼板について、下地鋼板のＦｅ以外の金属、
即ち、ｚｎの螢光Ｘ線強度を相異なる２種の取出角で測
定し、両側定値を基に所定の連立方程式を解いて、前記
めっき鋼板のめつき厚さ及び合金化度（Ｆｅ含有率）を
求めるものである。この方法では、別に予め２種の取出
角で充分厚い純亜鉛試料のｚｎの螢光Ｘ線強度を測定し
ておき、次に、同じＸ線分光器で合金七叫理を施したＺ
ｎめつき鋼板のｌｎの蛍光ＸＩ！強度を」り定して、そ
れぞれの取出角について、先に求めた純亜鉛の螢光ＸＩ
Ｉ強度との比で解析する。この取出角を変化させての螢
光ＸＩＩ定量法は、古くから教科書等に掲載されている
螢光Ｘ線分析法の基礎的理論で、誰もが知っている公知
のものである。 又、第２は特開昭５８−２２３０４７で提案されている
方法で、これはＺｎ−１”ｅ合金めつき鋼板について、
下地鋼板からのＦｅの螢光Ｘ線が実質的に検出されない
第１の励起線入射角及び螢光Ｘ線取出角によるＦｅの螢
光Ｘ線強度から前記めっき被膜中のＦｅ含有率を求め、
又、下地鋼板からのＦｅの螢光Ｘ線が検出される第２の
励起線入射角及び螢光Ｘ線取出色によるＦｅの螢光Ｘ線
強度から前記めっき被膜の厚さを求めるものである。
しかしながら、生産ラインでは、めっき鋼板は例えば１
００ ｍ 、’ｒＲｉｎという高速で流れているので、
めつきｗＩ仮は必ず大なり小なりばたついており、この
ばたつきの影響はめつき鋼板の方だけが受けることにな
るので、特開昭５５−２４６８０で提案された前者の方
法では、当然分析精度が悪くなる。 又１．金合金っきｙ４板のめつき被膜の禅さは一般に２
０〜３０ｇ／′ｌｌ１２ （約３〜ｌｚｍ）と非常に薄
いので、特開昭５８−２２３０４７で提案された後者の
方法で、めっき被膜中の金属の螢光Ｘ線を正確に測定で
きる程の強い強度を得ようとすると、その薄いめっき？
！膜層だけを励起することは実際上不可能で、どうして
も下地鋼板の金属も励起することになる。従って、この
場合、めっき被膜中のｌ”ｅと下地鋼板のＦｅの両方の
螢光Ｘ線強度を測定することになって、正確な分析がで
きなくなる。更に、オンライン化を考えた場合、第１の
ＸＩ光学系における低角度の入射角−取出角＝５゛では
、Ｘ線管球の大きさ、Ｘ線分光系の構造上、分析計の保
護カバー等からしても実際にそのような装置を作製する
ことは不可能であった。 従って、従来提案されているような方法にはいずれも問
題があるので、結局は、従来通り、めっき被膜層だけを
電解又は適当な酸により溶解除去し、その除去量からめ
つき被膜の厚さを、又、溶解液の鉄量を化学分析してめ
っき？Ｆｌ膜中のＦｅ含有率を求めるという化学分析法
に頼らざるを寿ない。しかしながら、この化学分析法は
、下地鋼板を溶かさずにめっき被膜層だけを溶解するこ
とは大変困難であるので、著しい熟練と長時間を要し、
しがち製品から試料を採取する破壊分析であり、オンラ
イン化もできないので、工程管理への測定結果の反映が
非常に遅くなるという問題点を有していた。 このように、１層だけＺｎ−Ｆｅ合金めっきを施したＺ
ｌｌ−Ｆｅ系１層合金めつき鋼板でさえ分折が困難であ
るのに、まして、第１層にＺｎ −Ｆｅ合金めつき、第
２層にＦｅを主成分とするＦｅめつきを施したｚｎ−Ｆ
ｅ系２層合金めつき鋼板になると、問題は一層複雑にな
り、高精度の測定は著しく困難であった。 一方、本発明に類似するものとして、特開昭５０−１７
６９５において、３Ｉ続的に移動する鋼板に一定角度を
もって特性Ｘ線及び白色Ｘ線を照射する手段と、この照
明点からのブラッグの条件を満足する波長の回折Ｘ線及
び螢光Ｘ線を検出する手段と、これらの検出信号を分析
してそれぞれの集合組織、元素等の強度値を検知する手
段とを備えたことを特徴とする鋼板の連続品質検査装置
も提案されているが、本発明とは目的及び構成が異なる
だけでなく、膜厚を検出することは１テわれていなかっ
た。 ［発明の目的］ 本発明は、前記従来の問題点を解消するべ（なされたも
ので、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２＠の
合金被膜の膜厚及び組成を、層別して、それぞれ同時に
且つ非破壊的に測定することができる合金被膜の膜厚及
び組成測定方法を提供づることを目的とする。 【問題点を解決するための手段１ 本発明は、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２
居の合金被膜の膜厚及び組成をそれぞれ測定づるに際し
て、第１図にその要旨を示す如く、測定対涼に特性Ｘ線
及び白色Ｘ線を照射し、前記特性Ｘ線の、第１＠（下層
）合金被膜の金属間化合物による回折ＸｔＱの回折角を
検出して、該回折角から第１層合金被膜の組成を測定す
ると共に、前記白色Ｘｆ！による、下地金属、合金被膜
中の下地金属と同じ金属、及び、合金被膜中の下地金属
と異なる金属からの螢光Ｘ線の強度を２葎の取出角でそ
れぞれ検出して、該螢光Ｘ線強度及び前記第１層合金被
膜組成から第１層及び第２層（上層）合金被膜の膜厚を
同時に測定するようにして、前記目的を達成したもので
ある。 又、本発明の実施態様は、前記特性Ｘ線及び白色Ｘ線を
単一のＸ線源から発生させるようにして、測定装置の構
成を簡略化できるようにしたものである。 ［作用］ 本発明は、螢光Ｘ線分析法とＸ線回折法を併用すること
により、１回の測定で、下地金属と同じ金属を含む、組
成の異なる２層の合金被膜の膜厚及び組成をそれぞれ同
時に測定できるようにしたものである。 以下、第１層にＺｎ−Ｆｅ合金めつき、第２層にｌ”ｅ
を主成分としたＦｅめつきを施した７ｎ −Ｆｅ系２層
合金めつき鋼板を例に取って、本発明の方法を具体的に
説明する。 このような２壱合金めつき鋼板を分析するに際して、ま
ず考えられるのは、よく知られている取出角を変化させ
る方法である。この方法は、前述のように、Ｚｎ−Ｆｅ
合金めつき鋼板について、７ｎの螢光Ｘ線強度だけを用
いて純亜鉛と比較しているので問題がある。そこで、こ
の問題を解消するために、Ｆｅの螢光Ｘ線も用いる方法
を検討した。これは、ラインでのめつき鋼板のばたつき
は、Ｚｎの螢光Ｘ１ｉＱにもＦｅの螢光Ｘ線にも同じよ
うに影響するので、両者を用いて解析するとその影響が
除けるからである。 さて、第２図に示す如く、Ｚｎ−Ｆｅ系２Ｐ！合金めつ
き鋼板１０に、ψなる入射角でＸ線を入射させると、ψ
１なる取出角で取出される、測定元素の全螢光Ｘ線強度
Ｘは、理論的に次式で表わされる。 Ｘ−Ｘ１＋Ｘ２＋Ｘ３・・・（１） ここで、×１は、第２層（上層）からの測定元素の螢光
Ｘ線強度、×２は、第１層（下ＷＪ）からの測定元素の
螢光Ｘ線強度、×３は、下地鋼板からの測定元素の螢光
Ｘ線強度であり、これらは、第２層の厚さくめっき付着
量）をＴ１、第１層の厚さくめっき付着量）をＴ ２
％第２層中の測定元素の含有率をＷｌ、第１層中の測定
元素の含有率をＷ ２ 、下地鋼板中の測定元素の含有
率をＷ３とすると次式で表わされる。 Ｘ＋＝ＩｏＸ［１ｅｘｐ（＜ｕ １ ／ｓｉｎ
ψ十ｕ＋ｓ／Ｓｒｎψ１）ＸＴ１）］ × ［（Ｗ １ × く μ／ρ ）；）÷（ｔ１１／
ｓｉｎ ψ＋ｕ＋ｓ 、’Ｓｉｎ ψ１）］・・・ （
２） Ｘｚ＝ＩｏＸｅＸｌ］（−（μ＋ ／ｓｉｎ ψ
十μ＋ｓ ／Ｓ！ｎψ＋）ＸＴ＋） Ｘ ［１−ｅＸｐ（−（０２、／Ｓｉｎ ψ＋μ％
／Ｓｉｎ ψ＋）ＸＴｚ）］ ×［（〜Ｖ２Ｘ（μ／ρ）゛） ÷（μ２’／ｓｉｎ ψ＋μ２″ 、′ｓ ｉ ｎ ψ
１）］・・・ （３） ｘ３＝ｒＯｘｅｘｐ （（μｍ 、”ｓｉｎ ψ
工ｊｌ＋ｓ ／Ｓｉ０’Ｊ）１ ）ＸＴ＋ ）ｘｅｘ
ｐ（−（μｚ’／ｓｉｎ ψ ＋ｕ ２ｓ ／ｓｉｎ Ｅｌ）＋ ）ＸＴ ２
）×［（Ｗ３×（μ／ρＦ ） ： （ｕｓ’ ／ｓｉｎ Φ＋ｕ３’ ／ｓｉｎ
ψ１） ］・・・ （４） ここで１１μｍ 、μ＋ （ｉ＝１〜３）は、それ
ぞれ人＠線（Ｐ）、測定線（Ｓ）に対重る各層の吸収係
数であり、測定元素の質量吸収線数を（μ・′ρ）、共
存元素の質量吸収併、数を（μ／ρ）′とすると、それ
ぞれ次式で表わされる。 μｉＰ −Ｗｉｘ（μ／ρ） ＋ （１００−Ｗｉ
＞ｒ 。 ×（μ／ρ） ・・・（５） μｉ”＝＝ＷｉＸ（μ／ρ） ＋ （１００−Ｗｉ
＞Ｓ 。 Ｘ（μ／ρ） ・・・（６） 従って、第３図に示す如く、Ｘ線管球１２から白色Ｘ線
をＺｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼ｔｆｉ１０に照射し、
発生プる螢光Ｘ線の強度を、２種の取出角ψ１とψ２の
方向にそれぞれ設けられたＺｎ螢光Ｘ線用の分光結晶１
４１．１４２及びＦｅｌ光Ｘ光用線用光結晶１６＋ 、
１６２を介して、Ｚｎ螢光Ｘ線用の検出器１８＋、１８
２、及びＦｅ螢光Ｘ線用の検出器２０＋、２０２で同時
に測定づると、Ｚｎについては２種の取出角ψ１とψ２
による連立方程式が成立し、Ｆｅについても２１の取出
角ψ１とψ２による連立方程式が成立する。 よって、この２種類の連立方程式から、誤差が最小にな
る、即ち収れんする厚ざ７ｉ及び測定元素含有率Ｗｉを
求めるものであるが、以上の情報では、２つの未知項し
か解くことができない。従って、上記の方法では、１層
ずつしか分析できないことになるので、まず、第１層の
めつき後に螢光Ｘ８１強度を測定して、前述の理論式の
組合わせから第１層めっき被膜の厚さＴ２と測定元素含
有率Ｗ２を求め、次に第２層のめつき後に同じく螢光Ｘ
線強度を測定し、前記第１層の厚さＴ２及び含有率Ｗ２
の分析値を挿入して、第２層めっき被膜の厚さＴ１及び
測定元素含有率Ｗ線を求めることになる。しかしながら
、このような方法では、オンライン化した場合、分析装
置が２台必要となり、しかも第１層のめつき後は、ぬれ
た状態で測定することになるので、めっき鋼板上の水分
の量による入ＩＪｉＸ線及び螢光Ｘ線の吸収量の差やコ
ンプトン散乱量の違い等により、ＺＯ及びＦｅの螢光Ｘ
線強度が変化するので、正確な分析は困難となる。 当然第１層の分析値が恕ければ、第＝２ Ｗｉ４の分析
値も悪くなる。 一般に、第１層にＺｎ−Ｆｅ合金めつき、第２層にＦｅ
を主成分とするＦｅめつきが施されたＺｌｌ−Ｆｅ系２
−合金めつき鋼板の場合に分析を必要とするのは、第１
層の厚さＴ２及び組成（含有＄） Ｗ２ 、それに第２
層の厚さＴ１の３つである。従って、それらのうちの１
つを何らかの方法で分析すれば、後は前述の連立方程式
を解くことによって求めることができる。 そこで、発明者は、Ｘ線回折法を併用づることを考えた
。即ち、Ｚｎ−１”ｅ金属間化合物で形成される各相は
、それぞれＦｅ （又はＺｎ）の含有率によってＸ線
回折角２θが変化する。その模様の一例を第４図に示づ
。従って、Ｚｎ−Ｆｅ合金めつき＠（第１層）で形成さ
れている相（結晶）の任意の格子面について、第４図の
如きＸ線回折角２θとＦｅ含有率（％）の関係を求めて
おけば、合金めっき層からのＸ線回折角２θを測定する
ことにより、第１層のＦｅ含有？￥（％）（又はＺｎ含
有率（％）＝１００−Ｆｅ含有率（％））が求められる
。 このとき、第２層の厚さＴ１が変わっても、回折Ｘ線の
強度が変化するだけで回折角２θは変わらないし、又、
第２層が第１層と組成の異なるＦｅ−７ｎ合金めつきで
あっても、それは結晶形が異なるためにＸ線回折角２θ
が違うので、その両方のＸ線回折角２θを測定すれば、
第１層と第２層についてそれぞれの組成（Ｆｅ含有率）
が分析できる。 本発明は、このような知見に管用してなされたものであ
る。 （実施例） 以下図面を参照して、本発明が採用されたＺｎ−１”ｅ
系２層合金めつき鋼板の膜厚及びｌ［ｉ１２測定装置の
実施例を詳細に説明する。 本実施例は、第５図に示す如く構成されてあり、第１の
めつき槽２２でＺｎ−Ｆｅ合金めっきが施され、第２の
めつき槽２４でＦｅを主成分とするＦｅめつきが流され
たＺｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼板１０は、矢印Ａ方向
に搬送されている。該Ｚｎ−１”ｅ系２層合金めつき横
板１０の水平搬送部（又は垂直搬送部）の適当な位置に
は、Ｃｒターゲット等適当な波長の特性Ｘ線を発生する
強力なＸ線管球１２が配設され、該Ｘ線管球１２から照
０４されるＸ線が、Ｚｎ−Ｆｅ系２！！合金めっき鋼板
１０に向けて入射角ψで入射されている。すると、Ｚｎ
−１”ｅ系２層合金めつき鋼板１ｏの第１層に形成され
ているｚｎ−１”ｅ金属間化合物の相（結晶）の格子面
により、Ｘ１１は次に示すブラッグの式で回折される。 λ＝ ２ ｄｓｉｎθ・（７） ここで、λは波長、θは角度、ｄは、Ｚｎ −Ｆｅ金属
間化合物の結晶格子面間隔である。 従って、ゴニオメータ２６Ａを含むＸ線回折装＠２６に
よりｘｍ回折角２θを測定すれば、前出。 第４図の関係から、第１層即ち１ｎ−１”ｅ合金めつき
層の組成が分析される。 一方、Ｘ線管球１２からは、第６図に示す如く、白色Ｘ
Ｐｉｌｌも発生しているので、この白色Ｘ線が、Ｚｌｌ
−１”ｅ系２層合金めつき鋼板１０のＺｎ及びＦｅを励
起して螢光Ｘ線を発生させる。発生された螢光Ｘ線の強
度は、前出第３図に示したような基本構成の螢光ｘｌｓ
分析装置２８により、Ｚｎ、Ｆｅ共に２神の取出角ψ丁
、ψ２の異なる分光器でそれぞれ同時に測定される。 なお、ｘＩ！ｉｌの入射角ψは、ばたつきの影響や測定
格子面のＸ線回折角２θを考慮して、できるだけ小さく
した方が、Ｘ線の下地鋼板への侵入が浅くなり、従って
、めっき被膜からの情報が増えるので有効である。 前記Ｘ線回折装置２６及び螢光Ｘ線分析装置２８で測定
された測定値は、コンピュータ３０に入力され、そこで
、まず第１層の組成が分析され、その分析値を用いて前
述の連立方程式が解かれて、第１層及び第２層の厚さＴ
２、Ｔ＋が求められる。 それらの結果は、現場ラインの表示器３２に表示される
と共に、プロセスコンピュータ３４にも入力され、その
分析値を基にしてめつき槽２２．２４のめつき条件等が
制御される。 本実施例においては、特性ｘｍ及び白色Ｘ線を単一のＸ
線管Ｉ２１２から発生させるようにしているので、測定
装置の構成が簡略である。なお特性Ｘ￥Ａ及び白色Ｘ線
を発生させる方法はこれに限定されず、特性Ｘ線を発生
させる、例えばＣｒターゲットのｘｔａ管球と、白色Ｘ
線の発生強度が強い、例えばタングステンターゲットの
Ｘ線管球の２種のＸｌａ管球を使用したり、他のＸｌＩ
源を使用することら可能である。 なお前記実施例においては、本発明が、Ｚｎ −Ｆｅ系
２層合金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び組成の
測定に適用されていたが、本発明の適用範囲はこれに限
定されず、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２
居の合金被膜の膜厚及び組成の測定全てに適用できるこ
とは明らかである。 【発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、従来非常に困難
で不可能とさえ言われていた、Ｚｎ −Ｆｅ系２層合金
めつき鋼板等の、下地金属と同じ金属を含む、組成の異
なる２層の合金被膜の各層の膜厚及び組成を、同時に且
つ非破壊的に測定づることか可能となる。従って、各層
の厚さ及び組成の分析を１台の装置で行うことが可能と
なると共に、オンライン化を達成することができる。よ
って、その分析結果を直ちにラインにフィードバックす
ることができ、Ｚｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼板等の安
定操業、品質向上に寄与するところが非常に大である等
の優れた効果を有する。
００ ｍ 、’ｒＲｉｎという高速で流れているので、
めつきｗＩ仮は必ず大なり小なりばたついており、この
ばたつきの影響はめつき鋼板の方だけが受けることにな
るので、特開昭５５−２４６８０で提案された前者の方
法では、当然分析精度が悪くなる。 又１．金合金っきｙ４板のめつき被膜の禅さは一般に２
０〜３０ｇ／′ｌｌ１２ （約３〜ｌｚｍ）と非常に薄
いので、特開昭５８−２２３０４７で提案された後者の
方法で、めっき被膜中の金属の螢光Ｘ線を正確に測定で
きる程の強い強度を得ようとすると、その薄いめっき？
！膜層だけを励起することは実際上不可能で、どうして
も下地鋼板の金属も励起することになる。従って、この
場合、めっき被膜中のｌ”ｅと下地鋼板のＦｅの両方の
螢光Ｘ線強度を測定することになって、正確な分析がで
きなくなる。更に、オンライン化を考えた場合、第１の
ＸＩ光学系における低角度の入射角−取出角＝５゛では
、Ｘ線管球の大きさ、Ｘ線分光系の構造上、分析計の保
護カバー等からしても実際にそのような装置を作製する
ことは不可能であった。 従って、従来提案されているような方法にはいずれも問
題があるので、結局は、従来通り、めっき被膜層だけを
電解又は適当な酸により溶解除去し、その除去量からめ
つき被膜の厚さを、又、溶解液の鉄量を化学分析してめ
っき？Ｆｌ膜中のＦｅ含有率を求めるという化学分析法
に頼らざるを寿ない。しかしながら、この化学分析法は
、下地鋼板を溶かさずにめっき被膜層だけを溶解するこ
とは大変困難であるので、著しい熟練と長時間を要し、
しがち製品から試料を採取する破壊分析であり、オンラ
イン化もできないので、工程管理への測定結果の反映が
非常に遅くなるという問題点を有していた。 このように、１層だけＺｎ−Ｆｅ合金めっきを施したＺ
ｌｌ−Ｆｅ系１層合金めつき鋼板でさえ分折が困難であ
るのに、まして、第１層にＺｎ −Ｆｅ合金めつき、第
２層にＦｅを主成分とするＦｅめつきを施したｚｎ−Ｆ
ｅ系２層合金めつき鋼板になると、問題は一層複雑にな
り、高精度の測定は著しく困難であった。 一方、本発明に類似するものとして、特開昭５０−１７
６９５において、３Ｉ続的に移動する鋼板に一定角度を
もって特性Ｘ線及び白色Ｘ線を照射する手段と、この照
明点からのブラッグの条件を満足する波長の回折Ｘ線及
び螢光Ｘ線を検出する手段と、これらの検出信号を分析
してそれぞれの集合組織、元素等の強度値を検知する手
段とを備えたことを特徴とする鋼板の連続品質検査装置
も提案されているが、本発明とは目的及び構成が異なる
だけでなく、膜厚を検出することは１テわれていなかっ
た。 ［発明の目的］ 本発明は、前記従来の問題点を解消するべ（なされたも
ので、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２＠の
合金被膜の膜厚及び組成を、層別して、それぞれ同時に
且つ非破壊的に測定することができる合金被膜の膜厚及
び組成測定方法を提供づることを目的とする。 【問題点を解決するための手段１ 本発明は、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２
居の合金被膜の膜厚及び組成をそれぞれ測定づるに際し
て、第１図にその要旨を示す如く、測定対涼に特性Ｘ線
及び白色Ｘ線を照射し、前記特性Ｘ線の、第１＠（下層
）合金被膜の金属間化合物による回折ＸｔＱの回折角を
検出して、該回折角から第１層合金被膜の組成を測定す
ると共に、前記白色Ｘｆ！による、下地金属、合金被膜
中の下地金属と同じ金属、及び、合金被膜中の下地金属
と異なる金属からの螢光Ｘ線の強度を２葎の取出角でそ
れぞれ検出して、該螢光Ｘ線強度及び前記第１層合金被
膜組成から第１層及び第２層（上層）合金被膜の膜厚を
同時に測定するようにして、前記目的を達成したもので
ある。 又、本発明の実施態様は、前記特性Ｘ線及び白色Ｘ線を
単一のＸ線源から発生させるようにして、測定装置の構
成を簡略化できるようにしたものである。 ［作用］ 本発明は、螢光Ｘ線分析法とＸ線回折法を併用すること
により、１回の測定で、下地金属と同じ金属を含む、組
成の異なる２層の合金被膜の膜厚及び組成をそれぞれ同
時に測定できるようにしたものである。 以下、第１層にＺｎ−Ｆｅ合金めつき、第２層にｌ”ｅ
を主成分としたＦｅめつきを施した７ｎ −Ｆｅ系２層
合金めつき鋼板を例に取って、本発明の方法を具体的に
説明する。 このような２壱合金めつき鋼板を分析するに際して、ま
ず考えられるのは、よく知られている取出角を変化させ
る方法である。この方法は、前述のように、Ｚｎ−Ｆｅ
合金めつき鋼板について、７ｎの螢光Ｘ線強度だけを用
いて純亜鉛と比較しているので問題がある。そこで、こ
の問題を解消するために、Ｆｅの螢光Ｘ線も用いる方法
を検討した。これは、ラインでのめつき鋼板のばたつき
は、Ｚｎの螢光Ｘ１ｉＱにもＦｅの螢光Ｘ線にも同じよ
うに影響するので、両者を用いて解析するとその影響が
除けるからである。 さて、第２図に示す如く、Ｚｎ−Ｆｅ系２Ｐ！合金めつ
き鋼板１０に、ψなる入射角でＸ線を入射させると、ψ
１なる取出角で取出される、測定元素の全螢光Ｘ線強度
Ｘは、理論的に次式で表わされる。 Ｘ−Ｘ１＋Ｘ２＋Ｘ３・・・（１） ここで、×１は、第２層（上層）からの測定元素の螢光
Ｘ線強度、×２は、第１層（下ＷＪ）からの測定元素の
螢光Ｘ線強度、×３は、下地鋼板からの測定元素の螢光
Ｘ線強度であり、これらは、第２層の厚さくめっき付着
量）をＴ１、第１層の厚さくめっき付着量）をＴ ２
％第２層中の測定元素の含有率をＷｌ、第１層中の測定
元素の含有率をＷ ２ 、下地鋼板中の測定元素の含有
率をＷ３とすると次式で表わされる。 Ｘ＋＝ＩｏＸ［１ｅｘｐ（＜ｕ １ ／ｓｉｎ
ψ十ｕ＋ｓ／Ｓｒｎψ１）ＸＴ１）］ × ［（Ｗ １ × く μ／ρ ）；）÷（ｔ１１／
ｓｉｎ ψ＋ｕ＋ｓ 、’Ｓｉｎ ψ１）］・・・ （
２） Ｘｚ＝ＩｏＸｅＸｌ］（−（μ＋ ／ｓｉｎ ψ
十μ＋ｓ ／Ｓ！ｎψ＋）ＸＴ＋） Ｘ ［１−ｅＸｐ（−（０２、／Ｓｉｎ ψ＋μ％
／Ｓｉｎ ψ＋）ＸＴｚ）］ ×［（〜Ｖ２Ｘ（μ／ρ）゛） ÷（μ２’／ｓｉｎ ψ＋μ２″ 、′ｓ ｉ ｎ ψ
１）］・・・ （３） ｘ３＝ｒＯｘｅｘｐ （（μｍ 、”ｓｉｎ ψ
工ｊｌ＋ｓ ／Ｓｉ０’Ｊ）１ ）ＸＴ＋ ）ｘｅｘ
ｐ（−（μｚ’／ｓｉｎ ψ ＋ｕ ２ｓ ／ｓｉｎ Ｅｌ）＋ ）ＸＴ ２
）×［（Ｗ３×（μ／ρＦ ） ： （ｕｓ’ ／ｓｉｎ Φ＋ｕ３’ ／ｓｉｎ
ψ１） ］・・・ （４） ここで１１μｍ 、μ＋ （ｉ＝１〜３）は、それ
ぞれ人＠線（Ｐ）、測定線（Ｓ）に対重る各層の吸収係
数であり、測定元素の質量吸収線数を（μ・′ρ）、共
存元素の質量吸収併、数を（μ／ρ）′とすると、それ
ぞれ次式で表わされる。 μｉＰ −Ｗｉｘ（μ／ρ） ＋ （１００−Ｗｉ
＞ｒ 。 ×（μ／ρ） ・・・（５） μｉ”＝＝ＷｉＸ（μ／ρ） ＋ （１００−Ｗｉ
＞Ｓ 。 Ｘ（μ／ρ） ・・・（６） 従って、第３図に示す如く、Ｘ線管球１２から白色Ｘ線
をＺｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼ｔｆｉ１０に照射し、
発生プる螢光Ｘ線の強度を、２種の取出角ψ１とψ２の
方向にそれぞれ設けられたＺｎ螢光Ｘ線用の分光結晶１
４１．１４２及びＦｅｌ光Ｘ光用線用光結晶１６＋ 、
１６２を介して、Ｚｎ螢光Ｘ線用の検出器１８＋、１８
２、及びＦｅ螢光Ｘ線用の検出器２０＋、２０２で同時
に測定づると、Ｚｎについては２種の取出角ψ１とψ２
による連立方程式が成立し、Ｆｅについても２１の取出
角ψ１とψ２による連立方程式が成立する。 よって、この２種類の連立方程式から、誤差が最小にな
る、即ち収れんする厚ざ７ｉ及び測定元素含有率Ｗｉを
求めるものであるが、以上の情報では、２つの未知項し
か解くことができない。従って、上記の方法では、１層
ずつしか分析できないことになるので、まず、第１層の
めつき後に螢光Ｘ８１強度を測定して、前述の理論式の
組合わせから第１層めっき被膜の厚さＴ２と測定元素含
有率Ｗ２を求め、次に第２層のめつき後に同じく螢光Ｘ
線強度を測定し、前記第１層の厚さＴ２及び含有率Ｗ２
の分析値を挿入して、第２層めっき被膜の厚さＴ１及び
測定元素含有率Ｗ線を求めることになる。しかしながら
、このような方法では、オンライン化した場合、分析装
置が２台必要となり、しかも第１層のめつき後は、ぬれ
た状態で測定することになるので、めっき鋼板上の水分
の量による入ＩＪｉＸ線及び螢光Ｘ線の吸収量の差やコ
ンプトン散乱量の違い等により、ＺＯ及びＦｅの螢光Ｘ
線強度が変化するので、正確な分析は困難となる。 当然第１層の分析値が恕ければ、第＝２ Ｗｉ４の分析
値も悪くなる。 一般に、第１層にＺｎ−Ｆｅ合金めつき、第２層にＦｅ
を主成分とするＦｅめつきが施されたＺｌｌ−Ｆｅ系２
−合金めつき鋼板の場合に分析を必要とするのは、第１
層の厚さＴ２及び組成（含有＄） Ｗ２ 、それに第２
層の厚さＴ１の３つである。従って、それらのうちの１
つを何らかの方法で分析すれば、後は前述の連立方程式
を解くことによって求めることができる。 そこで、発明者は、Ｘ線回折法を併用づることを考えた
。即ち、Ｚｎ−１”ｅ金属間化合物で形成される各相は
、それぞれＦｅ （又はＺｎ）の含有率によってＸ線
回折角２θが変化する。その模様の一例を第４図に示づ
。従って、Ｚｎ−Ｆｅ合金めつき＠（第１層）で形成さ
れている相（結晶）の任意の格子面について、第４図の
如きＸ線回折角２θとＦｅ含有率（％）の関係を求めて
おけば、合金めっき層からのＸ線回折角２θを測定する
ことにより、第１層のＦｅ含有？￥（％）（又はＺｎ含
有率（％）＝１００−Ｆｅ含有率（％））が求められる
。 このとき、第２層の厚さＴ１が変わっても、回折Ｘ線の
強度が変化するだけで回折角２θは変わらないし、又、
第２層が第１層と組成の異なるＦｅ−７ｎ合金めつきで
あっても、それは結晶形が異なるためにＸ線回折角２θ
が違うので、その両方のＸ線回折角２θを測定すれば、
第１層と第２層についてそれぞれの組成（Ｆｅ含有率）
が分析できる。 本発明は、このような知見に管用してなされたものであ
る。 （実施例） 以下図面を参照して、本発明が採用されたＺｎ−１”ｅ
系２層合金めつき鋼板の膜厚及びｌ［ｉ１２測定装置の
実施例を詳細に説明する。 本実施例は、第５図に示す如く構成されてあり、第１の
めつき槽２２でＺｎ−Ｆｅ合金めっきが施され、第２の
めつき槽２４でＦｅを主成分とするＦｅめつきが流され
たＺｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼板１０は、矢印Ａ方向
に搬送されている。該Ｚｎ−１”ｅ系２層合金めつき横
板１０の水平搬送部（又は垂直搬送部）の適当な位置に
は、Ｃｒターゲット等適当な波長の特性Ｘ線を発生する
強力なＸ線管球１２が配設され、該Ｘ線管球１２から照
０４されるＸ線が、Ｚｎ−Ｆｅ系２！！合金めっき鋼板
１０に向けて入射角ψで入射されている。すると、Ｚｎ
−１”ｅ系２層合金めつき鋼板１ｏの第１層に形成され
ているｚｎ−１”ｅ金属間化合物の相（結晶）の格子面
により、Ｘ１１は次に示すブラッグの式で回折される。 λ＝ ２ ｄｓｉｎθ・（７） ここで、λは波長、θは角度、ｄは、Ｚｎ −Ｆｅ金属
間化合物の結晶格子面間隔である。 従って、ゴニオメータ２６Ａを含むＸ線回折装＠２６に
よりｘｍ回折角２θを測定すれば、前出。 第４図の関係から、第１層即ち１ｎ−１”ｅ合金めつき
層の組成が分析される。 一方、Ｘ線管球１２からは、第６図に示す如く、白色Ｘ
Ｐｉｌｌも発生しているので、この白色Ｘ線が、Ｚｌｌ
−１”ｅ系２層合金めつき鋼板１０のＺｎ及びＦｅを励
起して螢光Ｘ線を発生させる。発生された螢光Ｘ線の強
度は、前出第３図に示したような基本構成の螢光ｘｌｓ
分析装置２８により、Ｚｎ、Ｆｅ共に２神の取出角ψ丁
、ψ２の異なる分光器でそれぞれ同時に測定される。 なお、ｘＩ！ｉｌの入射角ψは、ばたつきの影響や測定
格子面のＸ線回折角２θを考慮して、できるだけ小さく
した方が、Ｘ線の下地鋼板への侵入が浅くなり、従って
、めっき被膜からの情報が増えるので有効である。 前記Ｘ線回折装置２６及び螢光Ｘ線分析装置２８で測定
された測定値は、コンピュータ３０に入力され、そこで
、まず第１層の組成が分析され、その分析値を用いて前
述の連立方程式が解かれて、第１層及び第２層の厚さＴ
２、Ｔ＋が求められる。 それらの結果は、現場ラインの表示器３２に表示される
と共に、プロセスコンピュータ３４にも入力され、その
分析値を基にしてめつき槽２２．２４のめつき条件等が
制御される。 本実施例においては、特性ｘｍ及び白色Ｘ線を単一のＸ
線管Ｉ２１２から発生させるようにしているので、測定
装置の構成が簡略である。なお特性Ｘ￥Ａ及び白色Ｘ線
を発生させる方法はこれに限定されず、特性Ｘ線を発生
させる、例えばＣｒターゲットのｘｔａ管球と、白色Ｘ
線の発生強度が強い、例えばタングステンターゲットの
Ｘ線管球の２種のＸｌａ管球を使用したり、他のＸｌＩ
源を使用することら可能である。 なお前記実施例においては、本発明が、Ｚｎ −Ｆｅ系
２層合金めつき鋼板の合金めっき被膜の膜厚及び組成の
測定に適用されていたが、本発明の適用範囲はこれに限
定されず、下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２
居の合金被膜の膜厚及び組成の測定全てに適用できるこ
とは明らかである。 【発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、従来非常に困難
で不可能とさえ言われていた、Ｚｎ −Ｆｅ系２層合金
めつき鋼板等の、下地金属と同じ金属を含む、組成の異
なる２層の合金被膜の各層の膜厚及び組成を、同時に且
つ非破壊的に測定づることか可能となる。従って、各層
の厚さ及び組成の分析を１台の装置で行うことが可能と
なると共に、オンライン化を達成することができる。よ
って、その分析結果を直ちにラインにフィードバックす
ることができ、Ｚｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼板等の安
定操業、品質向上に寄与するところが非常に大である等
の優れた効果を有する。
第１図は、本発明に係る合金被膜の膜厚及び組成測定方
法の要旨を示す流れ図、第２図は、本発明の詳細な説明
するための、２層合金めつき鋼板に対するｘＩ！ｉｌの
入射状況及び螢光Ｘ線の発生状況を示す断面図、第３図
は、同じく、螢光Ｘ線強度を測定する装置の原理的な構
成を示す断面図、第４図は、同じく、Ｘ線回折角とＦｅ
含有率の関係の例を示ず線図、第５図は、本発明が採用
されたＺｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼板の合金めっき被
膜の膜厚及び組成測定装置の実施例の構成を示すブロッ
ク線図、第６図は、前記実施例で用いられているＯｒタ
ーゲットのＸ線管球から発生するＸ線の波長分布を示す
線図である。 １０・・・Ｚｎ−Ｆ１３系２層合金めつき鋼板、ψ１、
ψ２・・・取出角、 Ｔ１、Ｔ２・・・めっき付着量〈厚ざ）、Ｗ Ｉ、 Ｗ
２・・・測定元素含有率、１２・・・Ｘ線管球、 １４１．１４２．１６１．１６２・・・分光結晶、１８
＋、１８２．２１＋、２０２ ・・・螢光Ｘ線検出器、 ２６・・・ＸＩ！ｉ１回折装置、 ２８・・・螢光Ｘｍ分析装置、 ３０・・・コンピュータ。
法の要旨を示す流れ図、第２図は、本発明の詳細な説明
するための、２層合金めつき鋼板に対するｘＩ！ｉｌの
入射状況及び螢光Ｘ線の発生状況を示す断面図、第３図
は、同じく、螢光Ｘ線強度を測定する装置の原理的な構
成を示す断面図、第４図は、同じく、Ｘ線回折角とＦｅ
含有率の関係の例を示ず線図、第５図は、本発明が採用
されたＺｎ−Ｆｅ系２層合金めつき鋼板の合金めっき被
膜の膜厚及び組成測定装置の実施例の構成を示すブロッ
ク線図、第６図は、前記実施例で用いられているＯｒタ
ーゲットのＸ線管球から発生するＸ線の波長分布を示す
線図である。 １０・・・Ｚｎ−Ｆ１３系２層合金めつき鋼板、ψ１、
ψ２・・・取出角、 Ｔ１、Ｔ２・・・めっき付着量〈厚ざ）、Ｗ Ｉ、 Ｗ
２・・・測定元素含有率、１２・・・Ｘ線管球、 １４１．１４２．１６１．１６２・・・分光結晶、１８
＋、１８２．２１＋、２０２ ・・・螢光Ｘ線検出器、 ２６・・・ＸＩ！ｉ１回折装置、 ２８・・・螢光Ｘｍ分析装置、 ３０・・・コンピュータ。
Claims (2)
- （１）下地金属と同じ金属を含む、組成の異なる２層の
合金被膜の膜厚及び組成をそれぞれ測定するに際して、 測定対象に特性Ｘ線及び白色Ｘ線を照射し、前記特性Ｘ
線の、第１層（下層）合金被膜の金属間化合物による回
折Ｘ線の回折角を検出して、該回折角から第１層合金被
膜の組成を測定すると共に、 前記白色Ｘ線による、下地金属、合金被膜中の下地金属
と同じ金属、及び、合金被膜中の下地金属と異なる金属
からの螢光Ｘ線の強度を２種の取出角でそれぞれ検出し
て、該螢光Ｘ線強度及び前記第１層合金被膜組成から第
１層及び第２層（上層）合金被膜の膜厚を同時に測定す
るようにしたことを特徴とする合金被膜の膜厚及び組成
測定方法。 - （２）前記特性Ｘ線及び白色Ｘ線を、単一のＸ線源から
発生させるようにした特許請求の範囲第１項記載の合金
被膜の膜厚及び組成測定方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209098A JPS6188129A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
| PCT/JP1985/000551 WO1986002164A1 (en) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Method of determining thickness and composition of alloy film |
| EP85904879A EP0197157B1 (en) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Method of determining thickness and composition of alloy film |
| KR1019860700334A KR900008955B1 (ko) | 1984-05-10 | 1985-10-03 | 합금피막의 피막두께 및 조성 측정방법 |
| DE8585904879T DE3583436D1 (de) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Verfahren zur bestimmung der dicke und der zusammensetzung eines legierungsfilms. |
| US06/860,190 US4764945A (en) | 1984-10-05 | 1985-10-03 | Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating |
| CA000492333A CA1250061A (en) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209098A JPS6188129A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6188129A true JPS6188129A (ja) | 1986-05-06 |
Family
ID=16567253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59209098A Pending JPS6188129A (ja) | 1984-05-10 | 1984-10-05 | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6188129A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05296950A (ja) * | 1992-04-24 | 1993-11-12 | Shimadzu Corp | Ｘ線分析装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60236052A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-22 | Rigaku Denki Kogyo Kk | 被膜の厚みと組成の同時分析法 |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP59209098A patent/JPS6188129A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60236052A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-22 | Rigaku Denki Kogyo Kk | 被膜の厚みと組成の同時分析法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05296950A (ja) * | 1992-04-24 | 1993-11-12 | Shimadzu Corp | Ｘ線分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0197157B1 (en) | Method of determining thickness and composition of alloy film | |
| TW500922B (en) | Quantitative measuring method and apparatus of metal phase using X-ray diffraction method, and method for making plated steel sheet using them | |
| US5414747A (en) | Method and apparatus for in-process analysis of polycrystalline films and coatings by x-ray diffraction | |
| DE19932275A1 (de) | Vorrichtung zur Röntgenfluoreszenzanalyse | |
| US5113421A (en) | Method and apparatus for measuring the thickness of a coating on a substrate | |
| Nowak et al. | Grazing angle X-ray fluorescence from periodic structures on silicon and silica surfaces | |
| EP0348574B1 (en) | Method of simultaneously measuring thickness and composition of film and apparatus therefor | |
| JPS58223047A (ja) | 螢光ｘ線分析方法 | |
| Glinsman | The practical application of air-path X-ray fluorescence spectrometry in the analysis of museum objects | |
| JPH0660879B2 (ja) | 被膜の厚みと組成の同時分析法 | |
| JPS6188129A (ja) | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 | |
| JPS6188128A (ja) | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 | |
| JPH0619268B2 (ja) | 金属上塗膜の厚さ測定方法 | |
| JPS61132847A (ja) | ２層メツキ被膜の螢光ｘ線分析方法及び装置 | |
| Il’in | An alternative version of X-ray fluorescence analysis | |
| KR100489298B1 (ko) | ×선 회절을 이용한 합금화 용융 아연 도금 강판의합금화도 측정 방법 | |
| JPS6367121B2 (ja) | ||
| JP2873125B2 (ja) | めっき付着量の測定方法および装置 | |
| JP2563016B2 (ja) | 有効波長を用いた蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JPH056139B2 (ja) | ||
| JPH02257045A (ja) | メッキ鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組成の測定方法およびその測定装置 | |
| Jurado-Lopez et al. | X-ray fluorescence analysis of valuable metals | |
| JP2003121339A (ja) | 金属材料の耐食性評価方法及び金属材料の耐食性評価装置 | |
| JPH0375549A (ja) | メッキ鋼板のメッキ付着量およびメッキ被膜組成の測定方法およびその測定装置 | |
| JPH0440655B2 (ja) |