JPS61259151A - X線分析装置 - Google Patents

X線分析装置

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Publication number
JPS61259151A
JPS61259151A JP60100603A JP10060385A JPS61259151A JP S61259151 A JPS61259151 A JP S61259151A JP 60100603 A JP60100603 A JP 60100603A JP 10060385 A JP10060385 A JP 10060385A JP S61259151 A JPS61259151 A JP S61259151A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rays
specimen
incident
sample
zinc
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60100603A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobutaka Moriyama
森山 暢孝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Industrial Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rigaku Industrial Corp filed Critical Rigaku Industrial Corp
Priority to JP60100603A priority Critical patent/JPS61259151A/ja
Publication of JPS61259151A publication Critical patent/JPS61259151A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/2206Combination of two or more measurements, at least one measurement being that of secondary emission, e.g. combination of secondary electron [SE] measurement and back-scattered electron [BSE] measurement

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明けI線替光分析とX線回折による分析とを同時に
行うことのできる装置に関する口例えば溶融亜鉛めっき
鋼板の製造装置は一般に同一の装置を用いて通常の亜鉛
めっき鋼板と合金化した亜鉛めっキ調板との何れをも任
tに製造し得るようにつくらnてい−る。従って通常の
亜鉛めつき銅板を製造する場合はその製造行程中におい
て亜鉛付着量の計測管理のみを必要とするが、合金化亜
鉛めっき網板の製造に際しては更に合金化度すなわちめ
っき層における鉄の濃度をも同時く測定しなけnばなら
ない。前述の亜鉛付着量を製造行程中において時間遅れ
なく、測定するためには一般に螢光!線分析装置力;用
いらnlまた合金化度の測定にはX線回折装置を必要と
する。しかし従来はこれらの測定装置が別個に構成され
ていたから、同一の製造装置にその両者を併設する必要
があって、製造装置か極めて大型になると共に装置の価
格も高くなる等の欠点があった。従って本発明は螢光!
線分析とX@回折測定とを同時に行うことがてきて〜し
かも小型で安価な装置を提供しようとするものである。
本発明のX線分新装fj!!、け表面が平面状をなした
充分大きい試料に1つのX線管を対設して、そのXIi
!it管から試料面に比較的太き一人射角をもって入射
するX線で励起された螢光X線を検出する第zL:Dx
lI!tr出器と、比較的大きい入射角をもって入射し
、その入射点の試料面で回折したX線を検出する第2の
X線検出器とを前記試料面に対設して、上記回折X+&
tの通路には試料面に対するX線の入射角等を精督に所
定値に制限するためのソーラースリットを設けたもので
ある◎ 従ってこのような装置を例えば溶融亜鉛めっき鋼板の製
造装置に取付けて・この装置でめっきを施さrで送り出
される帯状鋼板を試料とすることにより、例えば合金化
されyk≠亜鉛めっきを施した場合は第1の検出器のみ
を用−て亜鉛の螢光X線の強度を測定することによシ1
その付着量を時間遅れなくL測することができる。また
合金化さnた亜鉛めっき画板の製造に際しては第1.第
2の検出器を用いることによシ・前者で亜鉛の付着量を
測定すると同時に後者によってその合金化度・すなわち
めっき層中における鉄の濃度を時間遅れなく知ることが
できる。また第2の検出器による回折X線の強度測定に
おいてはその回折角1従ってX線管から試料面に入射す
るX線の入射角を試料に応じて変化させる必要があるこ
とは勿論であろが、更に同一の試料についても最適の回
折線を選択して検出するように上記入射角を広範囲で変
化する必要がある。これに対して本発明の装置は回折測
定に用φるX@の入射角を小さくしであるために任志の
回折線を広範囲に亘って選択し得る効果がある。同時に
X線源と試料面における回折X線の発生点との間の距離
も大きくなるために、回折角に対する分解能も良好であ
る口しかも第1これを充分太きくすることができる◎こ
のため上記励起X線および螢光X線がめつき層中にお―
て減衰する量が少ないと共に励起X線の拡散も小さく、
狭−範囲に強力な一次X線を入射させて、強力な螢光X
線を発生させることができる口従ってめっき層が極めて
厚い場合にお−でも、その厚みを正確に測定することが
できて、しかも平行x綜を必要とする回折測定の精度等
が悪くなるようなおそnもない等の作用効果がある。
図面Fi発明実施例の構成を示したもので一表面が平面
状をなした亜鉛めつ1!鋼板のような試料lけ例えば矢
印aのように走行して−る・この試料lの表面に1つの
X線管2を対設すると共にそのX線管の側部に第1.第
2の2つのx!I検出器3および1を配置して1それら
のX線入射窓を試料lの方向に向けであるDかつX線検
出器3は同4とX線管2との中間に配置されて1試料l
から発生する亜鉛の特性X線を検出するように!ll整
され−またX線検圧器4はX線管2から試料1に投射さ
れるX線と同一波長のX線を検出するように調整されて
−る。更にX線管2の前には比較的大′P5−人射角a
をもって矢印のように適当な発散角のX線5を試料1[
入射させるためのスリット6と比較的大きい入射角−を
もって平行X線)な試料1に入射させるソーラースリッ
ト8とを設けである□従ッテE 料I K bけるX線
5の入射部から亜鉛の特性X@が各方向へ向けて発生す
るが・この螢光X線9の一部を検出器3で検出するよう
Kその前面にスリン)10を設けである。また平行X 
i 7 Fi紙試料表面における鉄と亜鉛との合金の結
晶格子面間隔および入射角−によって定まる特定の方向
へ回折する0その回折x9を前記検出器4で検出するよ
うにこの検出器を配置して、n5i面にソーラースリッ
ト12を設けたものである口 このような装装置によって試料から発生する螢光、X線
9および試料面で回折したX線11を検出することKよ
シ、試料の亜鉛付着量並びに鉄との合金化度を同時に測
定することができて、しかも前述のような作用効果を得
ることができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明実施例の栴双を示した図で・ 1は試料、
zhxs管、3.4iXi検出器、5.lJf”リット
、8,12Lfiソーラースリツト19は螢ブ己X線−
11け回折X線である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 表面が平面状をなした試料に1つのX線管を対設して、
    上記X線管から前記試料の表面に比較的大きい角度で入
    射するX線の入射部に上記試料から発生した螢光X線を
    検出する第1のX線検出器を対設し、かつ上記試料の表
    面に比較的小さい角度で入射してその試料面で回折した
    X線を検出する第2のX線検出器を設けると共に上記回
    折X線の通路にはソーラースリットを配設したことを特
    徴とするX線分析装置
JP60100603A 1985-05-14 1985-05-14 X線分析装置 Pending JPS61259151A (ja)

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JP60100603A JPS61259151A (ja) 1985-05-14 1985-05-14 X線分析装置

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JPS61259151A true JPS61259151A (ja) 1986-11-17

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ID=14278437

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