JPS61259151A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPS61259151A JPS61259151A JP60100603A JP10060385A JPS61259151A JP S61259151 A JPS61259151 A JP S61259151A JP 60100603 A JP60100603 A JP 60100603A JP 10060385 A JP10060385 A JP 10060385A JP S61259151 A JPS61259151 A JP S61259151A
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- JP
- Japan
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- rays
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- incident
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- zinc
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/2206—Combination of two or more measurements, at least one measurement being that of secondary emission, e.g. combination of secondary electron [SE] measurement and back-scattered electron [BSE] measurement
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明けＩ線替光分析とＸ線回折による分析とを同時に
行うことのできる装置に関する口例えば溶融亜鉛めっき
鋼板の製造装置は一般に同一の装置を用いて通常の亜鉛
めっき鋼板と合金化した亜鉛めっキ調板との何れをも任
ｔに製造し得るようにつくらｎてい−る。従って通常の
亜鉛めつき銅板を製造する場合はその製造行程中におい
て亜鉛付着量の計測管理のみを必要とするが、合金化亜
鉛めっき網板の製造に際しては更に合金化度すなわちめ
っき層における鉄の濃度をも同時く測定しなけｎばなら
ない。前述の亜鉛付着量を製造行程中において時間遅れ
なく、測定するためには一般に螢光！線分析装置力；用
いらｎｌまた合金化度の測定にはＸ線回折装置を必要と
する。しかし従来はこれらの測定装置が別個に構成され
ていたから、同一の製造装置にその両者を併設する必要
があって、製造装置か極めて大型になると共に装置の価
格も高くなる等の欠点があった。従って本発明は螢光！
線分析とＸ＠回折測定とを同時に行うことがてきて〜し
かも小型で安価な装置を提供しようとするものである。
行うことのできる装置に関する口例えば溶融亜鉛めっき
鋼板の製造装置は一般に同一の装置を用いて通常の亜鉛
めっき鋼板と合金化した亜鉛めっキ調板との何れをも任
ｔに製造し得るようにつくらｎてい−る。従って通常の
亜鉛めつき銅板を製造する場合はその製造行程中におい
て亜鉛付着量の計測管理のみを必要とするが、合金化亜
鉛めっき網板の製造に際しては更に合金化度すなわちめ
っき層における鉄の濃度をも同時く測定しなけｎばなら
ない。前述の亜鉛付着量を製造行程中において時間遅れ
なく、測定するためには一般に螢光！線分析装置力；用
いらｎｌまた合金化度の測定にはＸ線回折装置を必要と
する。しかし従来はこれらの測定装置が別個に構成され
ていたから、同一の製造装置にその両者を併設する必要
があって、製造装置か極めて大型になると共に装置の価
格も高くなる等の欠点があった。従って本発明は螢光！
線分析とＸ＠回折測定とを同時に行うことがてきて〜し
かも小型で安価な装置を提供しようとするものである。
本発明のＸ線分新装ｆｊ！！、け表面が平面状をなした
充分大きい試料に１つのＸ線管を対設して、そのＸＩｉ
！ｉｔ管から試料面に比較的太き一人射角をもって入射
するＸ線で励起された螢光Ｘ線を検出する第ｚＬ：Ｄｘ
ｌＩ！ｔｒ出器と、比較的大きい入射角をもって入射し
、その入射点の試料面で回折したＸ線を検出する第２の
Ｘ線検出器とを前記試料面に対設して、上記回折Ｘ＋＆
ｔの通路には試料面に対するＸ線の入射角等を精督に所
定値に制限するためのソーラースリットを設けたもので
ある◎ 従ってこのような装置を例えば溶融亜鉛めっき鋼板の製
造装置に取付けて・この装置でめっきを施さｒで送り出
される帯状鋼板を試料とすることにより、例えば合金化
されｙｋ≠亜鉛めっきを施した場合は第１の検出器のみ
を用−て亜鉛の螢光Ｘ線の強度を測定することによシ１
その付着量を時間遅れなくＬ測することができる。また
合金化さｎた亜鉛めっき画板の製造に際しては第１．第
２の検出器を用いることによシ・前者で亜鉛の付着量を
測定すると同時に後者によってその合金化度・すなわち
めっき層中における鉄の濃度を時間遅れなく知ることが
できる。また第２の検出器による回折Ｘ線の強度測定に
おいてはその回折角１従ってＸ線管から試料面に入射す
るＸ線の入射角を試料に応じて変化させる必要があるこ
とは勿論であろが、更に同一の試料についても最適の回
折線を選択して検出するように上記入射角を広範囲で変
化する必要がある。これに対して本発明の装置は回折測
定に用φるＸ＠の入射角を小さくしであるために任志の
回折線を広範囲に亘って選択し得る効果がある。同時に
Ｘ線源と試料面における回折Ｘ線の発生点との間の距離
も大きくなるために、回折角に対する分解能も良好であ
る口しかも第１これを充分太きくすることができる◎こ
のため上記励起Ｘ線および螢光Ｘ線がめつき層中にお―
て減衰する量が少ないと共に励起Ｘ線の拡散も小さく、
狭−範囲に強力な一次Ｘ線を入射させて、強力な螢光Ｘ
線を発生させることができる口従ってめっき層が極めて
厚い場合にお−でも、その厚みを正確に測定することが
できて、しかも平行ｘ綜を必要とする回折測定の精度等
が悪くなるようなおそｎもない等の作用効果がある。
充分大きい試料に１つのＸ線管を対設して、そのＸＩｉ
！ｉｔ管から試料面に比較的太き一人射角をもって入射
するＸ線で励起された螢光Ｘ線を検出する第ｚＬ：Ｄｘ
ｌＩ！ｔｒ出器と、比較的大きい入射角をもって入射し
、その入射点の試料面で回折したＸ線を検出する第２の
Ｘ線検出器とを前記試料面に対設して、上記回折Ｘ＋＆
ｔの通路には試料面に対するＸ線の入射角等を精督に所
定値に制限するためのソーラースリットを設けたもので
ある◎ 従ってこのような装置を例えば溶融亜鉛めっき鋼板の製
造装置に取付けて・この装置でめっきを施さｒで送り出
される帯状鋼板を試料とすることにより、例えば合金化
されｙｋ≠亜鉛めっきを施した場合は第１の検出器のみ
を用−て亜鉛の螢光Ｘ線の強度を測定することによシ１
その付着量を時間遅れなくＬ測することができる。また
合金化さｎた亜鉛めっき画板の製造に際しては第１．第
２の検出器を用いることによシ・前者で亜鉛の付着量を
測定すると同時に後者によってその合金化度・すなわち
めっき層中における鉄の濃度を時間遅れなく知ることが
できる。また第２の検出器による回折Ｘ線の強度測定に
おいてはその回折角１従ってＸ線管から試料面に入射す
るＸ線の入射角を試料に応じて変化させる必要があるこ
とは勿論であろが、更に同一の試料についても最適の回
折線を選択して検出するように上記入射角を広範囲で変
化する必要がある。これに対して本発明の装置は回折測
定に用φるＸ＠の入射角を小さくしであるために任志の
回折線を広範囲に亘って選択し得る効果がある。同時に
Ｘ線源と試料面における回折Ｘ線の発生点との間の距離
も大きくなるために、回折角に対する分解能も良好であ
る口しかも第１これを充分太きくすることができる◎こ
のため上記励起Ｘ線および螢光Ｘ線がめつき層中にお―
て減衰する量が少ないと共に励起Ｘ線の拡散も小さく、
狭−範囲に強力な一次Ｘ線を入射させて、強力な螢光Ｘ
線を発生させることができる口従ってめっき層が極めて
厚い場合にお−でも、その厚みを正確に測定することが
できて、しかも平行ｘ綜を必要とする回折測定の精度等
が悪くなるようなおそｎもない等の作用効果がある。
図面Ｆｉ発明実施例の構成を示したもので一表面が平面
状をなした亜鉛めつ１！鋼板のような試料ｌけ例えば矢
印ａのように走行して−る・この試料ｌの表面に１つの
Ｘ線管２を対設すると共にそのＸ線管の側部に第１．第
２の２つのｘ！Ｉ検出器３および１を配置して１それら
のＸ線入射窓を試料ｌの方向に向けであるＤかつＸ線検
出器３は同４とＸ線管２との中間に配置されて１試料ｌ
から発生する亜鉛の特性Ｘ線を検出するように！ｌｌ整
され−またＸ線検圧器４はＸ線管２から試料１に投射さ
れるＸ線と同一波長のＸ線を検出するように調整されて
−る。更にＸ線管２の前には比較的大′Ｐ５−人射角ａ
をもって矢印のように適当な発散角のＸ線５を試料１［
入射させるためのスリット６と比較的大きい入射角−を
もって平行Ｘ線）な試料１に入射させるソーラースリッ
ト８とを設けである□従ッテＥ 料Ｉ Ｋ ｂけるＸ線
５の入射部から亜鉛の特性Ｘ＠が各方向へ向けて発生す
るが・この螢光Ｘ線９の一部を検出器３で検出するよう
Ｋその前面にスリン）１０を設けである。また平行Ｘ
ｉ ７ Ｆｉ紙試料表面における鉄と亜鉛との合金の結
晶格子面間隔および入射角−によって定まる特定の方向
へ回折する０その回折ｘ９を前記検出器４で検出するよ
うにこの検出器を配置して、ｎ５ｉ面にソーラースリッ
ト１２を設けたものである口 このような装装置によって試料から発生する螢光、Ｘ線
９および試料面で回折したＸ線１１を検出することＫよ
シ、試料の亜鉛付着量並びに鉄との合金化度を同時に測
定することができて、しかも前述のような作用効果を得
ることができる。
状をなした亜鉛めつ１！鋼板のような試料ｌけ例えば矢
印ａのように走行して−る・この試料ｌの表面に１つの
Ｘ線管２を対設すると共にそのＸ線管の側部に第１．第
２の２つのｘ！Ｉ検出器３および１を配置して１それら
のＸ線入射窓を試料ｌの方向に向けであるＤかつＸ線検
出器３は同４とＸ線管２との中間に配置されて１試料ｌ
から発生する亜鉛の特性Ｘ線を検出するように！ｌｌ整
され−またＸ線検圧器４はＸ線管２から試料１に投射さ
れるＸ線と同一波長のＸ線を検出するように調整されて
−る。更にＸ線管２の前には比較的大′Ｐ５−人射角ａ
をもって矢印のように適当な発散角のＸ線５を試料１［
入射させるためのスリット６と比較的大きい入射角−を
もって平行Ｘ線）な試料１に入射させるソーラースリッ
ト８とを設けである□従ッテＥ 料Ｉ Ｋ ｂけるＸ線
５の入射部から亜鉛の特性Ｘ＠が各方向へ向けて発生す
るが・この螢光Ｘ線９の一部を検出器３で検出するよう
Ｋその前面にスリン）１０を設けである。また平行Ｘ
ｉ ７ Ｆｉ紙試料表面における鉄と亜鉛との合金の結
晶格子面間隔および入射角−によって定まる特定の方向
へ回折する０その回折ｘ９を前記検出器４で検出するよ
うにこの検出器を配置して、ｎ５ｉ面にソーラースリッ
ト１２を設けたものである口 このような装装置によって試料から発生する螢光、Ｘ線
９および試料面で回折したＸ線１１を検出することＫよ
シ、試料の亜鉛付着量並びに鉄との合金化度を同時に測
定することができて、しかも前述のような作用効果を得
ることができる。
図面は本発明実施例の栴双を示した図で・ １は試料、
ｚｈｘｓ管、３．４ｉＸｉ検出器、５．ｌＪｆ”リット
、８，１２Ｌｆｉソーラースリツト１９は螢ブ己Ｘ線−
１１け回折Ｘ線である。
ｚｈｘｓ管、３．４ｉＸｉ検出器、５．ｌＪｆ”リット
、８，１２Ｌｆｉソーラースリツト１９は螢ブ己Ｘ線−
１１け回折Ｘ線である。
Claims (1)
- 表面が平面状をなした試料に１つのＸ線管を対設して、
上記Ｘ線管から前記試料の表面に比較的大きい角度で入
射するＸ線の入射部に上記試料から発生した螢光Ｘ線を
検出する第１のＸ線検出器を対設し、かつ上記試料の表
面に比較的小さい角度で入射してその試料面で回折した
Ｘ線を検出する第２のＸ線検出器を設けると共に上記回
折Ｘ線の通路にはソーラースリットを配設したことを特
徴とするＸ線分析装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60100603A JPS61259151A (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60100603A JPS61259151A (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | Ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61259151A true JPS61259151A (ja) | 1986-11-17 |
Family
ID=14278437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60100603A Pending JPS61259151A (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61259151A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0348574A2 (en) * | 1988-06-28 | 1990-01-03 | Kawasaki Steel Corporation | Method of simultaneously measuring thickness and composition of film and apparatus therefor |
| JPH0275944A (ja) * | 1988-09-13 | 1990-03-15 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Ｘ線分析装置 |
| EP0473154A2 (en) * | 1990-08-31 | 1992-03-04 | Nisshin Steel Co., Ltd. | System for making an on-line determination of degree of alloying in galvannealed steel sheets |
| JPH11108861A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Technos Kenkyusho:Kk | 蛍光ｘ線分析装置および蛍光ｘ線検出器 |
| EP2315009A1 (en) * | 2009-10-22 | 2011-04-27 | PANalytical B.V. | X-Ray diffraction and fluorescence |
| US20220205935A1 (en) * | 2020-12-24 | 2022-06-30 | Inel S.A.S. | Apparatuses and methods for combined simultaneous analyses of materials |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4995645A (ja) * | 1973-01-13 | 1974-09-11 | ||
| JPS576060A (en) * | 1980-06-11 | 1982-01-12 | Masao Okada | Three-dimensional bicycle housing apparatus |
-
1985
- 1985-05-14 JP JP60100603A patent/JPS61259151A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4995645A (ja) * | 1973-01-13 | 1974-09-11 | ||
| JPS576060A (en) * | 1980-06-11 | 1982-01-12 | Masao Okada | Three-dimensional bicycle housing apparatus |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0348574A2 (en) * | 1988-06-28 | 1990-01-03 | Kawasaki Steel Corporation | Method of simultaneously measuring thickness and composition of film and apparatus therefor |
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| EP0473154A2 (en) * | 1990-08-31 | 1992-03-04 | Nisshin Steel Co., Ltd. | System for making an on-line determination of degree of alloying in galvannealed steel sheets |
| EP0473154A3 (en) * | 1990-08-31 | 1993-03-24 | Nisshin Steel Co., Ltd. | System for making an on-line determination of degree of alloying in galvannealed steel sheets |
| JPH11108861A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-23 | Technos Kenkyusho:Kk | 蛍光ｘ線分析装置および蛍光ｘ線検出器 |
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| US11796492B2 (en) * | 2020-12-24 | 2023-10-24 | Inel S.A.S. | Apparatuses and methods for combined simultaneous analyses of materials |
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