JPH11108861A - 蛍光x線分析装置および蛍光x線検出器 - Google Patents
蛍光x線分析装置および蛍光x線検出器Info
- Publication number
- JPH11108861A JPH11108861A JP9270069A JP27006997A JPH11108861A JP H11108861 A JPH11108861 A JP H11108861A JP 9270069 A JP9270069 A JP 9270069A JP 27006997 A JP27006997 A JP 27006997A JP H11108861 A JPH11108861 A JP H11108861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- fluorescent
- detection
- detection element
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
自由度が高い蛍光X線分析装置および蛍光X線検出器を
提供する。 【解決手段】 蛍光X線検出器10は、シリコンウエハ
上のAl、Na、Mgが発生する蛍光X線を検出する小
面積のSi検出素子12と、Al、Na、Mg以外の元
素が発生する蛍光X線を検出するGe検出素子11と、
検出素子11、12を収納する単一の真空冷却容器と、
検出素子11用の窓部材23と、検出素子12用の窓部
材24と、各検出素子の検出エリアを制限する第1およ
び第2コリメータとを備え、窓部材23はBe膜で形成
され、窓部材24は高分子膜、窒化ボロン膜、グラファ
イト膜、ダイヤモンド膜などで形成され、第1コリメー
タの表面はAl、NaおよびMgを含まない材料で形成
され、第2コリメータはAlで形成されている。
Description
コンウエハに励起X線を照射して、ウエハに付着した物
質が発生する蛍光X線を検出することによって、付着物
質の定性分析や定量分析を行うための蛍光X線分析装置
および蛍光X線検出器に関する。
するシリコンウエハに、低い入射角度でX線を照射する
ことによって、ウエハ表面に付着した物質からの蛍光X
線を検出して、エネルギー分散方式等で分析する全反射
蛍光X線分析装置(TotalReflection X−ray Fluoresce
nce)が知られており、励起X線を被検物表面上で全反
射させることによって、被検物の表面近傍のみの情報を
高S/N比で得ることができる。
特性X線を、分光結晶とスリットなどから成る分光手段
によって単一の特性X線を分離してから、被検物に照射
するモノクロ全反射蛍光X線分析装置(特願平1−27
2124号)が提案されており、励起X線の単色化によ
ってバックグランドノイズが低減されて微量元素の検出
限界が向上するため、特にIC用の半導体ウエハ上の微
量金属汚染検出の分野で急速に普及している。
を使用した場合、検出可能な元素範囲が限られるため、
複数の単色化X線源を選択的に使用することによって、
広範な元素範囲で微量分析が可能になる。
出素子の構成材料や検出有効面積等によって、X線検出
特性、たとえばX線検出効率のエネルギー依存性やエネ
ルギー分解能が大きく左右される。
化X線源を切替えて使用する場合、半導体検出器と励起
X線との相性が必ずしも最適化されるわけでない。たと
えば、シリコンウエハ上の金属汚染は半導体デバイスを
製造する上で重要な品質管理項目であるが、Fe、N
i、Cu等の遷移金属を測定する場合には励起X線とし
てW(タングステン)−Lβ特性線を使用するのが一般
的であり、X線検出素子として高感度である検出有効面
積80mm2 のSi検出素子を使用することが多い。さ
らに、大きな検出有効面積200mm2を持つGe検出
素子が使用されつつある。
定する場合には、励起X線として低エネルギーの特性X
線、たとえばW−M特性線やSc−Kα特性線を使用す
るのが一般的であり、このときX線検出素子として検出
有効面積10mm2 のSi検出素子を使用する。以下、
両者の検出特性を比較する。
mm2 のSi検出素子では標準半値全幅(FWHM)が
160eV(標準X線5.9keV)を示し、面積20
0mm2のGe検出素子では標準半値全幅(FWHM)
が180keVを示すが、Fe、Ni、Cu等の蛍光X
線とW−Lβ線とが離れているため、ほとんど問題とな
らない。しかし、W−Lβ線を用いてAlを検出する場
合には、シリコン基板が発生するSi−K線とAlの蛍
光X線とが大きく重なるため、分析が困難になる。b)
一方、面積10mm2 のSi検出素子では標準半値全幅
(FWHM)が135eVを示し、W−M線やSc−K
α線などの励起X線とAlの蛍光X線との分離が可能に
なる。
との関係を示すX線スペクトルの一例を示すグラフであ
る。横軸はX線エネルギーを示し、縦軸はX線強度であ
る。励起X線としてW−M線(1.774keV)を用
いて、強度比が1万分の1のAl−K線(1.486k
eV)の蛍光X線を検出する例を示す。グラフの実線は
検出有効面積80mm2 、標準半値全幅160eVのS
i検出素子を使用した場合、グラフの破線は検出有効面
積10mm2 、標準半値全幅135eVのSi検出素子
を使用した場合である。両者を比較すると、実線ではA
l−K線が隠れているが、破線ではAl−K線のピーク
が出現していることが判る。
2のGe検出素子は面積10mm2のSi検出素子と比べ
て20倍の検出立体角を有するため、検出感度が大幅に
高くなる。しかし、検出有効面積が大きくなると、検出
素子の等価入力容量も増加するため、エネルギー分解能
の低下をもたらす。したがって、Al等の分析では感度
よりも分解能を優先させるために、面積10mm2 のS
i検出素子が好適となる。
存在するGeのデッドレイヤー(たとえばX線入射面の
p型層)が低エネルギーX線を吸収して、Al等の分析
感度を低下させてしまう。b)Si検出素子では、W−
Lβ線が素子内に入射すると、散乱X線のSi−K線が
発生して、そのエスケープピークがNiやCuの蛍光X
線に近接して妨害してしまう。
mm2 のGe検出素子では、その分窓面積も大きくなる
ため、大気圧による力が大きくなる。そのため、X線透
過特性に優れた高分子膜等は強度の点で使用できず、低
エネルギー線を吸収する特性を持つBe等の材料に限ら
れる。b)面積10mm2 のSi検出素子では窓面積も
小さくて済む。そのため、Na−K線等の透過特性に優
れた高分子膜等が使用できる。
材は、蛍光X線の通過範囲を制限するためのコリメータ
としても機能するが、保持部材の材質が大きな悪影響を
及ぼすことがある。
る様子を示す断面図である。励起X線XAが被検物SP
に低角度で入射すると、X線照射部分から蛍光X線XB
が放射状に発生して窓4を通って検出素子1に到達する
とともに、励起X線の散乱X線XCも発生する。散乱X
線XCの一部が保持部材2、3に当たると保持部材2、
3も蛍光X線XDを発生し、この蛍光X線XDの一部が
検出素子1に到達すると、あたかも被検物SPに保持部
材2、3の構成元素と同じ元素が付着しているような測
定結果が得られる。これを二次励起効果と称する。
X線スペクトルと被検物SPの蛍光X線スペクトルとが
明瞭に分離できる場合はあまり問題とならないが、両者
の蛍光X線スペクトルが重なる場合には元素分析の障害
となる。保持部材2、3の材料として、熱伝導性、電気
伝導性、熱膨張率、加工性、軽量化の点で一般にAlが
広く使用され、不純物元素による二次励起効果の影響を
抑制するため高純度のAlが用いられている。
合、Alで形成された保持部材2、3からの二次励起蛍
光X線と重なってしまい、Al分析が困難となる。そこ
で、保持部材2、3をAl以外の材料、たとえばAuや
Ag等で形成することが想定されるが、今度はAuやA
g等を分析する際に障害となる。
成図である。ここでは、X線管6a、回折結晶7a、試
料台8aおよび面積200mm2 のGe検出素子を持つ
半導体検出器5aから成る第1の分析装置と、X線管6
b、回折結晶7b、試料台8bおよび面積10mm2 の
Si検出素子を持つ半導体検出器5bから成る第2の分
析装置とが設置され、測定試料は共通の試料搬送装置9
から各装置へ供給される。第1の分析装置ではW−Lβ
線で試料を励起し、第2の分析装置ではW−M線で試料
を励起しており、一方の分析装置で測定困難な元素につ
いて他方の分析装置で測定可能としている。しかしなが
ら、分析装置の多重化によって、装置全体の規模や価格
が倍増する結果となり、あまり実用的でない。
を解消して、小型で測定自由度が高い蛍光X線分析装置
および蛍光X線検出器を提供することである。
ハの表面に全反射入射角度で6keV以下のX線エネル
ギーを有する第1励起X線を照射するための第1X線照
射手段と、シリコンウエハの表面に全反射入射角度で8
keV以上のX線エネルギーを有する第2励起X線を照
射するための第2X線照射手段と、第1励起X線によっ
て励起されて、シリコンウエハ上に存在するAl、Na
およびMgのうち少なくとも1つの元素が発生する第1
蛍光X線を検出するための第1X線検出素子と、第2励
起X線によって励起されて、シリコンウエハ上に存在す
る、Al、NaおよびMg以外の元素が発生する第2蛍
光X線を検出するための第2X線検出素子とを備え、第
1X線検出素子の検出面積が第2X線検出素子の検出面
積より小さいことを特徴とする蛍光X線分析装置であ
る。
6keV以下のX線エネルギーを有する第1励起X線、
たとえばW−M線(1.774keV)、Cr−Kα線
(5.411keV)、Sc−Kα線(4.088ke
V)、Si−Kα線(1.739keV)を照射し、第
1X線検出素子を用いてウエハ上のAl、Na、Mgが
発生する第1蛍光X線を検出する。
上のX線エネルギーを有する第2励起X線、たとえばW
−Lβ線(9.671keV)を照射し、第2X線検出
素子を用いてウエハ上のFe、Ni、Cu等が発生する
第2蛍光X線を検出する。この他にMo−Kα線(1
7.441keV)を照射して、As、W、Au等の第
2蛍光X線を検出することも可能であり、Cu−Kα線
(8.040keV)、Au−Lα線(9.712ke
V)等も使用可能である。
とによって、大面積の検出素子を用いた感度優先の測定
と小面積の検出素子を用いた分解能優先の測定とを任意
に選択して実施できるため、測定内容の自由度が高くな
り、微量元素の検出能を向上させることができる。
導体検出素子で構成され、第2X線検出素子はGe半導
体検出素子で構成され、Si半導体検出素子の検出面積
はGe半導体検出素子の検出面積より小さいことを特徴
とする。
keV〜20keVの蛍光X線に対して高い感度を示
し、Ge半導体検出素子は2keV以上の蛍光X線に対
して良好な感度を示す。そのため、シリコンウエハ上の
Al、Na、Mgを検出する場合にはSi半導体検出素
子を使用することによって、これらの元素に対する検出
能を向上させることができる。
2X線検出素子は単一の真空冷却容器に収納され、真空
冷却容器の外容器には第1蛍光X線が第1X線検出素子
に向かって通過するための第1窓部材と第2蛍光X線が
第2X線検出素子に向かって通過するための第2窓部材
とが設けられ、第1窓部材の材料と第2窓部材の材料と
が互いに異なることを特徴とする。
第2X線検出素子のX線感度特性が異なって、たとえば
第1X線検出素子は低エネルギーX線に対して感度があ
り、第2X線検出素子は高エネルギーX線に対して感度
がある場合には、第1窓部材の材料は低エネルギーX線
に対して透過率が高いものが好ましい。したがって、X
線検出素子の特性に応じて適切な窓材料を選択すること
によって、X線損失の少ない測定が可能になる。
N(窒化ボロン)膜、グラファイト膜、またはダイヤモ
ンド膜で形成され、第2窓部材はBe(ベリリウム)膜
で形成されることを特徴とする。
BN(窒化ボロン)膜、グラファイト膜、またはダイヤ
モンド膜で形成することによって、低エネルギーX線の
透過率が高くなるため、低エネルギーX線の測定に好適
である。また、第2窓部材をBe膜で形成することによ
って、Be膜は高強度であり、極薄かつ大面積のものが
容易に得られるため、大きな検出面積を持つX線検出素
子に対応できる。
び外容器には、第1X線検出素子および第2X線検出素
子の検出エリアを制限するための第1コリメータおよび
第2コリメータがそれぞれ設けられ、第1コリメータの
表面はAl、NaおよびMgを含まない材料で形成さ
れ、第2コリメータはAlで形成されていることを特徴
とする。
l、Na、Mgの蛍光X線を検出するため、第1コリメ
ータの表面をAl、NaおよびMgを含まない材料で形
成することによって、二次励起効果の影響を抑制でき
る。第1コリメータの母材をAl、Na、Mg以外の材
料、たとえばAuやAg、Cu等で形成してもよく、あ
るいは第1コリメータの母材としてAlを使用し、かつ
母材表面にAuやAg、Cu等のメッキをコーティング
しても構わず、これによって母材による二次励起効果を
防止できる。さらに第1X線検出素子ではAl、Na、
Mgを検出しないため、第2コリメータを従来から広く
使用されているAlで形成することが可能となる。
され、シリコンウエハ上に存在するAl、NaおよびM
gのうち少なくとも1つの元素が発生する第1蛍光X線
を検出するための第1X線検出素子と、Si半導体検出
素子の検出面積より大きな検出面積を有するGe半導体
検出素子で構成され、シリコンウエハ上に存在する、A
l、NaおよびMg以外の元素が発生する第2蛍光X線
を検出するための第2X線検出素子と、第1X線検出素
子および第2X線検出素子を収納するための単一の真空
冷却容器と、真空冷却容器の外容器に設けられ、第1X
線検出素子に向かう第1蛍光X線が通過するための第1
窓部材と、真空冷却容器の外容器に設けられ、第2X線
検出素子に向かう第2蛍光X線が通過するための第2窓
部材と、真空冷却容器の内容器および外容器に設けら
れ、第1X線検出素子および第2X線検出素子の検出エ
リアを制限するための第1コリメータおよび第2コリメ
ータとを備え、第1窓部材は高分子膜、BN(窒化ボロ
ン)膜、グラファイト膜、またはダイヤモンド膜で形成
され、第2窓部材はBe(ベリリウム)膜で形成され、
第1コリメータの表面はAl、NaおよびMgを含まな
い材料で形成され、第2コリメータはAlで形成されて
いることを特徴とする蛍光X線検出器である。
低エネルギー、たとえば6keV以下のX線エネルギー
を有する励起X線を照射し、第1X線検出素子を用いて
ウエハ上のAl、Na、Mgが発生する第1蛍光X線を
検出する。
ー、たとえば8keV以上のX線エネルギーを有する励
起X線を照射し、第2X線検出素子を用いてウエハ上の
Fe、Ni、Cu等が発生する第2蛍光X線を検出す
る。
とによって、大面積の検出素子を用いた感度優先の測定
と小面積の検出素子を用いた分解能優先の測定とを任意
に選択して実施できるため、測定内容の自由度が高くな
り、微量元素の検出能を向上させることができる。
0keVの蛍光X線に対して高い感度を示し、Ge半導
体検出素子は2keV以上の蛍光X線に対して良好な感
度を示す。そのため、シリコンウエハ上のAl、Na、
Mgを検出する場合にはSi半導体検出素子を使用する
ことによって、これらの元素に対する検出能を向上させ
ることができる。
出素子のX線感度特性に応じて適切な窓材料を選択する
ことが可能になり、X線損失の少ない測定が可能にな
る。第1窓部材を高分子膜、BN(窒化ボロン)膜、グ
ラファイト膜、またはダイヤモンド膜で形成することに
よって、低エネルギーX線の透過率が高くなるため、低
エネルギーX線の測定に好適である。また、第2窓部材
をBe膜で形成することによって、Be膜は高強度であ
り、極薄かつ大面積のものが容易に得られるため、大き
な検出面積を持つX線検出素子に対応できる。
gの蛍光X線を検出するため、第1コリメータの表面を
Al、NaおよびMgを含まない材料で形成することに
よって、二次励起効果の影響を抑制できる。第1コリメ
ータの母材をAl、Na、Mg以外の材料、たとえばA
uやAg、Cu等で形成してもよく、あるいは第1コリ
メータの母材としてAlを使用し、かつ母材表面にAu
やAg、Cu等のメッキをコーティングしても構わず、
これによって母材による二次励起効果を防止できる。さ
らに第1X線検出素子ではAl、Na、Mgを検出しな
いため、第2コリメータを従来から広く使用されている
Alで形成することが可能となる。
出器10の構成を示す拡大断面図である。Ge検出素子
11は検出面積200mm2 の円形状の検出面11aを
有する円板形状を成し、良熱伝導性で電気絶縁性の材料
(たとえばBN窒化ボロン)で形成された台座20に搭
載され、電極を兼ねた押え部材15によって挟持され、
長ねじ17の締め付けによって固定される。
は検出面積10mm2 の円形状の検出面12aを有する
円板形状を成し、同じ台座20に搭載され、かつ電極を
兼ねた押え部材16によって挟持され、長ねじ18の締
め付けによって固定される。
の端子13、14から取り出されて、FET(電界効果
トランジスタ)で構成されたプリアンプにそれぞれ接続
される。一方、押え部材15はバイアス電源に接続さ
れ、各検出素子11、12にバイアス電圧が供給され
る。
却部材21に固定される。冷却部材21は液体窒素等の
冷媒を貯留した内容器(不図示)に接触しており、各検
出素子11、12およびプリアンプを低温に保持して、
熱雑音の影響を回避している。冷却部材21や台座20
を含む内容器の周囲は断熱のために真空に保たれてお
り、大気から遮断するため外容器22で覆われ、全体と
して単一の真空冷却容器を構成している。さらに、冷却
部材21や外容器22は、静電シールド効果を得るため
に接地されている。
検出面11a、12aの位置に対応したX線入射用の開
口窓Q1、Q2がそれぞれ形成され、さらに各開口窓Q
1、Q2にはX線を通過させ、かつ容器内部を真空に密
閉するための窓部材23、24がそれぞれ貼付けられて
いる。窓部材23は、検出面積が大きいGe検出素子1
1に対応するため、高強度で大面積化が容易なBe(ベ
リリウム)膜(厚さ25μm)で形成される。一方、窓
部材24は、大面積化が困難ではあるが、低エネルギー
X線に対する透過率に優れた材料、たとえば高分子膜
(厚さ1μm)で形成される。なお、高分子膜の代わり
に、BN(窒化ボロン)膜、グラファイト膜、ダイヤモ
ンド膜等も使用可能である。
および押え部材15、16は、各検出素子11、12に
入射するX線の通過範囲を規制するコリメータとしても
機能し、開口窓Q2および押え部材16は検出面11b
の検出エリアを制限するための第1コリメータを構成
し、開口窓Q1および押え部材15は検出面11aの検
出エリアを制限するための第2コリメータを構成する。
各コリメータの断面形状は、X線散乱を防止するために
ナイフエッジ状に形成されており、図1では外側に広が
るテーパー形状である例を示している。
コンウエハ上に存在するAl、NaおよびMgのうち少
なくとも1つの元素が発生する蛍光X線を検出する。そ
のため、第1コリメータを構成する開口窓Q1の周囲お
よび押え部材16のテーパー面はAl、NaおよびMg
を含まない材料で覆われており、たとえばAuやAg、
Cu等のメッキ処理が施されている。これらの部材をA
lで形成していても、こうした表面処理を施すことによ
って、二次励起効果の影響を有効に回避できる。
存在する、Al、NaおよびMg以外の元素が発生する
蛍光X線を検出する。そのため第2コリメータを構成す
る開口窓Q2の周囲および押え部材15は、従来どおり
Alで形成することが可能であり、Alの二次励起効果
は影響しない。
1、12を配置することによって、大面積の検出素子1
1を用いた感度優先の測定と小面積の検出素子12を用
いた分解能優先の測定とを任意に選択して実施できるた
め、測定内容の自由度が高くなり、微量元素の検出能を
向上させることができる。
第1実施形態を示す構成図である。上述の蛍光X線検出
器10は測定試料であるシリコンウエハの真上付近に設
けられ、Ge検出素子11およびSi検出素子12は励
起X線の進行方向に対して略直交方向に配置される。
を検出するSi検出素子12の測定領域には、6keV
以下のX線エネルギーを有する励起X線を全反射入射角
度で照射する。ここでは、X線源41が発生するW−M
線を検出素子12の測定領域に入射させて、Al、N
a、Mgを検出する例を示している。
g以外の元素を検出するGe検出素子11の測定領域に
は、8keV以上のX線エネルギーを有する励起X線を
全反射入射角度で照射する。ここでは、X線源42が発
生するW−Lβ線を検出素子11の測定領域に入射させ
て、Fe、Ni、Cuを主に検出する例と、X線源43
が発生するMo−Kα線を検出素子11の測定領域に入
射させて、As、W、Auを主に検出する例を示してい
る。
スリットなどで構成され、X線管の対陰極材料、分光結
晶の種類や向きなどを選択することによって、所望のX
線エネルギーを持つ単色の励起X線を発生することが可
能であり、測定内容に応じて使用する特性X線が測定前
に設定される。また、6keV以下のX線エネルギーを
有する励起X線を使用する場合には検出素子12の測定
領域に入射させ、8keV以上のX線エネルギーを有す
る励起X線を使用する場合には検出素子11の測定領域
に入射させる必要があるため、X線源41〜43の姿勢
を調節する支持機構が設けられる。
第2実施形態を示す構成図である。上述の蛍光X線検出
器10は測定試料であるシリコンウエハの真上付近に設
けられ、図2と同様に、Ge検出素子11およびSi検
出素子12は励起X線の進行方向に対して略直交方向に
配置される。
線を発生するX線源42、Mo−Kα線を発生するX線
源43は水平な直線移動機構にそれぞれ搭載され、X線
源41は検出素子12の真下を狙い、X線源42、43
は検出素子11の真下を狙うように位置決めされ、測定
内容に応じてX線源が選択される。
第3実施形態を示す構成図である。上述の蛍光X線検出
器10は測定試料であるシリコンウエハの真上付近に設
けられ、Ge検出素子11およびSi検出素子12は励
起X線の進行方向に対して略平行に配置される。
線を発生するX線源42、Mo−Kα線を発生するX線
源43は垂直な直線移動機構にそれぞれ搭載され、X線
源41〜43は励起X線が同じ光軸上を通過するように
位置決めされ、測定内容に応じてX線源が選択される。
さらに、シリコンウエハを載置した試料テーブルの高さ
や角度を調整することによって、励起X線の照射位置を
検出素子11、12のいずれか一方の真下付近に設定し
て、使用する検出素子を選択している。
試料テーブルにセットした後、測定対象元素に応じて励
起X線の種類および検出素子11、12を選択すること
によって、高感度かつ高分解能で迅速な測定が可能にな
る。
線エネルギーが異なる複数の励起X線を選択的に照射
し、検出面積が異なる複数のX線検出素子を選択的に使
用することによって、大面積の検出素子を用いた感度優
先の測定と小面積の検出素子を用いた分解能優先の測定
とを任意に選択して実施できるため、測定内容の自由度
が高くなり、微量元素の検出能を向上できる。
のX線エネルギーを有する励起X線を照射して、小さい
検出面積を有するSi半導体検出素子で検出する場合、
Al、Na、Mgの検出能を従来よりも格段に向上でき
る。
さくした分だけ、窓部材の面積も小さくて済むため、低
エネルギーX線の透過率に優れた窓材料を使用すること
が可能になり、Al、Na、Mgの検出能がより向上す
る。
面をAl、NaおよびMgを含まない材料で形成するこ
とによって、母材による二次励起効果を防止できるた
め、Al、Na、Mgの検出能がより向上する。
拡大断面図である。
を示す構成図である。
を示す構成図である。
を示す構成図である。
すX線スペクトルの一例を示すグラフである。
断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 シリコンウエハの表面に全反射入射角度
で6keV以下のX線エネルギーを有する第1励起X線
を照射するための第1X線照射手段と、 シリコンウエハの表面に全反射入射角度で8keV以上
のX線エネルギーを有する第2励起X線を照射するため
の第2X線照射手段と、 第1励起X線によって励起されて、シリコンウエハ上に
存在するAl、NaおよびMgのうち少なくとも1つの
元素が発生する第1蛍光X線を検出するための第1X線
検出素子と、 第2励起X線によって励起されて、シリコンウエハ上に
存在する、Al、NaおよびMg以外の元素が発生する
第2蛍光X線を検出するための第2X線検出素子とを備
え、 第1X線検出素子の検出面積が第2X線検出素子の検出
面積より小さいことを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 【請求項2】 第1X線検出素子はSi半導体検出素子
で構成され、第2X線検出素子はGe半導体検出素子で
構成され、 Si半導体検出素子の検出面積はGe半導体検出素子の
検出面積より小さいことを特徴とする請求項1記載の蛍
光X線分析装置。 - 【請求項3】 第1X線検出素子および第2X線検出素
子は単一の真空冷却容器に収納され、 真空冷却容器の外容器には第1蛍光X線が第1X線検出
素子に向かって通過するための第1窓部材と第2蛍光X
線が第2X線検出素子に向かって通過するための第2窓
部材とが設けられ、第1窓部材の材料と第2窓部材の材
料とが互いに異なることを特徴とする請求項2記載の蛍
光X線分析装置。 - 【請求項4】 第1窓部材は高分子膜、BN(窒化ボロ
ン)膜、グラファイト膜、またはダイヤモンド膜で形成
され、第2窓部材はBe(ベリリウム)膜で形成される
ことを特徴とする請求項3記載の蛍光X線分析装置。 - 【請求項5】 真空冷却容器の内容器および外容器に
は、第1X線検出素子および第2X線検出素子の検出エ
リアを制限するための第1コリメータおよび第2コリメ
ータがそれぞれ設けられ、 第1コリメータの表面はAl、NaおよびMgを含まな
い材料で形成され、第2コリメータはAlで形成されて
いることを特徴とする請求項3記載の蛍光X線分析装
置。 - 【請求項6】 Si半導体検出素子で構成され、シリコ
ンウエハ上に存在するAl、NaおよびMgのうち少な
くとも1つの元素が発生する第1蛍光X線を検出するた
めの第1X線検出素子と、 Si半導体検出素子の検出面積より大きな検出面積を有
するGe半導体検出素子で構成され、シリコンウエハ上
に存在する、Al、NaおよびMg以外の元素が発生す
る第2蛍光X線を検出するための第2X線検出素子と、 第1X線検出素子および第2X線検出素子を収納するた
めの単一の真空冷却容器と、 真空冷却容器の外容器に設けられ、第1X線検出素子に
向かう第1蛍光X線が通過するための第1窓部材と、 真空冷却容器の外容器に設けられ、第2X線検出素子に
向かう第2蛍光X線が通過するための第2窓部材と、 真空冷却容器の内容器および外容器に設けられ、第1X
線検出素子および第2X線検出素子の検出エリアを制限
するための第1コリメータおよび第2コリメータとを備
え、 第1窓部材は高分子膜、BN(窒化ボロン)膜、グラフ
ァイト膜、またはダイヤモンド膜で形成され、 第2窓部材はBe(ベリリウム)膜で形成され、 第1コリメータの表面はAl、NaおよびMgを含まな
い材料で形成され、第2コリメータはAlで形成されて
いることを特徴とする蛍光X線検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27006997A JP3918104B2 (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 蛍光x線分析装置および蛍光x線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27006997A JP3918104B2 (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 蛍光x線分析装置および蛍光x線検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11108861A true JPH11108861A (ja) | 1999-04-23 |
JP3918104B2 JP3918104B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=17481099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27006997A Expired - Fee Related JP3918104B2 (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 蛍光x線分析装置および蛍光x線検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3918104B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002071591A (ja) * | 2000-08-25 | 2002-03-08 | Seiko Instruments Inc | エネルギー分散型x線検出システム |
GB2403388A (en) * | 2003-06-24 | 2004-12-29 | Secr Defence | X-ray inspection system having X-ray source with compound fluorescent secondary target |
JP2007292728A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-11-08 | Sii Nanotechnology Inc | 蛍光x線分析装置 |
JP2013525794A (ja) * | 2010-04-26 | 2013-06-20 | コミサリア ア レネルジィ アトミーク エ オ ゼネ ルジイ アルテアナティーフ | X線ビームの散乱によって試料を分析するための光学デバイス、ならびに関連するコリメーションデバイスおよびコリメータ |
WO2022118585A1 (ja) * | 2020-12-01 | 2022-06-09 | 株式会社リガク | 全反射蛍光x線分析装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55162146U (ja) * | 1979-05-08 | 1980-11-20 | ||
JPS61259151A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Rigaku Denki Kogyo Kk | X線分析装置 |
JPH03216538A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線半導体検出装置 |
JPH03246862A (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-05 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡等のx線分析装置 |
JPH06174664A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-06-24 | Kao Corp | 蛍光x線分析方法及びその装置 |
JPH06186344A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Technos Kenkyusho:Kk | 半導体検出器 |
JPH06258259A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 面内分布測定方法及び装置 |
JPH085584A (ja) * | 1994-06-22 | 1996-01-12 | Rigaku Ind Co | 蛍光x線分析装置 |
JPH0875683A (ja) * | 1994-07-06 | 1996-03-22 | Rigaku Ind Co | 蛍光x線分析装置 |
JPH0982261A (ja) * | 1995-09-13 | 1997-03-28 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
-
1997
- 1997-10-02 JP JP27006997A patent/JP3918104B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55162146U (ja) * | 1979-05-08 | 1980-11-20 | ||
JPS61259151A (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-17 | Rigaku Denki Kogyo Kk | X線分析装置 |
JPH03216538A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | X線半導体検出装置 |
JPH03246862A (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-05 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡等のx線分析装置 |
JPH06174664A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-06-24 | Kao Corp | 蛍光x線分析方法及びその装置 |
JPH06186344A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Technos Kenkyusho:Kk | 半導体検出器 |
JPH06258259A (ja) * | 1993-03-04 | 1994-09-16 | Hitachi Ltd | 面内分布測定方法及び装置 |
JPH085584A (ja) * | 1994-06-22 | 1996-01-12 | Rigaku Ind Co | 蛍光x線分析装置 |
JPH0875683A (ja) * | 1994-07-06 | 1996-03-22 | Rigaku Ind Co | 蛍光x線分析装置 |
JPH0982261A (ja) * | 1995-09-13 | 1997-03-28 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002071591A (ja) * | 2000-08-25 | 2002-03-08 | Seiko Instruments Inc | エネルギー分散型x線検出システム |
GB2403388A (en) * | 2003-06-24 | 2004-12-29 | Secr Defence | X-ray inspection system having X-ray source with compound fluorescent secondary target |
JP2007292728A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-11-08 | Sii Nanotechnology Inc | 蛍光x線分析装置 |
JP2013525794A (ja) * | 2010-04-26 | 2013-06-20 | コミサリア ア レネルジィ アトミーク エ オ ゼネ ルジイ アルテアナティーフ | X線ビームの散乱によって試料を分析するための光学デバイス、ならびに関連するコリメーションデバイスおよびコリメータ |
WO2022118585A1 (ja) * | 2020-12-01 | 2022-06-09 | 株式会社リガク | 全反射蛍光x線分析装置 |
JP2022087438A (ja) * | 2020-12-01 | 2022-06-13 | 株式会社リガク | 全反射蛍光x線分析装置 |
KR20230065351A (ko) * | 2020-12-01 | 2023-05-11 | 가부시키가이샤 리가쿠 | 전반사 형광 x선 분석 장치 |
CN116868048A (zh) * | 2020-12-01 | 2023-10-10 | 株式会社理学 | 全反射荧光x射线分析装置 |
US11867646B2 (en) | 2020-12-01 | 2024-01-09 | Rigaku Corporation | Total reflection x-ray fluorescence spectrometer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3918104B2 (ja) | 2007-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4169228A (en) | X-ray analyzer for testing layered structures | |
US7206375B2 (en) | Method and apparatus for implement XANES analysis | |
US6173036B1 (en) | Depth profile metrology using grazing incidence X-ray fluorescence | |
Wobrauschek et al. | Analysis of Ni on Si-wafer surfaces using synchrotron radiation excited total reflection X-ray fluorescence analysis | |
Streli et al. | Total reflection X-ray fluorescence analysis of light elements with synchrotron radiation and special X-ray tubes | |
US6442236B1 (en) | X-ray analysis | |
US6421414B1 (en) | Detector for large wafer surfaces | |
Streli et al. | Light element analysis with a new spectrometer for total-reflection X-ray fluorescence | |
JPH11108861A (ja) | 蛍光x線分析装置および蛍光x線検出器 | |
JP2002189004A (ja) | X線分析装置 | |
JP2002031522A (ja) | 蛍光x線膜厚計 | |
JP2007017350A (ja) | X線分析装置 | |
JP2000504422A (ja) | 2つのコリメータマスクを有するx線分析装置 | |
Streli et al. | Total reflection X-ray fluorescence analysis of light elements using synchrotron radiation | |
JP2002195963A (ja) | X線分光装置およびx線分析装置 | |
Kujala et al. | High resolution short focal distance Bent Crystal Laue Analyzer for copper K edge x-ray absorption spectroscopy | |
JP2001235437A (ja) | 全反射蛍光x線分析装置 | |
EP0697109B1 (en) | X-ray spectrometer with a grazing take-off angle | |
Jaklevic et al. | Quantitative X-ray fluorescence analysis using monochromatic synchrotron radiation | |
Maderitsch et al. | Feasibility study of total reflection X-ray fluorescence analysis using a liquid metal jet X-ray tube | |
Tsuji et al. | Characterization of x‐rays emerging from between reflector and sample carrier in reflector‐assisted TXRF analysis | |
JP3755034B2 (ja) | 全反射蛍光x線分析法およびその装置 | |
US6393093B2 (en) | X-ray analysis apparatus with an X-ray detector in the form of a CCD array | |
Martin et al. | Imaging X-ray fluorescence spectroscopy: laboratory measurements | |
JP3860641B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040729 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041015 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041015 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060530 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060731 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061003 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061204 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20061211 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120223 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140223 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |