JPS592487Y2 - 螢光ｘ線による鍍金厚測定装置 - Google Patents
螢光ｘ線による鍍金厚測定装置Info
- Publication number
- JPS592487Y2 JPS592487Y2 JP6863578U JP6863578U JPS592487Y2 JP S592487 Y2 JPS592487 Y2 JP S592487Y2 JP 6863578 U JP6863578 U JP 6863578U JP 6863578 U JP6863578 U JP 6863578U JP S592487 Y2 JPS592487 Y2 JP S592487Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- fluorescent
- substrate
- sample
- plating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
例えば亜鉛鍍金鋼板等における鍍金層の厚みを測定する
ために螢光Ｘ線の検出装置が用いられる。
ために螢光Ｘ線の検出装置が用いられる。
すなわち試料の鍍金層に一次Ｘ線を照射して、該鍍金層
から発生する螢光Ｘ線の強度を測定するものである。
から発生する螢光Ｘ線の強度を測定するものである。
しかしこのような鍍金厚測定装置において、従来は基体
の鋼板等が薄い場合に誤差を生ずる欠点があった。
の鋼板等が薄い場合に誤差を生ずる欠点があった。
本考案はこのような誤差を防止しようとするものである
。
。
第１図は本考案実施例の構成を示した図で、例えば鋼板
よりなる基板１に亜鉛の鍍金層２，３を設けた試料につ
いて鍍金層２の厚みを測定する装置である。
よりなる基板１に亜鉛の鍍金層２，３を設けた試料につ
いて鍍金層２の厚みを測定する装置である。
この試料における鍍金層２にアメリシウム２４１ （Ａ
ｍ”１）よりなる一次Ｘ線源４を対設して該鍍金層を６
０ ＫｅＶのエネルギをもったＸ線で照射し、上記鍍金
層２の亜鉛を励起して螢光Ｘ線を発生させる。
ｍ”１）よりなる一次Ｘ線源４を対設して該鍍金層を６
０ ＫｅＶのエネルギをもったＸ線で照射し、上記鍍金
層２の亜鉛を励起して螢光Ｘ線を発生させる。
また鍍金層２に比例計数管その他適宜のＸ線検出器５を
対設して８．６ＫｅＶのエネルギをもった亜鉛の特性Ｘ
線ＺｎＫαを検出し、その強度によって鍍金層２の厚み
を知るものである。
対設して８．６ＫｅＶのエネルギをもった亜鉛の特性Ｘ
線ＺｎＫαを検出し、その強度によって鍍金層２の厚み
を知るものである。
本考案は、このような試料の背後に前記基板１の鋼と同
一の材料で形成され、かつ一次Ｘ線が透過しないように
充分厚い散乱Ｘ線補償板６を配置する。
一の材料で形成され、かつ一次Ｘ線が透過しないように
充分厚い散乱Ｘ線補償板６を配置する。
上述の装置において、一次Ｘ線源４がら試料に入射する
高エネルギのＸ線の一部ａは直接鍍金層２の亜鉛を励起
して前述のような螢光Ｘ線ｐを発生させ、他の一部すは
鍍金層２を透過して基板１に入射するが、更にその一部
が該基板中で散乱して、この散乱Ｘ線が鍍金層２の亜鉛
を励起することにより螢光Ｘ線ｑを発生させる。
高エネルギのＸ線の一部ａは直接鍍金層２の亜鉛を励起
して前述のような螢光Ｘ線ｐを発生させ、他の一部すは
鍍金層２を透過して基板１に入射するが、更にその一部
が該基板中で散乱して、この散乱Ｘ線が鍍金層２の亜鉛
を励起することにより螢光Ｘ線ｑを発生させる。
また基板１が薄い場合は一次Ｘ線の一部ｃ、ｄが試料を
透過して補償板６に入射し、その一部が該補償板中で散
乱し７て、再び試料に入射する。
透過して補償板６に入射し、その一部が該補償板中で散
乱し７て、再び試料に入射する。
このＸ線の一部は試料の基板によって吸収されるが、他
の一部は鍍金層２を励起して螢光Ｘ線ｒを発生させる。
の一部は鍍金層２を励起して螢光Ｘ線ｒを発生させる。
従って検出器５は螢光Ｘ線ｐ、ｑ、ｒを検出するもので
、その総量によって鍍金層２の厚みが表示される。
、その総量によって鍍金層２の厚みが表示される。
なお基板１を透過し、あるいは更に補償板６で散乱した
Ｘ線は裏面の鍍金層３の亜鉛を励起して螢光Ｘ線を発生
させるが、この螢光Ｘ線ＺｎＫαはエネルギが小さいた
めに基板１中で殆んど吸収されて、検出器５の出力に影
響を及は゛さない。
Ｘ線は裏面の鍍金層３の亜鉛を励起して螢光Ｘ線を発生
させるが、この螢光Ｘ線ＺｎＫαはエネルギが小さいた
めに基板１中で殆んど吸収されて、検出器５の出力に影
響を及は゛さない。
このように試料の基板１が薄い場合に、該試料を透過し
たＸ線が上記基板と同一材料の補償板６で散乱して、鍍
金層２を励起するものである。
たＸ線が上記基板と同一材料の補償板６で散乱して、鍍
金層２を励起するものである。
すなわち基板１が充分厚く、一次Ｘ線がこれを透過しな
い場合は、該基板に入射したＸ線の一定割合が基板中で
散乱して鍍金層２を励起するに対し、基板１が薄いとき
は一次Ｘ線の−・部がこれを透過して散乱Ｘ線を発生し
ないために検出される螢光Ｘ線が減少して誤差を生ずる
。
い場合は、該基板に入射したＸ線の一定割合が基板中で
散乱して鍍金層２を励起するに対し、基板１が薄いとき
は一次Ｘ線の−・部がこれを透過して散乱Ｘ線を発生し
ないために検出される螢光Ｘ線が減少して誤差を生ずる
。
第２図は鍍金層の厚みを一定とし、試料の厚みＳと検出
される螢光Ｘ線の強度Ｉとの関係を実測したもので、補
償板６を設けない場合は曲線Ａのように厚みＳが小さい
とき誤差を生ずる。
される螢光Ｘ線の強度Ｉとの関係を実測したもので、補
償板６を設けない場合は曲線Ａのように厚みＳが小さい
とき誤差を生ずる。
これに対して補償板６を設けるときは、水平な直線Ｂの
ように厚みＳに関係なく一定の強度が得られて上述の誤
差を防止し得るものである。
ように厚みＳに関係なく一定の強度が得られて上述の誤
差を防止し得るものである。
第１図は本考案実施例の構成を示した図、第２図は本考
案並びに従来の装置の特性を示した線図である。 なお図において １は基板、２，３は鍍金層、４は線源
、５はＸ線検出器、６は補償板である。
案並びに従来の装置の特性を示した線図である。 なお図において １は基板、２，３は鍍金層、４は線源
、５はＸ線検出器、６は補償板である。
Claims (1)
- 基板の表面に厚みを測定しようとする鍍金層を設けた試
料の鍍金層を照射して鍍金金属を励起することによりそ
の螢光Ｘ線を発生させる一次Ｘ線源と、上記螢光Ｘ線の
強度を検出するＸ線検出器とを具備し、かつ前記試料の
基板と同一材料をもって上記−次Ｘ線が透過しないよう
に充分厚く形成した散乱Ｘ線補償板を上記試料の背後に
配設した螢光Ｘ線による鍍金厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6863578U JPS592487Y2 (ja) | 1978-05-23 | 1978-05-23 | 螢光ｘ線による鍍金厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6863578U JPS592487Y2 (ja) | 1978-05-23 | 1978-05-23 | 螢光ｘ線による鍍金厚測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54170863U JPS54170863U (ja) | 1979-12-03 |
| JPS592487Y2 true JPS592487Y2 (ja) | 1984-01-24 |
Family
ID=28976698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6863578U Expired JPS592487Y2 (ja) | 1978-05-23 | 1978-05-23 | 螢光ｘ線による鍍金厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS592487Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-05-23 JP JP6863578U patent/JPS592487Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54170863U (ja) | 1979-12-03 |
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