JP3052272B2 - スペクトル処理を用いた蛍光ｘ線定性分析方法 - Google Patents
スペクトル処理を用いた蛍光ｘ線定性分析方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はスペクトル処理を用い
た蛍光Ｘ線定性分析方法に関し、さらに詳しくは、Ｍｏ
（モリブデン）−ＬαとＳ（イオウ）−Ｋαのように近
接したエネルギーの蛍光Ｘ線をそれぞれ発生する複数の
元素を含む試料で、精度よく定性分析を行うことができ
る蛍光Ｘ線定性分析方法に関するものである。
た蛍光Ｘ線定性分析方法に関し、さらに詳しくは、Ｍｏ
（モリブデン）−ＬαとＳ（イオウ）−Ｋαのように近
接したエネルギーの蛍光Ｘ線をそれぞれ発生する複数の
元素を含む試料で、精度よく定性分析を行うことができ
る蛍光Ｘ線定性分析方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析装置では、図７に
示すように、Ｘ線発生装置１から測定を行う測定試料
（以下、試料という）２にＸ線を照射し、試料２から発
せられる蛍光Ｘ線３を検出器４で検出し、データ収集装
置４１で、図８に示すようなスペクトルデータを得るよ
うにしている。
示すように、Ｘ線発生装置１から測定を行う測定試料
（以下、試料という）２にＸ線を照射し、試料２から発
せられる蛍光Ｘ線３を検出器４で検出し、データ収集装
置４１で、図８に示すようなスペクトルデータを得るよ
うにしている。
【０００３】この際、試料２に含まれている各元素ごと
に、発生する蛍光Ｘ線３のエネルギー値は決まっている
ため、このスペクトルデータは試料２に含まれる元素に
応じたエネルギー位置にピークを有する。このピークの
位置より試料２に含まれる元素を特定することが可能で
ある。
に、発生する蛍光Ｘ線３のエネルギー値は決まっている
ため、このスペクトルデータは試料２に含まれる元素に
応じたエネルギー位置にピークを有する。このピークの
位置より試料２に含まれる元素を特定することが可能で
ある。
【０００４】従来のこの種定性分析方法では、測定で得
られたスペクトルデータについて、ある元素から得られ
る蛍光Ｘ線のエネルギー位置に、ピークがあればその元
素が含まれると判断し、ピークがなければその元素が含
まれていないと判断するようにしていた。
られたスペクトルデータについて、ある元素から得られ
る蛍光Ｘ線のエネルギー位置に、ピークがあればその元
素が含まれると判断し、ピークがなければその元素が含
まれていないと判断するようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、試料２中に、
Ｍｏ−ＬαとＳ−Ｋαのように、近接したエネルギーの
蛍光Ｘ線をそれぞれ発生する複数の元素を含む場合に、
例えば、図１において、これら元素に応じたエネルギー
位置にピーク８，９をそれぞれ有する蛍光Ｘ線Ａのピー
クプロファイルを示す元素および蛍光Ｘ線Ｂのピークプ
ロファイルを示す元素のスペクトル５，６を測定しよう
としても、従来の定性分析方法では、図１において、ピ
ーク８，９を有するスペクトル５，６のピーク発生位置
が、検出器４の分解能により、ピーク位置８，９に検出
されずに測定スペクトル７のピーク位置１０として検出
される。そのために、蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイル
を示す元素と蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルを示す元
素とが試料２中に存在しても、得られたスペクトルデー
タでは、スペクトル５，６が測定されず、ピーク位置
８，９にピークが測定されないためにこれら元素は含ま
れていないという誤った定性分析結果を得るおそれがあ
り、精度よく定性分析を行うのが難しい。これを回避す
るため、ピーク位置の一致度の許容範囲を広げると、こ
の時には、スペクトル５のみが存在する場合でも、ピー
ク位置８，９が近いため、スペクトル６も存在すると判
断されてしまうおそれがある。
Ｍｏ−ＬαとＳ−Ｋαのように、近接したエネルギーの
蛍光Ｘ線をそれぞれ発生する複数の元素を含む場合に、
例えば、図１において、これら元素に応じたエネルギー
位置にピーク８，９をそれぞれ有する蛍光Ｘ線Ａのピー
クプロファイルを示す元素および蛍光Ｘ線Ｂのピークプ
ロファイルを示す元素のスペクトル５，６を測定しよう
としても、従来の定性分析方法では、図１において、ピ
ーク８，９を有するスペクトル５，６のピーク発生位置
が、検出器４の分解能により、ピーク位置８，９に検出
されずに測定スペクトル７のピーク位置１０として検出
される。そのために、蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイル
を示す元素と蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルを示す元
素とが試料２中に存在しても、得られたスペクトルデー
タでは、スペクトル５，６が測定されず、ピーク位置
８，９にピークが測定されないためにこれら元素は含ま
れていないという誤った定性分析結果を得るおそれがあ
り、精度よく定性分析を行うのが難しい。これを回避す
るため、ピーク位置の一致度の許容範囲を広げると、こ
の時には、スペクトル５のみが存在する場合でも、ピー
ク位置８，９が近いため、スペクトル６も存在すると判
断されてしまうおそれがある。
【０００６】この発明は、上記問題に鑑みてなしたもの
で、その目的は、近接したエネルギーの蛍光Ｘ線をそれ
ぞれ発生する複数の元素を含む試料から確実にこれらの
元素を測定できるスペクトル処理を用いた蛍光Ｘ線定性
分析方法を提供することにある。
で、その目的は、近接したエネルギーの蛍光Ｘ線をそれ
ぞれ発生する複数の元素を含む試料から確実にこれらの
元素を測定できるスペクトル処理を用いた蛍光Ｘ線定性
分析方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために、この発明は、Ｘ線発生装置から発せられ
たＸ線が測定試料に照射され、当該測定試料から発せら
れる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信号を信号処理手
段を経てスペクトルデータとして読み取ることで当該測
定試料に含まれている元素の定性分析を行うに際して、
当該測定試料から発せられた蛍光Ｘ線よりスペクトルデ
ータを得て、そのデータから複数のピーク発生位置を決
定する工程と、そのデータから得られた前記複数のピー
ク発生位置により、各ピーク発生位置を有する元素を予
め選択するとともに、そのピーク発生位置ごとにこのピ
ーク発生位置を含む近傍に存在可能なピーク発生位置を
有する元素も予め選択する工程と、これらの選択元素の
スペクトル処理を行う工程とからなり、前記選択元素の
スペクトル処理を行う工程において、測定された蛍光Ｘ
線の強度がある値以上であるとき、その蛍光Ｘ線を発生
する元素が測定試料に含まれるという判断を行うように
したスペクトル処理を最小二乗法やオーバーラップファ
クター法を用いて行うようにしたことを特徴とする蛍光
Ｘ線定性分析方法である。
成するために、この発明は、Ｘ線発生装置から発せられ
たＸ線が測定試料に照射され、当該測定試料から発せら
れる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信号を信号処理手
段を経てスペクトルデータとして読み取ることで当該測
定試料に含まれている元素の定性分析を行うに際して、
当該測定試料から発せられた蛍光Ｘ線よりスペクトルデ
ータを得て、そのデータから複数のピーク発生位置を決
定する工程と、そのデータから得られた前記複数のピー
ク発生位置により、各ピーク発生位置を有する元素を予
め選択するとともに、そのピーク発生位置ごとにこのピ
ーク発生位置を含む近傍に存在可能なピーク発生位置を
有する元素も予め選択する工程と、これらの選択元素の
スペクトル処理を行う工程とからなり、前記選択元素の
スペクトル処理を行う工程において、測定された蛍光Ｘ
線の強度がある値以上であるとき、その蛍光Ｘ線を発生
する元素が測定試料に含まれるという判断を行うように
したスペクトル処理を最小二乗法やオーバーラップファ
クター法を用いて行うようにしたことを特徴とする蛍光
Ｘ線定性分析方法である。
【０００８】この発明は、各工程自体、公知の方法を用
いているけれども、これらの工程を組み合わせることに
より、図１のスペクトル５，６のように、近接したエネ
ルギーの蛍光Ｘ線をそれぞれ発生する複数の元素を含む
測定試料の場合では、従来、測定で得られたスペクトル
データについて、ある元素から得られる蛍光Ｘ線のエネ
ルギー位置に、ピークがあればその元素が含まれると判
断し、ピークがなければその元素が含まれていないと判
断するようにしていたから、ピークが重なる場合、ピー
ク位置だけでは元素の判定が難しく、データに得られる
のがスペクトル５，６ではなく、検出器４の分解能によ
り、スペクトル７であった場合、スペクトル７の１つの
ピークとして検出され、そのピーク発生位置１０から元
素の判断が行われ、データがピーク位置８，９を持たな
いためにスペクトル５，６の元素は測定試料に含まれて
いないという誤った定性分析結果を得るような事態を確
実に回避できる。また、ピーク位置の一致度の許容範囲
を広げた場合においても、仮に、測定試料にスペクトル
５の元素しか含まれていない場合に、スペクトル６の元
素が含まれているという誤った定性分析結果を得るよう
な事態を確実に回避できる。
いているけれども、これらの工程を組み合わせることに
より、図１のスペクトル５，６のように、近接したエネ
ルギーの蛍光Ｘ線をそれぞれ発生する複数の元素を含む
測定試料の場合では、従来、測定で得られたスペクトル
データについて、ある元素から得られる蛍光Ｘ線のエネ
ルギー位置に、ピークがあればその元素が含まれると判
断し、ピークがなければその元素が含まれていないと判
断するようにしていたから、ピークが重なる場合、ピー
ク位置だけでは元素の判定が難しく、データに得られる
のがスペクトル５，６ではなく、検出器４の分解能によ
り、スペクトル７であった場合、スペクトル７の１つの
ピークとして検出され、そのピーク発生位置１０から元
素の判断が行われ、データがピーク位置８，９を持たな
いためにスペクトル５，６の元素は測定試料に含まれて
いないという誤った定性分析結果を得るような事態を確
実に回避できる。また、ピーク位置の一致度の許容範囲
を広げた場合においても、仮に、測定試料にスペクトル
５の元素しか含まれていない場合に、スペクトル６の元
素が含まれているという誤った定性分析結果を得るよう
な事態を確実に回避できる。
【０００９】すなわち、この発明は、まず、当該測定試
料から発せられた蛍光Ｘ線よりスペクトルデータを得
て、そのデータから複数のピーク発生位置を決定する。
例えば、図１において、ピーク発生位置１０を求める。
続いて、この発明では、複数のピーク発生位置により、
各ピーク発生位置を有する元素を予め選択するととも
に、そのピーク発生位置ごとにこのピーク発生位置を含
む近傍に存在可能なピーク発生位置を有する元素も予め
選択する。すなわち、前出の工程で求めたピーク発生位
置１０近傍にもピークに含まれるピーク発生位置が存在
すると仮定して、ピーク発生位置８，９等を有する元素
２８，２９を予め選択する（図４参照）。
料から発せられた蛍光Ｘ線よりスペクトルデータを得
て、そのデータから複数のピーク発生位置を決定する。
例えば、図１において、ピーク発生位置１０を求める。
続いて、この発明では、複数のピーク発生位置により、
各ピーク発生位置を有する元素を予め選択するととも
に、そのピーク発生位置ごとにこのピーク発生位置を含
む近傍に存在可能なピーク発生位置を有する元素も予め
選択する。すなわち、前出の工程で求めたピーク発生位
置１０近傍にもピークに含まれるピーク発生位置が存在
すると仮定して、ピーク発生位置８，９等を有する元素
２８，２９を予め選択する（図４参照）。
【００１０】次に、この発明では、これらの選択元素の
スペクトル処理を行う。このスペクトル処理は異なる選
択元素をピーク分離にて各元素のピーク強度を算出する
ためのものである。この選択元素のスペクトル処理が、
一例として、下記の（１）式を使った最小二乗法を用い
て行われる場合を説明する。
スペクトル処理を行う。このスペクトル処理は異なる選
択元素をピーク分離にて各元素のピーク強度を算出する
ためのものである。この選択元素のスペクトル処理が、
一例として、下記の（１）式を使った最小二乗法を用い
て行われる場合を説明する。
【００１１】図１において、符号７は測定スペクトル、
符号５，６はそれぞれ蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイル
および蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルである。 n χ2 ＝Σ [ｙi −｛ａ＊ｆA ( ｘi ) ＋ｂ＊ｆB ( ｘi ) ｝] 2 ( Ｓi ) 2 i=1 …（１） ここで、 ｉ…スペクトルデータ番号 ｘi …Ｘ線エネルギー ｙi …計数率（カウント／ｓｅｃ） ( Ｓi ) 2 …標本分散 ｆA ( ｘi ) …蛍光Ｘ線Ａのピーク関数 ｆB ( ｘi ) …蛍光Ｘ線Ｂのピーク関数 ａ，ｂ…求める係数 である。この実施例では、上記（１）式のχ2 を最小に
する係数ａ，ｂをそれぞれ求める。なお、蛍光Ｘ線Ａの
測定強度は、 であり、蛍光Ｘ線Ｂの測定強度は、 である。
符号５，６はそれぞれ蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイル
および蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルである。 n χ2 ＝Σ [ｙi −｛ａ＊ｆA ( ｘi ) ＋ｂ＊ｆB ( ｘi ) ｝] 2 ( Ｓi ) 2 i=1 …（１） ここで、 ｉ…スペクトルデータ番号 ｘi …Ｘ線エネルギー ｙi …計数率（カウント／ｓｅｃ） ( Ｓi ) 2 …標本分散 ｆA ( ｘi ) …蛍光Ｘ線Ａのピーク関数 ｆB ( ｘi ) …蛍光Ｘ線Ｂのピーク関数 ａ，ｂ…求める係数 である。この実施例では、上記（１）式のχ2 を最小に
する係数ａ，ｂをそれぞれ求める。なお、蛍光Ｘ線Ａの
測定強度は、 であり、蛍光Ｘ線Ｂの測定強度は、 である。
【００１２】また、選択元素のスペクトル処理の他の例
として、オーバーラップファクター法を用いて行われる
場合を以下に説明する。図２において、まず、ステップ
１０１で、蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイルの初期強度
ＮA 0 を求める。 ＮA 0 ＝Ｅ1 〜Ｅ2 のＲＯＩ強度 ここで、ＲＯＩとは、Ｒｅｇｉｏｎ ｏｆ Ｉｎｔｅｒ
ｅｓｔの略称であって、強度を求める範囲を意味する。
続いて、同様に、蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルの初
期強度ＮB 0 を求める。 ＮB 0 ＝Ｅ3 〜Ｅ4 のＲＯＩ強度
として、オーバーラップファクター法を用いて行われる
場合を以下に説明する。図２において、まず、ステップ
１０１で、蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイルの初期強度
ＮA 0 を求める。 ＮA 0 ＝Ｅ1 〜Ｅ2 のＲＯＩ強度 ここで、ＲＯＩとは、Ｒｅｇｉｏｎ ｏｆ Ｉｎｔｅｒ
ｅｓｔの略称であって、強度を求める範囲を意味する。
続いて、同様に、蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルの初
期強度ＮB 0 を求める。 ＮB 0 ＝Ｅ3 〜Ｅ4 のＲＯＩ強度
【００１３】次に、ステップ１０２で、蛍光Ｘ線Ａのピ
ーク関数ｆA ( ｘi ) と蛍光Ｘ線Ｂのピーク関数ｆB (
ｘi ) とから、蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイルと蛍光
Ｘ線Ｂのピークプロファイルのオーバーラップ領域にお
ける下記で定義されるオーバーラップファクターＨAB,
ＨBAを求める。 ＨAB＝ΣｆA ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ3 〜Ｅ4
である》÷ ΣｆA ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ1 〜Ｅ2 であ
る》 ＨBA＝ΣｆB ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ1 〜Ｅ2
である》÷ ΣｆB ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ3 〜Ｅ4 であ
る》 但し、ｆA ( ｘ ) ，ｆB ( ｘ ) は装置によって予め
分かっている関数である。
ーク関数ｆA ( ｘi ) と蛍光Ｘ線Ｂのピーク関数ｆB (
ｘi ) とから、蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイルと蛍光
Ｘ線Ｂのピークプロファイルのオーバーラップ領域にお
ける下記で定義されるオーバーラップファクターＨAB,
ＨBAを求める。 ＨAB＝ΣｆA ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ3 〜Ｅ4
である》÷ ΣｆA ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ1 〜Ｅ2 であ
る》 ＨBA＝ΣｆB ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ1 〜Ｅ2
である》÷ ΣｆB ( ｘ ) 《ここで、合計はｘ＝Ｅ3 〜Ｅ4 であ
る》 但し、ｆA ( ｘ ) ，ｆB ( ｘ ) は装置によって予め
分かっている関数である。
【００１４】次に、図３において、ステップ１０３で、
蛍光Ｘ線ＡのＲＯＩ強度にかかる測定強度を次式で求め
る。 ＮA ＝ＮA 0 −ＨBA＊ＮB 0 同様に、蛍光Ｘ線ＢのＲＯＩ強度にかかる測定強度を次
式で求める。 ＮB ＝ＮB 0 −ＨAB＊ＮA 0 次に、ステップ１０４で、蛍光Ｘ線Ａの測定強度を次式
で求める。 ＮA ＝ＮA 0 −ＨBA＊ＮB 同様に、蛍光Ｘ線Ｂの測定強度を次式で求める。 ＮB ＝ＮB 0 −ＨAB＊ＮA
蛍光Ｘ線ＡのＲＯＩ強度にかかる測定強度を次式で求め
る。 ＮA ＝ＮA 0 −ＨBA＊ＮB 0 同様に、蛍光Ｘ線ＢのＲＯＩ強度にかかる測定強度を次
式で求める。 ＮB ＝ＮB 0 −ＨAB＊ＮA 0 次に、ステップ１０４で、蛍光Ｘ線Ａの測定強度を次式
で求める。 ＮA ＝ＮA 0 −ＨBA＊ＮB 同様に、蛍光Ｘ線Ｂの測定強度を次式で求める。 ＮB ＝ＮB 0 −ＨAB＊ＮA
【００１５】続いて、ステップ１０５で、これらのデー
タに基づいて、蛍光Ｘ線Ａの測定強度ＮA と蛍光Ｘ線Ｂ
の測定強度ＮB のそれぞれの収束状態を解析する。測定
強度ＮA ，ＮB がどちらも収束するという判断が成され
ると、ステップ１０６のピーク分離終了となる。このよ
うにして上記工程により、蛍光Ｘ線Ａの測定強度ＮA と
蛍光Ｘ線Ｂの測定強度ＮB を得ることができる。この測
定強度ＮA ，ＮB の値がある値以上であれば、その蛍光
Ｘ線を発生する元素が測定試料に含まれるという判断を
行う。
タに基づいて、蛍光Ｘ線Ａの測定強度ＮA と蛍光Ｘ線Ｂ
の測定強度ＮB のそれぞれの収束状態を解析する。測定
強度ＮA ，ＮB がどちらも収束するという判断が成され
ると、ステップ１０６のピーク分離終了となる。このよ
うにして上記工程により、蛍光Ｘ線Ａの測定強度ＮA と
蛍光Ｘ線Ｂの測定強度ＮB を得ることができる。この測
定強度ＮA ，ＮB の値がある値以上であれば、その蛍光
Ｘ線を発生する元素が測定試料に含まれるという判断を
行う。
【００１６】その結果、例えば、図５に点線のスペクト
ル２１，２２に示すように、蛍光Ｘ線Ａのピークプロフ
ァイルを示す元素と蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルを
示す元素とが測定され、従来、ピーク位置８，９にピー
クが測定されないためにこれら元素は含まれていないと
いう誤った定性分析結果を得ることがなくなり、精度よ
く定性分析を行うことができる。また、蛍光Ｘ線Ａのピ
ークプロファイルだけが測定された場合には、蛍光Ｘ線
Ｂのピークプロファイルを示す元素が測定試料に含まれ
ているという誤った定性分析結果を得ることがなくな
る。
ル２１，２２に示すように、蛍光Ｘ線Ａのピークプロフ
ァイルを示す元素と蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルを
示す元素とが測定され、従来、ピーク位置８，９にピー
クが測定されないためにこれら元素は含まれていないと
いう誤った定性分析結果を得ることがなくなり、精度よ
く定性分析を行うことができる。また、蛍光Ｘ線Ａのピ
ークプロファイルだけが測定された場合には、蛍光Ｘ線
Ｂのピークプロファイルを示す元素が測定試料に含まれ
ているという誤った定性分析結果を得ることがなくな
る。
【００１７】
【実施例】以下、この発明に係るスペクトル処理を用い
た蛍光Ｘ線定性分析方法の一実施例を、図面に基づいて
簡単に説明する。なお、この発明はそれによって限定を
受けるものではない。図６において、１１はＸ線発生装
置、１３は測定を行う試料、１５は検出器、１６はＡ／
Ｄ変換器、１７はマルチチャンネルアナライザ、１８は
コンピュータである。
た蛍光Ｘ線定性分析方法の一実施例を、図面に基づいて
簡単に説明する。なお、この発明はそれによって限定を
受けるものではない。図６において、１１はＸ線発生装
置、１３は測定を行う試料、１５は検出器、１６はＡ／
Ｄ変換器、１７はマルチチャンネルアナライザ、１８は
コンピュータである。
【００１８】Ｘ線発生装置１１から発せられたＸ線１２
が試料１３に照射され、試料１３から発せられる蛍光Ｘ
線１４を検出器１５で検出し、その信号をＡ／Ｄ変換器
１６、マルチチャンネルアナライザ１７を経てコンピュ
ータ１８でスペクトルデータとして読み取る。このコン
ピュータ１８には、予め各元素ごとに発生するピークの
位置を記憶させておく。
が試料１３に照射され、試料１３から発せられる蛍光Ｘ
線１４を検出器１５で検出し、その信号をＡ／Ｄ変換器
１６、マルチチャンネルアナライザ１７を経てコンピュ
ータ１８でスペクトルデータとして読み取る。このコン
ピュータ１８には、予め各元素ごとに発生するピークの
位置を記憶させておく。
【００１９】当該測定試料１３から発せられた蛍光Ｘ線
よりスペクトルデータを得て、そのデータから複数のピ
ーク発生位置を決定する。例えば、図１において、ピー
ク発生位置１０を求める。続いて、複数のピーク発生位
置により、各ピーク発生位置を有する元素を予め選択す
るとともに、そのピーク発生位置ごとにこのピーク発生
位置を含む近傍に存在可能なピーク発生位置を有する元
素も予め選択する。
よりスペクトルデータを得て、そのデータから複数のピ
ーク発生位置を決定する。例えば、図１において、ピー
ク発生位置１０を求める。続いて、複数のピーク発生位
置により、各ピーク発生位置を有する元素を予め選択す
るとともに、そのピーク発生位置ごとにこのピーク発生
位置を含む近傍に存在可能なピーク発生位置を有する元
素も予め選択する。
【００２０】すなわち、前出の工程で求めたピーク発生
位置１０近傍にもピークに含まれるピーク発生位置が存
在すると仮定して、ピーク発生位置８，９等を有する元
素２８，２９を予め選択する（図４参照）。
位置１０近傍にもピークに含まれるピーク発生位置が存
在すると仮定して、ピーク発生位置８，９等を有する元
素２８，２９を予め選択する（図４参照）。
【００２１】次に、これらの選択元素のスペクトル処理
を行う。この選択元素のスペクトル処理が、最小二乗法
やオーバーラップファクター法を用いて行われる。
を行う。この選択元素のスペクトル処理が、最小二乗法
やオーバーラップファクター法を用いて行われる。
【００２２】このように、試料を測定したときスペクト
ルのピークが重なる場合、ピーク発生位置だけでは、ど
の元素のものなのか判断が難しかったのを、本実施例で
は、ピークに含まれる元素を予め候補に挙げておいて、
最小二乗法やオーバーラップファクター法を用いたスペ
クトル処理（ピーク分離）を行うようにすることによっ
て、ピークが重なったスペクトルの場合でも、各元素の
ピークを検出できる。その結果、定性の精度を向上でき
る。
ルのピークが重なる場合、ピーク発生位置だけでは、ど
の元素のものなのか判断が難しかったのを、本実施例で
は、ピークに含まれる元素を予め候補に挙げておいて、
最小二乗法やオーバーラップファクター法を用いたスペ
クトル処理（ピーク分離）を行うようにすることによっ
て、ピークが重なったスペクトルの場合でも、各元素の
ピークを検出できる。その結果、定性の精度を向上でき
る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のスペク
トル処理を用いた蛍光Ｘ線定性分析方法は、測定試料を
測定したときスペクトルのピークが重なる場合、ピーク
発生位置だけでは、どの元素のものなのか判断が難しか
ったのを、この発明では、ピークに含まれる元素を予め
候補に挙げておいて、最小二乗法やオーバーラップファ
クター法を用いたスペクトル処理（ピーク分離）を行う
ようにすることによって、ピークが重なったスペクトル
の場合でも、各元素のピークを検出できるようにし、そ
の結果、定性の精度を向上できる効果がある。また、ピ
ーク位置の一致度の許容範囲を広げた場合においても、
仮に、測定試料に特定のスペクトルの元素しか含まれて
いない場合に、他のスペクトルの元素が含まれていると
いう誤った定性分析結果を得るような事態を確実に回避
できる利点を有する。
トル処理を用いた蛍光Ｘ線定性分析方法は、測定試料を
測定したときスペクトルのピークが重なる場合、ピーク
発生位置だけでは、どの元素のものなのか判断が難しか
ったのを、この発明では、ピークに含まれる元素を予め
候補に挙げておいて、最小二乗法やオーバーラップファ
クター法を用いたスペクトル処理（ピーク分離）を行う
ようにすることによって、ピークが重なったスペクトル
の場合でも、各元素のピークを検出できるようにし、そ
の結果、定性の精度を向上できる効果がある。また、ピ
ーク位置の一致度の許容範囲を広げた場合においても、
仮に、測定試料に特定のスペクトルの元素しか含まれて
いない場合に、他のスペクトルの元素が含まれていると
いう誤った定性分析結果を得るような事態を確実に回避
できる利点を有する。
【図１】この発明に係るスペクトル処理を用いた蛍光Ｘ
線定性分析方法の一実施例で検出し得たスペクトル処理
を示す図である。
線定性分析方法の一実施例で検出し得たスペクトル処理
を示す図である。
【図２】上記実施例におけるオーバーラップファクター
法の前半を示すフローチャートである。
法の前半を示すフローチャートである。
【図３】上記実施例におけるオーバーラップファクター
法の後半を示すフローチャートである。
法の後半を示すフローチャートである。
【図４】上記実施例における一工程で得られる粗い定性
によるピーク位置の選択を示す図である。
によるピーク位置の選択を示す図である。
【図５】上記実施例における一工程で得られるスペクト
ル処理によるピーク分離を示す図である。
ル処理によるピーク分離を示す図である。
【図６】蛍光Ｘ線定性分析方法で用いる分析装置を示す
構成説明図である。
構成説明図である。
【図７】同じく蛍光Ｘ線定性分析方法で用いる分析装置
を示す構成説明図である。
を示す構成説明図である。
【図８】測定試料のピーク発生位置を示す図である。
５…蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイルを示す元素のスペ
クトル、６…蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルを示す元
素のスペクトル、８…蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイル
を示す元素のピーク、９…蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファ
イルを示す元素のピーク、１１…Ｘ線発生装置、１２…
Ｘ線、１３…測定試料、１４…蛍光Ｘ線、１５検出器、
１６…Ａ／Ｄ変換器、１７…マルチチャンネルアナライ
ザ、１８…コンピュータ。
クトル、６…蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファイルを示す元
素のスペクトル、８…蛍光Ｘ線Ａのピークプロファイル
を示す元素のピーク、９…蛍光Ｘ線Ｂのピークプロファ
イルを示す元素のピーク、１１…Ｘ線発生装置、１２…
Ｘ線、１３…測定試料、１４…蛍光Ｘ線、１５検出器、
１６…Ａ／Ｄ変換器、１７…マルチチャンネルアナライ
ザ、１８…コンピュータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−85850（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−262040（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線発生装置から発せられたＸ線が測定
試料に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線
を検出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てスペ
クトルデータとして読み取ることで当該測定試料に含ま
れている元素の定性分析を行うに際して、当該測定試料
から発せられた蛍光Ｘ線よりスペクトルデータを得て、
そのデータから複数のピーク発生位置を決定する工程
と、そのデータから得られた前記複数のピーク発生位置
により、各ピーク発生位置を有する元素を予め選択する
とともに、そのピーク発生位置ごとにこのピーク発生位
置を含む近傍に存在可能なピーク発生位置を有する元素
も予め選択する工程と、これらの選択元素のスペクトル
処理を行う工程とからなり、前記選択元素のスペクトル
処理を行う工程において、測定された蛍光Ｘ線の強度が
ある値以上であるとき、その蛍光Ｘ線を発生する元素が
測定試料に含まれるという判断を行うようにしたスペク
トル処理を最小二乗法やオーバーラップファクター法を
用いて行うようにしたことを特徴とする蛍光Ｘ線定性分
析方法。 - 【請求項２】 測定試料が、近接したエネルギーの蛍光
Ｘ線をそれぞれ発生する複数の元素を含む請求項１に記
載のスペクトル処理を用いた蛍光Ｘ線定性分析方法。 - 【請求項３】 スペクトル処理を定性分析を行う全ての
元素について行う請求項１に記載のスペクトル処理を用
いた蛍光Ｘ線定性分析方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4304784A JP3052272B2 (ja) | 1992-10-17 | 1992-10-17 | スペクトル処理を用いた蛍光ｘ線定性分析方法 |
| US08/134,336 US5418826A (en) | 1992-10-11 | 1993-10-12 | Fluorescent X-ray qualitative analytical method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4304784A JP3052272B2 (ja) | 1992-10-17 | 1992-10-17 | スペクトル処理を用いた蛍光ｘ線定性分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06130004A JPH06130004A (ja) | 1994-05-13 |
| JP3052272B2 true JP3052272B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=17937194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4304784A Expired - Fee Related JP3052272B2 (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-17 | スペクトル処理を用いた蛍光ｘ線定性分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3052272B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2001050918A (ja) * | 1999-08-09 | 2001-02-23 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析方法およびその装置 |
| JP5697388B2 (ja) * | 2010-09-22 | 2015-04-08 | 株式会社イーアンドエム | Ｘ線分析方法，ｘ線分析装置及びそのプログラム |
Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
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-
1992
- 1992-10-17 JP JP4304784A patent/JP3052272B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06130004A (ja) | 1994-05-13 |
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