JP2598821B2

JP2598821B2 - スペクトル情報に基づく自動定性分析方法

Info

Publication number: JP2598821B2
Application number: JP1083778A
Authority: JP
Inventors: 哲関根
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1989-03-31
Filing date: 1989-03-31
Publication date: 1997-04-09
Anticipated expiration: 2012-04-09
Also published as: JPH02262040A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、分析試料より発生した荷電粒子をエネルギ
ーまたは質量に応じて分離して検出し、該信号に基づい
て試料を自動定性分析するための方法に関する。

［従来の技術］従来、試料に電子線を照射し、該試料より発生した荷
電粒子の中よりオージェ電子をシリンドリカルミラー型
分光器などによってエネルギーに応じて分離すると共
に、該オージェ電子を検出器によって検出し、該検出器
により検出された信号に基づいてスペクトルを表示装置
または記録装置に表示するようにした、オージェ電子分
光装置が知られている。

ところで、オージェ電子分光法では観測者が前記オー
ジェ電子分光装置によって得られたオージェスペクトル
（チャートペーパ上に記録されたペクトルなど）から該
スペクトルのピーク出現位置に対応するエネルギーレベ
ルを読取って、該読取ったエネルギーレベルを標準スペ
クトル表などと対応させることにより、存在元素の同定
を行なっていた。

［発明が解決しようとする課題］さて、上述したようなオージェ電子分光装置において
未知試料の定性分析を行なう場合、例えば、合金や化合
物などの試料を用いた分析では、オージェスペクトル中
にピークが林立し、ピークどうしが重複したりするなど
複雑なスペクトル構造を示す場合が多い。そのため、こ
のような複雑なスペクトルから元素ピークに対応するエ
ネルギーレベルを読取り、存在元素の同定を行なう作業
は不慣れな者にとっては、極めて難しい作業となる。

本発明は上述のような問題点を考慮し、検出されたピ
ークに基づいて検出元素の同定を自動的に行なうことの
できるスペクトル情報に基づく自動定性分析方法を提供
することを目的としている。

［課題を解決するための手段］第１の本発明は、試料に荷電粒子線を照射し、該試料
より発生した荷電粒子をエネルギーに応じて分離してピ
ークを検出し、該ピークの前記エネルギー値に基づいて
試料中に含まれる元素を判別するようにしたスペクトル
情報に基づく自動定性分析方法において、前記エネルギ
ー値に対応させて元素名データを記憶した第１テーブル
と、元素名に対応させてその元素において出現する複数
のファミリーピークのエネルギー値と、該ファミリーピ
ークの各々に対して該ファミリーピーク内での強度の順
位を示す強度ランクを記憶した第２テーブルとを予め備
え、検出されたピークのうちの１つのピークに着目し、
該着目したピークのエネルギー値に対応した元素を前記
第１テーブルから読み出し、該読み出された元素におい
て出現する複数のファミリーピークのエネルギー値と、
該ファミリーピークの各々の強度ランクを前記第２テー
ブルから読み出し、前記着目したピークの強度ランクを
調べ、該ランクが他に同等以上の強度ファミリーピーク
が存在するランクである場合、前記着目したピークのフ
ァミリーピークである他のピークが検出されたピーク中
に存在するか否かを調べ、ピークが存在すれば前記第１
テーブルから読み出された元素が存在すると判定し、一
方、前記着目したピークの強度ランクが他に同等以上の
強度のファミリーピークが存在しないランクである場
合、前記着目したピークの強度が基準値よりも大きけれ
ば前記第１テーブルから読み出された元素が存在すると
判定するようにしたことを特徴とする。

第２の本発明は、試料に荷電粒子線を照射し、該試料
より発生した荷電粒子をエネルギーに応じて分離してピ
ークを検出し、該ピークの前記エネルギー値に基づいて
試料中に含まれる元素を判別するようにしたスペクトル
情報に基づく自動定性分析方法において、前記エネルギ
ー値に対応させて元素名データを記憶した第１テーブル
と、元素名に対応させてその元素において出現する複数
のファミリーピークのエネルギー値と、該ファミリーピ
ークの各々に対して該ファミリーピーク内での強度の順
位を示す強度ランクを記憶した第２テーブルとを予め備
え、検出されたピークのうちの１つのピークに着目し、
該着目したピークのエネルギー値に対応した元素名を前
記第１テーブルから読み出し、該読み出された元素にお
いて出現する複数のファミリーピークのエネルギー値
と、該ファミリーピークの各々の強度ランクを前記第２
テーブルから読み出し、前記着目したピークの強度ラン
クを調べ、該ランクが他に同等以上の強度ファミリーピ
ークが存在するランクである場合、前記着目したピーク
のファミリーピークである他のピークが検出されたピー
ク中に存在するか否かを調べ、ピークが存在すれば前記
第１テーブルから読み出された元素が存在すると判定
し、ピークが存在しない場合、前記着目したピークの強
度が基準値よりも大きけば前記第１テーブルから読み出
された元素が存在すると判定し、一方、前記着目したピ
ークの強度ランクが他に同等以上の強度のファミリーピ
ークが存在しないランクである場合、前記着目したピー
クの強度が基準値よりも大きければ前記第１テーブルか
ら読み出された元素が存在すると判定するようにしたこ
とを特徴とする。

［実施例］以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図は本発明の一実施例を説明するためのフローチャー
ト、第２図は本発明を実施するための装置の一例を示す
ための図、第３図はピーク位置（エネルギー値）に対す
る元素名の情報を格納したテーブルを説明するための
図、第４図は各元素名データに対するオージェ電子ピー
ク位置（エネルギー値）の情報を格納したテーブルを説
明するための図、第５図は動作を説明するための図、第
７図はランクを説明するための図である。

第２図において、１は電子銃、２は電子銃１よりの電
子線EBを集束するための集束レンズ、３は集束レンズ２
によって集束された電子線EBが照射される試料、４は電
子線EBの照射により試料３から発生したオージェ電子AE
をエネルギーに応じて分光するためのシリンドリカルミ
ラー型分光器、５は分光器４によって選別されオージェ
電子AEを検出する検出器、６は検出器の信号を増幅する
ための増幅器、７は前記増幅器６によって増幅された信
号をＡ−Ｄ変換するためのＡ−Ｄ変換器、８は中央演算
処理装置である。前記Ａ−Ｄ変換器７によって変換され
たデジタル信号は中央演算処理装置８を介して記憶装置
９に供給される。また、この中央演算処理装置８にはバ
スラインを介してスペクトル表示装置10が接続されると
共に、第３図に示すようなピーク位置（エネルギー値）
に対する元素名の情報を格納したテーブル（メモリ）11
及び第４図に示すような各元素名に対するオージェ電子
ピーク位置（エネルギー値）と各ピークの出現強度の標
準値の情報であるランク情報を格納したテーブル（メモ
リ）12が接続されている。このテーブル11及び12に格納
される情報は、既知の元素を含む標準試料についてスペ
クトル分析を行なうことにより得られる。

このような構成の装置において、試料３に電子線EBを
照射し、該試料３より発生したオージェ電子AEを分光器
４によってエネルギーに応じて分離し、該オージェ電子
AEが検出器５によって検出された信号が増幅器６を介し
てＡ−Ｄ変換器７に供給される。そして、該Ａ−Ｄ変換
器７よりの信号が中央演算処理装置８を介して記憶装置
９に格納される。

ここで、該記憶装置９に格納された信号は中央演算処
理装置８によって、以下のようなステップで自動定性分
析され、その結果がスペクトル表示装置10上に表示され
る。

中央演算処理装置８は予め組まれたプログラムによっ
て第１図のフローチャートのステップ１に示すように、
先ず、記憶装置９に記憶された信号を読み出し、該全検
出信号に二次微分等の信号処理を行ない、該処理された
信号よりバックグラウンドを除去し、ピークを抽出す
る。

次に、中央演算処理装置８は第１図のフローチャート
のステップ２に示すように、抽出されたピークよりピー
ク位置を検出する。

そして、ステップ３に示すように、ピーク位置に対応
した元素名データが記憶されたテーブル11から前記ステ
ップ２で検出された夫々のピーク位置の前後２〜3eVのR
OI内の元素名データが読み出される。

更に、ステップ４に示すように、全元素のオージェ電
子ピークの位置（エネルギー値）と各ピークのランク情
報とがセットとして記憶されたテーブル12から前記ステ
ップ３で読み出された元素のオージェ電子ピークの位置
とランク情報のセットが読み出される。

ここで、前記ランク情報を第７図を用いて説明する。
第７図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は各々元素A,B,
C,Dのピークスペクトルを示したものであり、オージェ
電子ピークの出現する数は元素毎に異なっている。図か
ら明らからように、元素Ａにおいてはピークが１つ出現
し、元素B,Cにおいてはピークが２つ出現し、元素Ｄお
いてはピークが４つ出現している。

まず、元素Ａのピークのランク付けについて説明する
と、元素ＡならばピークA₁以外のピーク、すなわちファ
ミリーピークが派生しないので、ピークA₁にはランク１
が付けられる。また、元素Ｂのピークのランク付けにお
いては、元素Ｂからは２つのファミリーピークB₁,B₂が
派生され、ファミリーピークB₁の強度がファミリーピー
クB₂の強度より大きいので、ファミリーピークB₁にはラ
ンク２が付けられ、一方、ファミリーピークB₂にはラン
ク４が付けられる。また、元素Ｃのピークのランク付け
においては、元素Ｃからは２つのファミリーピークC₁,C
₂が派生され、ファミリーピークC₁とC₂の強度は等しい
ので、夫々のファミリーピークにランク３が付けられ
る。また、元素Ｄのランク付けにおいては、元素Ｄから
は４つのファミリーピークD₁,D₂,D₃,D₄が派生され、フ
ァミリーピークD₁の強度が最も小さくてファミリーピー
クD₄の強度が最も大きく、ファミリーピークD₂とファミ
リーピークD₃の強度は同じでその強度はファミリーピー
クD₁の強度より大きくフミリーピークD₄の強度よりも小
さいので、ファミリーピークD₁には前記ファミリーピー
クB₂と同様にランク４が付けられ、ファミリーピークD₂
とD₃には前記ラク４が優先して付けられ、ファミリーピ
ークD₄には前記ピークB₁と同様にランク２が付けられ
る。

そして、ステップ５に示すように、前ステップ４で読
み出されたオージェ電子ピークの位置とランク情報から
前記注目するピークのランクが該ピークが同等以上の強
度のファミリーピークを有するランクであるか否かが判
定される。

該ステップ５において、前記注目するピークが該ピー
クと同等以上の強度のファミリーピークを有するランク
である場合、ステップ６に示すように、該ファミリーピ
ークが前記検出されたピーク中に存在するか否かが判定
される。そして、ファミリーピークが発見されればステ
ップ７として前記注目するピークによって読み出された
元素が存在すると判定される。

ステップ６の判定の結果、検出されたピークの中にフ
ァミリーピークが発見されなければ、次のステップ６′
において注目するピークの実際に検出されたときの分類
がメジヤー（ピーク強度が予め設定した基準値ａより大
きい）であるか否かの判定を行なう。この判定において
肯定と判定されれば、元素の存在可能性のみを示唆する
判定結果を出力し、否定と判定されれば元素は不存在と
判定される。

また、ステップ５において検出ピークが該ピークと同
等以上の強度のファミリーピークを有するランクではな
い場合には、ステップ８に示すように、前記注目するピ
ークの実際に検出されたときの分類がメジャーあるいは
オーバーラップ（ピーク強度が予め設定した基準値ａよ
り大きく重複するピークが存在する）であるか否かが判
定される。

前記ステップ８において、ピーク検出時の分類がメジ
ャーあるいはオーバーラップである場合、ステップ９と
して前記注目するピーク位置に前記読み出された元素名
データの元素が存在するとの判定結果を出力する。

また、ステップ８においてメジャーあるいはオーバー
ラップでない場合、即ちマイナー（ピーク強度が予め設
定した基準値ａより小さい）である場合には、ステップ
10として前記注目するピーク位置に前記読み出された元
素名データの元素の存在が不確実であるため、元素の存
在可能性のみ示唆する判定結果を出力する。

そして、上記各判定結果がスペクトル表示装置10上に
オージェ電子スペクトルの各ピークに付随して第５図
（ｄ）に示すように表示される。

次に、より詳細に具体的な動作について説明する。

先ず、ステップ１で記憶装置９より第５図（ａ）に示
すような検出信号が読み出された場合、該信号に二次微
分等の信号処理を行ない、第５図（ｂ）に示すようなス
ペクトルが得られる。

次に、ステップ２で、第５図（ｃ）に示すような前記
バックグラウンドの除去されたスペクトル中よりピーク
が検出され、該ピークの位置（エネルギー値）が割り出
される。そして、ステップ３に示すように、該検出され
たピーク位置の情報に対応した元素名データがテーブル
11の中から読み出される。ここで、例えばピーク位置の
情報（700.9eV）が検出された場合はこの値を中心とし
て前後２〜3eVの小エネルギー幅（Region of in teres
t;以下ROIと称する）内に該当する元素をテーブル10の
中から選び出す。この場合は元素（Fe:鉄）が読み出さ
れる。

そして、ステップ４に示すように、読み出された元素
名データ（Fe:鉄）のオージェ電子ピーク位置のデータ
とランク情報のセット［45eV（ランク３）,78eV（ラン
ク３）,589eV（ランク３）,645eV（ランク３）,700eV
（ランク３）,712eV（ランク）］がテーブル12の中から
読み出される。

次に、ステップ５に示すように、前記ステップ４で検
出されたピークが該ピークと同等以上の強度のファミリ
ーピークを有するランク（即ち、ランク３またはランク
４）であるか否かが判定される。

ステップ５において、該検出ピークと同等以上の強度
のファミリーピークを有するランクである場合、ステッ
プ６に示すように、注目するピーク（700.9eV）ファリ
ーピークが第５図（ｃ）に示すような全ピーク中に実際
に存在するか否かが判定される。そして、例えばファミ
リーピーク（645eV）または（589eV）が発見されれば前
記注目するピーク（700.9eV）の発見に基づいてテーブ
ル11より読み出された元素（Fe:鉄）が存在すると判定
される。また、ファミリーピークが全ピーク中から発見
されない場合は、ステップ６′において注目するピーク
（700.9eV）の実際に検出されたときのピークの高さに
関する分類がメジャーか否かが判定される。

ステップ６′において、前記注目するピーク（700.9e
V）の実際に検出されたピークの分類がもし、メジャー
であれば、前記ピーク（700.9eV）の発見に基づいて読
み出された元素の存在の一応を可能性のみ示唆する判定
結果を出力し、オーバーラップあるいはマイナーであれ
ば、前記ピーク（700.9eV）の発見に基づいて読み出さ
れた元素の不存在の判定を行なう。

また、ステップ５の判定において、検出されたピーク
が、該ピークと同等以上の強度のファミリーピークを有
するランクでない（即ち、ランク１マタはランク２）の
場合、ステップ８に示すように、前記注目するピーク
（700.9eV）の実際に検出されたときの分類がメジャー
であるかまたはオーバーラップであるかが判定される。

そして、ステップ８において、前記注目するピーク
（700.9eV）の実際に検出されたときの分類がメジャー
及びオーバラップの場合は、ステップ９に示すように前
記読み出された元素名データの元素が存在すると判定さ
れる。

また、ステップ８において前記注目するピーク（700.
9eV）の実際の検出時の分類がメジャー及びオーバーラ
ップ以外、即ちマイナーである場合には、前記ピーク
（700.9eV）の発見に基づいて読み出された元素（Fe:
鉄）の存在が不確実となるため、元素（Fe:鉄）の存在
の一応の可能性のみ示唆する判定出力が打ち出される
（ステップ10）。

ところで、前記ステップ３において、ROI中に２つ以
上の元素が発見された場合は、第６図に示すようなフロ
ーチャートに従い元素の同定が行なわれる。

まず、検出されたピーク位置の情報に対応した元素名
データがテーブル11の中から読み出される。ここで、例
えばピーク位置の情報（647.4eV）が検出された場合は
この値を中心として前後２〜3eVのROI内に該当する元素
が第３図に示すテーブル11の中から選び出される。この
場合は元素（Fe:鉄）（F:フッ素）（Co:コバルト）が読
み出される。

そして、ステップ４′において、これら読み出された
各元素が自分自身と同等以上のファミリーピークを有す
るランク（即ち、ランク３またはランク４）であり、且
つそのファミリーピークが実際に検出されたピークを検
索した際に存在すれば、その元素の存在を摘出する操作
が行われる。

次に、ステップ５−１において前記ステップ４′で摘
出された元素が存在すると判定された場合は、ステップ
５−２で該存在した元素名が出力され、ステップ９にお
いて該出力された元素がピーク位置に存在すると判定さ
れる。

即ち、ステップ３において検出された元素［Fe;645eV
（ランク３）,F;645eV（ランク２）,Co;646eV（ランク
３）］の内、注目する或るピークを例えば、Fe;645eV
（ランク３）とした場合、該ピークは自分自身のピーク
と同等の強度のファミリーピークを有するランク３であ
るから、検出されたピークの中の該当ピーク位置に自分
自身のピークと同等以上の強度のファミリーピークが存
在するかを検索する。そして、ステップ５−１における
判定結果が肯定の場合は、ステップ５−２で該存在した
元素名が出力され、ステップ９において該出力された元
判定されると共に、ステップ９において該出力された元
素がピーク位置に存在すると判定される。一方、ステッ
プ５−３において、前記Fe;645eV（ランク３）以外の残
りの元素F;645eV（ランク２）,Co;646eV（ランク３）、
の元素のついて分類がメジャーまたはオーバーラップピ
ークであり、ランク３またはランク４のファミリーピー
クを有さないランク（即ちランク１または２か）である
かが判定される。

そして、前記判定結果が肯定の場合はステップ10にお
いて該元素の存在可能性のみを示唆する判定を行なう。
また、前記ステップ５−３の判定結果が否定の場合は元
素の不存在を判定される。

さて、前記ステップ５−１において、摘出された元素
の存在が確認されなかった場合は、ステップ５−４にお
いてステップ４′で検出された全ての元素のピークにつ
いて、その分類がメジャーまたはオーバーラップである
かが調べられる。

そして、前記ステップ５−４における判定結果が肯定
の場合はステップ５−５において、自分自身のピークと
同等以上の強度のファミリーピークを有するランクであ
るか否かが判定される。そして、自分自身のピークと同
等以上の強度のファミリーピークを持たないランクであ
る場合（否定の場合）は、ステップ９に示すように前記
読み出された元素名データの元素が存在すると判定さ
れ、前記同等以上の強度のファミリーピークを有するラ
ンクである場合（肯定の場合）は、元素の不存在が判定
される。

一方、前記ステップ５−４における判定結果が不定の
場合は、ステップ５−６において自分自身のピークとよ
り大きい強度のファミリーピークを有すルランクである
か否か（即ち、ランク４であるか）が判定される。前記
ステップ５−６において、自分自身のピークより大きい
強度のファミリーピークを有するランクである場合（肯
定の場合）は、元素の不存在が判定される。

また、前記ステップ５−６において、自分自身のピー
クより大きい強度のファミリーピークを有さないランク
である場合（否定の場合）は、ステップ５−７におい
て、自分自身のピークと同等の強度のファミリーピーク
を有するランクであるか否か（即ち、ランク３である
か）が判定される。該ステップ５−７において、同等の
強度のファミリーピークを持たないリンクである場合
（否定の場合）、前記読み出された元素名データの元素
が存在すると判定される（ステップ９）。

更に、ステップ５−７において、同等の強度のファミ
リーピークを有するランクであると判定された場合（肯
定の場合）は、ステップ５−８において、前記ステップ
４′で検出された他の全元素のピークについて、元素が
存在するという判定が１つも無いことことを調べる。そ
して、元素が存在するという判定が１つも無い場合は、
前記読み出された元素名データの元素が存在すると判定
される（ステップ９）。

なお、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、
本発明は種々変形して実施することができる。

［発明の効果］本発明によれば、着目した検出ピークの強度ランクが
他に同等以上の強度のファミリーピークが存在するラン
クの場合、着目した検出ピークのファミリーピークが見
つかれば、着目した検出ピークのエネルギー値に対応し
た元素が存在すると判定しており、このような判定によ
る元素同定の信頼性は非常に高い。一方、着目した検出
ピークの強度ランクが他に同等以上の強度のファミリー
ピークが存在しないランクの場合、着目した検出ピーク
の実際の強度が基準値より強ければ前記元素が存在する
と判定しており、この場合には、着目した検出ピークの
ファミリーピークの有無を調べなくても、信頼性の非常
に高い元素同定が行なえる。したがって、本発明におい
ては、標準試料により出現する全てのピークを予め求
め、検出ピークとそれらのピークとを照らし合わせる分
析方法に比べ、予め求められたピークデータをテーブル
からアクセス回数が少なくてすみ、分析時間が大幅に短
縮される。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第６図は本発明の一実施例説明するためのフ
ローチャート、第２図は本発明を実施するための装置の
一例を示すための図、第３図はピーク位置に対する元素
名の情報を格納したテーブルを説明するための図、第４
図は各元素名データに対するファミリーピーク位置の情
報を格納したテーブルを説明するための図、第５図は動
作を説明するための図、第７図はランクを説明するため
の図である。 1:電子銃 2:集束レンズ 3:試料 4:シリンドリカルミラー型分光器 5:検出器 6:増幅器 7:A−Ｄ変換器 8:中央演算処理装置 9:記憶装置 10:スペクトル表示装置 11:テーブル 12:テーブル

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】試料に荷電粒子線を照射し、該試料より発
生した荷電粒子をエネルギーに応じて分離してピークを
検出し、該ピークの前記エネルギー値に基づいて試料中
に含まれる元素を判別するようにしたスペクトル情報に
基づく自動定性分析方法において、前記エネルギー値に
対応させて元素名データを記憶した第１テーブルと、元
素名に対応させてその元素において出現する複数のファ
ミリーピークのエネルギー値と、該ファミリーピークの
各々に対して該ファミリーピーク内での強度の順位を示
す強度ランクを記憶した第２テーブルとを予め備え、検
出されたピークのうちの１つのピークに着目し、該着目
したピークのエネルギー値に対応した元素名を前記第１
テーブルから読み出し、該読み出された元素において出
現する複数のファミリーピークのエネルギー値と、該フ
ァミリーピークの各々の強度ランクを前記第２テーブル
から読み出し、前記着目したピークの強度ランクを調
べ、該ランクが他に同等以上の強度のファミリーピーク
が存在するランクである場合、前記着目したピークのフ
ァミリーピークである他のピークが検出されたピーク中
に存在するか否かを調べ、ピークが存在すれば前記第１
テーブルから読み出された元素が存在すると判定し、一
方、前記着目したピークの強度ランクが他に同等以上の
強度のファミリーピークが存在しないランクである場
合、前記着目したピークの強度が基準値よりも大きけれ
ば前記第１テーブルから読み出された元素が存在すると
判定するようにしたことを特徴とするスペクトル情報に
基づく自動定性分析方法。
【請求項２】試料に荷電粒子線を照射し、該試料より発
生した荷電粒子をエネルギーに応じて分離してピークを
検出し、該ピークの前記エネルギー値に基づいて試料中
に含まれる元素を判別するようにしたスペクトル情報に
基づく自動定性分析方法において、前記エネルギー値に
対応させて元素名データを記憶した第１テーブルと、元
素名に対応させてその元素において出現する複数のファ
ミリーピークのエネルギー値と、該ファミリーピークの
各々に対して該ファミリーピーク内での強度の順位を示
す強度ランクを記憶した第２テーブルとを予め備え、検
出されたピークのうちの１つのピークに着目し、該着目
したピークのエネルギー値に対応した元素名を前記第１
テーブルから読み出し、該読み出された元素において出
現する複数のファミリーピークのエネルギー値と、該フ
ァミリーピークの各々の強度ランクを前記第２テーブル
から読み出し、前記着目したピークの強度ランクを調
べ、該ランクが他に同等以上の強度のファミリーピーク
が存在するランクである場合、前記着目したピークのフ
ァミリーピークである他のピークが検出されたピーク中
に存在するか否か調べ、ピークが存在すれば前記第１テ
ーブルから読み出された元素が存在すると判定し、ピー
クが存在しない場合、前記着目したピークの強度が基準
値よりも大きければ前記第１テーブルから読み出された
元素が存在すると判定し、一方、前記着目したピークの
強度ランクが他に同等以上の強度のファミリーピークが
存在しないランクである場合、前記着目したピークの強
度が基準値よりも大きければ前記第１テーブルから読み
出された元素が存在すると判定するようにしたことを特
徴とするスペクトル情報に基づく自動定性分析方法。