JPH06123719A - 螢光ｘ線定性分析方法 - Google Patents
螢光ｘ線定性分析方法Info
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- JPH06123719A JPH06123719A JP29929192A JP29929192A JPH06123719A JP H06123719 A JPH06123719 A JP H06123719A JP 29929192 A JP29929192 A JP 29929192A JP 29929192 A JP29929192 A JP 29929192A JP H06123719 A JPH06123719 A JP H06123719A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 近接したエネルギーの蛍光Ｘ線を複数発生す
る元素を含む試料でも確実に当該元素を測定できる蛍光
Ｘ線定性分析方法を提供することにある。 【構成】 予めＸ線照射により各元素から発生する蛍光
Ｘ線１４のエネルギー位置に対応するピークの基準ピー
ク位置１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn ；１９
ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・・１９ｂm を各元素ごとに測定す
るか、あるいは各元素の基準ピーク位置１９ａ1 ，１９
ａ2 ，・・・１９ａn ；１９ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・・１
９ｂm を計算により決定する工程と、当該測定試料１３
から発せられた蛍光Ｘ線１４よりスペクトルデータを得
て、そのデータに発生したピーク発生位置Ｃ〜Ｇを決定
する工程と、そのデータから得られた前記ピーク発生位
置Ｃ〜Ｇと予め求めておいた各元素の前記基準ピーク位
置とを比較し、この比較の結果、当該測定試料１３から
の前記スペクトルデータの前記ピーク発生位置Ｃ〜Ｇと
各元素の前記基準ピーク位置とが一致すれば、当該元素
が当該測定試料１３中に含まれると判断する比較処理を
含む工程とからなる。
る元素を含む試料でも確実に当該元素を測定できる蛍光
Ｘ線定性分析方法を提供することにある。 【構成】 予めＸ線照射により各元素から発生する蛍光
Ｘ線１４のエネルギー位置に対応するピークの基準ピー
ク位置１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn ；１９
ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・・１９ｂm を各元素ごとに測定す
るか、あるいは各元素の基準ピーク位置１９ａ1 ，１９
ａ2 ，・・・１９ａn ；１９ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・・１
９ｂm を計算により決定する工程と、当該測定試料１３
から発せられた蛍光Ｘ線１４よりスペクトルデータを得
て、そのデータに発生したピーク発生位置Ｃ〜Ｇを決定
する工程と、そのデータから得られた前記ピーク発生位
置Ｃ〜Ｇと予め求めておいた各元素の前記基準ピーク位
置とを比較し、この比較の結果、当該測定試料１３から
の前記スペクトルデータの前記ピーク発生位置Ｃ〜Ｇと
各元素の前記基準ピーク位置とが一致すれば、当該元素
が当該測定試料１３中に含まれると判断する比較処理を
含む工程とからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は蛍光Ｘ線定性分析方法
に関し、さらに詳しくは、Ｍｏ−Ｋα1 とＭｏ−Ｋα2
やＲｈ−Ｋα1 とＲｈ−Ｋα2 のように近接したエネル
ギーの蛍光Ｘ線を複数発生する元素を含む試料でも、精
度よく定性分析を行うことができる蛍光Ｘ線定性分析方
法に関するものである。
に関し、さらに詳しくは、Ｍｏ−Ｋα1 とＭｏ−Ｋα2
やＲｈ−Ｋα1 とＲｈ−Ｋα2 のように近接したエネル
ギーの蛍光Ｘ線を複数発生する元素を含む試料でも、精
度よく定性分析を行うことができる蛍光Ｘ線定性分析方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析装置では、図７に
示すように、Ｘ線発生装置１から測定を行う測定試料
（以下、試料という）２にＸ線を照射し、試料２から発
せられる蛍光Ｘ線３を検出器４で検出し、データ収集装
置４１で、図８に示すようなスペクトルデータを得るよ
うにしている。
示すように、Ｘ線発生装置１から測定を行う測定試料
（以下、試料という）２にＸ線を照射し、試料２から発
せられる蛍光Ｘ線３を検出器４で検出し、データ収集装
置４１で、図８に示すようなスペクトルデータを得るよ
うにしている。
【０００３】この際、試料２に含まれている各元素ごと
に、発生する蛍光Ｘ線３のエネルギー値は決まっている
ため、このスペクトルデータは試料２に含まれる元素に
応じたエネルギー位置にピークを有する。このピークの
位置より試料２に含まれる元素を特定することが可能で
ある。
に、発生する蛍光Ｘ線３のエネルギー値は決まっている
ため、このスペクトルデータは試料２に含まれる元素に
応じたエネルギー位置にピークを有する。このピークの
位置より試料２に含まれる元素を特定することが可能で
ある。
【０００４】従来のこの種定性分析方法では、測定で得
られたスペクトルデータについて、ある元素から得られ
る蛍光Ｘ線のエネルギー位置に、ピークがあればその元
素が含まれると判断し、ピークがなければその元素が含
まれていないと判断するようにしていた。
られたスペクトルデータについて、ある元素から得られ
る蛍光Ｘ線のエネルギー位置に、ピークがあればその元
素が含まれると判断し、ピークがなければその元素が含
まれていないと判断するようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、試料２中に、
近接したエネルギーの蛍光Ｘ線を複数発生する元素が存
在する場合に、例えば、図９において、この元素に応じ
たエネルギー位置にピーク８，９を有するスペクトル
５，６を測定しようとしても、従来の定性分析方法で
は、図９において、ピーク８，９を有するスペクトル
５，６のピーク発生位置が、検出器４の分解能により、
ピーク位置８，９に検出されずにスペクトル７のピーク
位置１０として検出される。そのために、当該元素が試
料２中に存在しても、得られたスペクトルデータでは、
スペクトル５，６が測定されず、ピーク位置８，９にピ
ークがないために当該元素は含まれていないという誤っ
た定性分析結果を得るおそれがあり、精度よく定性分析
を行うのが難しい。
近接したエネルギーの蛍光Ｘ線を複数発生する元素が存
在する場合に、例えば、図９において、この元素に応じ
たエネルギー位置にピーク８，９を有するスペクトル
５，６を測定しようとしても、従来の定性分析方法で
は、図９において、ピーク８，９を有するスペクトル
５，６のピーク発生位置が、検出器４の分解能により、
ピーク位置８，９に検出されずにスペクトル７のピーク
位置１０として検出される。そのために、当該元素が試
料２中に存在しても、得られたスペクトルデータでは、
スペクトル５，６が測定されず、ピーク位置８，９にピ
ークがないために当該元素は含まれていないという誤っ
た定性分析結果を得るおそれがあり、精度よく定性分析
を行うのが難しい。
【０００６】この発明は、上記問題に鑑みてなしたもの
で、その目的は、近接したエネルギーの蛍光Ｘ線を複数
発生する元素を含む試料からでも確実に当該元素を測定
できる蛍光Ｘ線定性分析方法を提供することにある。
で、その目的は、近接したエネルギーの蛍光Ｘ線を複数
発生する元素を含む試料からでも確実に当該元素を測定
できる蛍光Ｘ線定性分析方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために、この発明は、Ｘ線発生装置から発せられ
たＸ線が測定試料に照射され、当該測定試料から発せら
れる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信号を信号処理手
段を経てスペクトルデータとして読み取ることで当該測
定試料に含まれている元素の定性分析を行うに際して、
予めＸ線照射により各元素から発生する蛍光Ｘ線のエネ
ルギー位置に対応するピークの基準ピーク位置を各元素
ごとに測定するか、あるいは各元素の基準ピーク位置を
計算によって決定する工程と、当該測定試料から発せら
れた蛍光Ｘ線よりスペクトルデータを得て、そのデータ
からピーク発生位置を決定する工程と、そのデータから
得られた前記ピーク発生位置と予め求めておいた各元素
の前記基準ピーク位置とを比較し、この比較の結果、当
該測定試料からの前記スペクトルデータの前記ピーク発
生位置と各元素の前記基準ピーク位置とが一致すれば、
当該元素が当該測定試料中に含まれると判断する比較処
理を含む工程とからなる蛍光Ｘ線定性分析方法である。
成するために、この発明は、Ｘ線発生装置から発せられ
たＸ線が測定試料に照射され、当該測定試料から発せら
れる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信号を信号処理手
段を経てスペクトルデータとして読み取ることで当該測
定試料に含まれている元素の定性分析を行うに際して、
予めＸ線照射により各元素から発生する蛍光Ｘ線のエネ
ルギー位置に対応するピークの基準ピーク位置を各元素
ごとに測定するか、あるいは各元素の基準ピーク位置を
計算によって決定する工程と、当該測定試料から発せら
れた蛍光Ｘ線よりスペクトルデータを得て、そのデータ
からピーク発生位置を決定する工程と、そのデータから
得られた前記ピーク発生位置と予め求めておいた各元素
の前記基準ピーク位置とを比較し、この比較の結果、当
該測定試料からの前記スペクトルデータの前記ピーク発
生位置と各元素の前記基準ピーク位置とが一致すれば、
当該元素が当該測定試料中に含まれると判断する比較処
理を含む工程とからなる蛍光Ｘ線定性分析方法である。
【０００８】この発明は、各工程自体、公知の方法を用
いているけれども、これらの工程を組み合わせることに
より、図９のスペクトル５，６のように、近接するエネ
ルギー位置で複数のピークを発生する元素を含む測定試
料の場合では、従来、測定で得られたスペクトルデータ
について、ある元素から得られる蛍光Ｘ線のエネルギー
位置に、ピークがあればその元素が含まれると判断し、
ピークがなければその元素が含まれていないと判断する
ようにしていたから、データに得られるのがスペクトル
５，６ではなく、検出器４の分解能により、スペクトル
７であった場合、スペクトル７の１つのピークとして検
出され、そのピーク発生位置１０から元素の判断が行わ
れ、データがピーク位置８，９を持たないためにスペク
トル５，６の元素は測定試料に含まれていないという誤
った定性分析結果を得るような事態を回避できる。
いているけれども、これらの工程を組み合わせることに
より、図９のスペクトル５，６のように、近接するエネ
ルギー位置で複数のピークを発生する元素を含む測定試
料の場合では、従来、測定で得られたスペクトルデータ
について、ある元素から得られる蛍光Ｘ線のエネルギー
位置に、ピークがあればその元素が含まれると判断し、
ピークがなければその元素が含まれていないと判断する
ようにしていたから、データに得られるのがスペクトル
５，６ではなく、検出器４の分解能により、スペクトル
７であった場合、スペクトル７の１つのピークとして検
出され、そのピーク発生位置１０から元素の判断が行わ
れ、データがピーク位置８，９を持たないためにスペク
トル５，６の元素は測定試料に含まれていないという誤
った定性分析結果を得るような事態を回避できる。
【０００９】すなわち、この発明は、まず、予め各元素
の基準ピーク位置を各元素ごとに測定するか、あるいは
計算によって決定する工程が付される。これは、各元素
ごとに発生する蛍光Ｘ線のエネルギー値は決まっている
ため、これを利用して、可能な限り各元素ごとに、各元
素に応じたエネルギー位置に形成されるピーク位置を基
準ピーク位置として記憶させておく。この際、基準ピー
ク位置を求める方法として、
の基準ピーク位置を各元素ごとに測定するか、あるいは
計算によって決定する工程が付される。これは、各元素
ごとに発生する蛍光Ｘ線のエネルギー値は決まっている
ため、これを利用して、可能な限り各元素ごとに、各元
素に応じたエネルギー位置に形成されるピーク位置を基
準ピーク位置として記憶させておく。この際、基準ピー
ク位置を求める方法として、
【００１０】まず、図２に示すように、１つの元素だけ
からなる試料を測定して、例えば、検出器の検出範囲内
のスペクトル１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn のデ
ータを得るか、又は、１つの元素に関して、検出器の分
解能を考慮したシミュレーション計算で、例えば、スペ
クトル１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn のデータを
作成する。さらに、このスペクトルデータを全ての元素
について求めておく。例えば、スペクトル１９ａ1 ，１
９ａ2 ，・・・１９ａn のデータに続き、スペクトル１
９b 1 ，１９b 2 ，・・・１９ｂm のデータを求める。
からなる試料を測定して、例えば、検出器の検出範囲内
のスペクトル１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn のデ
ータを得るか、又は、１つの元素に関して、検出器の分
解能を考慮したシミュレーション計算で、例えば、スペ
クトル１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn のデータを
作成する。さらに、このスペクトルデータを全ての元素
について求めておく。例えば、スペクトル１９ａ1 ，１
９ａ2 ，・・・１９ａn のデータに続き、スペクトル１
９b 1 ，１９b 2 ，・・・１９ｂm のデータを求める。
【００１１】続いて、図３に示すように、図２で得られ
たスペクトル１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn ; １
９ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・・１９ｂm により、基準ピーク
位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm
を順次求める。
たスペクトル１９ａ1 ，１９ａ2 ，・・・１９ａn ; １
９ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・・１９ｂm により、基準ピーク
位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm
を順次求める。
【００１２】これら予め各元素ごとに発生する基準ピー
ク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂ
m を、例えば、図１に示すコンピュータ１８に記憶させ
ておく。
ク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂ
m を、例えば、図１に示すコンピュータ１８に記憶させ
ておく。
【００１３】また、図４に示すように、近接したエネル
ギー位置に蛍光Ｘ線を発生し、検出器の分解能により１
つのピークとして検出する元素の場合には、元素に応じ
たエネルギー位置に形成される本来の基準ピーク位置２
２，２３を用いずに、基準ピーク位置２４に１つのピー
クが発生しているスペクトル２１と見なしてこれを基準
ピーク位置として記憶させておく。
ギー位置に蛍光Ｘ線を発生し、検出器の分解能により１
つのピークとして検出する元素の場合には、元素に応じ
たエネルギー位置に形成される本来の基準ピーク位置２
２，２３を用いずに、基準ピーク位置２４に１つのピー
クが発生しているスペクトル２１と見なしてこれを基準
ピーク位置として記憶させておく。
【００１４】次に、この発明では、当該測定試料から発
せられた蛍光Ｘ線よりスペクトルデータを得て、そのデ
ータからピーク発生位置を決定する。このスペクトルデ
ータは、図６に示すように、測定試料により得られたデ
ータであって、例えば、図１に示すマルチチャンネルア
ナライザ１７を含む信号処理手段によりピーク発生位置
Ｃ〜Ｇが描画され得る。
せられた蛍光Ｘ線よりスペクトルデータを得て、そのデ
ータからピーク発生位置を決定する。このスペクトルデ
ータは、図６に示すように、測定試料により得られたデ
ータであって、例えば、図１に示すマルチチャンネルア
ナライザ１７を含む信号処理手段によりピーク発生位置
Ｃ〜Ｇが描画され得る。
【００１５】次に、この発明では、前記ピーク発生位置
と予め求めておいた各元素の前記基準ピーク位置とを比
較する。これは、ピーク発生位置Ｃ〜Ｇと、予め求めて
おいた各元素の基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・
Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm とを比較し、含まれてい
るかどうかの判断を行うためのものであって、この判断
は、例えば、図１に示すコンピュータ１８において、こ
のコンピュータ１８に記憶されている基準ピーク位置Ａ
1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm と、信
号処理手段からのピーク発生位置Ｃ〜Ｇとの比較処理に
より行われる。
と予め求めておいた各元素の前記基準ピーク位置とを比
較する。これは、ピーク発生位置Ｃ〜Ｇと、予め求めて
おいた各元素の基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・
Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm とを比較し、含まれてい
るかどうかの判断を行うためのものであって、この判断
は、例えば、図１に示すコンピュータ１８において、こ
のコンピュータ１８に記憶されている基準ピーク位置Ａ
1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm と、信
号処理手段からのピーク発生位置Ｃ〜Ｇとの比較処理に
より行われる。
【００１６】このようにして、ある試料を測定したとき
のピーク発生位置と、予め求めておいた各元素のピーク
位置とを比較し、含まれているかどうかの判断を行うこ
とにより精度よく定性分析を行うことができる。しか
も、上述の工程によって比較するだけで、近接したエネ
ルギーの蛍光Ｘ線を複数発生し、検出器の分解能により
１つのピークとして検出する元素を含む試料でも、精度
よく定性分析を行うことができる。
のピーク発生位置と、予め求めておいた各元素のピーク
位置とを比較し、含まれているかどうかの判断を行うこ
とにより精度よく定性分析を行うことができる。しか
も、上述の工程によって比較するだけで、近接したエネ
ルギーの蛍光Ｘ線を複数発生し、検出器の分解能により
１つのピークとして検出する元素を含む試料でも、精度
よく定性分析を行うことができる。
【００１７】また、検出器の交換などで分解能が変化す
る場合などでも、分解能は検出器に応じて予め分かって
いるので、その分解能に応じたピーク位置を検出させる
ことができ、精度よく定性分析を行うことができる。
る場合などでも、分解能は検出器に応じて予め分かって
いるので、その分解能に応じたピーク位置を検出させる
ことができ、精度よく定性分析を行うことができる。
【００１８】
【実施例】以下、この発明に係る蛍光Ｘ線定性分析方法
の一実施例を、図面に基づいて説明する。なお、この発
明はそれによって限定を受けるものではない。図１にお
いて、１１はＸ線発生装置、１３は測定を行う試料、１
５は検出器、１６はＡ／Ｄ変換器、１７はマルチチャン
ネルアナライザ、１８はコンピュータである。
の一実施例を、図面に基づいて説明する。なお、この発
明はそれによって限定を受けるものではない。図１にお
いて、１１はＸ線発生装置、１３は測定を行う試料、１
５は検出器、１６はＡ／Ｄ変換器、１７はマルチチャン
ネルアナライザ、１８はコンピュータである。
【００１９】Ｘ線発生装置１１から発せられたＸ線１２
が試料１３に照射され、試料１３から発せられる蛍光Ｘ
線１４を検出器１５で検出し、その信号をＡ／Ｄ変換器
１６、マルチチャンネルアナライザ１７を経てコンピュ
ータ１８でスペクトルデータとして読み取る。このコン
ピュータ１８には、予め各元素ごとに発生するピークの
位置を記憶させておく。
が試料１３に照射され、試料１３から発せられる蛍光Ｘ
線１４を検出器１５で検出し、その信号をＡ／Ｄ変換器
１６、マルチチャンネルアナライザ１７を経てコンピュ
ータ１８でスペクトルデータとして読み取る。このコン
ピュータ１８には、予め各元素ごとに発生するピークの
位置を記憶させておく。
【００２０】この基準ピーク位置の求め方を図２および
図３に示す。図２および図３において、各元素ごとにス
ペクトルデータを測定、又は、検出器の分解能を考慮し
たシミュレーション計算によってスペクトル１９ａ1 ，
１９ａ2 ，・・・１９ａn ;１９ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・
・１９ｂm のデータを得る。そのデータにより各元素の
基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，
・・・Ｂm を求める。
図３に示す。図２および図３において、各元素ごとにス
ペクトルデータを測定、又は、検出器の分解能を考慮し
たシミュレーション計算によってスペクトル１９ａ1 ，
１９ａ2 ，・・・１９ａn ;１９ｂ1 ，１９ｂ2 ，・・
・１９ｂm のデータを得る。そのデータにより各元素の
基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，Ｂ2 ，
・・・Ｂm を求める。
【００２１】一方、図４に示すように、近接した位置に
複数のエネルギー値の蛍光Ｘ線を発生する元素の場合、
スペクトル２１の基準ピーク位置２４に１つのピークが
発生すると記憶させておく。この処理を定性分析の判断
に含める全ての元素について行う。
複数のエネルギー値の蛍光Ｘ線を発生する元素の場合、
スペクトル２１の基準ピーク位置２４に１つのピークが
発生すると記憶させておく。この処理を定性分析の判断
に含める全ての元素について行う。
【００２２】以下、試料の定性分析処理を行う手順を図
５に示す。図５において、定性分析処理が開始され（ス
テップ１０４参照）、測定試料１３から発せられた蛍光
Ｘ線１４より、図６に示すスペクトルデータを得て、そ
のデータよりピーク発生位置Ｃ〜Ｇを求める（ステップ
１０５参照）。続いて、ステップ１０１、ステップ１０
２およびステップ１０３の順で予め求めておいた各元素
の基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，
Ｂ2 ，・・・Ｂm と比較する（ステップ１０６参照）。
この比較の結果、図６に示す測定試料１３からのスペク
トルデータに、比較する元素の基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ
2 ，・・・Ａn ;Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm と同じ位置に
ピーク発生があれば、その元素が含まれていると判断す
る（ステップ１０７およびステップ１０８参照）。この
比較処理を定性分析を行う全ての元素について行う（ス
テップ１０９参照）。
５に示す。図５において、定性分析処理が開始され（ス
テップ１０４参照）、測定試料１３から発せられた蛍光
Ｘ線１４より、図６に示すスペクトルデータを得て、そ
のデータよりピーク発生位置Ｃ〜Ｇを求める（ステップ
１０５参照）。続いて、ステップ１０１、ステップ１０
２およびステップ１０３の順で予め求めておいた各元素
の基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1 ，
Ｂ2 ，・・・Ｂm と比較する（ステップ１０６参照）。
この比較の結果、図６に示す測定試料１３からのスペク
トルデータに、比較する元素の基準ピーク位置Ａ1 ，Ａ
2 ，・・・Ａn ;Ｂ1 ，Ｂ2 ，・・・Ｂm と同じ位置に
ピーク発生があれば、その元素が含まれていると判断す
る（ステップ１０７およびステップ１０８参照）。この
比較処理を定性分析を行う全ての元素について行う（ス
テップ１０９参照）。
【００２３】この処理により、ピーク位置が一致（予め
各元素ごとに発生するピークの位置が記憶された基準ピ
ーク位置とピーク発生位置が一致）した元素が、測定試
料１３に含まれる元素という定性分析結果が得られる
（ステップ１１０参照）。
各元素ごとに発生するピークの位置が記憶された基準ピ
ーク位置とピーク発生位置が一致）した元素が、測定試
料１３に含まれる元素という定性分析結果が得られる
（ステップ１１０参照）。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の蛍光Ｘ
線定性分析方法は、ある試料を測定したときのピーク発
生位置と、予め求めておいた各元素のピーク位置とを比
較し、含まれているかどうかの判断を行うことにより精
度よく定性分析を行うことができる。しかも、上述の工
程によって比較するだけで、近接したエネルギーの蛍光
Ｘ線を複数発生する元素を含む試料でも、精度よく定性
分析を行うことができる効果を奏する。また、検出器の
交換などで分解能が変化する場合などでも、分解能は検
出器に応じて予め分かっているので、その分解能に応じ
た基準ピーク位置を求めることによって、精度よく定性
分析を行うことができる。
線定性分析方法は、ある試料を測定したときのピーク発
生位置と、予め求めておいた各元素のピーク位置とを比
較し、含まれているかどうかの判断を行うことにより精
度よく定性分析を行うことができる。しかも、上述の工
程によって比較するだけで、近接したエネルギーの蛍光
Ｘ線を複数発生する元素を含む試料でも、精度よく定性
分析を行うことができる効果を奏する。また、検出器の
交換などで分解能が変化する場合などでも、分解能は検
出器に応じて予め分かっているので、その分解能に応じ
た基準ピーク位置を求めることによって、精度よく定性
分析を行うことができる。
【図１】この発明に係る蛍光Ｘ線定性分析方法で用いる
分析装置の一実施例を示す構成説明図である。
分析装置の一実施例を示す構成説明図である。
【図２】上記実施例における一工程で得られるスペクト
ルを示す図である。
ルを示す図である。
【図３】上記実施例における一工程で得られるスペクト
ルの基準ピーク位置を示す図である。
ルの基準ピーク位置を示す図である。
【図４】上記実施例における一工程で得られるスペクト
ルの基準ピーク位置を示す図である。
ルの基準ピーク位置を示す図である。
【図５】上記実施例を示すフローチャートである。
【図６】上記実施例における別の工程で得られる測定試
料のピーク発生位置を示す図である。
料のピーク発生位置を示す図である。
【図７】従来例を示す構成説明図である。
【図８】従来例における測定試料のピーク発生位置を示
す図である。
す図である。
【図９】従来例における分析方法を示す図である。
１１…Ｘ線発生装置、１２…Ｘ線、１３…測定試料、１
４…蛍光Ｘ線、１５検出器、１６…Ａ／Ｄ変換器、１７
…マルチチャンネルアナライザ、１８…コンピュータ、
１９ａ，１９ｂ…スペクトル、２１…スペクトル、２
２，２３…蛍光Ｘ線のエネルギー位置、２４…基準ピー
ク位置、Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1，Ｂ2 ，・・・
Ｂm …基準ピーク位置、Ｃ〜Ｇ…ピーク発生位置。
４…蛍光Ｘ線、１５検出器、１６…Ａ／Ｄ変換器、１７
…マルチチャンネルアナライザ、１８…コンピュータ、
１９ａ，１９ｂ…スペクトル、２１…スペクトル、２
２，２３…蛍光Ｘ線のエネルギー位置、２４…基準ピー
ク位置、Ａ1 ，Ａ2 ，・・・Ａn ; Ｂ1，Ｂ2 ，・・・
Ｂm …基準ピーク位置、Ｃ〜Ｇ…ピーク発生位置。
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線発生装置から発せられたＸ線が測定
試料に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線
を検出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てスペ
クトルデータとして読み取ることで当該測定試料に含ま
れている元素の定性分析を行うに際して、予めＸ線照射
により各元素から発生する蛍光Ｘ線のエネルギー位置に
対応するピークの基準ピーク位置を各元素ごとに測定す
るか、あるいは各元素の基準ピーク位置を計算によって
決定する工程と、当該測定試料から発せられた蛍光Ｘ線
よりスペクトルデータを得て、そのデータからピーク発
生位置を決定する工程と、そのデータから得られた前記
ピーク発生位置と予め求めておいた各元素の前記基準ピ
ーク位置とを比較し、この比較の結果、当該測定試料か
らの前記スペクトルデータの前記ピーク発生位置と各元
素の前記基準ピーク位置とが一致すれば、当該元素が当
該測定試料中に含まれると判断する比較処理を含む工程
とからなる蛍光Ｘ線定性分析方法。 - 【請求項２】 当該測定試料が、近接した位置に複数の
エネルギー値の蛍光Ｘ線を発生する元素を含む請求項１
に記載の蛍光Ｘ線定性分析方法。 - 【請求項３】 比較処理を定性分析を行う全ての元素に
ついて行う請求項１に記載の蛍光Ｘ線定性分析方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29929192A JPH06123719A (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 螢光ｘ線定性分析方法 |
| US08/134,336 US5418826A (en) | 1992-10-11 | 1993-10-12 | Fluorescent X-ray qualitative analytical method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29929192A JPH06123719A (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 螢光ｘ線定性分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06123719A true JPH06123719A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17870631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29929192A Pending JPH06123719A (ja) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | 螢光ｘ線定性分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06123719A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980070850A (ko) * | 1997-01-29 | 1998-10-26 | 가나이쯔도무 | 시료 분석 장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61169751A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Jeol Ltd | 元素の定性方式 |
| JPS63118644A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Jeol Ltd | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
| JPH0373833A (ja) * | 1989-05-23 | 1991-03-28 | Shimadzu Corp | 自動定性分析装置 |
-
1992
- 1992-10-11 JP JP29929192A patent/JPH06123719A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61169751A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Jeol Ltd | 元素の定性方式 |
| JPS63118644A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Jeol Ltd | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
| JPH0373833A (ja) * | 1989-05-23 | 1991-03-28 | Shimadzu Corp | 自動定性分析装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980070850A (ko) * | 1997-01-29 | 1998-10-26 | 가나이쯔도무 | 시료 분석 장치 |
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