JPS63118644A - 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 - Google Patents
特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法Info
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- JPS63118644A JPS63118644A JP61264924A JP26492486A JPS63118644A JP S63118644 A JPS63118644 A JP S63118644A JP 61264924 A JP61264924 A JP 61264924A JP 26492486 A JP26492486 A JP 26492486A JP S63118644 A JPS63118644 A JP S63118644A
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- rays
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- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、分析装置により取得された特性Ｘ線スペクト
ルに基づき、試料中の特定元素の存在を判定するように
した特性Ｘ線スベク１−ルによる元素の判定方法に関す
る。
ルに基づき、試料中の特定元素の存在を判定するように
した特性Ｘ線スベク１−ルによる元素の判定方法に関す
る。
［従来の技術］
分析装置により取得された特性Ｘ線スペクトル情報を用
いて、試料中に特定の元素が含まれるか否か判定するこ
とが行なわれている。従来においては、この判定は、得
られたＸ線スペクトルの各ピーク値を操作者が読み取り
、読み取られた各ピーク値と印刷された波長表に記載さ
れた各元素の波長値とを比較して行なっている。
いて、試料中に特定の元素が含まれるか否か判定するこ
とが行なわれている。従来においては、この判定は、得
られたＸ線スペクトルの各ピーク値を操作者が読み取り
、読み取られた各ピーク値と印刷された波長表に記載さ
れた各元素の波長値とを比較して行なっている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、各元素に関覆る特性Ｘ線には、Ｋα線、
にβ線、Ｌα線、Ｌβ線１Ｍα線２Ｍβ線等多数の種類
がある上、種々の次数のＸ線が存在するため、前述した
波長表を用いての比較は瞥雑であり多大な時間を要した
。
にβ線、Ｌα線、Ｌβ線１Ｍα線２Ｍβ線等多数の種類
がある上、種々の次数のＸ線が存在するため、前述した
波長表を用いての比較は瞥雑であり多大な時間を要した
。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、Ｘ線スペクト
ルに基づく元素の存在の判定を簡単且つ短時間に行ない
°（ｑる特性Ｘ線スペクトルによる元素の判定方法を提
供することを目的としている。
ルに基づく元素の存在の判定を簡単且つ短時間に行ない
°（ｑる特性Ｘ線スペクトルによる元素の判定方法を提
供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
そのため本発明は、予め各元素の１次Ｘ線の波長を記憶
装置に記憶させておくと共に分析装置よりＸ線スペクト
ル信号を取得することにより表示装置の表示画面にスペ
クトルを表示させ、前記各元素の中の特定の元素とＸ線
の次数を電子計算機に指示し、該指示された元素の１次
Ｘ線の波長を読み出すと共に、該読み出された１次Ｘ線
の波長の各々を前記指示した次数になるまで次数倍させ
るか予め次数倍されて記憶されている波長を読み出し、
各１次Ｘ線の波長と該多次数倍された波長に対応した前
記表示画面上の位置に前記Ｘ線スペクトルに重畳してマ
ーカーを表示せしめたことを特徴としている。
装置に記憶させておくと共に分析装置よりＸ線スペクト
ル信号を取得することにより表示装置の表示画面にスペ
クトルを表示させ、前記各元素の中の特定の元素とＸ線
の次数を電子計算機に指示し、該指示された元素の１次
Ｘ線の波長を読み出すと共に、該読み出された１次Ｘ線
の波長の各々を前記指示した次数になるまで次数倍させ
るか予め次数倍されて記憶されている波長を読み出し、
各１次Ｘ線の波長と該多次数倍された波長に対応した前
記表示画面上の位置に前記Ｘ線スペクトルに重畳してマ
ーカーを表示せしめたことを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第２図は本発明を実施するための装置の一例を示ずもの
で、図中１はＣＰＵであり、２は表示装置、３は入力装
置、４は装置の動作プログラムが記憶されている内部記
憶装置、５は外部記憶装置、６は記録装置、７はｘｉマ
イクロアナライザであり、８はパスラインである。外部
記憶装置５には −波長表ファイルが記憶されている
。この波長表ファイルは各元素の１次のに、Ｌ、Ｍ線等
の波長かに、Ｌ、Ｍ等のＸ線の種類を示すパラメータと
共に各元素についてルーコードを成して記憶されている
。
で、図中１はＣＰＵであり、２は表示装置、３は入力装
置、４は装置の動作プログラムが記憶されている内部記
憶装置、５は外部記憶装置、６は記録装置、７はｘｉマ
イクロアナライザであり、８はパスラインである。外部
記憶装置５には −波長表ファイルが記憶されている
。この波長表ファイルは各元素の１次のに、Ｌ、Ｍ線等
の波長かに、Ｌ、Ｍ等のＸ線の種類を示すパラメータと
共に各元素についてルーコードを成して記憶されている
。
このような装置を用いて、まず、第１図のステップ１に
示すように、Ｘ線マイクロアナライザ７より得られ、−
１旦外部記憶装δ５に記憶されていたＸ線スペクトルデ
ータを読み出して表示装置２に送ることにより、表示装
置２の画面にＸ線スペクトルを表示する。次に操作者は
、試料に含まれていると予想される元素ｅを入力装置３
により指示すると共に、表示装Ｗ１２に表示するＸ線波
長を示すマーカーをある次数ｎについてまで表示づるこ
とを指示する。上記元素ｅの指示は元素名又は原子番号
を入力することにより行なう。次に、ステップ３に示す
′ように、ＣＰＵ １は予め組まれたプログラムに従っ
て、指定した元素のレコードよりその元素ｅの１次のに
、Ｌ、Ｍ線等の特性Ｘ＄２波長データを内部記憶装置４
にそれらの種類を示すデータと共に読み込む。次にステ
ップ４に示すように、ＣＰＵ１は各特性Ｘ線波長値の各
々を２次から指定した次数ｎまで順次次数倍し、これら
次数倍して得られた波長値をその次数及びＸ線の種類を
示すデータと共に、内部記憶装置４に記憶させる。次に
ステップ５に示すように、このようにして得られた各次
数の波長値がＸ線スペクトルの表示範囲内か否か判定し
、波長範囲外のものを除く。次にステップ６に示すよう
に、１次のＫ。
示すように、Ｘ線マイクロアナライザ７より得られ、−
１旦外部記憶装δ５に記憶されていたＸ線スペクトルデ
ータを読み出して表示装置２に送ることにより、表示装
置２の画面にＸ線スペクトルを表示する。次に操作者は
、試料に含まれていると予想される元素ｅを入力装置３
により指示すると共に、表示装Ｗ１２に表示するＸ線波
長を示すマーカーをある次数ｎについてまで表示づるこ
とを指示する。上記元素ｅの指示は元素名又は原子番号
を入力することにより行なう。次に、ステップ３に示す
′ように、ＣＰＵ １は予め組まれたプログラムに従っ
て、指定した元素のレコードよりその元素ｅの１次のに
、Ｌ、Ｍ線等の特性Ｘ＄２波長データを内部記憶装置４
にそれらの種類を示すデータと共に読み込む。次にステ
ップ４に示すように、ＣＰＵ１は各特性Ｘ線波長値の各
々を２次から指定した次数ｎまで順次次数倍し、これら
次数倍して得られた波長値をその次数及びＸ線の種類を
示すデータと共に、内部記憶装置４に記憶させる。次に
ステップ５に示すように、このようにして得られた各次
数の波長値がＸ線スペクトルの表示範囲内か否か判定し
、波長範囲外のものを除く。次にステップ６に示すよう
に、１次のＫ。
Ｌ、Ｍ線の各波長値と残った各次数の波長値に基づいて
、表示装置２の画面に前記Ｘ線スペクトルに重畳してこ
の特定元素の特性Ｘ線の各波長位置を表わすマーカーを
表示する。その結果、表示装置２の画面は第３図に示す
ようになる。尚、第３図において、９がＸ線スペクトル
であり、実線１０、点線１１．−点鎖線１２は各々に、
Ｌ、Ｍ線の特性Ｘ線波長を示すマーカーであり、その次
数はマーカー線の上部に数字２等で示されている。
、表示装置２の画面に前記Ｘ線スペクトルに重畳してこ
の特定元素の特性Ｘ線の各波長位置を表わすマーカーを
表示する。その結果、表示装置２の画面は第３図に示す
ようになる。尚、第３図において、９がＸ線スペクトル
であり、実線１０、点線１１．−点鎖線１２は各々に、
Ｌ、Ｍ線の特性Ｘ線波長を示すマーカーであり、その次
数はマーカー線の上部に数字２等で示されている。
操作者はこのような画面を観察して、Ｘ線スペクトルビ
ークと各マーカーの位置を比較して、それらの一致度が
高ければ指定した元素を存在元素として一同定する。こ
のように、画面上においてＸ線スペクトルと、各次数の
特性Ｘ線波長位置を示すマーカーとが重畳表示されてい
るため、簡単且つ短時間に各ピークの同定を行ない試料
に含まれる元素を判定することができる。
ークと各マーカーの位置を比較して、それらの一致度が
高ければ指定した元素を存在元素として一同定する。こ
のように、画面上においてＸ線スペクトルと、各次数の
特性Ｘ線波長位置を示すマーカーとが重畳表示されてい
るため、簡単且つ短時間に各ピークの同定を行ない試料
に含まれる元素を判定することができる。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、変形して
実施することができる。
実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、一種の分光結晶に
よって得られたＸ線スペクトルしか表示装置に表示しな
かったが、複数種の分光結晶によって得られたＸ線スペ
クトルを表示装置の異なった垂直走査位置に表示し、各
スペクトルに重畳して特性Ｘ線の波長位置を示すマーカ
ーを表示するようにしても良い。
よって得られたＸ線スペクトルしか表示装置に表示しな
かったが、複数種の分光結晶によって得られたＸ線スペ
クトルを表示装置の異なった垂直走査位置に表示し、各
スペクトルに重畳して特性Ｘ線の波長位置を示すマーカ
ーを表示するようにしても良い。
又、上述した実施例においては、Ｋ、Ｌ、Ｍ線等のマー
カーを表示線を実線１点線、−点鎖線と異ならせること
により弁別して表示するようにしたが、表示色を変える
ことにより弁別表示するようにしても良い。
カーを表示線を実線１点線、−点鎖線と異ならせること
により弁別して表示するようにしたが、表示色を変える
ことにより弁別表示するようにしても良い。
更に又、上述した実施例においては、記憶された１次Ｘ
線の波長をその都度指定された次数まで次数倍するよう
にしたが、予め例えば４次の次数まで各１次Ｘ線波長を
次数倍して記憶装置に記憶させておき、指定した次数の
波長まで読み出すようにしても良い。
線の波長をその都度指定された次数まで次数倍するよう
にしたが、予め例えば４次の次数まで各１次Ｘ線波長を
次数倍して記憶装置に記憶させておき、指定した次数の
波長まで読み出すようにしても良い。
［発明の効果コ
上述した説明から明らかなように、本発明においてはＸ
線スペクトルを表示している表示装置の画面に、１次の
特性Ｘ線及び指定された次数までの特性Ｘ線の波長値に
応じた位置にマーカーを表示するようにしているため、
スペクトルと各マーカーとの比較により簡単且つ短時間
に、試料に特定の注目元素が含まれているか否かを判定
することができる。
線スペクトルを表示している表示装置の画面に、１次の
特性Ｘ線及び指定された次数までの特性Ｘ線の波長値に
応じた位置にマーカーを表示するようにしているため、
スペクトルと各マーカーとの比較により簡単且つ短時間
に、試料に特定の注目元素が含まれているか否かを判定
することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための流れ図、第２図
は本発明を実施するための装置の一例を示すための図、
第３図は表示画面の一例を示すための図である。 １：ＣＰＵ ２：表示装置 ３：入力装置 ４：内部記憶装置５：外部記憶装
置 ６：記録装置 ７：Ｘ線マイクロアナライザ
は本発明を実施するための装置の一例を示すための図、
第３図は表示画面の一例を示すための図である。 １：ＣＰＵ ２：表示装置 ３：入力装置 ４：内部記憶装置５：外部記憶装
置 ６：記録装置 ７：Ｘ線マイクロアナライザ
Claims (1)
- 予め各元素の１次Ｘ線の波長を記憶装置に記憶させてお
くと共に分析装置よりＸ線スペクトル信号を取得するこ
とにより表示装置の表示画面にスペクトルを表示させ、
前記各元素の中の特定の元素とＸ線の次数を電子計算機
に指示し、該指示された元素の１次Ｘ線の波長を読み出
すと共に、該読み出された１次Ｘ線の波長の各々を前記
指示した次数になるまで次数倍させるか予め次数倍され
て記憶されている波長を読み出し、各１次Ｘ線の波長と
該各次数倍された波長に対応した前記表示画面上の位置
に前記Ｘ線スペクトルに重畳してマーカーを表示せしめ
たことを特徴とする特性Ｘ線スペクトルによる元素判定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264924A JPH0697213B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264924A JPH0697213B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63118644A true JPS63118644A (ja) | 1988-05-23 |
| JPH0697213B2 JPH0697213B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=17410085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61264924A Expired - Lifetime JPH0697213B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697213B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06123718A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光ｘ線定性分析方法 |
| JPH06123719A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光ｘ線定性分析方法 |
| JPH10142172A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Jeol Ltd | 分析プロファイル上のマーカ表示方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388434A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-19 | Shimadzu Corp | 特性ｘ線分析方法 |
-
1986
- 1986-11-07 JP JP61264924A patent/JPH0697213B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388434A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-19 | Shimadzu Corp | 特性ｘ線分析方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06123718A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光ｘ線定性分析方法 |
| JPH06123719A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光ｘ線定性分析方法 |
| JPH10142172A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Jeol Ltd | 分析プロファイル上のマーカ表示方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0697213B2 (ja) | 1994-11-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |