JPH10142172A - 分析プロファイル上のマーカ表示方法 - Google Patents
分析プロファイル上のマーカ表示方法Info
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- JPH10142172A JPH10142172A JP8293545A JP29354596A JPH10142172A JP H10142172 A JPH10142172 A JP H10142172A JP 8293545 A JP8293545 A JP 8293545A JP 29354596 A JP29354596 A JP 29354596A JP H10142172 A JPH10142172 A JP H10142172A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＫＬＭマーカが重なる場合に見やすく表示す
る。 【解決手段】 分析装置１により試料を測定して得られ
た分析プロファイル上に元素名とその位置のマーカを表
示する分析プロファイル上のマーカ表示方法において、
データ処理部２４によりマーカ情報記憶部２２の情報か
ら表示する複数のマーカが分析プロファイル上で重なる
か否かを判断し、重なる場合に表示回路２５により複数
のマーカを分割して表示する。この場合、複数のマーカ
を異なる色や線種で分割して表示する。
る。 【解決手段】 分析装置１により試料を測定して得られ
た分析プロファイル上に元素名とその位置のマーカを表
示する分析プロファイル上のマーカ表示方法において、
データ処理部２４によりマーカ情報記憶部２２の情報か
ら表示する複数のマーカが分析プロファイル上で重なる
か否かを判断し、重なる場合に表示回路２５により複数
のマーカを分割して表示する。この場合、複数のマーカ
を異なる色や線種で分割して表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子プローブマイ
クロアナライザ（ＥＰＭＡ）等の分析装置により試料を
測定して得られた分析プロファイル上に元素名とその位
置のマーカを表示する分析プロファイル上のマーカ表示
方法に関する。
クロアナライザ（ＥＰＭＡ）等の分析装置により試料を
測定して得られた分析プロファイル上に元素名とその位
置のマーカを表示する分析プロファイル上のマーカ表示
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】Ｘ線マ
イクロアナライザ（ＥＰＭＡ）は、試料表面に電子ビー
ム照射し、そこから発生する特性Ｘ線を検出して、その
試料中に含まれる元素分析を行うものである。特性Ｘ線
は、元素によってＫ線、Ｌ線、Ｍ線、さらにＫα、Ｋ
β、……、１次線、２次線、……等多種に及び、Ｘ線マ
イクロアナライザでは、３次線程度の高次Ｘ線まで観測
される。これら観測Ｘ線のプロファイル上に現れるピー
ク波形は、ある広がりをもっているので、Ｘ線同士が重
なって観測されることも多い。元素分析では、元素を指
定して、Ｘ線マイクロアナライザにより得られる試料の
特定Ｘ線のプロファイル上にその指定した元素の各特性
Ｘ線の位置及び元素名をＫＬＭマーカにより表示するこ
とにより、ＫＬＭマーカ近傍のピークから指定した元素
が存在するかどうかを確認している。
イクロアナライザ（ＥＰＭＡ）は、試料表面に電子ビー
ム照射し、そこから発生する特性Ｘ線を検出して、その
試料中に含まれる元素分析を行うものである。特性Ｘ線
は、元素によってＫ線、Ｌ線、Ｍ線、さらにＫα、Ｋ
β、……、１次線、２次線、……等多種に及び、Ｘ線マ
イクロアナライザでは、３次線程度の高次Ｘ線まで観測
される。これら観測Ｘ線のプロファイル上に現れるピー
ク波形は、ある広がりをもっているので、Ｘ線同士が重
なって観測されることも多い。元素分析では、元素を指
定して、Ｘ線マイクロアナライザにより得られる試料の
特定Ｘ線のプロファイル上にその指定した元素の各特性
Ｘ線の位置及び元素名をＫＬＭマーカにより表示するこ
とにより、ＫＬＭマーカ近傍のピークから指定した元素
が存在するかどうかを確認している。
【０００３】図５は従来のＫＬＭマーカの表示例を示す
図である。電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭ
Ａ）から収集された特性Ｘ線のプロファイルのピークを
観測して元素分析を行う場合、例えば軽元素のＢｅのよ
うに特性Ｘ線がＫ線だけというものもあるが、重元素に
なると、上記のように複数の線種、次数の特定Ｘ線が観
測され、それぞれのＸ線の存在と、相対的なピークの強
度から、元素分析が行われる。この場合、Ｘ線同士が重
なって観測されるとこがあるため、元素分析に際して複
数の元素を指定してそれぞれのＫＬＭマーカをプロファ
イル上に表示させるようにした場合、図５、に示す
ようにそれぞれのＸ線が近接していなければ問題ない
が、に示すようにプロファイル上でＫＬＭマーカが他
の元素のものと重なると、見にくくなり見間違ったり、
確認ができない等の問題が生じる。
図である。電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭ
Ａ）から収集された特性Ｘ線のプロファイルのピークを
観測して元素分析を行う場合、例えば軽元素のＢｅのよ
うに特性Ｘ線がＫ線だけというものもあるが、重元素に
なると、上記のように複数の線種、次数の特定Ｘ線が観
測され、それぞれのＸ線の存在と、相対的なピークの強
度から、元素分析が行われる。この場合、Ｘ線同士が重
なって観測されるとこがあるため、元素分析に際して複
数の元素を指定してそれぞれのＫＬＭマーカをプロファ
イル上に表示させるようにした場合、図５、に示す
ようにそれぞれのＸ線が近接していなければ問題ない
が、に示すようにプロファイル上でＫＬＭマーカが他
の元素のものと重なると、見にくくなり見間違ったり、
確認ができない等の問題が生じる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するものであって、ＫＬＭマーカが重なる場合に見や
すく表示するものである。
決するものであって、ＫＬＭマーカが重なる場合に見や
すく表示するものである。
【０００５】そのために本発明は、分析装置により試料
を測定して得られた分析プロファイル上に元素名とその
位置のマーカを表示する分析プロファイル上のマーカ表
示方法において、表示する複数のマーカが分析プロファ
イル上で重なるか否かを判断し、重なる場合に複数のマ
ーカを分割して表示することを特徴とし、複数のマーカ
を異なる色や線種で分割して表示することを特徴とする
ものである。
を測定して得られた分析プロファイル上に元素名とその
位置のマーカを表示する分析プロファイル上のマーカ表
示方法において、表示する複数のマーカが分析プロファ
イル上で重なるか否かを判断し、重なる場合に複数のマ
ーカを分割して表示することを特徴とし、複数のマーカ
を異なる色や線種で分割して表示することを特徴とする
ものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係るマーカ表示
によるプロファイル分析装置の実施の形態を示す図であ
り、１はＥＰＭＡ、２は分析データ処理装置、３はディ
スプレイ、４はマーカ指定部、２１はプロファイル収集
部、２２はマーカ情報記憶部、２３はプロファイル記憶
部、２４はデータ処理部、２５は表が回路を示す。
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係るマーカ表示
によるプロファイル分析装置の実施の形態を示す図であ
り、１はＥＰＭＡ、２は分析データ処理装置、３はディ
スプレイ、４はマーカ指定部、２１はプロファイル収集
部、２２はマーカ情報記憶部、２３はプロファイル記憶
部、２４はデータ処理部、２５は表が回路を示す。
【０００７】図１において、ＥＰＭＡ１は、電子銃から
発生した電子線を収束レンズ、対物レンズを通して細く
絞って試料に照射し、その電子線照射部から放射された
特性Ｘ線を検出器で検出するＸ線マイクロアナライザで
ある。分析データ処理装置２は、ＥＰＭＡ１から検出さ
れた特性Ｘ線の信号をプロファイルデータとして取り込
み、処理するものであり、プロファイル収集部２１、マ
ーカ情報記憶部２２、プロファイル記憶部２３、データ
処理部２４及び表示回路２５を備えている。プロファイ
ル収集部２１は、ＥＰＭＡ１を制御して特性Ｘ線のプロ
ファイルデータを収集するものであり、プロファイル記
憶部２３は、その収集したプロファイルデータを格納
し、マーカ情報記憶部２２は、ＫＬＭマーカに関する情
報を格納するそれぞれハードディスクその他のメモリで
ある。データ処理部２４は、プロファイル記憶部２３に
格納されたプロファイルデータをディスプレイ３の画面
に表示するための処理を行うと共に、マーカ指定部４に
より指定されたマーカ指定情報に基づきマーカ情報記憶
部２２のＫＬＭマーカに関する情報を読み出して重なる
マーカを検出処理等を行うＣＰＵである。表示回路２５
は、ディスプレイ３の画面に表示されるプロファイル上
にＫＬＭマーカを表示するための制御を行うものであ
り、近接するＸ線のＫＬＭマーカを表示する場合には、
マーカを上下に分割して色や線種を変えて見やすいよう
に表示する。
発生した電子線を収束レンズ、対物レンズを通して細く
絞って試料に照射し、その電子線照射部から放射された
特性Ｘ線を検出器で検出するＸ線マイクロアナライザで
ある。分析データ処理装置２は、ＥＰＭＡ１から検出さ
れた特性Ｘ線の信号をプロファイルデータとして取り込
み、処理するものであり、プロファイル収集部２１、マ
ーカ情報記憶部２２、プロファイル記憶部２３、データ
処理部２４及び表示回路２５を備えている。プロファイ
ル収集部２１は、ＥＰＭＡ１を制御して特性Ｘ線のプロ
ファイルデータを収集するものであり、プロファイル記
憶部２３は、その収集したプロファイルデータを格納
し、マーカ情報記憶部２２は、ＫＬＭマーカに関する情
報を格納するそれぞれハードディスクその他のメモリで
ある。データ処理部２４は、プロファイル記憶部２３に
格納されたプロファイルデータをディスプレイ３の画面
に表示するための処理を行うと共に、マーカ指定部４に
より指定されたマーカ指定情報に基づきマーカ情報記憶
部２２のＫＬＭマーカに関する情報を読み出して重なる
マーカを検出処理等を行うＣＰＵである。表示回路２５
は、ディスプレイ３の画面に表示されるプロファイル上
にＫＬＭマーカを表示するための制御を行うものであ
り、近接するＸ線のＫＬＭマーカを表示する場合には、
マーカを上下に分割して色や線種を変えて見やすいよう
に表示する。
【０００８】次に、ＫＬＭマーカに関する情報とその表
示の例について具体的に説明する。図２はマーカ情報記
憶部の構成例を示す図、図３は元素の指定に基づくＫＬ
Ｍマーカの表示処理の流れを説明するための図、図４は
本発明によるＫＬＭマーカの表示例を示す図である。
示の例について具体的に説明する。図２はマーカ情報記
憶部の構成例を示す図、図３は元素の指定に基づくＫＬ
Ｍマーカの表示処理の流れを説明するための図、図４は
本発明によるＫＬＭマーカの表示例を示す図である。
【０００９】マーカ情報記憶部２２は、図２（Ａ）に示
すようにＦｅやＣｕ等の各元素毎の特性Ｘ線とそれぞれ
の特性Ｘ線に対応するマーカの位置情報としての波長、
さらにはマーカ表示の高さからなるＫＬＭマーカに関す
る情報のテーブルを格納している。また、図２（Ｂ）や
（Ｃ）に示すように各元素に上記ＫＬＭマーカに関する
情報のメモリアドレスを持つ元素テーブルや各特性Ｘ線
の表示色等の表示属性を設定したテーブル等を適宜備え
るようにしてもよい。特性Ｘ線は、先に述べたようにＫ
α1 、Ｋα2 、……、Ｋβ1 、……、Ｍ、……等であ
り、マーカ表示の高さは、基準を１００として同じ元素
の中の相対強度に応じて設定されるものである。データ
処理部２４は、マーカ指定情報として、マーカ指定部４
により元素が指定されると、この指定された元素につい
てマーカ情報記憶部２２に格納された、例えば図２に示
すようなＫＬＭマーカに関する情報のテーブルから、各
特性Ｘ線とその波長、高さを読み出して表示回路２５に
渡すことにより、Ｘ線プロファイル上に指定された元素
に係るＫＬＭマーカを表示する。
すようにＦｅやＣｕ等の各元素毎の特性Ｘ線とそれぞれ
の特性Ｘ線に対応するマーカの位置情報としての波長、
さらにはマーカ表示の高さからなるＫＬＭマーカに関す
る情報のテーブルを格納している。また、図２（Ｂ）や
（Ｃ）に示すように各元素に上記ＫＬＭマーカに関する
情報のメモリアドレスを持つ元素テーブルや各特性Ｘ線
の表示色等の表示属性を設定したテーブル等を適宜備え
るようにしてもよい。特性Ｘ線は、先に述べたようにＫ
α1 、Ｋα2 、……、Ｋβ1 、……、Ｍ、……等であ
り、マーカ表示の高さは、基準を１００として同じ元素
の中の相対強度に応じて設定されるものである。データ
処理部２４は、マーカ指定情報として、マーカ指定部４
により元素が指定されると、この指定された元素につい
てマーカ情報記憶部２２に格納された、例えば図２に示
すようなＫＬＭマーカに関する情報のテーブルから、各
特性Ｘ線とその波長、高さを読み出して表示回路２５に
渡すことにより、Ｘ線プロファイル上に指定された元素
に係るＫＬＭマーカを表示する。
【００１０】ＫＬＭマーカの表示処理では、図３に示す
ようにまず、ＥＰＭＡ１を制御して収集した特性Ｘ線の
プロファイルデータによりプロファイルを表示する（ス
テップＳ１１）。このプロファイルを表示すると、表示
したい元素がマーカ指定部４により指定されるので、そ
の指定された元素を表示するマーカの元素として設定
（登録）する（ステップＳ１２）。複数の元素が指定さ
れる場合には、その設定処理を繰り返し実行し、指定終
了の入力により設定終了になると（ステップＳ１３）、
設定した元素によりマーカ情報記憶部２２からＫＬＭマ
ーカに関する情報を読み出す（ステップＳ１４）。そし
て、各特性Ｘ線の波長を比較することにより、重なるマ
ーカの有無を判断する（ステップＳ１５）。その結果、
近接するＸ線、つまり重なるマーカが有ったか否かによ
り、重なるマーカが有った場合には、重なるマーカを上
下で分割して表示態様を変え（ステップＳ１６）、重な
るマーカが無かった場合には、そのまま設定した元素の
ＫＬＭマーカをプロファイル上に表示する（ステップＳ
１７）。
ようにまず、ＥＰＭＡ１を制御して収集した特性Ｘ線の
プロファイルデータによりプロファイルを表示する（ス
テップＳ１１）。このプロファイルを表示すると、表示
したい元素がマーカ指定部４により指定されるので、そ
の指定された元素を表示するマーカの元素として設定
（登録）する（ステップＳ１２）。複数の元素が指定さ
れる場合には、その設定処理を繰り返し実行し、指定終
了の入力により設定終了になると（ステップＳ１３）、
設定した元素によりマーカ情報記憶部２２からＫＬＭマ
ーカに関する情報を読み出す（ステップＳ１４）。そし
て、各特性Ｘ線の波長を比較することにより、重なるマ
ーカの有無を判断する（ステップＳ１５）。その結果、
近接するＸ線、つまり重なるマーカが有ったか否かによ
り、重なるマーカが有った場合には、重なるマーカを上
下で分割して表示態様を変え（ステップＳ１６）、重な
るマーカが無かった場合には、そのまま設定した元素の
ＫＬＭマーカをプロファイル上に表示する（ステップＳ
１７）。
【００１１】このようなＫＬＭマーカの表示処理によ
り、例えば図４に示すように重なるマーカとしてＦｅと
Ｃｕのマーカがある場合、上にＦｅのマーカを、下にＣ
ｕのマーカを表示する。なお、この場合、上のマーカと
下のマーカを図４（Ａ）に示すように異なる色で表示し
たり、図４（Ｂ）に示すように異なる線種で表示する。
また、元素名の表示は、図４（Ａ）に示すようにそれぞ
れのマーカに合わせて任意の位置に移動してもよいし、
図４（Ｂ）に示すようにマーカと元素名との対応が明確
になるように矢印などの線を表示してもよい。このよう
にすることにより、マーカが重なっていることをわかり
やすく、また、見間違えないように表示することができ
る。
り、例えば図４に示すように重なるマーカとしてＦｅと
Ｃｕのマーカがある場合、上にＦｅのマーカを、下にＣ
ｕのマーカを表示する。なお、この場合、上のマーカと
下のマーカを図４（Ａ）に示すように異なる色で表示し
たり、図４（Ｂ）に示すように異なる線種で表示する。
また、元素名の表示は、図４（Ａ）に示すようにそれぞ
れのマーカに合わせて任意の位置に移動してもよいし、
図４（Ｂ）に示すようにマーカと元素名との対応が明確
になるように矢印などの線を表示してもよい。このよう
にすることにより、マーカが重なっていることをわかり
やすく、また、見間違えないように表示することができ
る。
【００１２】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、電子プローブマイクロアナライザに
より測定された特性Ｘ線のプロファイル上にマーカを表
示する例で説明したが、他の分析プロファイル上でマー
カを表示する場合にも同様に適用できることはいうまで
もない。また、２つのマーカが重なる場合について説明
したが、重なるマーカがさらに増える場合にも同様であ
る。さらに、重なるマーカを表示する場合に、高さが同
じ場合には、その高さを上下に等分割し、高さが異なる
場合には、低い方の高さで分割してもよいし、分割した
場合のいずれが軽元素かに応じて上下に配分するように
処理してもよい。
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、電子プローブマイクロアナライザに
より測定された特性Ｘ線のプロファイル上にマーカを表
示する例で説明したが、他の分析プロファイル上でマー
カを表示する場合にも同様に適用できることはいうまで
もない。また、２つのマーカが重なる場合について説明
したが、重なるマーカがさらに増える場合にも同様であ
る。さらに、重なるマーカを表示する場合に、高さが同
じ場合には、その高さを上下に等分割し、高さが異なる
場合には、低い方の高さで分割してもよいし、分割した
場合のいずれが軽元素かに応じて上下に配分するように
処理してもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、複数の元素を指定してそのマーカを表示する
場合に、重なるマーカは分割して表示態様を変えて表示
するので、重なるマーカを見やすく表示することができ
る。したがって、プロファイルを見るときの見間違いや
見にくさがなくなり、元素分析がしやすくなり、分析精
度を向上させることができる。
によれば、複数の元素を指定してそのマーカを表示する
場合に、重なるマーカは分割して表示態様を変えて表示
するので、重なるマーカを見やすく表示することができ
る。したがって、プロファイルを見るときの見間違いや
見にくさがなくなり、元素分析がしやすくなり、分析精
度を向上させることができる。
【図１】 本発明に係るマーカ表示によるプロファイル
分析装置の実施の形態を示す図である。
分析装置の実施の形態を示す図である。
【図２】 マーカ情報記憶部の構成例を示す図である。
【図３】 元素の指定に基づくＫＬＭマーカの表示処理
の流れを説明するための図である。
の流れを説明するための図である。
【図４】 本発明によるＫＬＭマーカの表示例を示す図
である。
である。
【図５】 従来のＫＬＭマーカの表示例を示す図であ
る。
る。
１…ＥＰＭＡ、２…分析データ処理装置、３…ディスプ
レイ、４…マーカ指定部、２１…プロファイル収集部、
２２…マーカ情報記憶部、２３…プロファイル記憶部、
２４…データ処理部、２５…表示回路
レイ、４…マーカ指定部、２１…プロファイル収集部、
２２…マーカ情報記憶部、２３…プロファイル記憶部、
２４…データ処理部、２５…表示回路
Claims (3)
- 【請求項１】 分析装置により試料を測定して得られた
分析プロファイル上に元素名とその位置のマーカを表示
する分析プロファイル上のマーカ表示方法において、表
示する複数のマーカが分析プロファイル上で重なるか否
かを判断し、重なる場合に複数のマーカを分割して表示
することを特徴とする分析プロファイル上のマーカ表示
方法。 - 【請求項２】 複数のマーカを異なる色で分割して表示
することを特徴とする請求項１記載の分析プロファイル
上のマーカ表示方法。 - 【請求項３】 複数のマーカを異なる線種で分割して表
示することを特徴とする請求項１記載の分析プロファイ
ル上のマーカ表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293545A JPH10142172A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 分析プロファイル上のマーカ表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293545A JPH10142172A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 分析プロファイル上のマーカ表示方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142172A true JPH10142172A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=17796146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8293545A Pending JPH10142172A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 分析プロファイル上のマーカ表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10142172A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63118644A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Jeol Ltd | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
| JPH04343051A (ja) * | 1991-05-20 | 1992-11-30 | Casio Comput Co Ltd | 電子線マイクロアナライザのデータ解析システム |
| JPH08505700A (ja) * | 1992-11-18 | 1996-06-18 | サラセプ インコーポレイテッド | 核酸断片の分離法 |
-
1996
- 1996-11-06 JP JP8293545A patent/JPH10142172A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63118644A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Jeol Ltd | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
| JPH04343051A (ja) * | 1991-05-20 | 1992-11-30 | Casio Comput Co Ltd | 電子線マイクロアナライザのデータ解析システム |
| JPH08505700A (ja) * | 1992-11-18 | 1996-06-18 | サラセプ インコーポレイテッド | 核酸断片の分離法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030924 |