JP3363695B2 - 分析機器用マップ表示装置及び表示方法 - Google Patents
分析機器用マップ表示装置及び表示方法Info
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- JP3363695B2 JP3363695B2 JP07900796A JP7900796A JP3363695B2 JP 3363695 B2 JP3363695 B2 JP 3363695B2 JP 07900796 A JP07900796 A JP 07900796A JP 7900796 A JP7900796 A JP 7900796A JP 3363695 B2 JP3363695 B2 JP 3363695B2
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- map
- magnification
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＥＰＭＡ（電子プロ
ーブマイクロアナライザー）等の分析機器におけるマッ
プ表示装置及び表示方法に関する。
ーブマイクロアナライザー）等の分析機器におけるマッ
プ表示装置及び表示方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＥＰＭＡ等の面分析結果のマップ
表示装置においては、異なる分析領域の複数のマップ
を、面積の等しい複数画面に分割した一つの画面に同時
表示することが行われているが、このときそれぞれのマ
ップの分析領域を最大表示するようにしている。
表示装置においては、異なる分析領域の複数のマップ
を、面積の等しい複数画面に分割した一つの画面に同時
表示することが行われているが、このときそれぞれのマ
ップの分析領域を最大表示するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように分析領域の
大きさが違うマップを同時表示する場合、従来のマップ
表示では、表示倍率が異なり、倍率を示すバーの大きさ
も異なってしまうため、複数マップを比較しにくいとい
う問題がある。本発明は上記課題を解決するためのもの
で、異なる分析領域の分析結果のマップを複数枚同時表
示するとき、表示倍率を揃えて複数マップの比較を行い
易くすることを目的とする。
大きさが違うマップを同時表示する場合、従来のマップ
表示では、表示倍率が異なり、倍率を示すバーの大きさ
も異なってしまうため、複数マップを比較しにくいとい
う問題がある。本発明は上記課題を解決するためのもの
で、異なる分析領域の分析結果のマップを複数枚同時表
示するとき、表示倍率を揃えて複数マップの比較を行い
易くすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のマップ
を同時表示する際、任意のマップの表示倍率を、他の複
数枚のマップに適用するか、或いは表示倍率を設定し、
この設定した表示倍率を複数のマップに適用して表示す
ることにより、複数マップの表示倍率を同じにしたこと
を特徴とし、その結果、各マップの比較を行い易くする
ことが可能となる。
を同時表示する際、任意のマップの表示倍率を、他の複
数枚のマップに適用するか、或いは表示倍率を設定し、
この設定した表示倍率を複数のマップに適用して表示す
ることにより、複数マップの表示倍率を同じにしたこと
を特徴とし、その結果、各マップの比較を行い易くする
ことが可能となる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の分析機器用マップ表示装置
の構成を示す概念図である。図において、ＥＰＭＡ１は
試料面に電子プローブを照射し、発生するＸ線を検出し
て面分析する装置であり、検出したデータはワークステ
ーション２に取り込まれる。ワークステーション２に
は、ＥＰＭＡ１を制御し、マップデータを収集してハー
ドディスク２２へ格納するマップ収集モジュール２１、
ハードディスク２２の収集済みのマップデータから処理
したいマップを全て読み出し、複数マップを同倍率にし
てディスプレイ３に表示させるための処理を行う同倍率
表示モジュール２３が備えられている。
て説明する。図１は本発明の分析機器用マップ表示装置
の構成を示す概念図である。図において、ＥＰＭＡ１は
試料面に電子プローブを照射し、発生するＸ線を検出し
て面分析する装置であり、検出したデータはワークステ
ーション２に取り込まれる。ワークステーション２に
は、ＥＰＭＡ１を制御し、マップデータを収集してハー
ドディスク２２へ格納するマップ収集モジュール２１、
ハードディスク２２の収集済みのマップデータから処理
したいマップを全て読み出し、複数マップを同倍率にし
てディスプレイ３に表示させるための処理を行う同倍率
表示モジュール２３が備えられている。
【０００６】マップ収集モジュール２１は、分析領域を
走査したときに検出される信号強度データをその位置デ
ータとともに取り込んで、マップ１、マップ２……のよ
うに各分析領域のデータをハードディスク２２に格納す
る。
走査したときに検出される信号強度データをその位置デ
ータとともに取り込んで、マップ１、マップ２……のよ
うに各分析領域のデータをハードディスク２２に格納す
る。
【０００７】同倍率表示モジュール２３は、後述するよ
うに、表示する任意の１つのマップを所定画面に最大表
示したときの倍率を基本倍率とし、他の各マップを基本
倍率で表示する処理、あるいは、設定した表示倍率で複
数のマップを表示する処理を行ったり、ハードディスク
への格納を行う。
うに、表示する任意の１つのマップを所定画面に最大表
示したときの倍率を基本倍率とし、他の各マップを基本
倍率で表示する処理、あるいは、設定した表示倍率で複
数のマップを表示する処理を行ったり、ハードディスク
への格納を行う。
【０００８】次に、この装置による同倍率表示につい
て、図２、図３の処理フロー、図４、図５の表示画面を
参照して説明する。複数マップ表示処理の前提として、
マップ収集モジュール２１により、ＥＰＭＡ１が制御さ
れ、マップ１、マップ２……がハードディスク２２に格
納されている。図２は基本倍率マップを他のマップに適
用する場合の処理フローである。まず、同倍率表示モジ
ュール２３を起動させて複数枚のマップの表示処理をス
タートさせる。次いで、基本倍率マップとその倍率を適
用するマップを選択し、選択したすべてのマップに基本
倍率を適用して表示する。
て、図２、図３の処理フロー、図４、図５の表示画面を
参照して説明する。複数マップ表示処理の前提として、
マップ収集モジュール２１により、ＥＰＭＡ１が制御さ
れ、マップ１、マップ２……がハードディスク２２に格
納されている。図２は基本倍率マップを他のマップに適
用する場合の処理フローである。まず、同倍率表示モジ
ュール２３を起動させて複数枚のマップの表示処理をス
タートさせる。次いで、基本倍率マップとその倍率を適
用するマップを選択し、選択したすべてのマップに基本
倍率を適用して表示する。
【０００９】図３は設定した同じ倍率で複数マップ表示
する場合の処理フローである。図２の場合と同様、まず
同倍率表示モジュール２３を起動させて複数枚のマップ
の表示処理をスタートさせ、次いで、同じ倍率で表示す
るマップを選択して倍率を設定する。そして、各マップ
に同じ倍率を適用して表示する。
する場合の処理フローである。図２の場合と同様、まず
同倍率表示モジュール２３を起動させて複数枚のマップ
の表示処理をスタートさせ、次いで、同じ倍率で表示す
るマップを選択して倍率を設定する。そして、各マップ
に同じ倍率を適用して表示する。
【００１０】例えば、表１で示す条件で収集したマップ
を表示する場合を考える。 表１ ─────────────────────────────────── ピクセルサイズ ステップサイズ 分析範囲 マップＡ ５００×５００ １．０μｍ ５００μｍ×５００μｍ マップＢ ８００×４００ ０．５μｍ ４００μｍ×２００μｍ マップＣ ４００×５００ ０．５μｍ ２００μｍ×２５０μｍ マップＤ １０００×１０００ １．０μｍ ２００μｍ×２００μｍ ─────────────────────────────────── ここで、ステップサイズとは測定に際しての走査の最小
単位であり、これで分析範囲を除したものがピクセルサ
イズである。いま、マップＡ〜Ｄを４等分した画面に表
示する場合、マップＡの表示倍率を基本表示倍率として
（図２の処理フロー）、あるいは設定した倍率で（図３
の処理フロー）、マップＡを画面に最大表示し、基本表
示倍率あるいは設定した倍率と同じ表示倍率でマップ
Ｂ、マップＣ、マップＤを同時表示すると図４のように
なる。図４において、表示した領域の大きさは分析範囲
に対応している。各マップの表示倍率を示すバーの大き
さ（１００μｍ）は同じであり、このときの表示処理と
しては、画素の間引き、補間等の一般の画像表示処理
（アフィン変換）を行っている。
を表示する場合を考える。 表１ ─────────────────────────────────── ピクセルサイズ ステップサイズ 分析範囲 マップＡ ５００×５００ １．０μｍ ５００μｍ×５００μｍ マップＢ ８００×４００ ０．５μｍ ４００μｍ×２００μｍ マップＣ ４００×５００ ０．５μｍ ２００μｍ×２５０μｍ マップＤ １０００×１０００ １．０μｍ ２００μｍ×２００μｍ ─────────────────────────────────── ここで、ステップサイズとは測定に際しての走査の最小
単位であり、これで分析範囲を除したものがピクセルサ
イズである。いま、マップＡ〜Ｄを４等分した画面に表
示する場合、マップＡの表示倍率を基本表示倍率として
（図２の処理フロー）、あるいは設定した倍率で（図３
の処理フロー）、マップＡを画面に最大表示し、基本表
示倍率あるいは設定した倍率と同じ表示倍率でマップ
Ｂ、マップＣ、マップＤを同時表示すると図４のように
なる。図４において、表示した領域の大きさは分析範囲
に対応している。各マップの表示倍率を示すバーの大き
さ（１００μｍ）は同じであり、このときの表示処理と
しては、画素の間引き、補間等の一般の画像表示処理
（アフィン変換）を行っている。
【００１１】一方、このマップＡ〜Ｄを、従来のように
各画面最大表示すると図５のようになる。図５において
は、各マップとも画面に最大表示され、その結果、表示
倍率を示すバーの大きさが異なることになる。
各画面最大表示すると図５のようになる。図５において
は、各マップとも画面に最大表示され、その結果、表示
倍率を示すバーの大きさが異なることになる。
【００１２】なお、図４の例では、分析領域が最大とな
るマップＡ（表１）を基本倍率として最大表示するよう
にしているので、他のすべてのマップはその全体が表示
されているが、例えば、分析領域が小さいマップＤを基
本倍率として最大表示した場合には、マップＡは全体の
４／２５しか表示されないことになる。この場合には、
マップＡの表示できる範囲は全体の４／２５と決まるの
で、表示中心位置等を指定できるようにする。この指定
は、マップデータ中に位置データが含まれているので容
易に行える。このようにすると、見たいところを選択し
て表示することが可能であり、一部しか表示されない不
都合を解消することができる。
るマップＡ（表１）を基本倍率として最大表示するよう
にしているので、他のすべてのマップはその全体が表示
されているが、例えば、分析領域が小さいマップＤを基
本倍率として最大表示した場合には、マップＡは全体の
４／２５しか表示されないことになる。この場合には、
マップＡの表示できる範囲は全体の４／２５と決まるの
で、表示中心位置等を指定できるようにする。この指定
は、マップデータ中に位置データが含まれているので容
易に行える。このようにすると、見たいところを選択し
て表示することが可能であり、一部しか表示されない不
都合を解消することができる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、比較した
い複数マップを同一の倍率で表示できるので、従来の表
示方法に比して、大きさなどの比較を簡単に行うことが
可能となる。
い複数マップを同一の倍率で表示できるので、従来の表
示方法に比して、大きさなどの比較を簡単に行うことが
可能となる。
【図１】 本発明の分析機器用マップ表示装置の概念図
である。
である。
【図２】 本発明の表示処理フローの例を示す図であ
る。
る。
【図３】 本発明の表示処理フローの他の例を示す図で
ある。
ある。
【図４】 本発明のマップ表示例を示す図である。
【図５】 従来のマップ表示例ヲ示す図である。
１…ＥＰＭＡ、２…ワークステーション、２１…マップ
収集モジュール、２２…ハードディスク、２３…同倍率
表示モジュール、３…ディスプレイ。
収集モジュール、２２…ハードディスク、２３…同倍率
表示モジュール、３…ディスプレイ。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01D 7/00
G01N 23/00
Claims (6)
- 【請求項１】 分析領域の大きさが異なる複数の分析結
果のマップを同時表示する装置において、複数のマップ
データを収集するマップ収集手段と、収集したマップデ
ータを格納する記憶手段と、記憶したマップデータから
表示すべき複数のマップデータを読み出す手段と、複数
のマップデータから任意の１つのマップデータを基本倍
率マップとして選択する選択手段と、当該基本倍率マッ
プを所定画面に最大表示するときの倍率を基本倍率とし
て設定する設定手段と、当該基本倍率にて複数のマップ
を同倍率で表示するための処理を行う同倍率表示手段と
を備えたことを特徴とする分析機器用マップ表示装置。 - 【請求項２】 前記同倍率表示手段により処理される複
数のマップのうち、その分析領域の大きさが、基本倍率
マップとして選択されたマップデータの分析領域の大き
さより大きいものを表示する場合には、表示中心位置を
指定して表示するための処理を行うことを特徴とする請
求項１記載の分析機器用マップ表示装置。 - 【請求項３】 分析領域の大きさが異なる複数の分析結
果のマップを同時表示する装置において、複数のマップ
データを収集するマップ収集手段と、収集したマップデ
ータを格納する記憶手段と、記憶したマップデータから
表示すべき複数のマップデータを読み出す手段と、表示
倍率を設定する設定手段と、当該表示倍率にて複数のマ
ップを同倍率で表示するための処理を行う同倍率表示手
段とを備えたことを特徴とする分析機器用マップ表示装
置。 - 【請求項４】 分析領域の大きさが異なる複数の分析結
果のマップを同時表示する方法において、複数のマップ
データを収集するステップと、収集したマップデータを
格納するステップと、記憶したマップデータから表示す
べき複数のマップデータを読み出すステップと、複数の
マップデータから任意の１つのマップデータを基本倍率
マップとして選択するステップと、当該基本倍率マップ
を所定画面に最大表示するときの倍率を基本倍率として
設定するステップと、当該基本倍率にて複数のマップを
同倍率で表示するための処理を行うステップとを備えた
ことを特徴とする分析機器用マップ表示方法。 - 【請求項５】 前記同倍率で表示するための処理を行う
ステップにより処理 される複数のマップのうち、その分
析領域の大きさが、基本倍率マップとして選択されたマ
ップデータの分析領域の大きさより大きいものを表示す
る場合には、表示中心位置を指定して表示するための処
理を行うことを特徴とする請求項４記載の分析機器用マ
ップ表示方法。 - 【請求項６】 分析領域の大きさが異なる複数の分析結
果のマップを同時表示する方法において、複数のマップ
データを収集するステップと、収集したマップデータを
格納するステップと、記憶したマップデータから表示す
べき複数のマップデータを読み出すステップと、表示倍
率を設定するステップと、当該表示倍率にて複数のマッ
プを同倍率で表示するための処理を行うステップとを備
えたことを特徴とする分析機器用マップ表示方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07900796A JP3363695B2 (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 分析機器用マップ表示装置及び表示方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07900796A JP3363695B2 (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 分析機器用マップ表示装置及び表示方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09269243A JPH09269243A (ja) | 1997-10-14 |
| JP3363695B2 true JP3363695B2 (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=13677898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07900796A Expired - Fee Related JP3363695B2 (ja) | 1996-04-01 | 1996-04-01 | 分析機器用マップ表示装置及び表示方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3363695B2 (ja) |
-
1996
- 1996-04-01 JP JP07900796A patent/JP3363695B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09269243A (ja) | 1997-10-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20021004 |
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