JPH10142173A - 電子プローブマイクロアナライザ等のｋｌｍマーカ表示制御装置 - Google Patents
電子プローブマイクロアナライザ等のｋｌｍマーカ表示制御装置Info
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- JPH10142173A JPH10142173A JP8293546A JP29354696A JPH10142173A JP H10142173 A JPH10142173 A JP H10142173A JP 8293546 A JP8293546 A JP 8293546A JP 29354696 A JP29354696 A JP 29354696A JP H10142173 A JPH10142173 A JP H10142173A
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 3
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
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- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
- G01N23/2252—Measuring emitted X-rays, e.g. electron probe microanalysis [EPMA]
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 見たい元素の特定Ｘ線を見やすく表示する。
【解決手段】 電子プローブマイクロアナライザ１等か
ら収集された分析プロファイル上に元素名とその位置の
マーカを表示する電子プローブマイクロアナライザ等の
ＫＬＭマーカ表示制御装置２において、各元素毎に各線
種と次数に対応してマーカの位置情報を有するマーカ情
報テーブル２２を備え、マーカを表示するための情報と
して、マーカ指定部４により元素と線種、次数が指定さ
れた場合には、前記マーカ情報テーブル２２から対応す
る元素の線種、次数の位置情報を読み出して当該位置に
マーカを表示する。
ら収集された分析プロファイル上に元素名とその位置の
マーカを表示する電子プローブマイクロアナライザ等の
ＫＬＭマーカ表示制御装置２において、各元素毎に各線
種と次数に対応してマーカの位置情報を有するマーカ情
報テーブル２２を備え、マーカを表示するための情報と
して、マーカ指定部４により元素と線種、次数が指定さ
れた場合には、前記マーカ情報テーブル２２から対応す
る元素の線種、次数の位置情報を読み出して当該位置に
マーカを表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子プローブマイ
クロアナライザ（ＥＰＭＡ）等から収集された分析プロ
ファイル上に元素名とその位置のマーカを表示する電子
プローブマイクロアナライザ等のＫＬＭマーカ表示制御
装置に関する。
クロアナライザ（ＥＰＭＡ）等から収集された分析プロ
ファイル上に元素名とその位置のマーカを表示する電子
プローブマイクロアナライザ等のＫＬＭマーカ表示制御
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】Ｘ線マ
イクロアナライザ（ＥＰＭＡ）は、試料表面に電子ビー
ム照射し、そこから発生する特性Ｘ線を検出して、その
試料中に含まれる元素分析を行うものである。特性Ｘ線
は、元素によってＫ線、Ｌ線、Ｍ線、さらにＫα、Ｋ
β、……、１次線、２次線、……等多種に及び、Ｘ線マ
イクロアナライザでは、３次線程度の高次Ｘ線まで観測
される。これら観測Ｘ線のプロファイル上に現れるピー
ク波形は、ある広がりをもっているので、Ｘ線同士が重
なって観測されることも多い。元素分析では、元素を指
定して、Ｘ線マイクロアナライザにより得られる試料の
特定Ｘ線のプロファイル上にその指定した元素の各特性
Ｘ線の位置及び元素名をＫＬＭマーカで表示することに
より、ＫＬＭマーカ近傍のピークから指定した元素が存
在するかどうかを判定している。
イクロアナライザ（ＥＰＭＡ）は、試料表面に電子ビー
ム照射し、そこから発生する特性Ｘ線を検出して、その
試料中に含まれる元素分析を行うものである。特性Ｘ線
は、元素によってＫ線、Ｌ線、Ｍ線、さらにＫα、Ｋ
β、……、１次線、２次線、……等多種に及び、Ｘ線マ
イクロアナライザでは、３次線程度の高次Ｘ線まで観測
される。これら観測Ｘ線のプロファイル上に現れるピー
ク波形は、ある広がりをもっているので、Ｘ線同士が重
なって観測されることも多い。元素分析では、元素を指
定して、Ｘ線マイクロアナライザにより得られる試料の
特定Ｘ線のプロファイル上にその指定した元素の各特性
Ｘ線の位置及び元素名をＫＬＭマーカで表示することに
より、ＫＬＭマーカ近傍のピークから指定した元素が存
在するかどうかを判定している。
【０００３】図５は従来のＫＬＭマーカの表示例を示す
図である。電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭ
Ａ）から収集された特性Ｘ線のプロファイルのピークを
観測して元素分析を行う場合、例えば軽元素のＢｅのよ
うに特性Ｘ線がＫ線だけというものもあるが、重元素に
なると、上記のように複数の線種、次数の特性Ｘ線が観
測され、それぞれのＸ線の存在と、相対的なピークの強
度から、元素分析が行われる。そのため、元素分析に際
して複数の元素を指定してそれぞれのＫＬＭマーカをプ
ロファイル上に表示させた場合、図５に示すように各元
素の各種特性Ｘ線に対応するマーカが多数混在して表示
されるため、見たい元素のＸ線のマーカが識別しにくく
なり見間違ったりするという問題が生じる。
図である。電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭ
Ａ）から収集された特性Ｘ線のプロファイルのピークを
観測して元素分析を行う場合、例えば軽元素のＢｅのよ
うに特性Ｘ線がＫ線だけというものもあるが、重元素に
なると、上記のように複数の線種、次数の特性Ｘ線が観
測され、それぞれのＸ線の存在と、相対的なピークの強
度から、元素分析が行われる。そのため、元素分析に際
して複数の元素を指定してそれぞれのＫＬＭマーカをプ
ロファイル上に表示させた場合、図５に示すように各元
素の各種特性Ｘ線に対応するマーカが多数混在して表示
されるため、見たい元素のＸ線のマーカが識別しにくく
なり見間違ったりするという問題が生じる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するものであって、見たい元素の特定Ｘ線を見やすく
表示するものである。
決するものであって、見たい元素の特定Ｘ線を見やすく
表示するものである。
【０００５】そのために本発明は、電子プローブマイク
ロアナライザ等から収集された分析プロファイル上に元
素名とその位置のマーカを表示する電子プローブマイク
ロアナライザ等のＫＬＭマーカ表示制御装置において、
各元素毎に各線種と次数に対応してマーカの位置情報を
有するマーカ情報テーブルを備え、マーカを表示するた
めの情報として、元素と線種、次数が指定された場合に
は、前記マーカ情報テーブルから対応する元素の線種、
次数の位置情報を読み出して当該位置にマーカを表示す
ることを特徴とするものである。
ロアナライザ等から収集された分析プロファイル上に元
素名とその位置のマーカを表示する電子プローブマイク
ロアナライザ等のＫＬＭマーカ表示制御装置において、
各元素毎に各線種と次数に対応してマーカの位置情報を
有するマーカ情報テーブルを備え、マーカを表示するた
めの情報として、元素と線種、次数が指定された場合に
は、前記マーカ情報テーブルから対応する元素の線種、
次数の位置情報を読み出して当該位置にマーカを表示す
ることを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る電子プロー
ブマイクロアナライザ等のＫＬＭマーカ表示制御装置の
実施の形態を示す図であり、１はＥＰＭＡ、２は分析デ
ータ処理装置、３はディスプレイ、４はマーカ指定部、
２１はプロファイル収集部、２２はマーカ情報記憶部、
２３はプロファイル記憶部、２４はデータ処理部、２５
は表示回路を示す。
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る電子プロー
ブマイクロアナライザ等のＫＬＭマーカ表示制御装置の
実施の形態を示す図であり、１はＥＰＭＡ、２は分析デ
ータ処理装置、３はディスプレイ、４はマーカ指定部、
２１はプロファイル収集部、２２はマーカ情報記憶部、
２３はプロファイル記憶部、２４はデータ処理部、２５
は表示回路を示す。
【０００７】図１において、ＥＰＭＡ１は、電子銃から
発生した電子線を収束レンズ、対物レンズを通して細く
絞って試料に照射し、その電子線照射部から放射された
特性Ｘ線を検出器で検出するＸ線マイクロアナライザで
ある。分析データ処理装置２は、ＥＰＭＡ１から検出さ
れた特性Ｘ線の信号をプロファイルデータとして取り込
み、処理するものであり、プロファイル収集部２１、マ
ーカ情報記憶部２２、プロファイル記憶部２３、データ
処理部２４及び表示回路２５を備えている。プロファイ
ル収集部２１は、ＥＰＭＡ１を制御して特性Ｘ線のプロ
ファイルデータを収集するものであり、プロファイル記
憶部２３は、その収集したプロファイルデータを格納
し、マーカ情報記憶部２２は、ＫＬＭマーカに関する情
報を格納するそれぞれハードディスクその他のメモリで
ある。データ処理部２４は、プロファイル記憶部２３に
格納されたプロファイルデータをディスプレイ３の画面
に表示するための処理を行うと共に、マーカ指定部４に
より指定されたマーカ指定情報に基づきマーカ情報記憶
部２２のＫＬＭマーカに関する情報を読み出し、さらに
指定された元素、線種、高次線による選択処理等を行う
ＣＰＵである。表示回路２５は、ディスプレイ３の画面
に表示されるＸ線プロファイル上にＫＬＭマーカを表示
するための制御を行うものであり、指定に応じて特定の
元素、線種、高次線を選択的に表示する。
発生した電子線を収束レンズ、対物レンズを通して細く
絞って試料に照射し、その電子線照射部から放射された
特性Ｘ線を検出器で検出するＸ線マイクロアナライザで
ある。分析データ処理装置２は、ＥＰＭＡ１から検出さ
れた特性Ｘ線の信号をプロファイルデータとして取り込
み、処理するものであり、プロファイル収集部２１、マ
ーカ情報記憶部２２、プロファイル記憶部２３、データ
処理部２４及び表示回路２５を備えている。プロファイ
ル収集部２１は、ＥＰＭＡ１を制御して特性Ｘ線のプロ
ファイルデータを収集するものであり、プロファイル記
憶部２３は、その収集したプロファイルデータを格納
し、マーカ情報記憶部２２は、ＫＬＭマーカに関する情
報を格納するそれぞれハードディスクその他のメモリで
ある。データ処理部２４は、プロファイル記憶部２３に
格納されたプロファイルデータをディスプレイ３の画面
に表示するための処理を行うと共に、マーカ指定部４に
より指定されたマーカ指定情報に基づきマーカ情報記憶
部２２のＫＬＭマーカに関する情報を読み出し、さらに
指定された元素、線種、高次線による選択処理等を行う
ＣＰＵである。表示回路２５は、ディスプレイ３の画面
に表示されるＸ線プロファイル上にＫＬＭマーカを表示
するための制御を行うものであり、指定に応じて特定の
元素、線種、高次線を選択的に表示する。
【０００８】次に、ＫＬＭマーカに関する情報とその表
示の例について具体的に説明する。図２はマーカ情報記
憶部の構成例を示す図、図３は元素の指定に基づくＫＬ
Ｍマーカの表示処理の流れを説明するための図、図４は
本発明によるＫＬＭマーカの表示例を示す図である。
示の例について具体的に説明する。図２はマーカ情報記
憶部の構成例を示す図、図３は元素の指定に基づくＫＬ
Ｍマーカの表示処理の流れを説明するための図、図４は
本発明によるＫＬＭマーカの表示例を示す図である。
【０００９】マーカ情報記憶部２２は、例えば図２
（Ａ）に示すようにＦｅやＣｕ等の各元素毎の特性Ｘ線
（線種、次数）とそれぞれの特性Ｘ線に対応するマーカ
の位置情報として波長、さらにはマーカ表示の高さから
なるＫＬＭマーカに関する情報のテーブルを格納してい
る。また、図２（Ｂ）や（Ｃ）に示すように各元素に上
記ＫＬＭマーカに関する情報のメモリアドレスを持つ元
素テーブルや各特性Ｘ線の表示色等の表示属性を設定し
たテーブル等を適宜備えるようにしてもよい。特性Ｘ線
は、先に述べたようにＫα1 、Ｋα2 、……、Ｋβ1 、
……、Ｍ、……等、線種や次数の異なるＸ線であり、マ
ーカ表示の高さは、基準を１００として同じ元素の中の
相対強度に応じて設定されるものである。データ処理部
２４は、マーカ指定情報として、マーカ指定部４により
元素、線種、次数が指定されると、この指定された元
素、線種、次数に基づいてマーカ情報記憶部２２に格納
された、例えば図２に示すようなＫＬＭマーカに関する
情報のテーブルから、対応する元素、線種、次数の波
長、高さを読み出して表示回路２５に渡すことにより、
Ｘ線プロファイル上に指定された元素に係るＫＬＭマー
カを表示する。
（Ａ）に示すようにＦｅやＣｕ等の各元素毎の特性Ｘ線
（線種、次数）とそれぞれの特性Ｘ線に対応するマーカ
の位置情報として波長、さらにはマーカ表示の高さから
なるＫＬＭマーカに関する情報のテーブルを格納してい
る。また、図２（Ｂ）や（Ｃ）に示すように各元素に上
記ＫＬＭマーカに関する情報のメモリアドレスを持つ元
素テーブルや各特性Ｘ線の表示色等の表示属性を設定し
たテーブル等を適宜備えるようにしてもよい。特性Ｘ線
は、先に述べたようにＫα1 、Ｋα2 、……、Ｋβ1 、
……、Ｍ、……等、線種や次数の異なるＸ線であり、マ
ーカ表示の高さは、基準を１００として同じ元素の中の
相対強度に応じて設定されるものである。データ処理部
２４は、マーカ指定情報として、マーカ指定部４により
元素、線種、次数が指定されると、この指定された元
素、線種、次数に基づいてマーカ情報記憶部２２に格納
された、例えば図２に示すようなＫＬＭマーカに関する
情報のテーブルから、対応する元素、線種、次数の波
長、高さを読み出して表示回路２５に渡すことにより、
Ｘ線プロファイル上に指定された元素に係るＫＬＭマー
カを表示する。
【００１０】ＫＬＭマーカの表示処理では、図３に示す
ようにまず、ＥＰＭＡ１を制御して収集した特性Ｘ線の
プロファイルデータによりプロファイルを表示する（ス
テップＳ１１）。このプロファイルを表示すると、表示
したい元素、線種、次数がマーカ指定部４により指定さ
れるので、その指定された元素、線種、次数を表示する
マーカの元素、線種、次数として設定（登録）する（ス
テップＳ１２）。複数の元素が指定される場合には、そ
の設定処理を繰り返し実行し、指定終了の入力により設
定終了になると（ステップＳ１３）、設定した元素、線
種、次数によりマーカ情報記憶部２２からＫＬＭマーカ
に関する情報を読み出す（ステップＳ１４）。そして、
設定した元素、線種、次数のＫＬＭマーカをプロファイ
ル上に表示する（ステップＳ１５）。
ようにまず、ＥＰＭＡ１を制御して収集した特性Ｘ線の
プロファイルデータによりプロファイルを表示する（ス
テップＳ１１）。このプロファイルを表示すると、表示
したい元素、線種、次数がマーカ指定部４により指定さ
れるので、その指定された元素、線種、次数を表示する
マーカの元素、線種、次数として設定（登録）する（ス
テップＳ１２）。複数の元素が指定される場合には、そ
の設定処理を繰り返し実行し、指定終了の入力により設
定終了になると（ステップＳ１３）、設定した元素、線
種、次数によりマーカ情報記憶部２２からＫＬＭマーカ
に関する情報を読み出す（ステップＳ１４）。そして、
設定した元素、線種、次数のＫＬＭマーカをプロファイ
ル上に表示する（ステップＳ１５）。
【００１１】例えば９０の位置に或るＸ線の１次線が現
れるとすると、その２次線は１８０の位置に現れるが、
分析する範囲によっては、その範囲に２次線が現れるは
ずであると推定でき、１次線も３次線も必要でない場合
がある。このような場合においても、従来の装置では、
元素を指定することにより、その指定した元素について
のＸ線のマーカをすべて表示し、また、Ｋ線、Ｌ線、Ｍ
線のそれぞれの表示／非表示の設定、３次線までの設定
しか行えず、ｎ次線までという表示しか行えなかった。
そのため、図５に示すように表示されるマーカの数が多
くなり非常に見にくくなっていた。しかし、本発明の表
示処理では、例えば図４に示すように特定の線のみに着
目して選択的にマーカを表示することができる。
れるとすると、その２次線は１８０の位置に現れるが、
分析する範囲によっては、その範囲に２次線が現れるは
ずであると推定でき、１次線も３次線も必要でない場合
がある。このような場合においても、従来の装置では、
元素を指定することにより、その指定した元素について
のＸ線のマーカをすべて表示し、また、Ｋ線、Ｌ線、Ｍ
線のそれぞれの表示／非表示の設定、３次線までの設定
しか行えず、ｎ次線までという表示しか行えなかった。
そのため、図５に示すように表示されるマーカの数が多
くなり非常に見にくくなっていた。しかし、本発明の表
示処理では、例えば図４に示すように特定の線のみに着
目して選択的にマーカを表示することができる。
【００１２】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、電子プローブマイクロアナライザに
より測定された特性Ｘ線のプロファイル上にマーカを表
示する例で説明したが、他の分析プロファイル上でマー
カを表示する場合にも同様に適用できることはいうまで
もない。また、元素、線種、次数を指定したが、元素と
線種、元素と次数というように適宜組み合わせを変えて
もよい。
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、電子プローブマイクロアナライザに
より測定された特性Ｘ線のプロファイル上にマーカを表
示する例で説明したが、他の分析プロファイル上でマー
カを表示する場合にも同様に適用できることはいうまで
もない。また、元素、線種、次数を指定したが、元素と
線種、元素と次数というように適宜組み合わせを変えて
もよい。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、複数の元素を指定しても、さらに線種、次数
をも指定し特定の元素の線種、次数のマーカのみを選択
的に表示できるようにしたので、各元素の特性Ｘ線が近
傍に存在して見にくいような場合にも、プロファイルを
見やすくすることができ、分析精度を向上させることが
できる。
によれば、複数の元素を指定しても、さらに線種、次数
をも指定し特定の元素の線種、次数のマーカのみを選択
的に表示できるようにしたので、各元素の特性Ｘ線が近
傍に存在して見にくいような場合にも、プロファイルを
見やすくすることができ、分析精度を向上させることが
できる。
【図１】 本発明に係る電子プローブマイクロアナライ
ザ等のＫＬＭマーカ表示制御装置の実施の形態を示す図
である。
ザ等のＫＬＭマーカ表示制御装置の実施の形態を示す図
である。
【図２】 マーカ情報記憶部の構成例を示す図である。
【図３】 元素等の指定に基づくＫＬＭマーカの表示処
理の流れを説明するための図である。
理の流れを説明するための図である。
【図４】 本発明によるＫＬＭマーカの表示例を示す図
である。
である。
【図５】 従来のＫＬＭマーカの表示例を示す図であ
る。
る。
１…ＥＰＭＡ、２…分析データ処理装置、３…ディスプ
レイ、４…マーカ指定部、２１…プロファイル収集部、
２２…マーカ情報記憶部、２３…プロファイル記憶部、
２４…データ処理部、２５…表示回路
レイ、４…マーカ指定部、２１…プロファイル収集部、
２２…マーカ情報記憶部、２３…プロファイル記憶部、
２４…データ処理部、２５…表示回路
Claims (1)
- 【請求項１】 電子プローブマイクロアナライザ等から
収集された分析プロファイル上に元素名とその位置のマ
ーカを表示する電子プローブマイクロアナライザ等のＫ
ＬＭマーカ表示制御装置において、各元素毎に各線種と
次数に対応してマーカの位置情報を有するマーカ情報テ
ーブルを備え、マーカを表示するための情報として、元
素と線種、次数が指定された場合には、前記マーカ情報
テーブルから対応する元素の線種、次数の位置情報を読
み出して当該位置にマーカを表示することを特徴とする
電子プローブマイクロアナライザ等のＫＬＭマーカ表示
制御装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293546A JPH10142173A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 電子プローブマイクロアナライザ等のｋｌｍマーカ表示制御装置 |
| US08/964,657 US5990480A (en) | 1996-11-06 | 1997-11-05 | KLM marker display controller for EPMA or the like |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293546A JPH10142173A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 電子プローブマイクロアナライザ等のｋｌｍマーカ表示制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142173A true JPH10142173A (ja) | 1998-05-29 |
Family
ID=17796160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8293546A Pending JPH10142173A (ja) | 1996-11-06 | 1996-11-06 | 電子プローブマイクロアナライザ等のｋｌｍマーカ表示制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5990480A (ja) |
| JP (1) | JPH10142173A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010127874A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Jeol Ltd | Ｘ線分析の測定条件設定方法及びｘ線分析装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002329473A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-11-15 | Jeol Ltd | Ｘ線分光器を備えた透過型電子顕微鏡 |
| DE102009041993B4 (de) | 2009-09-18 | 2020-02-13 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Beobachtungs- und Analysegerät |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3146347A (en) * | 1961-08-25 | 1964-08-25 | Lab For Electronics Inc | Apparatus for analyzing material by excited x-rays |
| US4439680A (en) * | 1980-06-26 | 1984-03-27 | Regents Of The University Of Minnesota | Color-coded mapping system and method for identifying elements in a specimen |
| JPS6417369A (en) * | 1987-07-10 | 1989-01-20 | Jeol Ltd | Spectrum display unit in x-ray microanalyzer and the like |
| JPH0238850A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-08 | Jeol Ltd | Ｘ線分光器を用いた定性分析方法 |
-
1996
- 1996-11-06 JP JP8293546A patent/JPH10142173A/ja active Pending
-
1997
- 1997-11-05 US US08/964,657 patent/US5990480A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010127874A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Jeol Ltd | Ｘ線分析の測定条件設定方法及びｘ線分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5990480A (en) | 1999-11-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030924 |