JPH0697213B2 - 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 - Google Patents
特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法Info
- Publication number
- JPH0697213B2 JPH0697213B2 JP61264924A JP26492486A JPH0697213B2 JP H0697213 B2 JPH0697213 B2 JP H0697213B2 JP 61264924 A JP61264924 A JP 61264924A JP 26492486 A JP26492486 A JP 26492486A JP H0697213 B2 JPH0697213 B2 JP H0697213B2
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- JP
- Japan
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- ray
- wavelength
- spectrum
- order
- characteristic
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、分析装置により取得された特性Ｘ線スペクト
ルに基づき、試料中の特定元素の存在を判定するように
した特性Ｘ線スペクトルによる元素の判定方法に関す
る。
ルに基づき、試料中の特定元素の存在を判定するように
した特性Ｘ線スペクトルによる元素の判定方法に関す
る。
［従来の技術］ 分析装置により取得された特性Ｘ線スペクトル情報を用
いて、試料中に特定の元素が含まれるか否か判定するこ
とが行なわれている。従来においては、この判定は、得
られたＸ線スペクトルの各ピーク値を操作者が読み取
り、読み取られた各ピーク値と印刷された波長表に記載
された各元素の波長値とを比較して行なっている。
いて、試料中に特定の元素が含まれるか否か判定するこ
とが行なわれている。従来においては、この判定は、得
られたＸ線スペクトルの各ピーク値を操作者が読み取
り、読み取られた各ピーク値と印刷された波長表に記載
された各元素の波長値とを比較して行なっている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、各元素に関する特性Ｘ線には、Ｋα線,K
β線,Lα線,Lβ線,Mα線,Mβ線等多数の種類がある上、
種々の次数のＸ線が存在するため、前述した波長表を用
いての比較は繁雑であり多大な時間を要した。
β線,Lα線,Lβ線,Mα線,Mβ線等多数の種類がある上、
種々の次数のＸ線が存在するため、前述した波長表を用
いての比較は繁雑であり多大な時間を要した。
本発明はこのような従来の欠点を解決し、Ｘ線スペクト
ルに基づく元素の存在の判定を簡単且つ短時間に行ない
得る特性Ｘ線スペクトルによる元素の判定方法を提供す
ることを目的としている。
ルに基づく元素の存在の判定を簡単且つ短時間に行ない
得る特性Ｘ線スペクトルによる元素の判定方法を提供す
ることを目的としている。
［問題点を解決するための手段］ そのため本発明は、予め各元素の１次Ｘ線の波長を記憶
装置に記憶させておくと共に分析装置よりＸ線スペクト
ル信号を取得することにより表示装置の表示画面にスペ
クトルを表示させ、前記各元素の中の特定の元素とＸ線
の次数を電子計算機に指示し、該指示された元素の１次
Ｘ線の波長を読み出すと共に、該読み出された１次Ｘ線
の波長の各々を前記指示した次数になるまで次数倍させ
るか予め次数倍されて記憶されている波長を読み出し、
各１次Ｘ線の波長と該各次数倍された波長に対応した前
記表示画面上の位置に前記Ｘ線スペクトルに重畳してマ
ーカーを表示せしめたことを特徴としている。
装置に記憶させておくと共に分析装置よりＸ線スペクト
ル信号を取得することにより表示装置の表示画面にスペ
クトルを表示させ、前記各元素の中の特定の元素とＸ線
の次数を電子計算機に指示し、該指示された元素の１次
Ｘ線の波長を読み出すと共に、該読み出された１次Ｘ線
の波長の各々を前記指示した次数になるまで次数倍させ
るか予め次数倍されて記憶されている波長を読み出し、
各１次Ｘ線の波長と該各次数倍された波長に対応した前
記表示画面上の位置に前記Ｘ線スペクトルに重畳してマ
ーカーを表示せしめたことを特徴としている。
［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第２図は本発明を実施するための装置の一例を示すもの
で、図中１はCPUであり、２は表示装置、３は入力装
置、４は装置の動作プログラムが記憶されている内部記
憶装置、５は外部記憶装置、６は記録装置、７はＸ線マ
イクロアナライザであり、８はバスラインである。外部
記憶装置５には波長表ファイルが記憶されている。この
波長表ファイルは各元素の１次のK,L,M線等の波長がK,
L,M等のＸ線の種類を示すパラメータと共に各元素につ
いて１レコードを成して記憶されている。
で、図中１はCPUであり、２は表示装置、３は入力装
置、４は装置の動作プログラムが記憶されている内部記
憶装置、５は外部記憶装置、６は記録装置、７はＸ線マ
イクロアナライザであり、８はバスラインである。外部
記憶装置５には波長表ファイルが記憶されている。この
波長表ファイルは各元素の１次のK,L,M線等の波長がK,
L,M等のＸ線の種類を示すパラメータと共に各元素につ
いて１レコードを成して記憶されている。
このような装置を用いて、まず、第１図のステップ１に
示すように、Ｘ線マイクロアナライザ７より得られ、一
旦外部記憶装置５に記憶されていたＸ線スペクトルデー
タを読み出して表示装置２に送ることにより、表示装置
２の画面にＸ線スペクトルを表示する。次に操作者は、
試料に含まれていると予想される元素を入力装置３に
より指示すると共に、表示装置２に表示するＸ線波長を
示すマーカーをある次数ｎについてまで表示することを
指示する。上記元素の指示は元素名又は原子番号を入
力することにより行なう。次に、ステップ３に示すよう
に、CPU1は予め組まれたプログラムに従って、指定した
元素のレコードよりその元素の１次のK,L,M線等の特
性Ｘ線波長データを内部記憶装置４にそれらの種類を示
すデータと共に読み込む。次にステップ４に示すよう
に、CPU1は各特性Ｘ線波長値の各々を２次から指定した
次数ｎまで順次次数倍し、これら次数倍して得られた波
長値をその次数及びＸ線の種類を示すデータと共に、内
部記憶装置４に記憶させる。次にステップ５に示すよう
に、このようにして得られた各次数の波長値がＸ線スペ
クトルの表示範囲内か否か判定し、波長範囲外のものを
除く。次にステップ６に示すように、１次のK,L,M線の
各波長値と残った各次数の波長値に基づいて、表示装置
２の画面に前記Ｘ線スペクトルに重畳してこの特定元素
の特性Ｘ線の各波長位置を表わすマーカーを表示する。
その結果、表示装置２の画面は第３図に示すようにな
る。尚、第３図において、９がＸ線スペクトルであり、
実線10,点線11,一点鎖線12は各々K,L,M線の特性Ｘ線波
長を示すマーカーであり、その次数はマーカー線の上部
に数字２等で示されている。操作者はこのような画面を
観察して、Ｘ線スペクトルピークと各マーカーの位置を
比較して、それらの一致度が高ければ指定した元素を存
在元素として同定する。このように、画面上においてＸ
線スペクトルと、各次数の特性Ｘ線波長位置を示すマー
カーとが重畳表示されているため、簡単且つ短時間に各
ピークの同定を行ない試料に含まれる元素を判定するこ
とができる。
示すように、Ｘ線マイクロアナライザ７より得られ、一
旦外部記憶装置５に記憶されていたＸ線スペクトルデー
タを読み出して表示装置２に送ることにより、表示装置
２の画面にＸ線スペクトルを表示する。次に操作者は、
試料に含まれていると予想される元素を入力装置３に
より指示すると共に、表示装置２に表示するＸ線波長を
示すマーカーをある次数ｎについてまで表示することを
指示する。上記元素の指示は元素名又は原子番号を入
力することにより行なう。次に、ステップ３に示すよう
に、CPU1は予め組まれたプログラムに従って、指定した
元素のレコードよりその元素の１次のK,L,M線等の特
性Ｘ線波長データを内部記憶装置４にそれらの種類を示
すデータと共に読み込む。次にステップ４に示すよう
に、CPU1は各特性Ｘ線波長値の各々を２次から指定した
次数ｎまで順次次数倍し、これら次数倍して得られた波
長値をその次数及びＸ線の種類を示すデータと共に、内
部記憶装置４に記憶させる。次にステップ５に示すよう
に、このようにして得られた各次数の波長値がＸ線スペ
クトルの表示範囲内か否か判定し、波長範囲外のものを
除く。次にステップ６に示すように、１次のK,L,M線の
各波長値と残った各次数の波長値に基づいて、表示装置
２の画面に前記Ｘ線スペクトルに重畳してこの特定元素
の特性Ｘ線の各波長位置を表わすマーカーを表示する。
その結果、表示装置２の画面は第３図に示すようにな
る。尚、第３図において、９がＸ線スペクトルであり、
実線10,点線11,一点鎖線12は各々K,L,M線の特性Ｘ線波
長を示すマーカーであり、その次数はマーカー線の上部
に数字２等で示されている。操作者はこのような画面を
観察して、Ｘ線スペクトルピークと各マーカーの位置を
比較して、それらの一致度が高ければ指定した元素を存
在元素として同定する。このように、画面上においてＸ
線スペクトルと、各次数の特性Ｘ線波長位置を示すマー
カーとが重畳表示されているため、簡単且つ短時間に各
ピークの同定を行ない試料に含まれる元素を判定するこ
とができる。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、変形して
実施することができる。
実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、一種の分光結晶に
よって得られたＸ線スペクトルしか表示装置に表示しな
かったが、複数種の分光結晶によって得られたＸ線スペ
クトルを表示装置の異なった垂直走査位置に表示し、各
スペクトルに重畳して特性Ｘ線の波長位置を示すマーカ
ーを表示するようにしても良い。
よって得られたＸ線スペクトルしか表示装置に表示しな
かったが、複数種の分光結晶によって得られたＸ線スペ
クトルを表示装置の異なった垂直走査位置に表示し、各
スペクトルに重畳して特性Ｘ線の波長位置を示すマーカ
ーを表示するようにしても良い。
又、上述した実施例においては、K,L,M線等のマーカー
を表示線を実線，点線，一点鎖線と異ならせることによ
り弁別して表示するようにしたが、表示色を変えること
により弁別表示するようにしても良い。
を表示線を実線，点線，一点鎖線と異ならせることによ
り弁別して表示するようにしたが、表示色を変えること
により弁別表示するようにしても良い。
更に又、上述した実施例においては、記憶された１次Ｘ
線の波長をその都度指定された次数まで次数倍するよう
にしたが、予め例えば４次の次数まで各１次Ｘ線波長を
次数倍して記憶装置に記憶させておき、指定した次数の
波長まで読み出すようにしても良い。
線の波長をその都度指定された次数まで次数倍するよう
にしたが、予め例えば４次の次数まで各１次Ｘ線波長を
次数倍して記憶装置に記憶させておき、指定した次数の
波長まで読み出すようにしても良い。
［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明においてはＸ
線スペクトルを表示している表示装置の画面に、１次の
特性Ｘ線及び指定された次数までの特性Ｘ線の波長値に
応じた位置にマーカーを表示するようにしているため、
スペクトルと各マーカーとの比較により簡単且つ短時間
に、試料に特定の注目元素が含まれているか否かを判定
することができる。
線スペクトルを表示している表示装置の画面に、１次の
特性Ｘ線及び指定された次数までの特性Ｘ線の波長値に
応じた位置にマーカーを表示するようにしているため、
スペクトルと各マーカーとの比較により簡単且つ短時間
に、試料に特定の注目元素が含まれているか否かを判定
することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための流れ図、第２図
は本発明を実施するための装置の一例を示すための図、
第３図は表示画面の一例を示すための図である。 1:CPU、2:表示装置 3:入力装置、4:内部記憶装置 5:外部記憶装置、6:記録装置 7:X線マイクロアナライザ
は本発明を実施するための装置の一例を示すための図、
第３図は表示画面の一例を示すための図である。 1:CPU、2:表示装置 3:入力装置、4:内部記憶装置 5:外部記憶装置、6:記録装置 7:X線マイクロアナライザ
Claims (1)
- 【請求項１】予め各元素の１次Ｘ線の波長を記憶装置に
記憶させておくと共に分析装置よりＸ線スペクトル信号
を取得することにより表示装置の表示画面にスペクトル
を表示させ、前記各元素の中の特定の元素とＸ線の次数
を電子計算機に指示し、該指示された元素の１次Ｘ線の
波長を読み出すと共に、該読み出された１次Ｘ線の波長
の各々を前記指示した次数になるまで次数倍させるか予
め次数倍されて記憶されている波長を読み出し、各１次
Ｘ線の波長と該各次数倍された波長に対応した前記表示
画面上の位置に前記Ｘ線スペクトルに重畳してマーカー
を表示せしめたことを特徴とする特性Ｘ線スペクトルに
よる元素判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264924A JPH0697213B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61264924A JPH0697213B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63118644A JPS63118644A (ja) | 1988-05-23 |
| JPH0697213B2 true JPH0697213B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=17410085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61264924A Expired - Lifetime JPH0697213B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 特性ｘ線スペクトルによる元素判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697213B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06123719A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光ｘ線定性分析方法 |
| JP2841258B2 (ja) * | 1992-10-11 | 1998-12-24 | 株式会社堀場製作所 | 蛍光ｘ線定性分析方法 |
| JPH10142172A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Jeol Ltd | 分析プロファイル上のマーカ表示方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388434A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-19 | Shimadzu Corp | 特性ｘ線分析方法 |
-
1986
- 1986-11-07 JP JP61264924A patent/JPH0697213B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63118644A (ja) | 1988-05-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |