JPS62165143A - Ｘ線マイクロアナライザの波長表検索方法 - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザの波長表検索方法Info
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- JPS62165143A JPS62165143A JP61007229A JP722986A JPS62165143A JP S62165143 A JPS62165143 A JP S62165143A JP 61007229 A JP61007229 A JP 61007229A JP 722986 A JP722986 A JP 722986A JP S62165143 A JPS62165143 A JP S62165143A
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- ray
- rays
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＸ線マイクロアナライザの波長表検索方法に関
し、更に詳しくは、Ｘ線マイクロアナライザによって得
られたＸ線スペクトルから、ピーク域ごとにその波長範
囲を指示してやることにより元素名、Ｘ線の種類、１次
Ｘ線の波長等が記録された波長表を自動的に検索できる
ようにしたＸ線マイクロアナライザの波長表検索方法に
関する。
し、更に詳しくは、Ｘ線マイクロアナライザによって得
られたＸ線スペクトルから、ピーク域ごとにその波長範
囲を指示してやることにより元素名、Ｘ線の種類、１次
Ｘ線の波長等が記録された波長表を自動的に検索できる
ようにしたＸ線マイクロアナライザの波長表検索方法に
関する。
（従来の技術）
Ｘ線マイクロアナライザは、極めて細く絞った電子線束
（電子プローブ）を試料表面に照射して゛、そこから放
射される特性Ｘ線の波長と強度をＸ線分光器で測定し、
試料の微小部分に含まれている元素を定性又は定員する
ための分析機器である。
（電子プローブ）を試料表面に照射して゛、そこから放
射される特性Ｘ線の波長と強度をＸ線分光器で測定し、
試料の微小部分に含まれている元素を定性又は定員する
ための分析機器である。
第５図は、Ｘ線マイクロアナライザの原理説明図である
。試料１の表面に電子プローブφを照射すると、該試料
表面から１次の特性Ｘ線（試料を構成する元素に固有の
波長をもつＸ線）が放射される。放射された特性Ｘ線は
、ローランド円の円周上に配置されている分光結晶２に
入射する。波長分散型Ｘ線分光器を有するＸ線マイクロ
アナライザの場合、分光結晶２に入射した１次のＸ線は
、分光結晶２内の回折格子で反射され、１次から０次ま
でのＸ線を放？Ｊ する。放射されたＸ線のうち、以下
に示すプラグ（３ｒａｇｇ ）、の法則を満足する波艮
のＸ線のみが同じくローランド円の円周上に配置された
Ｘ線検出器３で検出される。
。試料１の表面に電子プローブφを照射すると、該試料
表面から１次の特性Ｘ線（試料を構成する元素に固有の
波長をもつＸ線）が放射される。放射された特性Ｘ線は
、ローランド円の円周上に配置されている分光結晶２に
入射する。波長分散型Ｘ線分光器を有するＸ線マイクロ
アナライザの場合、分光結晶２に入射した１次のＸ線は
、分光結晶２内の回折格子で反射され、１次から０次ま
でのＸ線を放？Ｊ する。放射されたＸ線のうち、以下
に示すプラグ（３ｒａｇｇ ）、の法則を満足する波艮
のＸ線のみが同じくローランド円の円周上に配置された
Ｘ線検出器３で検出される。
ｎλ−２ａｓｉｎθ −＜ ｉ ＞但し
、λ；波長 ｎ；整数 ａ ：分光結晶２の面間隔 θ；分光結晶２の入射Ｘ線と入射面とのなす角（プラグ
角） このようにして、Ｘ線検出器３で検出したＸ線を取出す
と、第６図に示すようなＸ線スペクトルが得られる。図
において縦軸はＸ線強度、横軸は試料１から分光結晶２
までの距離！である。ここで、距離ｌとプラグ角θとの
間には、次式で示すような関係がある ６＝２ｒｓｉｎθ ・（２＞但し、ｒ
：ローランド円の半径 図に示すＸ線強度のピーク値ｄ１＋ｄ２．’！＋ｄ４は
それぞれ試料１中に含まれる元素に固有のものである。
、λ；波長 ｎ；整数 ａ ：分光結晶２の面間隔 θ；分光結晶２の入射Ｘ線と入射面とのなす角（プラグ
角） このようにして、Ｘ線検出器３で検出したＸ線を取出す
と、第６図に示すようなＸ線スペクトルが得られる。図
において縦軸はＸ線強度、横軸は試料１から分光結晶２
までの距離！である。ここで、距離ｌとプラグ角θとの
間には、次式で示すような関係がある ６＝２ｒｓｉｎθ ・（２＞但し、ｒ
：ローランド円の半径 図に示すＸ線強度のピーク値ｄ１＋ｄ２．’！＋ｄ４は
それぞれ試料１中に含まれる元素に固有のものである。
そして、これらＸ線強度のピーク値は、例えば、ｄ、の
場合がλ１〜λ２．ｄ２の場合λ３〜λ４というように
所定の波長範囲を有している。この場合において、試料
から放射されるＸ線は１次、２次、・・・１１次のＸ線
を含んでおり、０次のＸ線の波長は１次のＸ線の波長の
ｎ倍であることがわかっている。従来、第６図に示すよ
うなＸ線スペクトルが１ηられると、操作者は、元素基
、Ｘ線の種類（Ｋα線、にβ線、Ｌα線等）。
場合がλ１〜λ２．ｄ２の場合λ３〜λ４というように
所定の波長範囲を有している。この場合において、試料
から放射されるＸ線は１次、２次、・・・１１次のＸ線
を含んでおり、０次のＸ線の波長は１次のＸ線の波長の
ｎ倍であることがわかっている。従来、第６図に示すよ
うなＸ線スペクトルが１ηられると、操作者は、元素基
、Ｘ線の種類（Ｋα線、にβ線、Ｌα線等）。
Ｘ１９の次数、Ｘ線のエネルギー、各次Ｘ線の波長等が
印ｆｌ＋された波長表を参照してＩ！ｌられたＸ線スペ
クトルと比較して試料中に含まれる元素の判定を行って
いる。
印ｆｌ＋された波長表を参照してＩ！ｌられたＸ線スペ
クトルと比較して試料中に含まれる元素の判定を行って
いる。
（発明が解決しようとする問題点）
前述したように試料中に含まれる元素の判定は、得られ
たＸ線スペクトルを基に、操作者が波長表を参照して行
っている。波長表は、元素芯、Ｘ線の種類、ｘｉの次数
、Ｘｔ９のエネルギー、各次Ｘ線の波長等のデータが波
長ごとに分類されており、先ず波長を基にして検索する
ようになっている。
たＸ線スペクトルを基に、操作者が波長表を参照して行
っている。波長表は、元素芯、Ｘ線の種類、ｘｉの次数
、Ｘｔ９のエネルギー、各次Ｘ線の波長等のデータが波
長ごとに分類されており、先ず波長を基にして検索する
ようになっている。
しかしながら各元素の発するＸ線にはにα線、にβ線、
Ｌα線等の種類があり、次数も１次がら０次まであり、
Ｘ線の波長も元素ごとに多くの種類があるため、印刷さ
れた波長表は数１００頁に及んでいる。従って、操作者
が検索して所望の元素を判定するためには多大の時間を
必要としていた。
Ｌα線等の種類があり、次数も１次がら０次まであり、
Ｘ線の波長も元素ごとに多くの種類があるため、印刷さ
れた波長表は数１００頁に及んでいる。従って、操作者
が検索して所望の元素を判定するためには多大の時間を
必要としていた。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであって、
その目的は短時間かつ自動的に波長表ファイルの検索を
行うことができるＸ線マイクロアナライザの波長表検索
方法を実現することにある。
その目的は短時間かつ自動的に波長表ファイルの検索を
行うことができるＸ線マイクロアナライザの波長表検索
方法を実現することにある。
（問題点を解決するための手段）
前記した問題点を解決する本発明は、元素芯。
Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等のデータを１レコード単
位として、これらレコードが複数個記録された波長表フ
ァイルが記憶された記憶装置を予め用意しておき、Ｘ線
の波長範囲を入力データとして与えた場合に、記憶装置
に記憶されている波長表ファイルを順次検索し、入力デ
ータとして与えた波長範囲内のＸ線を発生ザる元素芯、
ｘＫＡの種類、Ｘ線の波長等を出力づるようにしたこと
を特ｉ敗とづるものである。
位として、これらレコードが複数個記録された波長表フ
ァイルが記憶された記憶装置を予め用意しておき、Ｘ線
の波長範囲を入力データとして与えた場合に、記憶装置
に記憶されている波長表ファイルを順次検索し、入力デ
ータとして与えた波長範囲内のＸ線を発生ザる元素芯、
ｘＫＡの種類、Ｘ線の波長等を出力づるようにしたこと
を特ｉ敗とづるものである。
（作用）
本発明は、元素基、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等の１
元素分のデータを１レコード単位として、これらレコー
ドが波長類に記憶された波長表ファイルを予め記憶装置
に記憶しておき、与えられた波長範囲を満足するレコー
ドを記憶装置から取出すようにする。
元素分のデータを１レコード単位として、これらレコー
ドが波長類に記憶された波長表ファイルを予め記憶装置
に記憶しておき、与えられた波長範囲を満足するレコー
ドを記憶装置から取出すようにする。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は本発明方法の一実施例を示すフローヂャート、
第２図は本発明方法を実施するためのハードシステムの
構成例を示す図である。第２図において、１１は各種演
算処理及び制御を行うコンピュータ、１２は本発明方法
を実行するためのプログラムが格納された内部記憶装置
である。１３は元素名、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等
のデータを１レコード単位として、これらレコードが波
長類に記録された波長表ファイルが記憶された外部記憶
装置である。該外部記憶装置１３には、前述した印刷さ
れた波長表に記載されたデータの内１次Ｘ線のデータが
全て記憶されているものとする。外部記憶装置１３とし
ては、例えば、ディスク装置が用いられる。
第２図は本発明方法を実施するためのハードシステムの
構成例を示す図である。第２図において、１１は各種演
算処理及び制御を行うコンピュータ、１２は本発明方法
を実行するためのプログラムが格納された内部記憶装置
である。１３は元素名、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等
のデータを１レコード単位として、これらレコードが波
長類に記録された波長表ファイルが記憶された外部記憶
装置である。該外部記憶装置１３には、前述した印刷さ
れた波長表に記載されたデータの内１次Ｘ線のデータが
全て記憶されているものとする。外部記憶装置１３とし
ては、例えば、ディスク装置が用いられる。
１４は検索の結果等を表示する表示装置、１５はＸ線ス
ペクトルの波長範囲乃至はその他の情報等を入力覆る入
力装置、１６は表示装置１４と同様、検索の結果等を記
録する記録装置である。そして、これら装置はディジタ
ルバスで相互接続されている。表示装置１４としては例
えばＣＲＴが、入力１ｔｌ’１１５としては例えばキー
ボードが、記録装置１６としては例えばプリンタがそれ
ぞれ用いられる。以下、この装置を用いて本発明方法を
第１図のフローチャートに沿って説明する。以下に示す
ステップを示を数字は第１図の数字と対応している。
ペクトルの波長範囲乃至はその他の情報等を入力覆る入
力装置、１６は表示装置１４と同様、検索の結果等を記
録する記録装置である。そして、これら装置はディジタ
ルバスで相互接続されている。表示装置１４としては例
えばＣＲＴが、入力１ｔｌ’１１５としては例えばキー
ボードが、記録装置１６としては例えばプリンタがそれ
ぞれ用いられる。以下、この装置を用いて本発明方法を
第１図のフローチャートに沿って説明する。以下に示す
ステップを示を数字は第１図の数字と対応している。
（１）波長範囲を入力装置１５から入力する。
試料を波長分散型Ｘ線分光器を有するＸ線マイクロアナ
ライザで定性分析を行うと第６図に示すようなＸ線スペ
クトルが得られる。操作者は、このＸ線スペクトルを基
にしてＸ線スペクトルの波長範囲を入力装置１５から入
力する。例えば、ビークｄ１をもつ第１のスペクトルの
波長範囲λ１〜λ２を入力する。
ライザで定性分析を行うと第６図に示すようなＸ線スペ
クトルが得られる。操作者は、このＸ線スペクトルを基
にしてＸ線スペクトルの波長範囲を入力装置１５から入
力する。例えば、ビークｄ１をもつ第１のスペクトルの
波長範囲λ１〜λ２を入力する。
（２）外部記憶装置１３に記憶されている波長表ファイ
ルをオープンする。
ルをオープンする。
本発明方法では、印刷された波長表を操作者が頁をめく
って検索するのに代えて自動検索するものであるから、
外部記憶１ｆｉ１３に記憶されている波長表ファイルが
読出させる状態にすることが必要である。
って検索するのに代えて自動検索するものであるから、
外部記憶１ｆｉ１３に記憶されている波長表ファイルが
読出させる状態にすることが必要である。
（３）ＸＩＩの次数とレコード番号をそれぞれ１に初期
化する。
化する。
外部記憶装置１３内に記憶されている全ての波長表ファ
イルを重複することなく確実に読出ずために、このよう
な初期化が必要となる。今、ここではＸ線の次数をｎ、
レコード番号をｍとしてｎ＝１．ｍ ＝１と初期化する
。
イルを重複することなく確実に読出ずために、このよう
な初期化が必要となる。今、ここではＸ線の次数をｎ、
レコード番号をｍとしてｎ＝１．ｍ ＝１と初期化する
。
（４）波長表ファイルから１レコード（最初はｍ＝１）
のデータ〈元素基、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等）を
読込な。
のデータ〈元素基、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等）を
読込な。
具体的には、外部記憶装置１３内の波長表ファイルに記
憶されている１レコード単位の情報をコンピュータ１１
が読出し、内部に読込むことになる。
憶されている１レコード単位の情報をコンピュータ１１
が読出し、内部に読込むことになる。
（５）波長表ファイルが終りか否かを判断する。
波長表ファイルが最後のレコードである場合、ステップ
１２に進む。ファイルが終りでない場合には次に進む。
１２に進む。ファイルが終りでない場合には次に進む。
（６）ルコードデータ（最初はｍ＝１〉中のＸ線の波長
を次数倍する。Ｘ線の次数ｎ、波長λとしてｎλを求め
る。（最初はｎ＝＝１であるからｎλ＝λとなる）。ｎ
λを新たな波長λとする。
を次数倍する。Ｘ線の次数ｎ、波長λとしてｎλを求め
る。（最初はｎ＝＝１であるからｎλ＝λとなる）。ｎ
λを新たな波長λとする。
（７〉次数倍し・たＸＩａの波長λが、設定された入力
波長範囲（ここではλ１よりλ２まで）内にあるかどう
かを判断する。
波長範囲（ここではλ１よりλ２まで）内にあるかどう
かを判断する。
本発明では、入力装置１５より入力した波長範囲を満足
するレコードを検索することを目的としているから、予
め設定された波長範囲を満足するレコード庖検索してい
る。
するレコードを検索することを目的としているから、予
め設定された波長範囲を満足するレコード庖検索してい
る。
（８）次数倍した波長λが入力波長範囲の下限以上であ
るか否かを判定し、そうである場合（λ≧２１）には次
のステップに進み、そうでない場合（λくλ１）にはレ
コード番号ｍに１をプラスして（４）に戻る。即ち、■
＋１を新たなｍとして（４）に戻る。
るか否かを判定し、そうである場合（λ≧２１）には次
のステップに進み、そうでない場合（λくλ１）にはレ
コード番号ｍに１をプラスして（４）に戻る。即ち、■
＋１を新たなｍとして（４）に戻る。
波長λが入力波長範囲の下限λ１よりも短い場合（λく
λ１）には、当該波長が記憶されたレコード（最初はｍ
−１）は不適当となるので、次のレコードを検索ずべ（
ｍ４−ｍ＋ｉとして、ステップ４に戻るのである。
λ１）には、当該波長が記憶されたレコード（最初はｍ
−１）は不適当となるので、次のレコードを検索ずべ（
ｍ４−ｍ＋ｉとして、ステップ４に戻るのである。
（９）次数倍した波長λが入力波長範囲の上限以下であ
るか否かを判定し、そうである場合（λ≦２２）には次
のステップに進み、そうでない場合〈λ〉λ２）にはス
テップ（１２）に進む。
るか否かを判定し、そうである場合（λ≦２２）には次
のステップに進み、そうでない場合〈λ〉λ２）にはス
テップ（１２）に進む。
λ〉λ２の場合には、その次数における要件を満足する
レコードは残っていないので、ステップ（１２）に進む
。
レコードは残っていないので、ステップ（１２）に進む
。
（１０）ここまでに到達した波長λはλ１≦λ≦λ２を
満足しているので、対応するレコードｍのデータ（元素
芯、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等）と、次数ｎを内部
記憶装置１２内の所定の変数に記憶させる。
満足しているので、対応するレコードｍのデータ（元素
芯、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等）と、次数ｎを内部
記憶装置１２内の所定の変数に記憶させる。
最終工程で、入力波長範囲を満足するレコードを外部に
出力するために必要な工程である。
出力するために必要な工程である。
（１１）レコード番号ｍに１をプラスして（４）に戻る
。
。
入力波長範囲を満足するレコードが同じ次数ｎで他にも
存在しうるので、次のレコードを検索する必要がある。
存在しうるので、次のレコードを検索する必要がある。
ｎｚ−ｍ＋１として（４）に戻る。
（１２）次ｖｌｎが１０以上であるか否かを調べ、そう
である場合（ｎ≧１０＞には次に進み、そうでない場合
（ｎ＜１０）には次数に１をプラスしたものを新たな次
数、レコード番号を１に再設定して（４）に戻る。
である場合（ｎ≧１０＞には次に進み、そうでない場合
（ｎ＜１０）には次数に１をプラスしたものを新たな次
数、レコード番号を１に再設定して（４）に戻る。
本実施例ではＸ線の次数が１０までのものを検索するよ
うにしているので、次数ｎが１０を越えると以下の工程
（条件を満足するレコードを出力表示する工程）に進む
、次数ｎが１０より小さい場合（ｎ−く１０）には、ｎ
＋１を新たな次数ｎとして、レコードもｍ＝１に初期化
して（４）に戻り新たな次数について上述した波長表検
索を行う。
うにしているので、次数ｎが１０を越えると以下の工程
（条件を満足するレコードを出力表示する工程）に進む
、次数ｎが１０より小さい場合（ｎ−く１０）には、ｎ
＋１を新たな次数ｎとして、レコードもｍ＝１に初期化
して（４）に戻り新たな次数について上述した波長表検
索を行う。
新たな次数について入力波長範囲を満足するレコードが
存在しうるからである。
存在しうるからである。
（１３）記憶していた変数を全て読出して表示装置１４
又は記録装置１６に出力表示させる。
又は記録装置１６に出力表示させる。
これ以下の工程は最終工程である。条件を満足するレコ
ード及び次数が所定の変数に記憶されているので、これ
ら変数を内部記憶装置１２から全て読出して、表示装置
１４上に表示させるか、或いは記録装置１６でプリント
アウトさせる。これにより、入力波長範囲（ここではλ
１〜λ２）を満足する元素芯、Ｘ線の種類等を操作者は
知ることができる。入力波長範囲を指定してやるだけで
、以後自動で波長表検索を行い、出力表示をしてくれる
ので、操作者の負担は格段に軽減する。
ード及び次数が所定の変数に記憶されているので、これ
ら変数を内部記憶装置１２から全て読出して、表示装置
１４上に表示させるか、或いは記録装置１６でプリント
アウトさせる。これにより、入力波長範囲（ここではλ
１〜λ２）を満足する元素芯、Ｘ線の種類等を操作者は
知ることができる。入力波長範囲を指定してやるだけで
、以後自動で波長表検索を行い、出力表示をしてくれる
ので、操作者の負担は格段に軽減する。
（１４）波長表ファイルをクローズする。
この工程でシーケンスを終了するので、外部記憶装置１
３内の波長表ファイルを元の記憶状態に戻す。
３内の波長表ファイルを元の記憶状態に戻す。
以上説明したシーケンスを要約すると以下の通りである
。同一の次数ｎでｍ＝１のレコードから順に波長範囲を
満足するレコードを捜すべく検索を行い、波長範囲を外
れたら、それまでの次数ｎに１を加えた次数（ｎ＋１＞
を次数ｎとしてｍ＝１のレコード（最初のレコード）か
ら順に波長範囲を満足するレコードを捜すべく検索を行
う。このような波長表検索シーケンスを次数ｎが１０に
なるまで繰り返して条件を満足しているレコードをピッ
クアップしていく。ｎ ＝ Ｉ Ｑになったらピックア
ップしたレコードをまとめて出力表示する。
。同一の次数ｎでｍ＝１のレコードから順に波長範囲を
満足するレコードを捜すべく検索を行い、波長範囲を外
れたら、それまでの次数ｎに１を加えた次数（ｎ＋１＞
を次数ｎとしてｍ＝１のレコード（最初のレコード）か
ら順に波長範囲を満足するレコードを捜すべく検索を行
う。このような波長表検索シーケンスを次数ｎが１０に
なるまで繰り返して条件を満足しているレコードをピッ
クアップしていく。ｎ ＝ Ｉ Ｑになったらピックア
ップしたレコードをまとめて出力表示する。
尚、必要に応じて他のＸ線スペクトル（第６図参照）の
波長範囲（例えば２３〜λ４）を入力させて、波長表検
索を行わせることができる。
波長範囲（例えば２３〜λ４）を入力させて、波長表検
索を行わせることができる。
第２図に示すハードシステムにおいて、実施例では入力
装置１５をバスに接続しているが、代わりに第３図に示
すように表示装置１４乃至は記録装置１６に接続してら
よい。（イ）は表示装置１４に接続づる場合を、（ロ）
は記録装置１６に接続する場合を示している。又、第４
図に示すように表示装置１４に記録装置１６を接続して
もよい。
装置１５をバスに接続しているが、代わりに第３図に示
すように表示装置１４乃至は記録装置１６に接続してら
よい。（イ）は表示装置１４に接続づる場合を、（ロ）
は記録装置１６に接続する場合を示している。又、第４
図に示すように表示装置１４に記録装置１６を接続して
もよい。
バスを用いて相互接続する限り、同様の機能を持たせる
ことができる。又、出力表示装置は表示装置１４．記録
装置１６のうちの１台でもよい。
ことができる。又、出力表示装置は表示装置１４．記録
装置１６のうちの１台でもよい。
上述の説明においては、Ｘ線の波長範囲を検索のための
パラメータとして入力したが、代わりに分光結晶の種類
と、プラグ角θ又はｓｉｎθ又は２ｒ ｓｉｎθの範囲
を入力してやり、波長範囲はく１）式から内部演埠によ
り求めるようにしてもよい。
パラメータとして入力したが、代わりに分光結晶の種類
と、プラグ角θ又はｓｉｎθ又は２ｒ ｓｉｎθの範囲
を入力してやり、波長範囲はく１）式から内部演埠によ
り求めるようにしてもよい。
又、上）小の説明ではルコードを構成するデータの１つ
に元素を用いたが代わりに原子番号を用いてもよい。元
素と原子番号とは１対１に対応しているからである。又
、Ｘ線波長範囲の代わりに試料と分光結晶間の距離４の
範囲を入力するようにしてもよい。４の範囲から波長範
囲を求めることができるからである。
に元素を用いたが代わりに原子番号を用いてもよい。元
素と原子番号とは１対１に対応しているからである。又
、Ｘ線波長範囲の代わりに試料と分光結晶間の距離４の
範囲を入力するようにしてもよい。４の範囲から波長範
囲を求めることができるからである。
前述のステップ（１３）では元素芯、Ｘ線の秤類、１次
Ｘ線の波長の次敢倍及び次数を出力表示さけたが、これ
に加えて、分光結晶の種類を与えてやって入力波長から
プラグ角θ又はｓｉｎθを逆算して求めて出力表示して
やってもよい。更にＸ線のエネルギーを計算して出力表
示するようにしてもよい。
Ｘ線の波長の次敢倍及び次数を出力表示さけたが、これ
に加えて、分光結晶の種類を与えてやって入力波長から
プラグ角θ又はｓｉｎθを逆算して求めて出力表示して
やってもよい。更にＸ線のエネルギーを計算して出力表
示するようにしてもよい。
更に又、１波長分についてのデータをルコード単位とし
たが、１元素分のＸ線の種類、１次Ｘ線の波長データを
ルコード単位とし、各レコード毎に指定した波長！２！
囲を検索するようにしてもよい。
たが、１元素分のＸ線の種類、１次Ｘ線の波長データを
ルコード単位とし、各レコード毎に指定した波長！２！
囲を検索するようにしてもよい。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば、コンピュ
ータを使って外部記憶装置に記憶されている波長表ファ
イルを指定した波長範囲について検索し、その波長範囲
内のＸ線を発生する元素とＸ線の梗類０次数、波長等を
調べる事ができる為、Ｘ線スペクトルより試料中に存在
する元素の判定を短時間で容易に行える。そして、操作
者の負担も軽減される。
ータを使って外部記憶装置に記憶されている波長表ファ
イルを指定した波長範囲について検索し、その波長範囲
内のＸ線を発生する元素とＸ線の梗類０次数、波長等を
調べる事ができる為、Ｘ線スペクトルより試料中に存在
する元素の判定を短時間で容易に行える。そして、操作
者の負担も軽減される。
第１図は本発明方法の一実施例を示ずフローチャート、
第２図は本発明方法を実施するためのハードシステムの
構成例を示す図、第３図、第４図はハードシステムの他
の構成例を示づ図、第５図はＸ線マイクロアナライ＋ｆ
の原理説明図、第６図は得られたＸ線スペクトル例を示
す図である。 １・・・試料 ２・・・分光結晶３・・・Ｘ
線検出器 １１・・・コンピュータ１２・・・内部
記憶装置 １３・・・外部記憶装置１４・・・表示装青
１５・・・入力装置１６・・・記録装置 特許出願人 日本電子株式会社 代 理 人 弁理士 井島藤治 外１名 第２図 第３ 図 第５図 １１試料 ２、分光結晶
第２図は本発明方法を実施するためのハードシステムの
構成例を示す図、第３図、第４図はハードシステムの他
の構成例を示づ図、第５図はＸ線マイクロアナライ＋ｆ
の原理説明図、第６図は得られたＸ線スペクトル例を示
す図である。 １・・・試料 ２・・・分光結晶３・・・Ｘ
線検出器 １１・・・コンピュータ１２・・・内部
記憶装置 １３・・・外部記憶装置１４・・・表示装青
１５・・・入力装置１６・・・記録装置 特許出願人 日本電子株式会社 代 理 人 弁理士 井島藤治 外１名 第２図 第３ 図 第５図 １１試料 ２、分光結晶
Claims (1)
- 元素名、Ｘ線の種類、１次Ｘ線の波長等のデータを１レ
コード単位として、これらレコードが複数個記録された
波長表ファイルが記憶された記憶装置を予め用意してお
き、Ｘ線の波長範囲を入力データとして与えた場合に、
記憶装置に記憶されている波長表ファイルを順次検索し
、入力データとして与えた波長範囲内のＸ線を発生する
元素名、Ｘ線の種類、Ｘ線の波長等を出力するようにし
たことを特徴とするＸ線マイクロアナライザの波長表検
索方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61007229A JPH07113616B2 (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | Ｘ線マイクロアナライザの波長表検索方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61007229A JPH07113616B2 (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | Ｘ線マイクロアナライザの波長表検索方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62165143A true JPS62165143A (ja) | 1987-07-21 |
| JPH07113616B2 JPH07113616B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=11660161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61007229A Expired - Fee Related JPH07113616B2 (ja) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | Ｘ線マイクロアナライザの波長表検索方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07113616B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58210556A (ja) * | 1982-05-31 | 1983-12-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析装置 |
| JPS60135848A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Shimadzu Corp | エレクトロンプロ−ブマイクロアナライザによる定性分析方法 |
-
1986
- 1986-01-16 JP JP61007229A patent/JPH07113616B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58210556A (ja) * | 1982-05-31 | 1983-12-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析装置 |
| JPS60135848A (ja) * | 1983-12-26 | 1985-07-19 | Shimadzu Corp | エレクトロンプロ−ブマイクロアナライザによる定性分析方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07113616B2 (ja) | 1995-12-06 |
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