JPH0749319A - 蛍光ｘ線分析方法 - Google Patents
蛍光ｘ線分析方法Info
- Publication number
- JPH0749319A JPH0749319A JP21485793A JP21485793A JPH0749319A JP H0749319 A JPH0749319 A JP H0749319A JP 21485793 A JP21485793 A JP 21485793A JP 21485793 A JP21485793 A JP 21485793A JP H0749319 A JPH0749319 A JP H0749319A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- fluorescent
- rays
- spectrum data
- conditions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 定量測定、計算の条件設定で人為的な設定ミ
スをなくし、条件設定の手間を軽減し、専門的な知識が
なくても精度良く定量分析を行うことができる蛍光Ｘ線
分析方法を提供すること。 【構成】 試料３に対してＸ線２を照射し、そのとき発
生する蛍光Ｘ線５を検出器４で検出し、この検出器４の
出力に基づいてスペクトルデータを得るようにした蛍光
Ｘ線分析方法において、前記スペクトルデータの形状か
ら試料の種類を判定し、試料系統によってその試料に最
適の計算条件を自動的に設定して濃度計算を行うように
した。
スをなくし、条件設定の手間を軽減し、専門的な知識が
なくても精度良く定量分析を行うことができる蛍光Ｘ線
分析方法を提供すること。 【構成】 試料３に対してＸ線２を照射し、そのとき発
生する蛍光Ｘ線５を検出器４で検出し、この検出器４の
出力に基づいてスペクトルデータを得るようにした蛍光
Ｘ線分析方法において、前記スペクトルデータの形状か
ら試料の種類を判定し、試料系統によってその試料に最
適の計算条件を自動的に設定して濃度計算を行うように
した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料に対してＸ線を照
射し、そのとき発生する蛍光Ｘ線を検出器で検出し、検
出器の出力に基づいてスペクトルデータを得るようにし
た蛍光Ｘ線分析方法に関する。
射し、そのとき発生する蛍光Ｘ線を検出器で検出し、検
出器の出力に基づいてスペクトルデータを得るようにし
た蛍光Ｘ線分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の蛍光Ｘ線分析方法は、Ｘ線を発生
するＸ線源から試料に対してＸ線を照射し、そのとき試
料から発せられる蛍光Ｘ線をＸ線検出器で検出し、この
検出器の出力をコンピュータなどのデータ収集装置で処
理することにより、図４に示すようなスペクトルデータ
を得ていた。この図４において、横軸に蛍光Ｘ線のエネ
ルギー（単位は例えばｋｅＶ）を表し、縦軸はカウント
数（単位はｃｐｓ）を表している。
するＸ線源から試料に対してＸ線を照射し、そのとき試
料から発せられる蛍光Ｘ線をＸ線検出器で検出し、この
検出器の出力をコンピュータなどのデータ収集装置で処
理することにより、図４に示すようなスペクトルデータ
を得ていた。この図４において、横軸に蛍光Ｘ線のエネ
ルギー（単位は例えばｋｅＶ）を表し、縦軸はカウント
数（単位はｃｐｓ）を表している。
【０００３】前記スペクトルデータは、試料に含まれる
元素の濃度に応じた高さのピーク（例えば図４において
符号ｐ1 で示す）を有する。従って、このピークｐ1 を
基にして、試料に含まれる元素の濃度を計算によって求
めることができる。
元素の濃度に応じた高さのピーク（例えば図４において
符号ｐ1 で示す）を有する。従って、このピークｐ1 を
基にして、試料に含まれる元素の濃度を計算によって求
めることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ナトリウム
より原子量が小さい所謂軽元素が試料に含まれている場
合、このような軽元素からの蛍光Ｘ線は、前記Ｘ線検出
器で検出しにくいため、試料が酸化物であるか、純粋な
金属試料であるかの判断がしにくい場合がある。そし
て、試料中に含まれる物質の組成比を求める場合、前記
の条件（試料が酸化物であるか金属であるかなど）を入
力してやる必要があるが、試料系の判断については、試
験担当員など人間が行わなければならない。
より原子量が小さい所謂軽元素が試料に含まれている場
合、このような軽元素からの蛍光Ｘ線は、前記Ｘ線検出
器で検出しにくいため、試料が酸化物であるか、純粋な
金属試料であるかの判断がしにくい場合がある。そし
て、試料中に含まれる物質の組成比を求める場合、前記
の条件（試料が酸化物であるか金属であるかなど）を入
力してやる必要があるが、試料系の判断については、試
験担当員など人間が行わなければならない。
【０００５】また、所謂一点校正を採用している方法に
おいては、同じ試料系で既知の試料を予め測定してお
き、このときのデータを用いて濃度計算を行うことによ
って分析精度を上げていた。しかしながら、この場合に
おいても、試料によってどの一点校正のデータを使用す
るかの判断は人間が行う必要がある。
おいては、同じ試料系で既知の試料を予め測定してお
き、このときのデータを用いて濃度計算を行うことによ
って分析精度を上げていた。しかしながら、この場合に
おいても、試料によってどの一点校正のデータを使用す
るかの判断は人間が行う必要がある。
【０００６】このように、従来の蛍光Ｘ線分析方法にお
いては、定量分析の条件設定を試験担当者など人間が個
々に行う必要があったため、条件設定のための専門的な
知識が要求されるといった問題があるとともに、条件の
設定ミスなど人為的なエラーが発生しやすく、その結
果、分析結果にエラーが生じやすいといった問題があっ
た。
いては、定量分析の条件設定を試験担当者など人間が個
々に行う必要があったため、条件設定のための専門的な
知識が要求されるといった問題があるとともに、条件の
設定ミスなど人為的なエラーが発生しやすく、その結
果、分析結果にエラーが生じやすいといった問題があっ
た。
【０００７】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、定量測定、計算の条件設定で人為
的な設定ミスをなくし、条件設定の手間を軽減し、専門
的な知識がなくても精度良く定量分析を行うことができ
る蛍光Ｘ線分析方法を提供することにある。
もので、その目的は、定量測定、計算の条件設定で人為
的な設定ミスをなくし、条件設定の手間を軽減し、専門
的な知識がなくても精度良く定量分析を行うことができ
る蛍光Ｘ線分析方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、試料に対してＸ線を照射し、そのとき発
生する蛍光Ｘ線を検出器で検出し、この検出器の出力に
基づいてスペクトルデータを得るようにした蛍光Ｘ線分
析方法において、前記スペクトルデータの形状から試料
の種類を判定し、試料系統によってその試料に最適の計
算条件を自動的に設定して濃度計算を行うようにしてい
る。
め、本発明は、試料に対してＸ線を照射し、そのとき発
生する蛍光Ｘ線を検出器で検出し、この検出器の出力に
基づいてスペクトルデータを得るようにした蛍光Ｘ線分
析方法において、前記スペクトルデータの形状から試料
の種類を判定し、試料系統によってその試料に最適の計
算条件を自動的に設定して濃度計算を行うようにしてい
る。
【０００９】そして、本発明においては、前記試料系統
によってその試料に適した計算条件を自動的に設定して
濃度計算を行うのに代えて、予め登録されている複数の
１点校正データのなかからその試料に最適のものを自動
的に選択して濃度計算を行うようにしてもよく、また、
予め登録されている複数の検量線のなかからその試料に
最適のものを自動的に選択して濃度計算を行うようにし
てもよい。
によってその試料に適した計算条件を自動的に設定して
濃度計算を行うのに代えて、予め登録されている複数の
１点校正データのなかからその試料に最適のものを自動
的に選択して濃度計算を行うようにしてもよく、また、
予め登録されている複数の検量線のなかからその試料に
最適のものを自動的に選択して濃度計算を行うようにし
てもよい。
【００１０】
【作用】本発明の蛍光Ｘ線分析方法は、例えばコンピュ
ータに複数の既知の試料のスペクトルデータとその試料
に最適な計算条件を予め登録しておく。ある試料を測定
し、その定量分析を行うに際しては、まず、そのスペク
トルデータの形状からその試料の種類を判定をし、予め
登録しておいた条件のうち、その試料に最適のものを自
動的に設定して、濃度計算を行う。これにより、定量測
定、計算の条件設定で人為的な設定ミスがなくなるとと
もに、人間が操作する手間が低減される。
ータに複数の既知の試料のスペクトルデータとその試料
に最適な計算条件を予め登録しておく。ある試料を測定
し、その定量分析を行うに際しては、まず、そのスペク
トルデータの形状からその試料の種類を判定をし、予め
登録しておいた条件のうち、その試料に最適のものを自
動的に設定して、濃度計算を行う。これにより、定量測
定、計算の条件設定で人為的な設定ミスがなくなるとと
もに、人間が操作する手間が低減される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【００１２】まず、図３は、本発明の蛍光Ｘ線分析方法
を実施するための装置の全体構成を概略的に示す図で、
この図において、１はＸ線２を発生するＸ線源、３は試
料、４は試料３に対するＸ線２の照射により試料３にお
いて発生する蛍光Ｘ線５を検出するＸ線検出器、６はＡ
Ｄ変換器、７はマルチチャンネルアナライザ、８はコン
ピュータである。
を実施するための装置の全体構成を概略的に示す図で、
この図において、１はＸ線２を発生するＸ線源、３は試
料、４は試料３に対するＸ線２の照射により試料３にお
いて発生する蛍光Ｘ線５を検出するＸ線検出器、６はＡ
Ｄ変換器、７はマルチチャンネルアナライザ、８はコン
ピュータである。
【００１３】上記蛍光Ｘ線分析装置においては、Ｘ線源
１から発せられたＸ線２が試料３に照射され、試料３か
ら発せられる蛍光Ｘ線５をＸ線検出器４で検出し、その
出力信号をＡＤ変換器６、マルチチャンネルアナライザ
７を経てコンピュータ８においてスペクトルデータとし
て読み取る。
１から発せられたＸ線２が試料３に照射され、試料３か
ら発せられる蛍光Ｘ線５をＸ線検出器４で検出し、その
出力信号をＡＤ変換器６、マルチチャンネルアナライザ
７を経てコンピュータ８においてスペクトルデータとし
て読み取る。
【００１４】次に、上記蛍光Ｘ線分析装置を用いて本発
明の蛍光Ｘ線分析方法を実施する手順について、図１お
よび図２を参照しながら説明する。
明の蛍光Ｘ線分析方法を実施する手順について、図１お
よび図２を参照しながら説明する。
【００１５】まず、組成が既知である試料を前記蛍光Ｘ
線分析装置を用いて測定し、得られたスペクトルデータ
とそのときの試料を定量計算するのに最適な計算の条件
（例えば化合物であればその化学式、水溶液であれば希
釈した成分の化学式などのパラメータなど）を併せてコ
ンピュータ８に登録する。これを複数個の既知の試料に
対して行い、図１に示すように、試料のスペクトルデー
タと、試料に関する情報、最適な計算条件とを関連付け
てコンピュータ８に予め登録しておく。
線分析装置を用いて測定し、得られたスペクトルデータ
とそのときの試料を定量計算するのに最適な計算の条件
（例えば化合物であればその化学式、水溶液であれば希
釈した成分の化学式などのパラメータなど）を併せてコ
ンピュータ８に登録する。これを複数個の既知の試料に
対して行い、図１に示すように、試料のスペクトルデー
タと、試料に関する情報、最適な計算条件とを関連付け
てコンピュータ８に予め登録しておく。
【００１６】次に、ある試料を定量分析する手順につい
て、図２を参照しながら説明すると、試料を前記蛍光Ｘ
線分析装置を用いて測定し、得られたスペクトルデータ
と、コンピュータ８に予め登録しておいた既知試料のス
ペクトルデータとを比較し（ステップＳ１）、どの既知
試料と一致するかを判断する（ステップＳ２）。
て、図２を参照しながら説明すると、試料を前記蛍光Ｘ
線分析装置を用いて測定し、得られたスペクトルデータ
と、コンピュータ８に予め登録しておいた既知試料のス
ペクトルデータとを比較し（ステップＳ１）、どの既知
試料と一致するかを判断する（ステップＳ２）。
【００１７】そして、登録しておいたどの既知試料と同
系統の試料であるかの判定ができれば、ステップＳ２に
おいてＹＥＳの方向に進み、コンピュータ８に併せて登
録しておいた計算条件を自動で選択し（ステップＳ
３）、設定された条件で定量計算を行う（ステップＳ
４）。
系統の試料であるかの判定ができれば、ステップＳ２に
おいてＹＥＳの方向に進み、コンピュータ８に併せて登
録しておいた計算条件を自動で選択し（ステップＳ
３）、設定された条件で定量計算を行う（ステップＳ
４）。
【００１８】また、登録されている既知試料のなかで、
測定試料に対応したものがない場合は、ステップＳ２に
おいてＮＯの方向に進み、従来通り人間が条件を設定し
（ステップＳ５）、この設定された条件で定量計算を行
う（ステップＳ４）。
測定試料に対応したものがない場合は、ステップＳ２に
おいてＮＯの方向に進み、従来通り人間が条件を設定し
（ステップＳ５）、この設定された条件で定量計算を行
う（ステップＳ４）。
【００１９】上記実施例によれば、ある試料を測定し、
その定量分析を行うに際しては、まず、そのスペクトル
データの形状からその試料の種類を判定をし、予め登録
しておいた条件のうち、その試料に最適のものを自動的
に設定して、濃度計算を行えばよいから、定量測定、計
算の条件設定で人為的な設定ミスがなくなるとともに、
人間が操作する手間が低減される。
その定量分析を行うに際しては、まず、そのスペクトル
データの形状からその試料の種類を判定をし、予め登録
しておいた条件のうち、その試料に最適のものを自動的
に設定して、濃度計算を行えばよいから、定量測定、計
算の条件設定で人為的な設定ミスがなくなるとともに、
人間が操作する手間が低減される。
【００２０】本発明は、上述の実施例に限られるもので
はなく、種々に変形して実施することができる。例えば
組成だけでなく、濃度も既知の試料があれば、その試料
を測定し、一点校正用のデータとしてコンピュータ８に
登録するパラメータに加えておき、ある試料を測定した
ときに、１点校正のデータを持つ登録試料と同じ系列で
あれば、この１点校正データを自動で選択して濃度計算
してもよい。このようにした場合、定量計算の精度を向
上させることができる。
はなく、種々に変形して実施することができる。例えば
組成だけでなく、濃度も既知の試料があれば、その試料
を測定し、一点校正用のデータとしてコンピュータ８に
登録するパラメータに加えておき、ある試料を測定した
ときに、１点校正のデータを持つ登録試料と同じ系列で
あれば、この１点校正データを自動で選択して濃度計算
してもよい。このようにした場合、定量計算の精度を向
上させることができる。
【００２１】また、検量線を作成しておき、これを併せ
てコンピュータ８に登録することにより、ある試料を測
定したときに、その試料に最適な検量線を自動で選択し
て濃度計算してもよい。この場合、人間が検量線を選択
する手間がなくなる。
てコンピュータ８に登録することにより、ある試料を測
定したときに、その試料に最適な検量線を自動で選択し
て濃度計算してもよい。この場合、人間が検量線を選択
する手間がなくなる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
定量計算に際して自動で計算の条件が設定されるので、
設定ミスなど人為的なエラーをなくすことができ、測定
精度が向上される。そして、条件設定のための蛍光Ｘ線
分析の専門的知識がなくても誰にでも簡単に行なえる。
また、分析操作に人間が介在する部分が少なくなり、そ
れだけ省人化が促進される。
定量計算に際して自動で計算の条件が設定されるので、
設定ミスなど人為的なエラーをなくすことができ、測定
精度が向上される。そして、条件設定のための蛍光Ｘ線
分析の専門的知識がなくても誰にでも簡単に行なえる。
また、分析操作に人間が介在する部分が少なくなり、そ
れだけ省人化が促進される。
【図１】本発明の蛍光Ｘ線分析方法における登録段階の
一例を示す説明図である。
一例を示す説明図である。
【図２】前記蛍光Ｘ線分析方法における定量計算段階の
一例を示す説明図である。
一例を示す説明図である。
【図３】前記蛍光Ｘ線分析方法を実施するための装置の
一例を概略的に示す図である。
一例を概略的に示す図である。
【図４】従来技術を説明するためのスペクトルデータを
示す図である。
示す図である。
２…Ｘ線、３…試料、４…検出器、５…蛍光Ｘ線。
Claims (3)
- 【請求項１】 試料に対してＸ線を照射し、そのとき発
生する蛍光Ｘ線を検出器で検出し、この検出器の出力に
基づいてスペクトルデータを得るようにした蛍光Ｘ線分
析方法において、前記スペクトルデータの形状から試料
の種類を判定し、試料系統によってその試料に最適の計
算条件を自動的に設定して濃度計算を行うことを特徴と
する蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項２】 試料に対してＸ線を照射し、そのとき発
生する蛍光Ｘ線を検出器で検出し、この検出器の出力に
基づいてスペクトルデータを得るようにした蛍光Ｘ線分
析方法において、前記スペクトルデータの形状から試料
の種類を判定し、予め登録されている複数の１点校正デ
ータのなかからその試料に最適のものを自動的に選択し
て濃度計算を行うことを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。 - 【請求項３】 試料に対してＸ線を照射し、そのとき発
生する蛍光Ｘ線を検出器で検出し、この検出器の出力に
基づいてスペクトルデータを得るようにした蛍光Ｘ線分
析方法において、前記スペクトルデータの形状から試料
の種類を判定し、予め登録されている複数の検量線のな
かからその試料に最適のものを自動的に選択して濃度計
算を行うことを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21485793A JPH0749319A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21485793A JPH0749319A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0749319A true JPH0749319A (ja) | 1995-02-21 |
Family
ID=16662706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21485793A Pending JPH0749319A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 蛍光ｘ線分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749319A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7170970B2 (en) | 2004-08-06 | 2007-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorescent X-ray analysis method and fluorescent X-ray analysis apparatus |
| JP2007057314A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 特定物質の含有判定方法およびその装置 |
-
1993
- 1993-08-05 JP JP21485793A patent/JPH0749319A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7170970B2 (en) | 2004-08-06 | 2007-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorescent X-ray analysis method and fluorescent X-ray analysis apparatus |
| JP2007057314A (ja) * | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 特定物質の含有判定方法およびその装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20110125291A (ko) | 엑스선 단층 촬영을 이용한 재료 내부의 밀도 분석방법 | |
| JP2848751B2 (ja) | 元素分析方法 | |
| JPH10318946A (ja) | エネルギー分散型ｘ線分析装置 | |
| JP2841258B2 (ja) | 蛍光ｘ線定性分析方法 | |
| JP2928688B2 (ja) | 汚染元素分析方法及び装置 | |
| JPH0749319A (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| US10557808B2 (en) | Method and apparatus for discriminating resin | |
| JP3610256B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP3907890B2 (ja) | Ｘ線元素分析装置 | |
| JPH0247542A (ja) | Ｘ線分光器を用いた定量分析方法 | |
| JP3052272B2 (ja) | スペクトル処理を用いた蛍光ｘ線定性分析方法 | |
| KR0170435B1 (ko) | 오염 원소 농도 분석 방법 | |
| JPS5930213B2 (ja) | 機器分析方法 | |
| JP3146195B2 (ja) | Ｘ線マッピング装置 | |
| JP2713120B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JP2920687B2 (ja) | Ｘ線マッピング装置 | |
| JP4630490B2 (ja) | Ｘ線マッピング分析方法 | |
| GB1561405A (en) | Method of measuring the disintegration rate of a beta-emitting radionuclide in liquid sample | |
| JP3389161B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置およびこれに使用する記録媒体 | |
| JP2522224B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| JPH06123719A (ja) | 螢光ｘ線定性分析方法 | |
| JPS6170444A (ja) | 電子線微小分析装置における濃度分析方法 | |
| JPH0752163B2 (ja) | 波長分散型ｘ線分光器による簡易定量分析法 | |
| USH922H (en) | Method for analyzing materials using x-ray fluorescence | |
| JP3377328B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 |