JP4100330B2 - 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 - Google Patents
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Description
受光光学系における物側の開口数NA=sinw
で表されるものである。しかし、受光光学系における物側の開口数NAを小さくしすぎると、開口絞り34を通過する光量が減少するので、画像が暗くなって光学的画像分解能が低減し、計測位置精度が悪くなる。従って、薄膜測定装置11においては、受光光学系の光学的画像分解能が低下し過ぎることのない範囲で、距離変動時の反射光強度の変化ができるだけ小さくなるように、受光光学系における物側の開口数NA=sinw(あるいは、開口絞り34の孔径)を決定して最適な値としている。
投光光学系における像側の開口数NA=sinu
で表されるものである。測定対象物23の表面が正反射面であるとすれば、測定対象物23で反射される光の広がりは、投光光学系における像側の開口数NAによって決まる。また、受光光学系における物側の開口数NAとは、前記のように、測定対象物23から出て開口絞り34を通過する計測光Lの広がり角を2wとするとき、
受光光学系における物側の開口数NA=sinw
で表されるものである。図9(b)に示すように、この広がり角2wは、開口絞り34から想定される入射瞳34´の小孔34a´に対して測定対象物23の上の点が張る角度であるということもできる。
ここで、
Ra(λ):波長λの光に対する薄膜反射率
Ta(λ):波長λの光に対する薄膜透過率
Rb(λ):波長λの光に対する基板裏面反射率
Tb(λ):波長λの光に対する基板裏面透過率
Rc(λ):波長λの光に対する背景反射率
z:表面反射受光効率
y:裏面反射受光効率
である。(1)式の各項については、以下に順次説明する。
Rz(λ)=Ra(λ)×z …(3)
と表わすことができる。これが上記(1)式の第1項である。
Ta2(λ)×Rb(λ) …(4)
となる。
Ta2(λ)×Rb(λ)×y …(5)
と表わすことができる。これが上記(1)式の第2項である。
Ta2(λ)×Tb2(λ)×Rc(λ) …(6)
となる。また、この背景反射光L4も裏面反射光L3と同様に基板46による拡散の影響を受けると考えられるので、背景48で反射されて実際に撮像部36で受光される背景反射光L4の反射率は、裏面反射受光効率yを用いて
Ta2(λ)×Tb2(λ)×Rc(λ)×y …(7)
と表わすことができる。これが上記(1)式の第3項である。
y=(Sa−Rza)/Rba …(9)
{Ta2×Rb+Ta2×Tb2×Rc}
が背景の反射率として計測されるので、図17のステップS4において理論式R(λ)を求める処理が簡単になる。
12 センサヘッド部
13 演算処理部
14 ディスプレイ装置
15 入出力機器
19 投光部
20 受光部
23 測定対象物
30 光源
34 開口絞り
35 マルチ分光フィルタ
36 撮像部
46 基板
47 薄膜
48 背景
49 ステージ
50 サンプル基板
Claims (7)
- 測定対象物に向けて光を照射する投光部と、測定対象物で反射した光を取り込む撮像手段と、前記撮像手段で取り込んだ光の分光特性に基づいて測定対象物表面の薄膜の膜厚又は光学定数を求める演算処理部とを備えた薄膜測定装置であって、
前記演算処理部は、
測定対象物を測定対象物設置位置から除去した状態において前記設置位置の背景から入射する光の分光特性を考慮して、透明な基板の表面に薄膜を形成された測定対象物を前記設置位置に設置した状態において前記測定対象物で反射した光の分光特性の理論式を算出する機能を備え、
前記測定対象物を前記設置位置に設置した状態において前記測定対象物に照射した光の反射光より取得した分光特性と、前記理論式とを比較することにより、薄膜の膜厚又は光学定数を求めるように構成されている
ことを特徴とする薄膜測定装置。 - 測定対象物を載置するための、黒色アルマイト処理を施されたステージを備えていることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜測定装置。
- 測定対象物が透明基板の上に薄膜を形成されたものである場合と、測定対象物が不透明基板の上に薄膜を形成されたものである場合とで計測方法を切替え可能とし、
透明基板の上に薄膜を形成された測定対象物の場合には、測定対象物に照射した光の反射光より取得した分光特性と、測定対象物の前記背景から入射した光の分光特性を考慮して算出された測定対象物による反射光の分光特性の理論式とを比較することにより、薄膜の膜厚又は光学定数を求めるようにし、
不透明基板の上に薄膜を形成された測定対象物の場合には、測定対象物に照射した光の反射光より取得した分光特性と、前記背景からの入射光の分光特性を考慮しない測定対象物による反射光の分光特性の理論式とを比較することにより、薄膜の膜厚又は光学定数を求めるようにした、
ことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜測定装置。 - 測定対象物の複数点において薄膜の膜厚又は光学定数を求めるようにしたことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜測定装置。
- 液晶表示パネルやプラズマディスプレイデバイス等の画像表示デバイスの製造ラインに組み込まれた、請求項1に記載の薄膜測定装置。
- 測定対象物に向けて光を照射する投光部と、測定対象物で反射した光を取り込む撮像手段とを備え、前記撮像手段で取り込んだ光の分光特性に基づいて測定対象物表面の薄膜の膜厚又は光学定数を求めるようにした薄膜測定方法であって、
測定対象物の設置されていない測定対象物設置位置に前記投光部から光を照射することにより、背景から入射する光の分光特性を取得する工程と、
透明な基板の表面に薄膜を形成された測定対象物を測定対象物設置位置に設置し、該測定対象物に前記投光部から光を照射することにより、測定対象物で反射された光の分光特性を取得する工程と、
背景から入射した光の前記分光特性を用いて、測定対象物による反射光の分光特性の理論式を求める工程と、
測定対象物で反射された光の前記分光特性と、測定対象物による反射光の分光特性の前記理論式とを比較することにより、薄膜の膜厚又は光学定数を求める工程と、
を備えた薄膜測定方法。 - 測定対象物に向けて光を照射する投光部と、測定対象物で反射した光を取り込む撮像手段とを備え、前記撮像手段で取り込んだ光の分光特性に基づいて測定対象物表面の薄膜の膜厚又は光学定数を求めるようにした薄膜測定方法であって、
測定対象物設置位置における背景部材の光学定数に基づいて背景から入射する光の分光特性を求める工程と、
透明な基板の表面に薄膜を形成された測定対象物を測定対象物設置位置に設置し、該測定対象物に前記投光部から光を照射することにより、測定対象物で反射された光の分光特性を取得する工程と、
背景から入射した光の前記分光特性を用いて、測定対象物による反射光の分光特性の理論式を求める工程と、
測定対象物で反射された光の前記分光特性と、測定対象物による反射光の分光特性の前記理論式とを比較することにより、薄膜の膜厚又は光学定数を求める工程と、
を備えた薄膜測定方法。
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