JP2005265655A - 分光反射率測定装置、膜厚測定装置および分光反射率測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】膜厚測定装置は、複数の波長にそれぞれ対応する複数の単色画像を取得する撮像部32を有し、撮像部32により参照基板上のパターンを示す複数の参照単色画像が取得される。補正係数設定部51では複数の参照単色画像を用いて特定画素からの距離に応じた複数の補正係数の設定が行われる。続いて、撮像部32により対象基板上のパターンを示す複数の測定単色画像が取得され、複数の測定単色画像のそれぞれについて、特定画素および特定画素の周囲の画素の値、並びに、複数の補正係数を用いて特定画素の値が補正される。これにより、分光反射率算出部52において補正後の特定画素の値に基づいて特定画素に対応する対象基板上の測定点における反射率が精度よく求められる。
【選択図】図3
Description
4 コンピュータ
6 単色画像
9 基板
21 ステージ移動機構
31 光源
32 撮像部
33 光学系
34 フィルタユニット
51 補正係数設定部
52 分光反射率算出部
53 膜厚算出部
71,71a,71b パターン
341 フィルタ
511 補正係数算出部
S12,S13,S15〜S17 ステップ
Claims (9)
- 測定対象物の分光反射率を測定する分光反射率測定装置であって、
対象物を撮像して、複数の波長にそれぞれ対応する複数の単色画像を取得する撮像部と、
前記撮像部により取得された参照対象物の複数の参照単色画像を用いて、特定の画素からの距離に応じた複数の補正係数の設定が行われる補正係数設定部と、
前記撮像部により取得された測定対象物上の所定の領域の複数の測定単色画像のそれぞれについて、特定の画素の補正後の値を、前記特定の画素および前記特定の画素の周囲の画素の値、並びに、前記複数の補正係数を用いて求め、前記補正後の値に基づいて前記特定の画素に対応する前記測定対象物上の位置の反射率を求める分光反射率算出部と、
を備えることを特徴とする分光反射率測定装置。 - 請求項1に記載の分光反射率測定装置であって、
前記補正係数設定部が、
前記複数の参照単色画像のそれぞれに基づいて、前記複数の補正係数を未知数として、前記特定の画素の既知の補正後の値および前記特定の画素の周囲の画素の値のそれぞれに補正係数を実質的に乗算し、複数の乗算後の値の和を前記特定の画素の値とする方程式を求め、前記複数の参照単色画像から求められた連立方程式を解くことにより前記複数の補正係数を求める補正係数算出部を有することを特徴とする分光反射率測定装置。 - 請求項1または2に記載の分光反射率測定装置であって、
前記複数の参照単色画像のそれぞれが、互いに異なる波長における前記参照対象物上の所定のパターンを示す画像であり、前記複数の測定単色画像も前記所定のパターンを示すことを特徴とする分光反射率測定装置。 - 請求項1または2に記載の分光反射率測定装置であって、
前記複数の参照単色画像のそれぞれが一の波長において互いに異なるパターンを示す画像であり、前記補正係数設定部により前記複数の補正係数の設定が波長毎に行われ、
前記分光反射率算出部において、測定単色画像の波長に応じて演算に使用される複数の補正係数が選択されることを特徴とする分光反射率測定装置。 - 請求項4に記載の分光反射率測定装置であって、
同一パターンの位置を互いに変更した複数の画像が前記複数の参照単色画像に含まれることを特徴とする分光反射率測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の分光反射率測定装置であって、
前記補正係数設定部および前記分光反射率算出部において、前記特定の画素からほぼ同一の距離に存在する複数の画素の値が1つの代表値に置き換えられて取り扱われることを特徴とする分光反射率測定装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の分光反射率測定装置であって、
多波長の光を出射する光源と、
前記光源からの光を対象物上へと導くとともに前記対象物からの反射光を前記撮像部へと導く光学系と、
それぞれが互いに異なる複数の波長の光を透過する複数のフィルタを有し、前記複数のフィルタのうち一のフィルタを選択的に前記光源から対象物へと至る光路上に配置するフィルタユニットと、
をさらに備えることを特徴とする分光反射率測定装置。 - 測定対象物上に形成された膜の厚さを測定する膜厚測定装置であって、
請求項1ないし7のいずれかに記載の分光反射率測定装置と、
測定対象物を前記分光反射率測定装置の前記撮像部に対して相対的に移動する移動機構と、
前記分光反射率測定装置の前記撮像部により取得された画像に基づいて前記移動機構を制御する制御部と、
前記分光反射率測定装置にて求められた分光反射率に基づいて前記測定対象物上に形成された膜の厚さを求める膜厚算出部と、
を備えることを特徴とする膜厚測定装置。 - 測定対象物の分光反射率を測定する分光反射率測定方法であって、
参照対象物を撮像して複数の参照単色画像を取得する工程と、
前記複数の参照単色画像を用いて、特定の画素からの距離に応じた複数の補正係数の設定を行う工程と、
測定対象物上の所定の領域を撮像して複数の波長のそれぞれに対応する複数の測定単色画像を取得する工程と、
前記複数の測定単色画像のそれぞれについて、特定の画素の補正後の値を、前記特定の画素および前記特定の画素の周囲の画素の値、並びに、前記複数の補正係数を用いて求める工程と、
前記補正後の値に基づいて前記特定の画素に対応する前記測定対象物上の位置の反射率を求める工程と、
を備えることを特徴とする分光反射率測定方法。
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