RU2300077C1 - Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды - Google Patents

Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды Download PDF

Info

Publication number
RU2300077C1
RU2300077C1 RU2005134710/28A RU2005134710A RU2300077C1 RU 2300077 C1 RU2300077 C1 RU 2300077C1 RU 2005134710/28 A RU2005134710/28 A RU 2005134710/28A RU 2005134710 A RU2005134710 A RU 2005134710A RU 2300077 C1 RU2300077 C1 RU 2300077C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
wavelengths
oil product
thickness
water surface
measurement
Prior art date
Application number
RU2005134710/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Михаил Леонидович Белов (RU)
Михаил Леонидович Белов
Виктор Александрович Городничев (RU)
Виктор Александрович Городничев
Валентин Иванович Козинцев (RU)
Валентин Иванович Козинцев
Юрий Викторович Федотов (RU)
Юрий Викторович Федотов
Original Assignee
Научно Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана filed Critical Научно Исследовательский Институт Радиоэлектроники и лазерной техники (НИИ РЛ) Московского Государственного Технического Университета им. Н.Э. Баумана
Priority to RU2005134710/28A priority Critical patent/RU2300077C1/ru
Priority to US11/559,011 priority patent/US20070177163A1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2300077C1 publication Critical patent/RU2300077C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды включает облучение поверхности воды оптическим излучением на трех специальным образом выбранных длинах волн зондирования, регистрацию отраженного от поверхности сигнала и последующее определение толщины пленки по результатам измерения отраженного от поверхности сигнала на трех длинах волн зондирования. Для определения толщины пленки d длины волн зондирования λ1, λ2, λ3 выбирают из условий:
Figure 00000001
где n21), n22) - показатели преломления нефтепродукта на длинах волн λ1, λ2; λ3 равна длине волны максимума поглощения нефтепродукта. Технический результат - определение толщин пленок более 4-5 мкм. 2 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для оперативного контроля толщины пленок при разливе нефтепродуктов на речных, озерных и морских акваториях.
Известны способы измерения толщины пленки на поверхности материала [1-4], заключающиеся в том, что на поверхность пленки направляют оптическое излучение, регистрируют отраженный от поверхности сигнал, измеряют зависимость интенсивности отраженного сигнала от длины волны и определяют толщину пленки по результатам вычисления расстояния между экстремумами, числа экстремумов или параметров аппроксимации кривой зависимости интенсивности отраженного сигнала от длины волны в диапазоне перестройки.
Недостатком этих способов является возможность появления больших ошибок измерения в случае толстых пленок из-за ослабления излучения в пленке, особенно в условиях шумов (имеются в виду как внутренние шумы измерительной аппаратуры, так и внешние помехи, приводящие к флуктуациям принимаемого сигнала).
Избежать этого недостатка в случае толстых пленок нефтепродуктов (когда пропускание пленки существенно отличается от единицы) можно тем, что согласно способу измерения толщины пленки на поверхности материала, включающему облучение поверхности оптическим излучением, регистрацию отраженного от поверхности сигнала с последующим анализом зависимости интенсивности отраженного сигнала от длины волны, характеризующей толщину пленки, для облучения поверхности используют три длины волны зондирования λ1, λ2, λ3, выбранные из условий:
Figure 00000003
где n21), n22) - показатели преломления нефтепродукта на длинах волн λ1, λ2; λ3 равна длине волны максимума поглощения нефтепродукта, и определяют толщину пленки по результатам измерения отраженного от поверхности сигнала на этих трех длинах волн.
Наличие отличительного признака указывает на соответствие критерию "новизна".
Указанные признаки неизвестны в научно-технической и патентной литературе и поэтому предложенное техническое решение соответствует критерию "изобретательский уровень".
Предлагаемый способ можно реализовать с помощью устройства, содержащего источник излучения 1, направляющего излучение на трех специальным образом выбранных длинах волн зондирования λ1, λ2, λ3 на поверхность воды; фотоприемник 2 для регистрации излучения на трех длинах волн; блок обработки 3 для определения по результатам измерения отраженного от исследуемой поверхности сигнала на трех длинах волн зондирования толщины пленки 4 на поверхности воды 5 (см. фиг.1).
Устройство работает следующим образом. Оптическое излучение источника 1 на каждой из длин волн зондирования λ1, λ2, λ3 отражается пленкой нефтепродукта 4 (толщиной d) на поверхности воды 5, интенсивность отраженного излучения регистрируется фотоприемником 2, сигнал с фотоприемника поступает в блок обработки 3 для определения по результатам измерения величины d. При облете исследуемой акватории с целью контроля нефтяных загрязнений результатом работы блока 3 является массив данных о значении толщины пленки нефтепродуктов на исследуемой акватории.
Фотоприемник 2 регистрирует мощности излучения Р(λ1), Р(λ2), Р(λ3), отраженного исследуемой поверхностью, на трех длинах волн зондирования.
Каждая из мощностей Р(λ1), Р(λ2), Р(λ3) может быть представлена в виде (см., например, [6]):
P(λ)=ARref(λ, d),
Rref(λ, d) - коэффициент отражения трехслойной системы «воздух - пленка нефтепродукта - вода», зависящий от длины волны зондирования λ и толщины пленки d;
А - величина, зависящая от параметров источника излучения, приемника, расстояния до поверхности, неровностей водной поверхности (при зондировании, например, взволнованной морской поверхности) и слабо (по сравнению с множителем Rref(λ,d)) изменяющаяся с изменением длины волны излучения (так, что если длины волн излучения λ1 и λ2 близки, то A(λ1)≅А(λ2)).
Величина А во многих случаях точно неизвестна и часто даже является случайной (например, при зондировании взволнованной морской поверхности число отражающих площадок на морской поверхности в поле зрения приемника и их наклоны являются случайными).
Чтобы устранить влияние на результаты измерения случайных изменений мощности лазерных источников и неопределенности величин А, в блоке обработки 3 проводятся последовательно следующие процедуры:
- мощности Р(λ1), Р(λ2), Р(λ3) нормируются на мощности PS1), PS2), PS3), излучаемые источником лазерного локатора на длинах волн λ1, λ2, λ3:
Figure 00000004
- вычисляются следующие относительные величины:
Figure 00000005
и
Figure 00000006
(для упрощения описания метода считается, что длительности зондирующих импульсов и расходимость излучения локатора одинаковы для всех длин волн зондирования; если это не так, то различия могут быть учтены при обработке принимаемых лазерных локационных сигналов).
После описанных процедур обработки величины С1 и С2 с высокой степенью точности представляют собой отношение коэффициентов отражения поверхности на длинах волн λ1, λ3 и λ2, λ3 соответственно, и определяются при вертикальном падении излучения на поверхность следующим образом (с учетом того, что из данных, приведенных в [5], для нефти λ3≅3,41 мкм и из-за большого поглощения нефти на длине волны λ3≅3,41 при толщинах пленок больше 4-5 мкм Rref3, d)≈r1223))
Figure 00000007
Figure 00000008
где:
Figure 00000009
Figure 00000010
k2(λ) - показатель поглощения нефтепродукта, зависящий от длины волны λ;
r12(λ), r23(λ) - коэффициенты отражения на границах «воздух - пленка нефтепродукта» и «пленка нефтепродукта - вода», зависящие от длины волны λ и показателей преломления и поглощения сред и не зависящие от толщины пленки d (индексы 1, 2, 3 относятся, соответственно, к воздуху, нефтепродукту и воде).
Выберем длины волн λ1 и λ2 так, чтобы
Figure 00000011
При выполнении этого условия имеем: β(λ1, d)=2β(λ2, d). Это позволяет исключить из (1) тригонометрические функции и получить следующее выражение для определения толщины d для толстых пленок:
Figure 00000012
где:
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
T(λ2) - пропускание пленки на длине волны λ2.
Выражение (2) содержит данные измерений (величины С1 и С2), оптические константы (r12(λ), r23(λ), w) и величину Т, зависящую от толщины пленки нефтепродукта d. Находя (одним из численных методов) из (2) величину Т, можно однозначно определить толщину пленки d.
Описанные выше процедуры определения толщины пленки d хорошо работают, когда пропускание пленки Т существенно отличается от единицы.
Таким образом, описанный способ позволяет, используя три специальным образом выбранные длины волны зондирования, проводить измерения толщины толстых пленок, когда пропускание пленки существенно отличается от единицы (например, пленок нефтепродуктов при толщинах пленок больше 4-5 мкм).
Предлагаемый способ (использующий три специальным образом выбранные длины волны зондирования λ1, λ2, λ3) позволяет найти толщину пленки d по результатам измерений, не только решая в блоке обработки (например, используя встроенный спецпроцессор) нелинейные уравнения вида (2), (3), но и более простым способом - непосредственно из данных измерений, используя численный алгоритм определения d, основанный на поиске минимума невязки:
Figure 00000016
где:
С1, С2 - нормированные величины, определяемые из данных измерений на длинах волн зондирования λ1, λ2, λ3 (см. выше);
C11, λ3, d)mod, C22, λ3, d)mod - модельные значения соответствующих величин, зависящие от толщины пленки d (представляющие собой правые части формул (1)).
На фиг.2 приведены результаты математического моделирования работы дистанционного способа измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды. Здесь показана зависимость найденного (определенного численным алгоритмом (4)) значения толщины пленки d от заданного при моделировании значения толщины пленки для диапазона d≤100 мкм.
Заявляемое изобретение направлено, в частности, на решение задачи оперативного контроля толщины толстых пленок нефтепродуктов при аварийных разливах нефти и нефтепродуктов на речных, озерных и морских акваториях.
Измерительное устройство может быть собрано на предприятиях РФ из компонент и узлов, изготавливаемых в РФ, и соответствует критерию "промышленная применимость".
Источники информации
1. Устройство для автоматического измерения толщины пленки. Патент 3-57407. Япония. 1993 г. Кл. G01В 11/06. (РЖ Изобретения стран мира,1993, выпуск 82, N3, с.45).
2. Method of measuring film thickness. United States Patent. Patent Number: 4,645,349. Date of Patent: Feb. 24, 1987. Int. C1. G01В 11/06.
3. Дистанционный способ измерения толщины пленок. Патент РФ на изобретение №2168151 от 27.05.01. МКИ G01В 11/06.
4. Способ измерения толщины пленок на подложке. Патент РФ на изобретение №2207501 от 27.06.03. МКИ G01В 11/06.
5. Гуревич И.Я., Шифрин К.С. Отражение видимого и ИК-излучения нефтяными пленками на море // Оптические методы изучения океанов и внутренних водоемов. - Новосибирск: Наука, 1979. - С.166-176.
6. Оптико-электронные системы экологического мониторинга природной среды / Козинцев В.И., Орлов В.М., Белов М.Л. и др. М.: Изд-во МГТУ, 2002, 528 с.

Claims (1)

  1. Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды путем облучения поверхности оптическим излучением, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определения толщины пленки по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала от длины волны, отличающийся тем, что облучение поверхности проводят на трех длинах волны зондирования λ1, λ2, λ3, выбранных из условий
    Figure 00000017
    где n21), n22) - показатели преломления нефтепродукта на длинах волн λ1, λ2; λ3 равна длине волны максимума поглощения нефтепродукта,
    а толщину пленки определяют по результатам анализа интенсивности отраженного сигнала на этих трех длинах волн.
RU2005134710/28A 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды RU2300077C1 (ru)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005134710/28A RU2300077C1 (ru) 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды
US11/559,011 US20070177163A1 (en) 2005-11-10 2006-11-13 Method of and device for thickness measurement of thick petrochemical films on water surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005134710/28A RU2300077C1 (ru) 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2300077C1 true RU2300077C1 (ru) 2007-05-27

Family

ID=38310759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005134710/28A RU2300077C1 (ru) 2005-11-10 2005-11-10 Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20070177163A1 (ru)
RU (1) RU2300077C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105571499A (zh) * 2015-12-21 2016-05-11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种非接触光学元件中心厚度测量装置及测量方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101229372B1 (ko) * 2010-10-08 2013-02-05 대한민국 기름탐지시스템 및 이를 이용한 기름탐지방법
TWI486550B (zh) * 2014-01-20 2015-06-01 Nat Univ Tsing Hua 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4293224A (en) * 1978-12-04 1981-10-06 International Business Machines Corporation Optical system and technique for unambiguous film thickness monitoring
JPS6176904A (ja) * 1984-09-21 1986-04-19 Oak Seisakusho:Kk 膜厚測定方法
US5159408A (en) * 1991-03-27 1992-10-27 Hughes Danbury Optical Systems, Inc. Optical thickness profiler using synthetic wavelengths
US5153669A (en) * 1991-03-27 1992-10-06 Hughes Danbury Optical Systems, Inc. Three wavelength optical measurement apparatus and method
SE521927C2 (sv) * 1998-10-01 2003-12-16 Delsing Jerker Metod och anordning för interferometrimätning
US6710881B1 (en) * 1999-09-28 2004-03-23 Nanyang Technological University Heterodyne interferometry for small spacing measurement
US6611339B1 (en) * 2000-06-09 2003-08-26 Massachusetts Institute Of Technology Phase dispersive tomography
US6594025B2 (en) * 2001-07-12 2003-07-15 N&K Technology. Inc. Method of monitoring thin-film processes and metrology tool thereof
KR100437024B1 (ko) * 2001-10-18 2004-06-23 엘지전자 주식회사 박막 검사 방법 및 그 장치
JP4323991B2 (ja) * 2004-03-19 2009-09-02 大日本スクリーン製造株式会社 分光反射率測定装置、膜厚測定装置および分光反射率測定方法
US7365852B2 (en) * 2004-11-24 2008-04-29 Agilent Technologies, Inc. Methods and systems for selecting pathlength in absorbance measurements

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105571499A (zh) * 2015-12-21 2016-05-11 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种非接触光学元件中心厚度测量装置及测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20070177163A1 (en) 2007-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101371129B (zh) 表面等离子体共振传感器以及利用其检测样品的方法
US7333184B2 (en) Ground surface cover type reflectivity variation correction in a differential absorption LIDAR system
KR20040086806A (ko) 특정성분농도의 측정방법 및 측정장치
CN104076002A (zh) 用太赫兹波获取样本信息的信息获取装置和信息获取方法
Li et al. Transmission and surface intensity profiles in random media
US8958999B1 (en) Differential detection for surface plasmon resonance sensor and method
KR102075356B1 (ko) 시편 두께 측정 장치 및 시편 두께 측정 방법
US20140365158A1 (en) Laser ultrasound material testing
RU2304759C1 (ru) Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок
US20060012795A1 (en) Method of determining surface plasmon resonances at two-dimensional measurement surfaces
US5296711A (en) Technique for the remote detection of sea slicks
RU2300077C1 (ru) Дистанционный способ измерения толщины толстых пленок нефтепродуктов на поверхности воды
GB2197068A (en) Optical sensor device
KR101934069B1 (ko) 액체수위측정장치
US8280648B2 (en) Method for locating the appearance of a defect in a medium using a wave
JP2006226727A (ja) 吸収計測装置
JPH05172739A (ja) 超短パルス光を用いた超高速表面振動の測定法
RU2645008C1 (ru) Устройство для измерения длины распространения инфракрасной поверхностной электромагнитной волны
WO2020003303A2 (en) System for gauging fluids volume
RU2605640C2 (ru) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СПЕКТРАЛЬНОГО ПОКАЗАТЕЛЯ ОСЛАБЛЕНИЯ НАПРАВЛЕННОГО СВЕТА В МОРСКОЙ ВОДЕ "in situ"
CN113607658B (zh) 一种基于油膜灰度值获取油膜衰减系数的方法
JP2013088138A (ja) 屈折率測定装置および濃度測定装置並びにその方法
US6947145B2 (en) Measuring apparatus
RU2387977C1 (ru) Неконтактный способ обнаружения нефтяных загрязнений на поверхности воды
Yanza et al. A change of surface plasmon resonance (SPR) characteristics due to fluids type variation as a basic study of biosensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20071111