CN109425298B

CN109425298B - 线宽测量装置及方法

Info

Publication number: CN109425298B
Application number: CN201710776000.4A
Authority: CN
Inventors: 徐兵; 陈跃飞; 周畅
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2017-08-31
Filing date: 2017-08-31
Publication date: 2021-07-16
Anticipated expiration: 2037-08-31
Also published as: CN109425298A

Abstract

本发明提供了一种线宽测量装置和方法，通过获取所述标准基准板的图像在预设灰度值下对应的所述光源的第一电压、所述底座的光强分布、所述检测标记的光强分布和所述标准基准板的光强分布计算得出所述光源的第二电压，使所述第一检测单元形成的图像的对比度满足控制要求；调整所述光源的电压为所述第二电压，所述线宽测量装置在光源电压为第二电压时测量所述检测标记的线宽，可以有效避免由于光源的光强导致图像过明或过暗，使线宽测量装置无法正确测量线宽的问题，并且，本发明提供的调整光源的方法不需要人工干预，可以快速有效的寻找到最佳的光源光强，使测量效率大大提高。

Description

线宽测量装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种线宽测量装置及方法。

背景技术

线宽测量装置是对基片(例如LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)基片)的TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)或者半导体的掩模图形宽度、图形间隔等进行测量的装置，其也可以被称为尺寸测量装置。线宽测量装置进行线宽测量的主要原理是对形成在透明玻璃基片上的薄膜图形照射照明而取得的图形图像用显微镜进行放大，用CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)相机对该图像摄像而取得的图形图像进行图像处理，对尺寸和形状进行测量。

但现有的线宽测量装置对线宽进行测量时，其图像的比对度值直接影响线宽检测标记两侧边缘的检测，即过饱和及过暗都会导致线宽检测标记两侧边缘无法正确检测。

发明内容

本发明的目的在于提供一种线宽测量装置及方法，以解决现有技术中对线宽进行测量时，过饱和及过暗都导致线宽检测标记两侧边缘的无法正确检测等问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种线宽测量装置，所述线宽测量装置包括光源、第一光路、第二光路、第三光路、第四光路、第一检测单元及第二检测单元；其中，

所述光源发出的检测光经过所述第一光路后照射到一检测对象上形成第一信号光，所述第一光信号经过所述第二光路后照射到所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像；

所述光源发出的检测光经过所述第三光路后照射到所述检测对象上形成第二信号光，所述第二信号光经过所述第四光路后照射到所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布；

可选的，所述第一光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第一信号光；

可选的，所述第二光路上依次设置有第二镜组、第一透反棱镜和第三镜组，所述第一信号光经过所述第二镜组以形成平行的第一信号光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组，所述第三镜组将所述平行的第一信号光汇聚至所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像；

可选的，所述第三光路上依次设置有第四镜组、第二透反棱镜和第五镜组，所述光源发出的检测光至所述第四镜组后形成平行的检测光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第五镜组，所述第五镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第二信号光；

可选的，所述第四光路上依次设置有第五镜组和第二透反棱镜，所述第二信号光经过所述第五镜组以形成平行的第二信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第二信号光透射至所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布；

可选的，所述第一光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜、第二透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二透反棱镜，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一检测光透射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第一信号光；

可选的，所述第二光路上依次设置有第二镜组、第二透反棱镜、第三透反棱镜和第三镜组，所述第一信号光经过所述第二镜组以形成平行的第一信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第一透反棱镜，再由所述第一透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组，所述第三镜组将所述平行的第一信号光汇聚至所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像；

可选的，所述第三光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜、第二透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二透反棱镜，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一检测光透射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第二信号光；

可选的，所述第四光路上依次设置有第二镜组和第二透反棱镜，所述第二信号光经过所述第二镜组以形成平行的第二信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第二信号光透射至所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布；

可选的，所述光源包括卤素灯或白光LED；

可选的，所述第一检测单元包括CCD图像传感器或CMOS图像传感器；

可选的，所述第二检测单元包括光谱仪；

本发明还提供了一种线宽测量系统，包括所述线宽测量装置和运动台，所述运动台能够与所述线宽测量装置相对运动；其中，

所述运动台设置于底座上；

所述运动台上设置有透明的玻璃基板和不透明的标准基准板，所述玻璃基板上设置有检测标记；

可选的，所述玻璃基板上至少设置有一个检测标记；

本发明还提供了一种调整光源的方法，用于调整所述线宽测量系统的光源，其特征在于，所述调整光源的方法包括：

指定预设灰度值Ga，获取所述标准基准板的图像在预设灰度值Ga下对应的所述光源的第一电压Va；

获取所述底座的第一光强分布I0(λ)、所述标准基准板的第二光强分布IF(λ)和所述检测标记的第三光强分布IMi(λ)；

根据所述第一电压Va、所述第一光强分布I0(λ)、第二光强分布IF(λ)和所述第三光强分布IMi(λ)计算得出所述光源的第二电压Vxi，所述第二电压Vxi使所述第一检测单元形成的图像的灰度值满足控制要求；

调整所述光源的电压为所述第二电压Vxi；

可选的，指定预设灰度值Ga，获取所述标准基准板的图像在预设灰度值Ga下对应的所述光源的第一电压Va包括：

调整所述光源的电压为饱和电压Vh，获取所述标准基准板的第一图像，得到所述第一图像的第一灰度值Gh；

调整所述光源的电压为零电压，获取所述标准基准板的第二图像，得到所述第二图像的第二灰度值G0；

根据所述第一灰度值Gh和所述第二灰度值G0计算出对应所述预设灰度值Ga的所述第一电压Va；

可选的，根据所述第一灰度值Gh和所述第二灰度值G0计算出所述第一电压Va包括：

指定预设灰度值Ga；

通过公式Va＝Ga*Vh/(Gh-G0)计算出所述第一电压Va；

可选的，获取所述底座的第一光强分布I0(λ)、所述标准基准板的第二光强分布IF(λ)和所述检测标记的第三光强分布IMi(λ)包括：

调整所述光源的电压为参考电压V1；

可选的，通过以下公式得到所述第二电压Vxi：

Vxi＝RF/RMi*Va

其中，RF为所述光源主波长对应的RF(λ)表中的数值，RF(λ)为预先标定的所述第一标准基准板对应不同反射率的表，RMi为所述光源主波长对应RMi(λ)表中的数值，其中RMi(λ)为：

RMi(λ)＝[IMi(λ)-I0(λ)]/[IF(λ)-I0(λ)]·RF(λ)。

发明人研究发现，为了解决图案的过饱和和过暗的问题，可以在线宽测量之前对光源进行调整，调整的方法有人工干预，人工观测图像，直接调整光源光强，但人工干预主观性强，未必能找到合适的光源光强，影响线宽测量的重复性，时间也较长；或者通过在线自动调整光源，利用图像方法搜索到合适的光强，虽然使用图像的方法搜索，较为客观，但需反复调整光源，时间较长，当测量对象有多个检测标记或测试对象工艺条件较复杂时，测试效率不高。

本发明提供了一种线宽测量装置和方法，包括光源、第一光路、第二光路、第三光路、第四光路、第一检测单元及第二检测单元，通过获取所述标准基准板的图像在预设灰度值下对应的所述光源的第一电压、所述底座的光强分布、所述检测标记的光强分布和所述标准基准板的光强分布计算得出所述光源的第二电压，使所述第一检测单元形成的图像的灰度值满足控制要求；调整所述光源的电压为所述第二电压，所述线宽测量装置在光源电压为第二电压时测量所述检测标记的线宽，可以有效避免由于光源的光强导致图像过明或过暗，使线宽测量装置无法正确测量线宽的问题，并且，本发明提供的调整光源的方法不需要人工干预，可以快速有效的寻找到最佳的光源光强，使测量效率大大提高。

附图说明

图1为实施例一提供的线宽测量装置的示意图；

图2为实施例一提供的调整光源的方法的流程图；

图3为实施例二提供的线宽测量装置的示意图；

其中，100-运动台，101-玻璃基板，102-检测标记，103-标准基准板，200-光源，30-线宽测量组件，40-反射率测量组件，301-第一镜组，302-第一透反棱镜，303-第二镜组，304-第三镜组，305-第二透反棱镜，306-第四镜组，307第五镜组，300-第一检测单元，400-第二检测单元。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

实施例一

参阅图1，其为本实施例提供的线宽测量装置的示意图，如图1所示：所述线宽测量装置包括光源200、第一光路、第二光路、第三光路、第四光路、第一检测单元及第二检测单元；其中，

所述光源200发出的检测光经过所述第一光路后照射到一检测对象上形成第一信号光，所述第一光信号经过所述第二光路后照射到所述第一检测单元，所述第一检测单元300根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像；

所述光源发出的检测光经过所述第三光路后照射到所述检测对象上形成第二信号光，所述第二信号光经过所述第四光路后照射到所述第二检测单元，所述第二检测单元400根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布。

请继续参阅图1，所述线宽测量装置包括线宽测量组件30、反射率测量组件40和光源200。所述光源200可以是一个或两个卤素灯或白光LED，本实施例中，两个光源200分别位于所述线宽测量组件30和反射率测量组件40处，光源200发出的检测光波段宽，可应用于各种线宽测量领域。

所述线宽测量组件30包括第一光路和第二光路，所述第一光路上依次设置有第一镜组301、第一透反棱镜302和第二镜组303，所述光源200发出的检测光通常为一束汇聚的光线，所述检测光入射进所述第一镜组301，从所述第一镜组301出射的检测光为一组平行的光束，检测光平行入射至第一透反棱镜302再由所述第一透反棱镜302将所述平行的检测光反射至所述第二镜组303，所述第二镜组303为一汇聚镜组，可以将所述平行的检测光汇聚至检测对象上。所述检测光照射所述检测对象，并形成带有检测对象信息的第一光信号。

所述第二光路上依次设置有第二镜组303、第一透反棱镜302和第三镜组304，所述第一光信号再次沿着所述第二光路返回至所述第二镜组303，所述第一信号光经过所述第二镜组303以形成平行的第一信号光，从所述第二镜组303出射的第一信号光信号再次入射进所述第一透反棱镜302，所述第一透反棱镜302将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组304，再由所述第三镜组304将所述第一信号光汇聚至所述第一检测单元300，所述第一检测单元300根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像。优选的，所述第一检测单元300可以是CCD图像传感器或CMOS图像传感器。

所述反射率测量组件包括第三光路和第四光路，所述第三光路上依次设置有第四镜组306、第二透反棱镜305和第五镜组307，所述光源200发出的检测光入射进所述第四镜组306，从所述第四镜组306出射的检测光为一组平行的光束，检测光平行入射至第二透反棱镜305，再由所述第二透反棱镜305将所述平行的检测光反射至所述第五镜组307，所述第五镜组307为一汇聚镜组，可以将所述平行的检测光汇聚至检测对象上，所述检测光照射所述检测对象，并形成带有检测对象信息的第三光信号。

所述第四光路上依次设置有第五镜组307和第二透反棱镜305，所述第二信号光沿着所述第四光路返回至所述第五镜组307，经过所述第五镜组307以形成平行的第二信号光，再由所述第二透反棱镜305将所述平行的第二信号光透射至所述第二检测单元400，所述第二检测单元400根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布。优选的，所述第二检测单元400具体可以是一光谱仪。

本实施例还提供了一种线宽测量系统，包括所述线宽测量装置和运动台100；所述运动台100上设置在底座上，所述运动台100上设置有透明的玻璃基板101和不透明的标准基准板103，所述玻璃基板101上设置有检测标记102；所述运动台100能够与所述线宽测量装置相对运动。所述标准基准板103可以通过在Si衬底沉积SiO2膜制成，也可以用非Si衬底沉积其它类型材料制作，所述检测标记102为形成于所述玻璃基板101表面的图形，所述检测标记102的数量可以是一个或者多个，采用所述线宽测量装置测量所述检测标记102的线宽。优选的，所述线宽测量装置位于所述运动台100的上方，所述运动台100能够相对所述线宽测量装置水平运动，便于测量。

接下来请参阅图2，其为本实施例提供的调整光源的方法的流程图，如图2所示，所述调整光源的方法包括：

S1：指定预设灰度值Ga，获取所述标准基准板的图像在预设灰度值Ga下对应的所述光源的第一电压Va；

S2：获取所述底座的第一光强分布I0(λ)、所述标准基准板的第二光强分布IF(λ)和所述检测标记的第三光强分布IMi(λ)；

S3：根据所述第一电压Va、所述第一光强分布I0(λ)、第二光强分布IF(λ)和所述第三光强分布IMi(λ)计算得出所述光源的第二电压Vxi，所述第二电压Vxi使所述第一检测单元形成的图像的灰度值满足控制要求；

S4：调整所述光源的电压为所述第二电压Vxi。

本实施例提供的线宽测量装置包括线宽测量组件30和反射率测量组件40，通过线宽测量组件30获取所述标准基准板103的图像在预设灰度值Ga下对应的所述光源的第一电压、所述底座的光强分布、所述检测标记102的光强分布和所述标准基准板103的光强分布，计算出使所述第一检测单元300形成的图像的灰度值满足控制要求第二电压Vxi，所述线宽测量组件30在光源电压为第二电压时测量所述检测标记的线宽，可以有效避免由于光源的光强导致图像过明或过暗，使线宽测量装置无法正确测量线宽的问题，并且，本发明提供的调整光源的方法不需要人工干预，可以快速有效的寻找到使图像对比度达到控制要求的光源光强，使测量效率大大提高。

具体的，移动运动台100，使所述线宽测量组件30正对所述标准基准板103，将所述线宽测量组件30处光源200的电压调整至接近饱和电压Vh，所述第一检测单元300拍摄到第一图像，获取所述饱和电压Vh下第一图像的灰度值Gh(第一灰度值)；将所述线宽测量组件30处的光源200的电压调整至接近零电压，所述第一检测单元300拍摄到第二图像，获取所述零电压下第二图像的灰度值G0(第二灰度值)；指定一个预设灰度值Ga，以计算出所述标准基准板103的图像在预设灰度值Ga下对应的所述光源的第一电压Va，其中，

Va＝Ga*Vh/(Gh-G0)

例如，指定所述预设灰度值Ga为饱和值的80％，那么，所述第一电压均值电压Va为：

Va＝255*80％*Vh/(Gh-G0)。

接下来，移动运动台100，使所述反射率测量组件400正对所述底座，调整所述反射率测量组件40处光源200的电压为参考电压V1，其中，参考电压V1为任一能够使所述反射率测量组件工作的电压，所述反射率测量组件40照射底座，所述第二检测单元400获取底座(所述线宽测量系统所处背景)的第一光强分布I0(λ)；移动运动台100，使所述反射率测量组件40正对所述标准基准板103，所述反射率测量组件40照射标准基准板103，所述第二检测单元400获取标准基准板103的第二光强分布IF(λ)；移动运动台100，使所述反射率测量组件40正对检测标记102，所述反射率测量组件40照射检测标记102，所述第二检测单元400获取检测标记102的第三光强分布IMi(λ)(其中，i表示不同的检测标记102，i为大于等于1的整数)。

通过计算得出所述光源200的第二电压Vxi，该测量位置的第二电压Vxi为：

Vxi＝RF/RMi*Va

其中，RF为光源200主波长对应的RF(λ)表中的数值，RF(λ)为预先标定的标准基准板对应不同反射率的表(本领域技术人员应该理解，RF(λ)具体可以通过第三方设备获取)，RMi为光源200主波长对应RMi(λ)表中的数值，其中RMi(λ)为：

RMi(λ)＝[IMi(λ)-I0(λ)]/[IF(λ)-I0(λ)]·RF(λ)

通过以上步骤，计算出了所述光源200的第二电压Vxi，将所述线宽测量组件处的光源200的电压调整为第二电压Vxi，使用线宽测量组件30测量检测标记102的线宽，使所述第一检测单元300形成的图像的灰度值满足控制要求。所述第一检测单元300将所述检测标记102的图像转化为数字图像信号，通过图像处理方法，检测检测标记102的两条边缘线，计算出检测标记102的线宽值。

可以理解的是，所述控制要求并非唯一，可以根据具体的测量要求进行调整，例如，控制要求为图像的灰度值在饱和值的70％-80％，即最终所述第一测量组件30获取的图像的灰度值在178.5-204之间即满足控制要求。

实施例二

如图3所示，本实施例中，所述第一光路和所述第三光路重叠，并且共用一个光源200。

具体的，所述第一光路上依次设置有第一镜组301、第一透反棱镜302、第二透反棱镜305和第二镜组303，所述第一透反棱镜302和所述第二透反棱镜305位于同一轴线上，所述光源200发出检测光透过第一镜组301后形成平行的检测光，所述检测光平行入射至所述第一透反棱镜302，再由所述第一透反棱镜302将所述平行的检测光反射至所述第二透反棱镜305，检测光透过所述第二透反棱镜305后到达所述第二镜组303，所述第二镜组303将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第一信号光，可以理解的是，由于所述第一光路和所述第三光路重叠，这里对第三光路不做过多叙述。

所述第二光路上依次设置有第二镜组303、第二透反棱镜305、第一透反棱镜302和第三镜组304，所述第一信号光经过所述第二镜组303以形成平行的第一信号光，再由所述第二透反棱镜302将所述平行的第一信号光透射至所述第一透反棱镜，再由所述第一透反棱镜302将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组304，所述第三镜组304将所述平行的第一信号光汇聚至所述第一检测单元300，所述第一检测单元300根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像。

所述第四光路上依次设置有第二镜组303和第二透反棱镜305，所述第二信号光沿着所述第四光路返回所述第二镜组303，所述第二信号光透过所述第二镜组303后形成平行的第二信号光，再由所述第二透反棱镜303将所述平行的第二信号光反射至所述第二检测单元400，所述第二检测单元400根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布。

本实施例提供的线宽测量装置中，由于所述第一光路和所述第三光路共用一个光源200，节约了功耗，并且简化了整个装置，镜组更少，节约了制造成本，也缩小了装置的体积。

在调整光源时，与实施例一调整方法相似，移动运动台100，使所述线宽测量装置正对所述标准基准板103进行检测，通过调整光源200的电压，然后同样计算出标准基准板103预设灰度值对应的光源200的第一电压Va，接下来，移动运动台100，使所述线宽测量装置正对底座、标准基准板103和检测标记102，此时，光源200的电压为参考电压V1，获取底座的第一光强分布I0(λ)、标准基准板103的第二光强分布IF(λ)和检测标记102的第三光强分布IMi(λ)，通过计算得出所述光源200的第二电压Vxi，将所述线宽测量装置的光源200的电压调整为第二电压Vxi，使所述第一检测单元300形成的图像的灰度值满足控制要求，使用线宽测量装置测量检测标记102的线宽，所述第一检测单元300将所述检测标记102的图像转化为数字图像信号，通过图像处理方法，检测检测标记102的两条边缘线，计算出检测标记102的线宽值。

综上，在本发明实施例提供的一种线宽测量装置和方法中，包括光源、第一光路、第二光路、第三光路、第四光路、第一检测单元及第二检测单元，通过获取所述标准基准板的图像在预设灰度值下对应的所述光源的第一电压、所述底座的光强分布、所述检测标记的光强分布和所述标准基准板的光强分布计算得出所述光源的第二电压，使所述第一检测单元形成的图像的灰度值满足控制要求；调整所述光源的电压为所述第二电压，所述线宽测量装置在光源电压为第二电压时测量所述检测标记的线宽，可以有效避免由于光源的光强导致图像过明或过暗，使线宽测量装置无法正确测量线宽的问题，并且，本发明提供的调整光源的方法不需要人工干预，可以快速有效的寻找到最佳的光源光强，使测量效率大大提高。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种线宽测量装置，其特征在于，所述线宽测量装置包括光源、第一光路、第二光路、第三光路、第四光路、第一检测单元及第二检测单元；其中，

所述光源发出的检测光经过所述第一光路后照射到一检测对象上形成第一信号光，所述第一信号光经过所述第二光路后照射到所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像；

所述线宽测量装置通过获取一运动台上的标准基准板的图像在预设灰度值下对应的所述光源的第一电压、所述运动台上的透明的玻璃基板上的检测标记的光强分布、所述标准基准板的光强分布、所述运动台所在的底座的光强分布计算得出所述光源的第二电压，所述第二电压使所述第一检测单元形成的图像的灰度值满足控制要求，并调整所述光源的电压为所述第二电压。

2.如权利要求1所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第一光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第一信号光。

3.如权利要求2所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第二光路上依次设置有第二镜组、第一透反棱镜和第三镜组，所述第一信号光经过所述第二镜组以形成平行的第一信号光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组，所述第三镜组将所述平行的第一信号光汇聚至所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像。

4.如权利要求1所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第三光路上依次设置有第四镜组、第二透反棱镜和第五镜组，所述光源发出的检测光至所述第四镜组后形成平行的检测光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第五镜组，所述第五镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第二信号光。

5.如权利要求4所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第四光路上依次设置有第五镜组和第二透反棱镜，所述第二信号光经过所述第五镜组以形成平行的第二信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第二信号光反射至所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布。

6.如权利要求1所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第一光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜、第二透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二透反棱镜，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一检测光透射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第一信号光。

7.如权利要求6所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第二光路上依次设置有第二镜组、第二透反棱镜、第三透反棱镜和第三镜组，所述第一信号光经过所述第二镜组以形成平行的第一信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第一透反棱镜，再由所述第一透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组，所述第三镜组将所述平行的第一信号光汇聚至所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像。

8.如权利要求6所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第三光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜、第二透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二透反棱镜，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一检测光透射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第二信号光。

9.如权利要求8所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第四光路上依次设置有第二镜组和第二透反棱镜，所述第二信号光经过所述第二镜组以形成平行的第二信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第二信号光透射至所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布。

10.如权利要求1～9中任一项所述的线宽测量装置，其特征在于，所述光源包括卤素灯或白光LED。

11.如权利要求1～9中任一项所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第一检测单元包括CCD图像传感器或CMOS图像传感器。

12.如权利要求1～9中任一项所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第二检测单元包括光谱仪。

13.一种线宽测量系统，其特征在于，包括如权利要求1-12中任一项所述的线宽测量装置和运动台，所述运动台能够与所述线宽测量装置相对运动；其中，所述运动台设置于底座上；所述运动台上设置有透明的玻璃基板和不透明的标准基准板，所述玻璃基板上设置有检测标记。

14.如权利要求13所述的线宽测量系统，其特征在于，所述玻璃基板上至少设置有一个检测标记。

15.一种调整光源的方法，用于调整如权利要求13-14中任一项所述的线宽测量系统的光源，其特征在于，所述调整光源的方法包括：

调整所述光源的电压为所述第二电压Vxi。

16.如权利要求15所述的调整光源的方法，其特征在于，指定预设灰度值Ga，获取所述标准基准板的图像在预设灰度值Ga下对应的所述光源的第一电压Va包括：

根据所述第一灰度值Gh和所述第二灰度值G0计算出对应所述预设灰度值Ga的所述第一电压Va。

17.如权利要求16所述的调整光源的方法，其特征在于，根据所述第一灰度值Gh和所述第二灰度值G0计算出所述第一电压Va包括：

通过公式Va＝Ga*Vh/(Gh-G0)计算出所述第一电压Va。

18.如权利要求17所述的调整光源的方法，其特征在于，获取所述底座的第一光强分布I0(λ)、所述标准基准板的第二光强分布IF(λ)和所述检测标记的第三光强分布IMi(λ)包括：

调整所述光源的电压为参考电压V1；

在所述参考电压V1下，获取所述底座的第一光强分布I0(λ)、所述标准基准板的第二光强分布IF(λ)和所述检测标记的第三光强分布IMi(λ)。

19.如权利要求18所述的调整光源的方法，其特征在于，通过以下公式得到所述第二电压Vxi：

Vxi＝RF/RMi*Va

其中，RF为所述光源主波长对应的RF(λ)表中的数值，RF(λ)为预先标定的所述标准基准板对应不同反射率的表，RMi为所述光源主波长对应RMi(λ)表中的数值，其中RMi(λ)为：

RMi(λ)＝[IMi(λ)-I0(λ)]/[IF(λ)-I0(λ)]·RF(λ)。