JP4477197B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4477197B2 JP4477197B2 JP2000146872A JP2000146872A JP4477197B2 JP 4477197 B2 JP4477197 B2 JP 4477197B2 JP 2000146872 A JP2000146872 A JP 2000146872A JP 2000146872 A JP2000146872 A JP 2000146872A JP 4477197 B2 JP4477197 B2 JP 4477197B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- transistor
- region
- manufacturing
- ion implantation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特にメモリ回路を備えた半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
LSIの微細化の進展とともに、SRAM(Static Random Access Memory)のような実装密度が高い回路部分ではトランジスタを構成するゲート電極、コンタクト、素子分離層の位置的なマージンがほとんどなくなっている。そのため、コンタクトパターンニング時のわずかな目ずれ(位置ずれ)によって、素子分離層(酸化膜)をオーバーエッチングし易く、その結果、コンタクトプラグの下端部が、ソース・ドレイン層の底部付近にまで深くなり、接合リーク電流が増大してLSIの製造歩留まりの低下を招いている。
【0003】
図13は素子分離層がオーバーエッチングされた場合のコンタクトプラグ周辺を示す半導体装置の部分拡大平面図、図14は、コンタクトプラグが素子分離層側にはみ出している場合を示すソース・ドレイン拡散層の周辺を示す部分拡大断面側面図である。
【0004】
図14に示したように、コンタクトプラグ411、したがってコンタクトホールが、ソース・ドレイン拡散層414から素子分離層412側にはみ出すと、その箇所で素子分離層412がオーバーエッチングされる。そして、図14に示したように、素子分離層412がオーバーエッチングされた領域413では、コンタクトプラグ411の下端部がソース・ドレイン拡散層414の底部414Aの深さにまで達している(たとえば半導体基板表面から0.1μmの深さ)。
【0005】
そこで、従来は、この問題を解決するために、コンタクトホールを形成した後に不純物の補助注入を行い、ソース・ドレイン拡散層をコンタクトホール側で深くすることで、接合リーク電流を低減する方法が採られていた。
図15、図16は、従来プロセスでコンタクト補助注入をおこなった場合の工程を示す半導体装置の断面側面図である。図15はSRAM回路部のNMOSFET領域213(N型のMOSFET領域)に補助注入を行う工程を示し、一方、図16はSRAM回路部のPMOSFET領域214(P型のMOSFET領域)に補助注入を行う工程を示している。
【0006】
まず、図15に示したように、層間絶縁膜292にコンタクトホール294をエッチングにより形成した後、SRAM回路のNMOSFET領域213に、フォトレジスト層311を用いて選択的にたとえばホウ素を補助注入し、接合の深い領域322を形成する。
同ように、図16に示したように、SRAM回路のPMOSFET領域214にもレジスト321を用い、選択的にコンタクト補助注入を行い、接合の深い領域322を形成する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
これにより接合リーク電流を低減させることが可能であるが、この従来の方法では、フォトレジスト層311、321によるマスクを用いて不純物を補助注入するための上述のような工程が必要であり、そのため工程数が増してコスト高になるという欠点がある。
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、その目的は、接合リーク電流による製造歩留まりの低下を低コストで回避できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するため、半導体基板上にメモリ回路を構成する第1のトランジスタと、前記メモリ回路の入出力回路を構成する、前記第1のトランジスタと同一の導電型の第2のトランジスタとを形成する半導体装置の製造方法であって、前記半導体基板の上に複数の素子分離層を形成した後、前記素子分離層により分離された各領域にそれぞれ前記第1および第2のトランジスタのゲート電極を形成し、前記半導体基板の表面にフォトレジスト層を形成した後、前記第1のトランジスタのソース・ドレイン領域と前記素子分離層との境界領域、および前記第2のトランジスタの前記ゲート電極の周辺領域に開口を形成して半導体基板表面を露出させ、前記第1のトランジスタの前記ゲート電極周辺にLDDを形成するためのイオン注入より大きな値のエネルギーによる第1のイオン注入を、前記フォトレジスト層の前記開口を通じて行い前記第2のトランジスタの前記ゲート電極の周辺領域にLDDを形成するとともに、前記第1のトランジスタのソース・ドレイン領域と前記素子分離層との前記境界領域に補助注入領域を形成し、その後、第2のイオン注入を行って前記第1のトランジスタの前記ゲート電極周辺にLDDを形成し、さらに前記第1および第2のトランジスタの本来の不純物濃度のソース・ドレインを形成した上で、前記半導体基板の表面全体に層間絶縁膜を形成し、前記層間絶縁膜に各トランジスタのソース・ドレインへ至るコンタクトホールを開口させて各トランジスタのソース・ドレインに接続するコンタクトプラグを形成することを特徴とする。
【0009】
このように、本発明では、第2のトランジスタのLDDを形成する際に、同時に第1のトランジスタのソース・ドレイン領域と素子分離層との境界領域にイオン注入を行うので、工程数を増すことなく補助注入領域を形成でき、接合リーク電流による製造歩留まりの低下を低コストで回避することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態例について図面を参照して説明する。
図1の(A)は本発明による半導体装置の製造方法の一例におけるイオン注入工程を示す半導体装置の断面側面図、(B)は同平面図、(C)は同部分断面側面図である。また、図2ないし図11は本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【0011】
まず、図1を参照して概要を説明する。
図1の(A)および(B)に示したように、シリコンから成る半導体基板211上に素子分離層212、ゲート電極221をパターンニングし、SRAM回路201のNMOSFET領域213およびPMOSFET領域214(本発明にかかわる第1のトランジスタの領域)、ならびに入出力回路202のNMOSFET領域215およびPMOSFET領域216(本発明に係わる第2のトランジスタの領域)を形成する。
【0012】
そして、入出力回路202のNMOSFET領域215のLDD(Lightly Doped Drain)領域232を形成すために、フォトレジスト層231を介しイオン注入を行うが、その際、NMOSFET領域213の素子分離層212の周辺領域233にも同時にイオン注入を行う。
その後、領域214、216にも同様にイオン注入を行った上で、層間絶縁膜292(図1の(C))を形成し、コンタクトホール294を開口させ、コンタクトプラグ298を形成して、図1の(C)に示した構造を得る。
【0013】
この構造では、図1の(C)に示したように、コンタクトホール294のパターンニング時の目ずれによって(領域132)コンタクトプラグ298の下端部が通常より深い位置(たとえば半導体基板表面から0.1μm)となった場合でも、上述のように入出力回路202のLDDを形成するためのイオン注入により、NMOSFET領域213の素子分離層212の周辺領域にも同時にイオン注入が行われているので、素子分離層212近傍の領域132の箇所でソース・ドレイン拡散層が厚くなる(たとえば0.15μm)。その結果、ソース・ドレイン接合リーク電流が抑えられる。
【0014】
次に、本実施の形態例について詳細に説明する。
まず、図2に示したように、半導体基板211上に素子分離層212を形成する。素子分離層212により区切られた各領域がそれぞれSRAM回路201のNMOSFET領域213、SRAM回路201のPMOSFET領域214、入出力回路202のNMOSFET領域215、ならびに入出力回路202のPMOSFET領域216となる。
【0015】
つづいて、それぞれの領域にウェルを形成、しきい値調整注入を行った後、図3に示したように、各領域にゲート電極221を形成する。
次に、図4に示したように、NMOSFET領域215およびNMOSFET領域213に隣接する素子分離層212の周辺領域233において開口するフォトレジスト層231を形成し、開口部を通じ露出している半導体基板211の箇所にイオン注入を行う。
【0016】
通常、この工程は入出力回路202のNMOSFET領域215に選択的にイオン注入を行ってLDD領域232を形成するために行われるが、本実施の形態例では、補助注入領域234も同時に形成される。
このイオン注入では、N型の不純物として、たとえばリンを用い、SRAM回路201のNMOSFET領域213の本来のソース・ドレイン拡散領域より深い拡散領域を形成するために、より強いイオン注入を行うべくエネルギーは10keV〜20keV、ドーズ量は1×1013cm-2とする。これによりLDD領域232および補助注入領域234の接合深さは0.15μm程度となる。
【0017】
LDD領域232の形成は、ホットキャリア耐性を良くするために従来より、このような高エネルギーで行われており、従来と同じ条件でイオン注入を行うことで、補助注入領域234においても必要な接合深さを確保することができる。
次に、図5に示したように、フォトレジスト層241を形成し、入出力回路202のPMOSFET領域216、およびPMOSFET領域214に隣接する素子分離層212の周辺領域243に対して選択的にイオン注入を行う。これにより、LDD領域242、および補助注入領域244が形成される。
【0018】
通常、この工程は入出力回路202のPMOSFET領域216に選択的にイオン注入を行ってLDD領域242を形成するために行われるが、本実施の形態例では、上述のように補助注入領域244も同時に形成される。
このイオン注入では、P型の不純物として、たとえばホウ素を用い、SRAM回路201のPMOSFET領域214の本来のソース・ドレイン拡散領域より深い拡散領域を形成するために、より強いイオン注入を行うべくエネルギーは20〜30keV、ドーズ量は1×1014cm-2とする。これによりLDD領域242および補助注入領域244の接合深さは0.15μm程度となる。
LDD領域242の形成は、ホットキャリア耐性を良くするために従来より、このような高エネルギーで行われており、従来と同じ条件でイオン注入を行うことで、補助注入領域244においても必要な接合深さを確保することができる。
【0019】
その後、図6に示したように、フォトレジスト層251を形成し、SRAM回路201のNMOSFET領域213に選択的にイオン注入を行ってLDD領域252を形成する。このイオン注入にはN型不純物ヒ素を用い、エネルギーは1〜10keV、ドーズ量は1×1014〜1×1015cm-2とする。
【0020】
同様に、図7に示したように、フォトレジスト層261を形成し、SRAM回路201のPMOSFET領域214に選択的にイオン注入を行ってLDD領域262を形成する。このイオン注入にはP型不純物としてホウ素を用い、エネルギーは0.1〜10keV、ドーズ量は1×1014〜1×1015cm-2とする。そして、上記不純物の活性化のための熱処理を行う。
【0021】
つづいて、図8に示したように、サイドウォールスペーサー271を形成した後、フォトレジスト層272を形成し、SRAM回路201および入出力回路202のNMOSFET領域213、215に選択的にイオン注入を行って本来の不純物濃度のソース・ドレイン領域273を形成する。このイオン注入にはN型不純物としてヒ素を用い、エネルギーは30keV、ドーズ量は5×1015cm-2とする。これにより接合深さは0.1μm程度となる。
【0022】
同様に、図9に示したように、フォトレジスト層281を形成し、SRAM回路201および入出力回路202のPMOSFET領域214、216に選択的にイオン注入を行ってソース・ドレイン領域282を形成する。このイオン注入にはP型不純物としてホウ素を用い、エネルギーは5keV、ドーズ量は5×1015cm-2として、0.1μm程度の接合深さを得る。
【0023】
つづいて、図10に示したように、ゲート電極221および各ソースドレイン領域の表面部291をシリサイド化した上で、層間絶縁膜292を形成する。さらにフォトレジスト層293を形成し、コンタクトホール294をエッチングにより形成する。
その後、図11に示したように、コンタクトプラグ298および第1層配線299を形成する。
【0024】
このように形成した半導体装置では、図10に示したように、コンタクトパターンニングの目ずれによって素子分離層212にはみ出した部分295では、図のように素子分離層212の一部もエッチングされてしまい、コンタクトプラグ298はその箇所で半導体基板211内に侵入した状態となる。
しかし、本実施の形態例では、補助注入領域234、244が形成されているため、この箇所でソース・ドレイン拡散領域は深くなっており、したがって、接合リーク電流が大きくなることはない。
そして、補助注入領域234、244は、上述のようにNMOSFET領域215およびPMOSFET領域216のLDD領域を形成する際に同時に形成されるので、従来のように補助注入領域234、244を形成するために工程を追加する必要がない。
【0025】
図12は実施の形態例の製造方法により作製した多数の半導体装置で接合リーク電流を測定した結果を示すグラフである。横軸は接合リーク電流、縦軸は接合リーク電流に関する累積確率を示し、曲線2は本実施の形態例の場合、曲線4は従来の場合の測定結果をそれぞれ示している。なお、測定では接合電圧は2.1Vとした。
このグラフから分かるように、本実施の形態例では、接合リーク電流は2桁程度の大幅な減少となっている。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように本発明では、第2のトランジスタのLDDを形成する際に、同時に第1のトランジスタのソース・ドレイン領域と素子分離層との境界領域にイオン注入を行うので、工程数を増すことなく補助注入領域を形成でき、接合リーク電流による製造歩留まりの低下を低コストで回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明による半導体装置の製造方法の一例におけるイオン注入工程を示す半導体装置の断面側面図、(B)は同平面図、(C)は同部分断面側面図である。
【図2】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図3】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図4】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図5】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図6】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図7】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図8】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図9】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図10】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図11】本発明による製造方法の一例による製造工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図12】実施の形態例の製造方法により作製した半導体装置で接合リーク電流を測定した結果を示すグラフである。
【図13】素子分離層がオーバーエッチされた場合のコンタクトプラグ周辺を示す半導体装置の部分拡大断面側面図である。
【図14】コンタクトプラグが素子分離層側にはみ出している場合を示すソース・ドレイン拡散層の周辺を示す部分拡大平面図である。
【図15】従来プロセスでコンタクト補助注入をおこなった場合の工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【図16】従来プロセスでコンタクト補助注入をおこなった場合の工程を示す半導体装置の断面側面図である。
【符号の説明】
201……SRAM回路、202……入出力回路、211……半導体基板、212……素子分離層、213……NMOSFET領域、214……PMOSFET領域、215……NMOSFET領域、216……PMOSFET領域、221……ゲート電極、231……フォトレジスト層、231……フォトレジスト層、232……LDD領域、233……周辺領域、234……補助注入領域、241……フォトレジスト層、242……LDD領域、243……周辺領域、244……補助注入領域、251……フォトレジスト層、252……LDD領域、261……フォトレジスト層、262……LDD領域、271……サイドウォールスペーサー、272……フォトレジスト層、273……ソース・ドレイン領域、281……フォトレジスト層、282……ソース・ドレイン領域、291……表面部、292……層間絶縁膜、292……層間絶縁膜、294……コンタクトホール、294……コンタクトホール、298……コンタクトプラグ、299……第1層配線、321……フォトレジスト層、322……領域、411……コンタクトプラグ、412……素子分離層、414……ソース・ドレイン拡散層、414A……底部。
Claims (10)
- 半導体基板上にメモリ回路を構成する第1のトランジスタと、前記メモリ回路の入出力回路を構成する、前記第1のトランジスタと同一の導電型の第2のトランジスタとを形成する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体基板の上に複数の素子分離層を形成した後、前記素子分離層により分離された各領域にそれぞれ前記第1および第2のトランジスタのゲート電極を形成し、
前記半導体基板の表面にフォトレジスト層を形成した後、前記第1のトランジスタのソース・ドレイン領域と前記素子分離層との境界領域、および前記第2のトランジスタの前記ゲート電極の周辺領域に開口を形成して半導体基板表面を露出させ、
前記第1のトランジスタの前記ゲート電極周辺にLDDを形成するためのイオン注入より大きな値のエネルギーによる第1のイオン注入を、前記フォトレジスト層の前記開口を通じて行い前記第2のトランジスタの前記ゲート電極の周辺領域にLDDを形成するとともに、前記第1のトランジスタのソース・ドレイン領域と前記素子分離層との前記境界領域に補助注入領域を形成し、
その後、第2のイオン注入を行って前記第1のトランジスタの前記ゲート電極周辺にLDDを形成し、さらに前記第1および第2のトランジスタの本来の不純物濃度のソース・ドレインを形成した上で、前記半導体基板の表面全体に層間絶縁膜を形成し、前記層間絶縁膜に各トランジスタのソース・ドレインへ至るコンタクトホールを開口させて各トランジスタのソース・ドレインに接続するコンタクトプラグを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1および第2のトランジスタはN型のMOSFETであり、前記第1のイオン注入により注入する不純物はN型の不純物であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記N型の不純物はリンであることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のイオン注入では、エネルギーは10〜20KeV、ドーズ量は1×1013cm−2程度とすることを特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のイオン注入では、不純物をヒ素とし、エネルギーは1〜10KeV、ドーズ量は1×1014〜1×1015cm−2程度とすることを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1および第2のトランジスタはP型のMOSFETであり、前記第1のイオン注入により注入する不純物はP型の不純物であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記P型の不純物はホウ素であることを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のイオン注入では、エネルギーは20〜30KeV、ドーズ量は1×1014cm−2程度とすることを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のイオン注入では、不純物をホウ素とし、エネルギーは1〜10KeV、ドーズ量は1×1014〜1×1015cm−2程度とすることを特徴とする請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 前記メモリ回路はSRAM回路であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000146872A JP4477197B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000146872A JP4477197B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001332634A JP2001332634A (ja) | 2001-11-30 |
JP4477197B2 true JP4477197B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=18653146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000146872A Expired - Fee Related JP4477197B2 (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4477197B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102832110A (zh) * | 2012-05-22 | 2012-12-19 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提高静态随机储存器读出冗余度的方法 |
CN102832174A (zh) * | 2012-05-22 | 2012-12-19 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提高静态随机储存器读出冗余度的方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4504633B2 (ja) * | 2003-05-29 | 2010-07-14 | パナソニック株式会社 | 半導体集積回路装置 |
KR100983514B1 (ko) | 2003-06-30 | 2010-09-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체소자 제조 방법 |
KR100562650B1 (ko) * | 2004-06-25 | 2006-03-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자 제조 방법 |
WO2006120739A1 (ja) | 2005-05-11 | 2006-11-16 | Fujitsu Limited | 半導体装置とその製造方法 |
JP5634001B2 (ja) | 2007-03-28 | 2014-12-03 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエルPS4 Luxco S.a.r.l. | 半導体装置の製造方法 |
KR102143431B1 (ko) | 2013-12-06 | 2020-08-28 | 삼성전자주식회사 | 불순물 영역 형성 방법 및 반도체 소자의 제조 방법 |
KR102311929B1 (ko) | 2015-04-01 | 2021-10-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 이의 제조 방법 |
-
2000
- 2000-05-18 JP JP2000146872A patent/JP4477197B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102832110A (zh) * | 2012-05-22 | 2012-12-19 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提高静态随机储存器读出冗余度的方法 |
CN102832174A (zh) * | 2012-05-22 | 2012-12-19 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提高静态随机储存器读出冗余度的方法 |
CN102832174B (zh) * | 2012-05-22 | 2014-08-13 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提高静态随机储存器读出冗余度的方法 |
CN102832110B (zh) * | 2012-05-22 | 2015-03-18 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提高静态随机储存器读出冗余度的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001332634A (ja) | 2001-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2897004B2 (ja) | Cmosfet製造方法 | |
US6274914B1 (en) | CMOS integrated circuits including source/drain plug | |
JP4305610B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP2619340B2 (ja) | 半導体素子の高電圧トランジスタ構造及びその製造方法 | |
JP4477197B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH1084045A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
JPH07176701A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
KR100292939B1 (ko) | 반도체장치및그의제조방법 | |
JPH07321212A (ja) | チャネルストップ拡散層の形成方法 | |
JP2845186B2 (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2003051552A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
JP3788439B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4062799B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2993784B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4573477B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100929422B1 (ko) | 반도체소자의 제조방법 | |
JPS6251248A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2808620B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2805646B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2892415B2 (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP3253712B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR19990017331A (ko) | 바이씨모스 소자의 제조방법 | |
JP2586343B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2004079813A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007258568A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100215 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100311 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |