JP4435214B2 - 印刷回路基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(a)所望の配線パターンに対応するエンボスパターンが形成されたモールドを準備する工程と、
(b)上記モールドのエンボスパターン形成面に重合用酸化剤を付着する工程と、
(c)上記モールドを樹脂層に押圧する工程と、
(d)上記樹脂層から上記モールドを分離して、上記樹脂層に上記重合用酸化剤が付着したパターンを形成する工程と、
(e)上記樹脂層に形成されたパターンの内部に、選択的に導電性高分子のモノマーを充填して重合させることにより、導電性高分子の配線を形成する工程と、
を含む印刷回路基板の製造方法が提供される。
本発明は、インプリント法を用いて、導電性高分子の構成モノマーを重合させて導電性高分子を合成することができる酸化剤(重合用酸化剤または高分子重合用酸化剤)を、基板に選択的に付着(mark)させ、選択されたパターンに導電性高分子のモノマーを充填させて重合させることを含む、導電性高分子の配線パターンを有する印刷回路基板の製造方法に関する。
(a)所望の配線パターンに対応するエンボスパターンが形成されたモールドを準備する工程と、
(b)上記モールドのエンボスパターン形成面に重合用酸化剤を付着する工程と、
(c)上記モールドを樹脂層に押圧する工程と、
(d)上記樹脂層からモールドを分離して、樹脂層に上記重合用酸化剤が付着したパターンを形成(すなわち転写)する工程と、
(e)上記樹脂層に形成(転写)されたパターンの内部に、選択的に導電性高分子のモノマーを充填して重合させることにより、導電性高分子の配線を形成する工程と、
を含んでいる。
先ず、図1(a)のように、所望の配線パターンに対応するエンボスパターンが形成されたモールド10を準備する。
すなわち、上記モールド10は透明モールドと不透明モールドとに区分することができる。透明モールドは、SiO2、石英、ガラス、ポリマーなど、UVが透過できる材質を用いる場合であり、不透明モールドの場合は、半導体、セラミック、金属、ポリマー及びこれらの組合せからなる物質で形成される。
一般的に導電性高分子を液状で重合する方法としては、電気化学的方法と化学的酸化方法がある。電気化学的方法は、電解質中で所定の電圧を印加して、電極表面に付着して重合した高分子を得る方法であり、化学的酸化方法は、酸化剤を用いて高分子を重合する方法である。例えば、ポリピロールを後者の方法を用いて重合する場合、ピロールモノマー、アントラキノン−2−スルホン酸ナトリウム塩及びFeCl3酸化剤を蒸留水中で反応させて、濾過した後、洗浄、乾燥させてポリピロールを得ることができる。
上記樹脂層30は、基板素材として用いることができる絶縁物質であれば特別に限定されない。例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ビニルエステル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、マレイミド樹脂、ビニルベンジル基含有樹脂などの熱硬化性樹脂や、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリアセタール、ジシクロペンタジエン系樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることができる。
このように準備された樹脂層30の上に、上記モールド10のパターンを加圧して圧着させる。
好ましい実施態様によれば、上記表面処理は、樹脂層30の上部面を、極性溶媒等の任意の有機溶剤で拭いて、パターン内部以外の箇所に付着した重合用酸化剤を除去することにより行なわれる。または、樹脂層30の上部面を機械的に研磨して、パターン内部以外の箇所に付着した重合用酸化剤を除去することもできる。
モノマーの充填方法は特に限定されず、例えば、モノマー溶液に樹脂層30(基板)を含浸させる方法、樹脂層30にモノマーを蒸着させる方法などが挙げられる。
酸化剤である塩化鉄(FeCl3)1kgを、水0.9L/メタノール0.1Lの混合溶媒に溶解させて、酸化剤混合溶液を製造した。得られた酸化剤水溶液に、Ni材質のエンボスモールドを含浸させて、モールドの表面に酸化剤溶液を充分に塗布した。この酸化剤溶液が塗布されたモールドを、半硬化状態のエポキシ基板に、1MPaの圧力で、100℃で30分間押圧した後、さらに170℃で2時間押圧した。温度を下げた後、離型し、酸化剤が塗布されている基板を、0.04Mのピロールと0.015Mのアントラキノン−2−スルホン酸塩(anthraquinone−2−sulfonate)とを含有した水溶液に、窒素雰囲気下で2時間含浸して、ポリピロールをパターン状に重合させて、配線を形成した。
酸化剤であるFeCl31kgを、水0.9L/メタノール0.1Lの混合溶媒に溶解させて、酸化剤混合溶液を製造した。得られた酸化剤水溶液に、Ni材質のエンボスモールドを含浸させて、モールドの表面に酸化剤溶液を充分に塗布させた。この酸化剤溶液が塗布されたモールドを、半硬化状態のエポキシ基板に、1MPaの圧力で、100℃で30分間押圧した後、170℃で2時間押圧した。温度を下げた後、離型し、酸化剤が塗布されている基板を、0.04Mのピロールと0.015Mのアントラキノン2−スルホン酸塩とを含有した水溶液とともに、真空オーブンの中に入れて真空をかけた。蒸発したピロールモノマーを基板の酸化剤の塗布されたパターンに選択的に付着・重合させて、配線を形成した。
20 重合用酸化剤
30 樹脂層
40 導電性高分子
Claims (12)
- (a)所望の配線パターンに対応するエンボスパターンが形成されたモールドを準備する工程と、
(b)前記モールドのエンボスパターン形成面に重合用酸化剤を付着する工程と、
(c)前記モールドを樹脂層に押圧する工程と、
(d)前記樹脂層から前記モールドを分離して、前記樹脂層に前記重合用酸化剤が付着したパターンを形成する工程と、
(e)前記樹脂層に形成されたパターンの内部に、選択的に導電性高分子のモノマーを充填して重合させることにより、導電性高分子の配線を形成する工程と、
を含む印刷回路基板の製造方法。 - 前記モールドは、半導体、セラミック、金属、ポリマー、SiO2、石英、ガラス及びこれらの組合せからなる群から選択される物質で形成される、請求項1に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記重合用酸化剤は、H2O、HCl、HBr、HNO3、H2SO4、カルボン酸、フェノール、アルコールを含む中性プロトンドナー(neutral protone donor);Li+、Mg2+、Br+を含む陽イオン;及びAlCl3、BF3、TiCl4、FeCl3、ZnCl2を含む金属化合物;からなる群から選択される少なくとも一つである、請求項1または2に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記重合用酸化剤の付着工程は、重合用酸化剤溶液に前記モールドを含浸させて行われる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記樹脂層は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ビニルエステル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、マレイミド樹脂、ビニルベンジル基含有樹脂を含む熱硬化性樹脂;及びポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリアセタール、ジシクロペンタジエン系樹脂を含む熱可塑性樹脂;からなる群から選択される少なくとも一つの樹脂で形成される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記工程(e)に先立ち、前記樹脂層に形成されたパターン内部以外の樹脂層上部面を表面処理する工程をさらに含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記表面処理は、前記樹脂層上部面を極性溶媒で拭いて前記重合用酸化剤を除去することである、請求項6に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記表面処理は、前記樹脂層上部面を研磨して前記重合用酸化剤を除去することである、請求項6に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記導電性高分子は、ポリアセンチレン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリ(3−アルキルチオフェン)、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンビニレン、ポリチエニレンビニレン、ポリフェニレン、ポリイソチアナフタレン、ポリアズレン、ポリフラン及びポリアニリンからなる群から選択される少なくとも一つである、請求項1〜8のいずれか1項に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記導電性高分子の重合時に、I2、Br2、Li、Na、K、AsF5、BF4 −、ClO4 −、FeCl4 −、トシレート、HCl、アントラキノン−2−スルホン酸ナトリウム塩、2−ナフタレンスルホン酸ナトリウム塩、2、6−ナフタレンジスルホン酸ジナトリウム塩、p−トルエンスルホン酸ナトリウム、ナフトールイエローS及びニトロベンゼンスルホン酸ナトリウム塩からなる群から選択される少なくとも一つの化合物をドーパントとして用いる、請求項1〜9のいずれか1項に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 前記導電性高分子の配線形成工程は、溶液重合法または気相重合法を用いて行われる、請求項1〜10のいずれか1項に記載の印刷回路基板の製造方法。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の印刷回路基板の製造方法により製造される印刷回路基板。
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