JP4424015B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
また、前記製造方法では、前記第3の工程によって除去された液体潤滑剤(溶液)を回収する工程をさらに有することが好ましい。
また、前記磁気記録媒体としては、ヘッド接触型垂直磁気記録方式に適用されるものであることが好ましい。
保護層は、SiO2またはカーボンからなる薄膜から形成することが可能であるが、特にカーボンからなる薄膜を保護層とすることが好ましい。カーボン薄膜の形成には、CVD法(例えば、エチレンガスを用いたイオンビーム方式のCVD法)、またはスパッタ法(例えば、グラファイトをターゲットとする、アルゴンガス+窒素ガスによるDCマグネトロン式のスパッタ法)を適用することが可能である。
厚膜液体潤滑層は、溶剤によって希釈した液体潤滑剤を保護層上に塗布することによって形成される。本発明において使用可能な液体潤滑剤としては、パーフルオロポリエーテルなどのフッ素系液体潤滑剤が挙げられる。例えば、ソルベイ社製のFomblin−Z−DOL、AM3001およびZ−Tetraol(いずれも商品名)などの、磁気記録媒体用の潤滑剤として通常使用されるものが含まれる。このような液体潤滑剤を希釈するための溶剤は、潤滑剤と相溶性であり、均一な溶液を形成するものであればよく、特に限定されるものではない。例えば、HFE7200(商品名、住友3M社)、バートレル(商品名、デュポン社製)などのフロロカーボン系有機溶剤が挙げられる。潤滑剤の希釈は、保護膜(好ましくはカーボン薄膜)の膜質および表面粗さRmaxに応じて設定されるが、本発明では当技術分野で一般に使用される溶液の濃度よりも、より高い濃度を有する溶液とすることが望ましい。本発明で使用される潤滑剤溶液の濃度は、概ね1wt%〜5wt%の範囲に設定される。溶液の濃度が5wt%を超えると、潤滑剤の溶解が不十分となり不溶解成分が凝集し、第1の工程における塗布膜厚が不安定になるだけでなく、スピンコート装置などの塗布時に使用する装置のノズル閉塞障害の原因にもなる。また、溶液の濃度が1wt%より低くなると、必要とされる10〜20nm程度の厚膜を形成することが困難となる。
厚膜液体潤滑層における潤滑剤分布の均一化および保護層への密着化は、図5に示すように、先の工程によって形成された厚膜液体潤滑層5’を有する磁気ディスク10を回転させながら、上記液体潤滑層の表面に対し摺動可能な部材を圧接させる(例えば、ワイピングテープ51を固形パット52で押圧し、厚膜液体潤滑層5’表面を移動させる)ことによって実施することが可能である。本発明によれば、先の塗布工程では、ディスク表面上に飽和するほどの潤滑剤が塗布され厚膜の液体潤滑層が形成され、テープなどの部材を摺動させた際の潤滑性が十分に確保されるため、テープ加工時の傷の発生、またはテープ繊維の離脱といった問題が完全に回避できる。そのため、使用可能な圧接部材は繊維質のテープに限らず、ディスク表面に対して均一に潤滑剤を引き伸ばすことができるように凹凸が少なく平滑なものであれば特に限定されるものではない。本発明において使用可能な部材としては、織布、不織布、ポリエチレンテレフタレートまたはウレタンなどの樹脂からなる、かつテープ形状、パッド形状、またはスポンジ形状の部材が挙げられる。
厚膜液体潤滑層の薄膜化は、溶剤リンスによって行う。具体的には、磁気ディスク10を回転させながら、潤滑剤を溶解し得る溶剤を潤滑層表面に吐出させ、余分な潤滑剤を除去することよって実施する。溶剤リンスする際のディスクの回転は、低速回転になりすぎると遠心力による除去効果が薄れ除去ムラが発生しやすいため、500rpm以上の回転数とすることが望ましい。また、吐出ノズルのシーク速度は、概ね50mm/s以下が適当である。
3.5インチ径の磁気ディスク用アルミ基板(板厚1.27nm)上に、下地層、垂直磁性層、保護層を順次形成した。なお、基板の表面粗さRmaxは7.8nmであった。下地層は、CoZrNbターゲットをArガスによるDCスパッタリング法によって成膜し、膜厚200nmとした。垂直磁性層は、CoCrPt−SiO2ターゲットをArガスによるRFスパッタリング法によって成膜し、膜厚10nmとした。保護層は、エチレンガスを用いたイオンビーム方式のCVDによって、カーボン薄膜を形成し、膜厚3nmとした。カーボン薄膜の表面粗さは7.8nmであった。
潤滑層形成において、厚膜液体潤滑層の形成およびテープ処理による潤滑剤分布の均一化および保護層への密着化の工程を実施せずに実施例1と同じ膜厚の潤滑層を形成することを除き、実施例1と同様の方法によって磁気ディスクを作製した。すなわち、実施例1と同様にして、基板上に、下地層、垂直磁性層、保護層を順次形成した後に、スピンコート法により0.02wt%の濃度の潤滑剤溶液をディスク(保護層)表面に塗布することによって潤滑層を形成した。得られた潤滑層は1.8nmの膜厚であった。なお、保護層の表面粗さRmaxは7.8nmであった。
保護層の表面粗さ(基板の表面粗さ)およびそれに伴って厚膜の厚さを変更したことを除き、実施例1と同様にして磁気記録媒体を作製した。すなわち、表面粗さRmaxが3.9nmである基板上に、実施例1と同様にして、下地層、垂直磁性層、保護層を順次形成し、次いで潤滑層を形成した。なお、保護層の表面粗さRmaxは3.9nmであった。また、潤滑剤の形成は、保護層上に、3wt%の濃度の潤滑剤溶液を11.2nmの膜厚で塗布し、テープ処理を施し(この時点の膜厚は4.0nm)、次いで溶剤リンスを施すことによって薄膜化を実施し、膜厚1.6nmの潤滑層とした。
保護層の成膜方法を変更したことを除き、実施例1と同様にして磁気記録媒体を作製した。すなわち、保護層は、グラファイトをターゲット材料とし、アルゴンガスおよび窒素ガスによるDCマグネトロン式のスパッタ法に従いターゲット材料をスパッタさせることによって形成した。保護層の表面粗さRmaxは7.8nmであった。潤滑剤の形成は、保護層上に、3wt%の濃度の潤滑剤溶液を9.8nmの膜厚で塗布し、テープ処理を施し(この時点の膜厚は3.9nm)、次いで溶剤リンスを施すことによって薄膜化を実施し、膜厚1.5nmの潤滑層とした。
保護層上に形成する潤滑剤厚膜の厚さをRmax以下にすることを除き、実施例1と同様にして磁気記録媒体を作製した。すなわち、実施例1と同様にして、下地層、垂直磁性層、保護層を順次形成した後に、以下のようにして潤滑層を形成した。潤滑剤の形成は、保護層上に、0.1wt%の濃度の潤滑剤溶液を3.5nmの膜厚で塗布し、テープ処理を施し(この時点の膜厚は3.2nm)、次いで溶剤リンスを施すことによって薄膜化を実施し、膜厚1.8nmの潤滑層とした。なお、保護層の表面粗さRmaxは7.8nmであった。
2 下地層
3 磁性層
4 保護層
5 液体潤滑層
5’厚膜液体潤滑層
10 磁気記録媒体(磁気ディスク)
41 吐出ノズル
51 ワイピングテープ
52 固形パット
61 受液カバー
62 移送管
Claims (5)
- 基板上に、少なくとも下地層、磁性層、および保護層を順次積層し、さらに前記保護層上に液体潤滑剤層を形成してなる磁気記録媒体の製造方法において、前記液体潤滑層を形成する工程が、
前記保護層の上に、スピンコート法により、液体潤滑剤を溶剤で希釈した液体潤滑剤濃度が1wt%を越え5wt%以下の範囲の液体潤滑剤溶液を塗布し、前記保護層の表面粗さRmax以上の膜厚の液体潤滑層(厚膜)を形成する第1の工程と、前記磁気記録媒体を回転させながら、前記液体潤滑剤層の表面に対し摺動可能な部材を圧接させることによって、前記液体潤滑剤を保護層に密着させる第2の工程と、前記磁気記録媒体を回転させながら、前記液体潤滑剤層の表面に、前記液体潤滑剤を溶解し得る溶剤を吐出させることによって、前記液体潤滑層の膜厚を減少させる第3の工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記第3の工程を、前記溶剤と同じかまたは異なる溶剤を使用して繰り返すことによって液体潤滑層の膜厚をさらに減少させることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記部材が、織布、不織布、または樹脂からなるテープ形状、パッド形状、またはスポンジ形状の部材であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記第3の工程によって除去された液体潤滑剤を回収する工程をさらに有することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記磁気記録媒体が、ヘッド接触型垂直磁気記録方式に適用されるものであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の磁気記録媒体の製造方法。
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