JP4343138B2 - バーンインボード及びバーンインシステム - Google Patents
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Description
バーンイン試験を行うバーンイン装置に収納され、前記バーンイン装置から被試験デバイスに供給する電源と信号とが入力される、メインボードと、
サブボード取り付け部を介して、前記メインボードに着脱可能に取り付けられた複数のサブボード基板と、
前記各サブボード基板に取り付けられて、被試験デバイスが挿入されるソケットと、
前記各サブボード基板に対応して設けられた、サブボード電気接続部であって、前記サブボード基板と前記メインボードとの間を電気的に接続し、前記メインボードに設けられた配線を介して、前記メインボードに入力された前記電源と前記信号を、前記ソケットに挿入された被試験デバイスに供給する、サブボード電気接続部と、
を備えることを特徴とする。
前記サブボード基板側に設けられた接続ピンと、
前記メインボード側に設けられ、前記接続ピンが挿入される、接続シースと、
を備えるようにしてもよい。
前記接続シースは、前記挿入接続部が挿入される方向である挿入方向と反対方向に位置する前記接続シース上部に設けられ、前記挿入接続部と電気的に接続するシース接続部を有しているようにしてもよい。
前記コネクタサブボードには、前記バーンイン装置に対して電気的に接続され、前記バーンイン装置から前記信号が入力される信号用コネクタが設けられており、
前記メインボードには、前記バーンイン装置に対して電気的に接続され、前記バーンイン装置から前記電源が入力される電源用コネクタが設けられているようにしてもよい。
20 チャンバ
30 スロット
40 ドア
50 ハンドル部
100 取り付け部
102 ボルト
104 ナット
106 スペーサ
120 サブボード基板
140 ソケット
160 接続ピン
170 接続シース
BIB バーンインボード
MNB メインボード
SBB サブボード
CSBB コネクタサブボード
WR 配線
DUT 被試験デバイス
Claims (5)
- バーンイン試験を行うバーンイン装置に収納され、前記バーンイン装置から被試験デバイスに供給する電源と信号とが入力される、メインボードと、
サブボード取り付け部を介して、前記メインボードに着脱可能に取り付けられた複数のサブボード基板と、
前記各サブボード基板に取り替え可能に取り付けられて、被試験デバイスが挿入されるソケットと、
前記各サブボード基板に対応して設けられた、サブボード電気接続部であって、前記サブボード基板と前記メインボードとの間を電気的に接続し、前記メインボードに設けられた配線を介して、前記メインボードに入力された前記電源と前記信号を、前記ソケットに挿入された被試験デバイスに供給する、サブボード電気接続部と、
を備え、
前記サブボード取り付け部は、交換可能なスペーサを、前記メインボードと前記サブボード基板との間に挟んだ状態で、前記サブボード基板を前記メインボードに取り付け、これにより、前記メインボードの表面から前記ソケットに挿入された被試験デバイスの表面までの高さが定まるとともに、
前記サブボード電気接続部は、
前記サブボード基板側に設けられて、針金状に細長く延びた、接続ピンと、
前記メインボード側に設けられて、上方から前記接続ピンが挿入される、筒状の接続シースと、
を備えており、
前記接続ピンにおける、前記接続シースに挿入される挿入接続部の長さは、前記接続シースの長さより長く、
前記接続シースは、前記挿入接続部が上方から挿入された場合に、前記接続シースの上部内側で、前記挿入接続部と電気的に接続するシース接続部を有しており、
前記シース接続部は、前記挿入接続部の外径より小さい内径を有する円筒状の導通部材により形成されている、
ことを特徴とするバーンインボード。 - 前記シース接続部を形成する円筒状の導通部材は、内径が次第に細くなるように、中央部分が括れており、この最も括れた部分の内径が、前記挿入接続部の外径よりも小さくなるように構成されている、ことを特徴とする請求項1に記載のバーンインボード。
- 前記メインボードに着脱可能に取り付けられたコネクタサブボードをさらに備えており、
前記コネクタサブボードには、前記バーンイン装置に対して電気的に接続され、前記バーンイン装置から前記信号が入力される信号用コネクタが設けられており、前記信号用コネクタを介して、前記被試験デバイスに供給する前記信号が前記メインボードに入力され、
前記メインボードには、前記バーンイン装置に対して電気的に接続され、前記バーンイン装置から前記電源が入力される電源用コネクタが設けられている、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のバーンインボード。 - バーンイン試験を行うバーンイン装置と、前記バーンイン装置に収納されるバーンインボードとを備えるバーンインシステムであって、
前記バーンインボードは、
バーンイン試験の際に、前記バーンイン装置から被試験デバイスに供給する電源と信号とが入力される、メインボードと、
サブボード取り付け部を介して、前記メインボードに着脱可能に取り付けられた複数のサブボード基板と、
前記各サブボード基板に取り替え可能に取り付けられて、被試験デバイスが挿入されるソケットと、
前記各サブボード基板に対応して設けられた、サブボード電気接続部であって、前記サブボード基板と前記メインボードとの間を電気的に接続し、前記メインボードに設けられた配線を介して、前記メインボードに入力された前記電源と前記信号を、前記ソケットに挿入された被試験デバイスに供給する、サブボード電気接続部と、
を備え、
前記サブボード取り付け部は、交換可能なスペーサを、前記メインボードと前記サブボード基板との間に挟んだ状態で、前記サブボード基板を前記メインボードに取り付け、これにより、前記メインボードの表面から前記ソケットに挿入された被試験デバイスの表面までの高さが定まるとともに、
前記サブボード電気接続部は、
前記サブボード基板側に設けられて、針金状に細長く延びた、接続ピンと、
前記メインボード側に設けられて、上方から前記接続ピンが挿入される、筒状の接続シースと、
を備えており、
前記接続ピンにおける、前記接続シースに挿入される挿入接続部の長さは、前記接続シースの長さより長く、
前記接続シースは、前記挿入接続部が上方から挿入された場合に、前記接続シースの上部内側で、前記挿入接続部と電気的に接続するシース接続部を有しており、
前記シース接続部は、前記挿入接続部の外径より小さい内径を有する円筒状の導通部材により形成されており、
前記バーンインボードが前記バーンイン装置に収納されてバーンイン試験が行われる際には、前記ソケットに挿入された被試験デバイスに対して、前記バーンイン装置のサーマルヘッドが接した状態で、バーンイン試験が行われる、
ことを特徴とするバーンインシステム。 - 前記サーマルヘッドは、冷却ヘッド又は加熱ヘッドであることを特徴とする請求項4に記載のバーンインシステム。
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