JP2006308517A - バーンインボード、及び、バーンインシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 バーンイン装置は、収納時このバーンインボードの上方に位置する、温度調整ボードであって、下方に突出しているロケットピンと、バーンイン試験の際に被試験デバイスと接するサーマルヘッドとを有する温度調整ボードと、バーンイン試験の際に前記温度調整ボードを、この温度調整ボードが格納されている状態の位置である格納位置から、前記サーマルヘッドが被試験デバイスと接する位置である試験位置まで降下させる駆動機構と、を備えている。また、バーンインボードは、被試験デバイスが取り付けられる取り付け基板と、前記取り付け基板に取り付けられた位置決め基板であって、バーンイン試験の際に、上方から下降してくる前記温度調整ボードに設けられた前記ロケットピンが嵌入し、温度調整ボードの位置決めをするための位置決め基板と、を備えている。
【選択図】 図20
Description
被試験デバイスが取り付けられる、取り付け基板と、
前記取り付け基板に取り付けられた位置決め基板であって、バーンイン試験の際に、上方から下降してくる温度調整ボードに設けられたロケットピンが嵌入し、温度調整ボードの位置決めをするための位置決め穴が形成されている、位置決め基板と、
を備えることを特徴とする。
バーンイン試験を行うためのバーンイン装置と、このバーンイン装置に収納されるバーンインボードとを備えるバーンインシステムであって、
前記バーンイン装置は、
前記バーンインボードが収納された場合に、このバーンインボードの上方に位置する、温度調整ボードであって、下方に突出しているロケットピンと、バーンイン試験の際に被試験デバイスと接するサーマルヘッドとを有する、温度調整ボードと、
バーンイン試験の際に、前記温度調整ボードを、この温度調整ボードが格納されている状態の位置である格納位置から、前記サーマルヘッドが被試験デバイスと接する位置である試験位置まで降下させる、駆動機構と、
を備えており、
前記バーンインボードは、
被試験デバイスが取り付けられる取り付け基板と、
前記取り付け基板に取り付けられた位置決め基板であって、バーンイン試験の際に、上方から下降してくる前記温度調整ボードに設けられた前記ロケットピンが嵌入し、前記温度調整ボードの位置決めをするための位置決め穴が形成されている、位置決め基板と、
を備えることを特徴とする。
20 チャンバ
30 スロット
40 ドア
50 ハンドル部
100 取り付け部
102 ボルト
104 ナット
106 スペーサ
120 サブボード基板
140 ソケット
160 接続ピン
170 接続シース
400 ロケットピン
500、510 位置決め基板
506、516 位置決め穴
BIB バーンインボード
MNB メインボード
SBB サブボード
CSBB コネクタサブボード
WR 配線
DUT 被試験デバイス
Claims (7)
- 被試験デバイスが取り付けられる、取り付け基板と、
前記取り付け基板に取り付けられた位置決め基板であって、バーンイン試験の際に、上方から下降してくる温度調整ボードに設けられたロケットピンが嵌入し、温度調整ボードの位置決めをするための位置決め穴が形成されている、位置決め基板と、
を備えることを特徴とするバーンインボード。 - 前記位置決め穴の表面側には、前記ロケットピンをガイドするためのテーパー状のガイド部が形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載のバーンインボード。
- 前記位置決め基板は、前記取り付け基板に着脱可能に取り付けられている、ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のバーンインボード。
- 前記位置決め基板は、前記取り付け基板がバーンイン装置に挿入される方向である挿入方向に位置する前記位置決め基板の2つの角部に、それぞれ、設けられている、ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のバーンインボード。
- 前記角部に設けられている前記2つの位置決め基板のうちの一方の位置決め基板に形成されている位置決め穴は、他方の位置決め基板に形成されている位置決め穴よりも、大きい、ことを特徴とする請求項4に記載のバーンインボード。
- 大きい方の位置決め穴は楕円形であり、小さい方の位置決め穴は円形であることを特徴とする請求項5に記載のバーンインボード。
- バーンイン試験を行うためのバーンイン装置と、このバーンイン装置に収納されるバーンインボードとを備えるバーンインシステムであって、
前記バーンイン装置は、
前記バーンインボードが収納された場合に、このバーンインボードの上方に位置する、温度調整ボードであって、下方に突出しているロケットピンと、バーンイン試験の際に被試験デバイスと接するサーマルヘッドとを有する、温度調整ボードと、
バーンイン試験の際に、前記温度調整ボードを、この温度調整ボードが格納されている状態の位置である格納位置から、前記サーマルヘッドが被試験デバイスと接する位置である試験位置まで降下させる、駆動機構と、
を備えており、
前記バーンインボードは、
被試験デバイスが取り付けられる取り付け基板と、
前記取り付け基板に取り付けられた位置決め基板であって、バーンイン試験の際に、上方から下降してくる前記温度調整ボードに設けられた前記ロケットピンが嵌入し、前記温度調整ボードの位置決めをするための位置決め穴が形成されている、位置決め基板と、
を備えることを特徴とするバーンインシステム。
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JP2005134189A JP2006308517A (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | バーンインボード、及び、バーンインシステム |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JP2006308517A true JP2006308517A (ja) | 2006-11-09 |
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ID=37475560
Family Applications (1)
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JP2005134189A Pending JP2006308517A (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | バーンインボード、及び、バーンインシステム |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006308517A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-05-02 JP JP2005134189A patent/JP2006308517A/ja active Pending
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