CN219560527U - 一种电路板组件及测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种电路板组件及测试设备。该电路板组件包括：支撑框架，具有把手；液冷板，安装于支撑框架，液冷板具有冷却流道、进液口和出液口，冷却流道供冷却液流经，进液口和出液口分别与冷却流道连通；电路板，安装在支撑框架，并与液冷板贴合；进液管，与进液口连通，用于向冷却流道输入冷却液；及出液管，与出液口连通，用于排出冷却流道内的冷却液；其中，把手具有用于固定进液管和出液管的约束部。如此，由于各个电路板组件的把手上均设置有把手，各个电路板组件的进液管和出液管均通过自身把手上的约束部进行固定，从而避免了大量管线处于杂乱无序的状态，以便于各个电路板组件的进液管和出液管的走线和整理。

Description

一种电路板组件及测试设备

技术领域

本实用新型涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种电路板组件及测试设备。

背景技术

在半导体产品的制造过程中，为保证半导体产品的品质，需要利用半导体测试设备对半导体产品(例如芯片)进行各项性能进行测试，以实现合格品和非合格品的分选。一般地，半导体测试设备需要若干电路板组件，每个电路板组件均需要配备水冷板，利用水冷板对电路板进行冷却。然而，半导体测试设备上的水冷板的数量较多，且每个水冷板均需要连接向水冷板内输入冷却液的进液管和排出水冷板内的冷却液的出液管，导致管线较多，不便于管线走线和管线维护。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术中半导体测试设备上的水冷板的数量较多，且每个水冷板均需要连接向水冷板内输入冷却液的进液管和排出水冷板内的冷却液的出液管，导致管线较多，不便于管线走线和管线维护的问题，提供一种改善上述缺陷的电路板组件及测试设备。

一种电路板组件，包括：

支撑框架，设有把手；

液冷板，安装在所述支撑框架，所述液冷板具有冷却流道、进液口和出液口，所述冷却流道供冷却液流经，所述进液口和所述出液口均与所述冷却流道连通；

电路板，安装于所述支撑框架，并与所述液冷板贴合；

进液管，与所述进液口连通，用于通过所述进液口向所述冷却流道输入冷却液；及

出液管，与所述出液口连通，用于通过所述出液口排出所述冷却流道内的冷却液；

其中，所述把手具有约束部，所述约束部用于固定所述进液管和所述出液管。

在其中一个实施例中，所述约束部包括第一贯穿孔和第二贯穿孔，所述第一贯穿孔用于供所述进液管穿设，所述第二贯穿孔用于供所述出液管穿设。

在其中一个实施例中，所述约束部包括第一卡扣和第二卡扣，所述第一卡扣用于卡接固定所述进液管，所述第二卡扣用于卡接固定所述出液管。

在其中一个实施例中，所述约束部包括第一贯穿孔和第二贯穿孔；所述进液管的一端与所述进液口相连通，另一端连通于所述第一贯穿孔的端部；所述出液管的一端与所述出液口相连通，另一端连通于所述第二贯穿孔的端部。

在其中一个实施例中，所述把手、所述进液口和所述出液口均位于所述支撑框架的同一端。

在其中一个实施例中，所述电路板包括均安装于所述支撑框架的第一电路板和第二电路板，所述第一电路板和所述第二电路板分别与所述液冷板相对的两侧表面贴合。

在其中一个实施例中，所述电路板组件还包括安装于所述支撑框架的第三电路板，所述第三电路板与所述第一电路板及所述第二电路板电性连接，且所述第三电路板设置有用于与测试机箱电性连接的第一连接器。

在其中一个实施例中，所述电路板组件还包括第一散热板和第二散热板，所述第一散热板设置于所述第三电路板的一侧，所述第二散热板设置于所述第三电路板的另一侧。

在其中一个实施例中，所述支撑框架设有一连接部，所述连接部用于与助拔器连接或分离。

一种测试设备，包括测试机箱及多个如上任一实施例中所述的电路板组件；

所述测试机箱具有多个第一插接槽，每一所述电路板组件均能够插接至一个所述第一插接槽内。

上述电路板组件及测试设备，在实际使用时，若干电路板组件分别插接在测试机箱的各个第一插接槽内，并控制测试机箱对半导体产品进行测试。在测试的过程中，各个电路板组件的进液管连续的通过进液口向液冷板内的冷却流道输送冷却液，同时各个电路板组件的出液管连续地通过出液口排出冷却流道内的冷却液，从而实现对各个电路板组件的电路板进行冷却，避免电路板温度过高而影响测试结构或损坏。

如此，由于各个电路板组件的把手上均设置有把手，各个电路板组件的进液管和出液管均通过自身把手上的约束部进行固定，从而避免了大量管线处于杂乱无序的状态，以便于各个电路板组件的进液管和出液管的走线和整理。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中测试设备的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中电路板组件的主视图；

图3为图2所示的电路板组件的后视图；

图4为图2所示的电路板组件的主视图(省略电路板)；

图5为图2所示的电路板组件的后视图(省略电路板)；

图6为图4所示的电路板组件的俯视图；

图7为图2所示的电路板组件的把手的结构示意图；

图8为图1所示的测试设备的底座的结构示意图；

图9为电路板组件与助拔器连接的结构示意图；

图10为图1所示的侧视设备的风冷组件的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参阅图1，本实用新型一实施例提供了一种测试设备，包括测试机箱10及电路板组件20。该测试机箱10具有多个第一插接槽，每一电路板组件20均能够插接至一个第一插接槽内，从而使得测试机箱10能够在电路板组件20的控制下对半导体产品进行测试。可选地，该半导体产品可以是芯片或在芯片制造过程中的中间产品(例如晶圆等)。

请参见图2至图6所示，本实用新型的实施例中，电路板组件20包括支撑框架21、液冷板25、电路板(图未标)、进液管(图未示)和出液管(图未示)。支撑框架21设有把手26，该把手26可供操作人员握持，从而方便操作人员将该支撑框架21插入至测试机箱10上的第一插接槽内。液冷板25安装在支撑框架21上，且具有冷却流道(图未标)、进液口251和出液口252。该冷却流道供冷却液流经，进液口251和出液口252均与冷却流道连通，从而使得冷却液由进液口251流入冷却流道，并从出液口252排出。电路板安装在支撑框架21上，并与液冷板25贴合，从而使得电路板与液冷板25内的冷却液进行换热，进而实现对电路板进行冷却。

进液管与进液口251连通，该进液管用于通过进液口251向冷却流道输入冷却液。出液管与出液口252连通，该出液管用于通过出液口252排出冷却流道内的冷却液，从而带走电路板产生的热量。其中，请参见图7所示，上述把手26具有约束部261，该约束部261用于固定进液管和出液管，从而方便进液管和出液管的走线和整理。

上述测试设备，在实际使用时，若干电路板组件20分别插接在测试机箱10的各个第一插接槽内，并控制测试机箱10对半导体产品进行测试。并且，在测试的过程中，各个电路板组件20的进液管连续地通过进液口251向液冷板25内的冷却流道输送冷却液，同时各个电路板组件20的出液管连续地通过出液口252排出冷却流道内的冷却液，从而实现对各个电路板组件20的电路板进行冷却，避免电路板温度过高而影响测试结构或被损坏。

如此，由于各个电路板组件20均设置有把手26，各个电路板组件20的进液管和出液管均通过自身把手26上的约束部261进行固定，从而避免了大量管线处于杂乱无序的状态，以便于各个电路板组件20的进液管和出液管的走线和整理。

请参见图8所示，具体到实施例中，测试设备还包括安装在测试机箱10上的汇流排51，该汇流排51用于与各个电路板组件20的进液管连通，以分别向各个进液管提供冷却液。该汇流排51还用于与各个电路板组件20的出液管连通，以接收由各个出液管排出的冷却液。进一步地，测试设备还包括底座50，测试机箱10固定连接在该底座50上，汇流排51固定安装在该底座50上。需要说明的是，汇流排51的数量可根据电路板组件20的数量进行设计，在此不作限定。

请继续参见图7所示，在一个实施例中，约束部261包括第一贯穿孔262和第二贯穿孔263，即把手26上开设第一贯穿孔262和第二贯穿孔263。该第一贯穿孔262用于供进液管穿设，从而实现对进液管的约束。第二贯穿孔263用于供出液管穿设，从而实现对出液管的固定。如此，采用进液管穿过第一贯穿孔262的方式实现对进液管的固定，同时采用出液管穿过第二贯穿孔263的方式实现对出液管的约束，且结构简单，不额外增加测试机箱10所需占用的空间。

需要说明的是，对进液管和出液管的约束并不仅限于采用穿过贯穿孔的方式，在另一些实施例中，约束部261包括第一卡扣和第二卡扣。该第一卡扣用于卡接固定进液管，从而实现对进液管的固定。该第二卡扣用于卡接固定出液管，从而实现对出液管的固定。

还需要说明的是，在又一些实施例中，约束部261包括第一贯穿孔262和第二贯穿孔263，进液管的一端与进液口251之间通过旋转接头相连通，进液管的另一端与第一贯穿孔262的一端部相连通，第一贯穿孔262的另一端通过导流管与汇流排51的一接口相连通。如此，汇流排51内部冷却液可通过第一贯穿孔262孔进入进液管，进液管内的冷却液通过进液口251进入到液冷板25内的冷却流道内。

出液管的一端通过旋转接头与出液口252相连通，另一端与第二贯穿孔263的一端部相连通，第二贯穿孔263的另一端部通过一导流管与汇流排的一接口相连通。如此，液冷板25内的冷却流道内的冷却液通过出液口252进入到出液管，出液管内的冷却液通过第二贯穿孔263排出至汇流排51内。

请继续参见图2至图5所示，本实用新型的实施例中，电路板包括均安装在支撑框架21上的第一电路板22和第二电路板23。该第一电路板22和第二电路板23分别与液冷板25相对的两侧表面贴合，从而利用一个液冷板25对第一电路板22和第二电路板23同时进行冷却，从而有利于减少液冷板25的数量，进而有利于减小测试机箱10的体积。

具体到实施例中，电路板组件还包括安装在支撑框架21上的第三电路板24。该第三电路板24与第一电路板22和第二电路板23电性连接，且第三电路板24上设置有第一连接器241。测试机箱10上对应每一第一插接槽均设置有第二连接器。当电路板组件20插接至测试机箱10的第一插接槽内时，该电路板组件20的第三电路板24上的第一连接器241与对应的第二连接器电性连接。如此，利用第三电路板24上的第一连接器241与测试机箱10上的对应的第二连接器，实现第一电路板22、第二电路板23和第三电路板24与测试机箱10的电性连接，使得测试机箱10能够在第一电路板22、第二电路板23和第三电路板24的控制下对半导体产品进行测试。需要说明的是，电性连接指的是被连接的部件之间能够进行信号、数据和电能的传递。

进一步地，电路板组件20还包括第一散热板(图未示)和第二散热板(图未示)。该第一散热板设置在第三电路板24的一侧，第二散热板设置在第三电路板24的另一侧，从而分别利用设置在第三电路板24两侧的第一散热板和第二散热板进行散热，避免第三电路板24温度过高。可选地，该第一散热板和第二散热板可采用热传导系数较高的材料制成，只要能够实现对第三电路板24进行快速散热即可，在此不作限定。

本实用新型的实施例中，每一电路板组件20的支撑框架21具有第一端A1和与该第一端A1相对的第二端A2。每一电路板组件20均能够通过该第一端A1插接至第一插接槽内。上述把手26位于支撑框架21的第二端A2。如此，操作人员握持该把手26，然后将支撑框架21对准第一插接槽，再将支撑框架21插入对准的第一插接槽内，操作方便快捷。

具体到实施例中，每一电路板组件20中，把手26、进液口251和出液口252均位于支撑框架21的第二端A2。如此，由于把手26、进液口251和出液口252均位于支撑框架21的第二端A2，从而有利于缩短进液管和出液管的长度，进一步方便进液管和出液管的走线和整理。

需要说明的是，在现有技术中，在每一个电路板组件20上均设置有助拔器，当需要拔出电路板组件20时，将电路板组件20上的助拔器拉出，然后通过该助拔器轻松地将电路板组件20从第一插接槽内拔出。由于每个电路板组件20上均设置有助拔器，一方面增大了各个电路板组件20所需占用的空间，进而导致测试机箱10体积较大；另一方面为了尽可能的缩小测试机箱10的体积，因此各个电路板组件20上只能设置较小尺寸的助拔器，然而尺寸较小的助拔器省力效果有限。

为了克服因每个电路板组件20均设置助拔器导致的测试机箱10体积较大和只能设置较小尺寸的助拔器的缺陷，在本实用新型的一些实施例中，请参见图9所示，每一电路板组件20的支撑框架21上具有一连接部211，该连接部211位于支撑框架21的第二端A2，且用于与助拔器60连接或分离。如此，当需要从第一插接槽内拔出电路板组件20时，将助拔器60连接在连接部211上，然后通过该助拔器60向外拔出电路板组件20，有利于将电路板组件20快速而轻松地从测试机箱10的第一插接槽中拔出。当不需要拔出电路板组件20时，助拔器60不连接在电路板组件20上，可单独存放，因此不需要占用测试机箱10的空间，一方面有利于减小测试机箱10的体积，另一方面可采用较大尺寸的助拔器60，使得在通过该助拔器60拔出电路板组件20时更加省力。

在一个实施例中，连接部211可以是连接孔，助拔器60上具有连接柱61。如此，当需要拔出电路板组件20时，首先，将助拔器60上的连接柱61插入至支撑框架21上的连接孔，使得助拔器60与支撑框架21实现连接。然后，通过该助拔器60将电路板组件20从第一插接槽内拔出。当不需要拔出电路板组件20时，助拔器60上的连接柱61可从支撑框架21上的连接孔中拔出，使得助拔器60与支撑框架21实现分离。当然，在另一实施例中，连接孔也可开设在助拔器60上，连接柱61则设置在支撑框架21上，只要能够实现助拔器60与支撑框架21的连接或分离即可，在此不作限定。

请参见图10所示，本实用新型的实施例中，测试机箱10还具有第二插接槽，测试设备还包括风冷组件30，该风冷组件30能够插接至该第二插接槽内或者从第二插接槽内拔出。该风冷组件30用于对多个第一插接槽内的电路板组件20进行风冷。如此，风冷组件30插接至第二插接槽内，从而在测试机箱10对半导体产品进行测试的过程中，风冷组件30向各个第一插接槽内吹出冷却气流，使得该冷却气流带走各个电路板组件20的电路板上产生的热量，即实现对各个电路板组件20的各个电路板进行风冷。

具体到实施例中，风冷组件30上设置有第三连接器31，测试机箱10上设置有第四连接器(图未示)。当风冷组件30插接至第二插接槽时，第三连接器31和第四连接器电性连接，从而实现风冷组件30与测试机箱10之间进行电能和信号的传递，一方面为风冷组件30供电，使得风冷组件30能吹出冷却气流；另一方面对风冷组件30的启停、吹出冷却气流的大小进行控制。如此，一方面可方便的将风冷组件30插入或拔出第二插接槽，从而实现风冷组件30的安装或卸载；另一方面当风冷组件30插入第二插接槽时第三连接器31与第四连接器电性连接，从而实现风冷组件30与测试机箱10的电性连接，无需额外接线，因此在安装或卸下风冷组件30时不需要对测试机箱10进行断电，以方便风冷组件30的维护。

具体到实施例中，风冷组件30上还设置有连接件32。当风冷组件30插接至第二插接槽时，该连接件32能够与测试机箱10可拆卸地连接，以将风冷组件30锁紧固定在测试机箱10上。可选地，该连接件32可以采用松不脱螺钉。如此，当需要将风冷组件30装配至测试机箱10上时，首先，将风冷组件30对准测试机箱10上的第二插接槽，进而将风冷组件30插入至第二插接槽内，使得第三连接器31和第四连接器电性连接。然后，将风冷组件30上的松不脱螺钉拧紧在测试机箱10上。当需要卸下风冷组件30时，首先，拧松松不脱螺钉。然后，通过松不脱螺钉向外拔出风冷组件30，从而实现风冷组件30的拆卸。

进一步地，该连接件32的数量可以是两个或两个以上，从而利用两个或两个以上的连接件32共同将风冷组件30锁紧固定在测试机箱10上，使得风冷组件30的安装更加稳固。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种电路板组件，其特征在于，包括：

支撑框架(21)，设有把手(26)；

液冷板(25)，安装于所述支撑框架(21)，且具有冷却流道、进液口(251)和出液口(252)，所述冷却流道供冷却液流经，所述进液口(251)和所述出液口(252)均与所述冷却流道连通；

电路板，安装于所述支撑框架(21)，并与所述液冷板(25)贴合；

进液管，与所述进液口(251)连通，用于通过所述进液口(251)向所述冷却流道输入冷却液；及

出液管，与所述出液口(252)连通，用于通过所述出液口(252)排出所述冷却流道内的冷却液；

其中，所述把手(26)具有约束部(261)，所述约束部(261)用于固定所述进液管和所述出液管。

2.根据权利要求1所述的电路板组件，其特征在于，所述约束部(261)包括第一贯穿孔(262)和第二贯穿孔(263)，所述第一贯穿孔(262)用于供所述进液管穿设，所述第二贯穿孔(263)用于供所述出液管穿设。

3.根据权利要求1所述的电路板组件，其特征在于，所述约束部(261)包括第一卡扣和第二卡扣，所述第一卡扣用于卡接固定所述进液管，所述第二卡扣用于卡接固定所述出液管。

4.根据权利要求1所述的电路板组件，其特征在于，所述约束部(261)包括第一贯穿孔(262)和第二贯穿孔(263)；所述进液管的一端与所述进液口(251)连通，另一端连通于所述第一贯穿孔(262)的端部；所述出液管的一端与所述出液口(252)相连通，另一端连通于所述第二贯穿孔(263)的端部。

5.根据权利要求1至4任一项所述的电路板组件，其特征在于，所述把手(26)、所述进液口(251)和所述出液口(252)均位于所述支撑框架(21)的同一端。

6.根据权利要求1至4任一项所述的电路板组件，其特征在于，所述电路板包括均安装于所述支撑框架(21)的第一电路板(22)和第二电路板(23)，所述第一电路板(22)和所述第二电路板(23)分别与所述液冷板(25)相对的两侧表面贴合。

7.根据权利要求6所述的电路板组件，其特征在于，所述电路板组件还包括安装于所述支撑框架(21)的第三电路板(24)，所述第三电路板(24)与所述第一电路板(22)及所述第二电路板(23)电性连接，且所述第三电路板(24)设置有用于与测试机箱(10)电性连接的第一连接器(241)。

8.根据权利要求7所述的电路板组件，其特征在于，所述电路板组件(20)还包括第一散热板和第二散热板，所述第一散热板设置于所述第三电路板(24)的一侧，所述第二散热板设置于所述第三电路板(24)的另一侧。

9.根据权利要求1至4任一项所述的电路板组件，其特征在于，所述支撑框架(21)设有一连接部(211)，所述连接部(211)用于与助拔器(60)连接或分离。

10.一种测试设备，其特征在于，包括测试机箱(10)及多个如权利要求1至9任一项所述的电路板组件(20)；

所述测试机箱(10)具有多个第一插接槽，每一所述电路板组件(20)均能够插接至一个所述第一插接槽内。