JP4332407B2 - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2 透明基板
3 発光層
8 コンタクト層
12 成長基板
21 発光ダイオード(半導体発光素子)
22 透明基板
23 発光層
28 コンタクト層
41 発光ダイオード(半導体発光素子)
42 透明基板
43 発光層
48 コンタクト層
50 透明電極
Claims (27)
- 発光層と、該発光層からの発光波長に対して透明な透明基板との間に(AlyGa1-y)zIn1-zP(0≦y≦1、0<z<1)からなるコンタクト層を備え、前記コンタクト層は、In組成比が7%〜12%であることを特徴とするAlGaInP系の半導体発光素子。
- 発光層と、該発光層からの発光波長に対して透明な透明基板との間に(Al y Ga 1-y ) z In 1-z P(0≦y≦1、0<z<1)からなるコンタクト層を備え、前記コンタクト層は、In組成比が8%〜10%であることを特徴とするAlGaInP系の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層は、厚さが8μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層は、厚さが3μm以下であることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光素子。
- 前記透明基板は、GaPであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層は、GazIn1-zP(0.5<z<1)であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記透明基板と前記コンタクト層は、直接接合により貼り付けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が2×1018cm−3 以上であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が4×10 18 cm −3 以上であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層および前記透明基板は、ともにp型であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が1×1018cm−3 以上であることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が2×10 18 cm −3 以上であることを特徴とする請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記発光層の上に、発光波長の光線透過率が高い透明電極を備えることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の半導体発光素子。
- AlGaInPに格子整合する材質の成長基板上にAlGaInP系の発光層を形成し、
前記発光層上に(AlyGa1-y)zIn1-zP(0≦y≦1、0<z<1)からなり、In組成比が7%〜12%のコンタクト層を形成し、
前記コンタクト層の表面を平滑化し、
前記コンタクト層の表面に発光波長に対して透明な透明基板を直接接合し、
前記成長基板を除去することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - AlGaInPに格子整合する材質の成長基板上にAlGaInP系の発光層を形成し、
前記発光層上に(Al y Ga 1-y ) z In 1-z P(0≦y≦1、0<z<1)からなり、In組成比が8%〜10%のコンタクト層を形成し、
前記コンタクト層の表面を平滑化し、
前記コンタクト層の表面に発光波長に対して透明な透明基板を直接接合し、
前記成長基板を除去することを特徴とする半導体発光素子の製造方法。 - 前記コンタクト層は、厚さが8μm以下であることを特徴とする請求項14または15に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層は、厚さが3μm以下であることを特徴とする請求項15に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記成長基板は、GaAsであることを特徴とする請求項14から17のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記透明基板は、GaPであることを特徴とする請求項14から18のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層は、GazIn1-zP(0.5<z<1)であることを特徴とする請求項14から19のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層は、表面のヒロックの高さが200nm以下であることを特徴とする請求項14から20のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が2×1018cm−3以上であることを特徴とする請求項14から21のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が4×10 18 cm −3 以上であることを特徴とする請求項14から21のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層および前記透明基板は、ともにp型であることを特徴とする請求項14から21のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が1×1018cm−3以上であることを特徴とする請求項24に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記コンタクト層は、キャリア濃度が2×10 18 cm −3 以上であることを特徴とする請求項24に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記発光層の上に、発光波長の光線透過率が高い透明な透明電極を形成することを特徴とする請求項14から26のいずれかに記載の半導体発光素子の製造方法。
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