JP4326461B2 - 小流量液体の温調システム - Google Patents
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Description
これらの技術は、定常的に温調された液体をほぼ一定の流量で定常的に供給することを前提とし、その流量も比較的大きいものである。
また、上記温調の対象となる液体は通常高価なものであるため、多量に排出して不要分を廃棄または汚染状態にすることもできず、その液体がたとえ水であったとしても、膜分離技術によって分離した純水あるいは超純水が用いられるので、比較的高価なものとなっていて、それを排出してしまうとコスト高になる。
本発明の更に具体的な技術的課題は、小流量液体を微少流または間欠流として供給する流量条件でありながら、高精度に温調された液体とすることができる温調システムを提供することにある。
本発明の他の具体的な技術的課題は、液体の高精度な温調を行い、しかもその温調を行う間に液体中のパーティクル、溶存する気体、有機物、あるいは金属イオン等を除去できるようにして、混入した不純物を排除できるようにした小流量液体の温調システムを提供することにある。
したがって、上記循環路において加圧されて温調された液体が絶えず安定して大量に循環することで、液温が正確に保たれ、その液体を微少連続流または微少間欠流にして外部装置に供給するので、可及的に正確な温度に保たれた液体を外部装置に供給することができる。
この温調システムにおいては、温調すべき液体の供給源1に接続された供給路3に、該供給源1から供給された液体を加圧するレギュレータ2が設けられ、この供給路3の下流端には、上記レギュレータ2で加圧された液体をその加圧状態においてポンプ6により循環させる循環路5が接続され、具体的には循環路5中のタンク4が接続されている。このタンク4は、循環路5に作用する後述の種々の外乱を緩和するものである。
そして、上記吐出路9を分岐させた往流路は、それに続く還流路によって上記タンク4に接続され、この往流路及び還流路によって上記循環路5が形成されている。
また、上記タンク4は、往流路中における上記温調器7よりも上流側に位置させ、そこに充満する液体の熱容量により液量変動、温度変動に伴う熱的外乱を緩和するためのもので、循環路5における循環流量との関係で熱的外乱へのフィルタの時定数が決定される。
上記ポンプ6は、液体を循環させると共に、外部への吐出圧力を確保して安定した吐出を行うためのもので、循環させる液体中に不純物を放出させないために、インペラが磁気浮上して無接触回転する発塵の無い特殊ポンプが用いるのが望ましい。
そして、この温調器7により、温度検出器36において検出される循環液体の温度が、温度コントローラ37に設定されている設定温度に限りなく近づくように調節される。
上記モデルにおいて、タンク4に流入する純水の温度変化に対するタンク4で混合された純水の温度変化の比は、次式で表される。
|θm/θs|=Gs/(Gr+Gs)
ここで、θs≒2℃、θm≒0.1〜0.5℃と設定し、上式から循環流量と吐出流量の比Gr/Gsを求めると、
Gr/Gs≒2〜20
となる。
つまり、上記設定例(好ましい設定例)では、前述したように、循環路5の循環液流量を吐出路9から吐出する吐出液流量の2〜20倍にすればよいことがわかる。なお、この数値範囲が適切であることは、本発明者の実験によっても確かめている。
また、この吐出路9は、外部装置に液体を供給するために必要な最小限の長さとし、吐出路9内を液体が流れる間に温度変化が生じるのを抑制する必要がある。更に、上記吐出弁10は、循環路5にできるだけ近い位置に設置し、吐出弁10の入口まで大流量の循環液が来るようにして、外気温等の影響を排除し、吐出液の温度を安定化するのが望ましい。
上記循環流の液温は、温調器7の下流側に設けた温度検出器36において検出し、その出力に基づいて温度コントローラ37により通電制御装置35が制御され、ペルチェ素子31への適切な通電により設定温度に調整される。
外部装置に超純水等の液体を供給することにより循環路5から排出された循環液体は、供給源1からタンク4への液体の供給により補われる。
上記イオン交換装置16は、外部装置に供給される循環液中に含まれていると外部装置での作業に悪影響を及ぼすイオン化物質を吸着ないしは捕捉することにより、除去するものである。
また、真空脱気装置17は、循環液中に溶存ないしは混入している気体を真空域に導いて脱気することにより除去するもので、外部装置での作業によっては、気泡がその作業に悪影響を及ぼすため、その原因を排除するために設けるものである。
温調水循環装置21は、上記保温水を前記温調器7により温調される循環液と同温度になるように温調し、それをポンプ(図示省略)により保温水循環路22を通して二重管式熱交換器20の外管20a内に循環させるもので、必要に応じて、図5により先に説明した温調器7と実質的に同じ構成のものを用いることができる。
なお、この第3実施例における第1実施例及び第2実施例と共通する構成については、それらの実施例と共通する符号を付して、その説明を省略する。
そして、上記分岐配管25の途中に第1のバルブ27を設け、また、上記循環路5における分岐配管25の分岐点と還流配管26の接続点との間に第2のバルブ28を設けている。
この温調システムでは、吐出路9を保温するための二重管式熱交換器20の外管20aに、循環路5で温調された循環液体を供給するので、二重管式熱交換器20に供給する液体の温度調整が正確になる。
なお、この第3実施例の場合、温調された循環液体が二重管式熱交換器20の外管20a内に供給されるので、その流路の内面はフッ素樹脂で被覆しておくことが望ましい。
2 レギュレータ
3 供給路
4 タンク
5 循環路
6 ポンプ
7 温調器
8 フィルタ
9 吐出路
10 吐出弁
20 二重管式熱交換器
20a 外管
21 温調水循環装置
30 熱交換器
31 ペルチェ素子
36 温度検出器
Claims (7)
- 液体の供給源に接続されていて、該供給源から供給された液体を加圧するレギュレータを含む供給路と、
該供給路に接続されていて、上記レギュレータで加圧された液体をその加圧状態においてポンプにより循環させる循環路と、
上記循環路中に介在していて、該循環路を循環する液体の温調を行う温調器と、
上記循環路から分岐されていて、該循環路において温調された液体を少なくとも該循環路における流量の1/2よりも流量が小さい微少連続流または微少間欠流として外部装置に供給する吐出弁が設けられた吐出路とを備え、
上記吐出路を二重管式熱交換器によって形成し、その外管に前記循環路を流れる液体の全部または一部を流すための配管を接続した、
ことを特徴とする小流量液体の温調システム。 - 上記供給路を通して供給される液体が超純水を含む純水または高屈折率液体である、
ことを特徴とする請求項1に記載の小流量液体の温調システム。 - 上記循環路における循環液流量が、吐出液流量の2〜20倍になるように吐出路の流量が設定されている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の小流量液体の温調システム。 - 上記循環路中に、不純物除去手段として、循環する液体中のパーティクルを除去するフィルタ、液体中の気体を除去する真空脱気装置、有機物の酸化機能を有する紫外線酸化装置、及びイオン化物質を除去するイオン交換装置のいずれか、またはそれらのうちの任意の複数を介在させた、
ことを特徴とする請求項1〜3に記載の小流量液体の温調システム。 - 上記循環路における上記供給路との接続点から上記吐出路との分岐点へと向かう往流路中に、上記温調器を介在させた、
ことを特徴とする請求項1〜4に記載の小流量液体の温調システム。 - 上記往流路中における上記温調器から上流側に、液量変動、温度変動の外乱を緩和するタンクを介在させた、
ことを特徴とする請求項5に記載の小流量液体の温調システム。 - 温調器が、該温調器よりも下流側に設けた温度検出器の出力に基づいて制御されるペルチェ素子により温度制御される熱交換器を備えている、
ことを特徴とする請求項1〜6に記載の小流量液体の温調システム。
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