JP7011958B2 - 液体供給装置および圧力制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態の超純水製造装置の構成を示す図である。図1に示す超純水製造装置100は、液体として超純水をユースポイント200に供給する液体供給装置であり、1次純水製造装置1と、2次純水製造装置(サブシステム)2とを有する。
図5は、本発明の第2の実施形態の超純水製造装置の構成を示す図である。図5に示す超純水製造装置100aは、図1に示した第1の実施形態の超純水製造装置100と比べて、圧力計32をさらに有する点で異なる。
2 2次純水製造装置
21 タンク
22 送水ポンプ
23 熱交換器
24 UV酸化装置
25 脱気装置
26 イオン交換装置
27 UF膜装置
28 流量計
29、32 圧力計
30 圧力調整弁
31 制御装置
51、52 配管
100 超純水製造装置
311 記録部
312 制御部
Claims (6)
- 液体を収容するタンクと、
前記タンク内の液体をユースポイントに供給するポンプと、
前記ユースポイントから返送される液体を前記タンクに戻す配管と、
前記配管内の圧力である戻り圧力を測定する圧力計と、
前記配管内の流量である戻り流量を測定する流量計と、
前記戻り圧力を調整するための圧力調整手段と、
前記戻り圧力および前記戻り流量に基づいて、前記圧力調整手段を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記戻り流量に基づいて前記戻り圧力の目標値を決定し、前記戻り圧力が前記目標値となるように前記圧力調整手段を制御する、液体供給装置。 - 前記制御部は、前記戻り流量と前記目標値との対応関係を示す関係式を用いて、前記目標値を決定する、請求項1に記載の液体供給装置。
- 前記関係式は、一次式である、請求項2に記載の液体供給装置。
- 前記ユースポイントにおける圧力である対象圧力を測定する対象圧力計をさらに有し、
前記制御部は、前記対象圧力と前記戻り圧力の差分を前記対象圧力の所望値から引いた値を前記戻り流量ごとに示す処理用データを作成し、前記データに基づいて、前記関係式を算出する、請求項2または3に記載の液体供給装置。 - 液体をタンクとユースポイントとの間で循環させる液体供給装置における圧力制御方法であって、
前記ユースポイントから前記タンクに液体を戻す配管内の圧力である戻り圧力を測定するステップと、
前記配管内の流量である戻り流量を測定するステップと、
前記戻り圧力および前記戻り流量に基づいて、前記戻り圧力を調整するステップと、を
有し、
前記調整するステップでは、前記戻り流量と前記戻り圧力の目標値との対応関係を示す関係式を用いて、前記目標値を決定し、前記戻り圧力が前記決定した目標値となるように前記戻り圧力を調整する、圧力制御方法。 - 前記関係式は、一次式である、請求項5に記載の圧力制御方法。
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