JP4282444B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
同図(b)は、同図(a)の状態から、層間絶縁膜であるd-TEOS膜5上にTiN膜7、上層配線材料のAl-Cu膜8、TiN9を成膜し、配線回路に対応するレジスト10a,10bをパターンニングした状態である。リソグラフィ工程での合わせズレ(合わせズレ量Aは例えば50nm)が発生している。
特許文献2のものは、ボーダーレス構造を有した多層配線回路の形成で、合わせズレに起因して上層側配線層のコンタクトパターンがコンタクトプラグに到達して短絡が発生しないように、あらかじめ下層側のコンタクトプラグの落とし込みを行うようにしている。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、その目的は、リソグラフィ処理工程での合わせズレが発生することを考慮して、隣接するコンタクトプラグとの間の絶縁距離を確保することができ、安定した電気的特性を得ると共に、その場合でも上層に積層する層間絶縁膜の埋め込み性の低下をまねくことのないように安定したプロセスを提供することができる半導体装置およびその製造方法を提供することにある。
以下、本発明の第1の実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。なお、使用する図面では、いずれも多層配線構造の部分の断面を模式的に示すもので、寸法関係は説明の便宜上必ずしも一致しない場合がある。
図1(a),(b)は本実施形態における多層配線構造の1層分について示すもので、同図(a)はパターニングの際の位置ズレの発生がない場合のものであり、同図(b)は位置ズレが発生している場合のものである。
すなわち、同図(b)では、上層側配線層となるTiN膜17、Al−Cu膜18、TiN膜19を積層形成した後のリソグラフィ処理工程において、マスクパターンの合わせズレが距離A生じた場合を示している。この構成では、合わせズレが発生したことにより、Wプラグ16a,16bとd−TEOS膜15が共に落とし込みのエッチングがなされた状態で層間配線層14aが形成されている。この場合には、図中左側の上層側配線層のTiN膜17a,Al−Cu膜18a,TiN膜19aのパターンと右側のWプラグ16bとが近接した状態(距離d1)に形成された場合で示している。
また、上述の図2(b)に示す状態にレジスト20a,20bをパターニング形成した状態において、合わせズレが発生している場合には、図3に示すような状態となっている。このとき、上記したエッチング処理で上層側配線層となるTiN膜19、Al-Cu膜18、およびTiN膜17をエッチングすると、層間配線層14の表面にはWプラグ16a,16bが露出した状態となる。
このとき、上層側配線層となるTiN膜19a,19b、Al-Cu膜18a,18b、TiN膜17a,17bとは、リソグラフィ工程により生じた合わせズレ量Aが反映されるので、Via Hole内に形成されたWプラグ16a,16bに対して、合わせズレが発生した状態で接合が行われている。しかし、TiN膜19a,Al-Cu膜18a,TiN膜17aの上層側配線層と、それに隣接するVia Hole内に形成されたWプラグ16bとの絶縁間距離は、次のようになるので絶縁距離が確保できるようになる。
これによって、リソグラフィ工程の合わせズレ量や回路設計ルールそのものの微細化にマージンが得られない場合でも、ショート不良の発生と寄生容量の誘発を抑えることが可能となる。しかも、その場合でもリソグラフィ回数を増やすことなくエッチング処理の追加を行うだけで達成することができコストの上昇を抑制することができる。
図4および図5は本発明に関連する第1の参考例を示すもので、以下、第1の実施形態と異なる部分について説明する。
図4(a),(b)は多層配線構造の1層分について示すもので、同図(a)はパターニングの際の位置ズレの発生がない場合のものであり、同図(b)は位置ズレが発生している場合のものである。同図(a)に示す位置ズレの発生がない場合の構成は、見かけ上従来技術で図10(a)で示したものと同じであるが、製造工程上では、層間配線膜14に代わる層間配線層22の膜厚が落とし込み部Qの形成により落とし込み量fだけ薄くなるように形成されている。
このように合わせズレが発生している場合でも、第1の実施形態と同様にして絶縁距離を確保した状態で層間配線層22aを形成することができるので、電気的に安定したものをプロセスの余裕度を持って実現することができる。また、工程の追加も極力少なくしてリソグラフィ処理の工程の増加をすることなく成しうる。
この後、第1の実施形態と同様にしてエッチング処理を行うことで図4(a)あるいは(b)に示すような構成のものを形成することができるようになる。
図6ないし図9は本発明に関連する第2の参考例を示すもので、以下、第1の実施形態と異なる部分について説明する。前述同様に、図6(a),(b)は、多層配線構造の1層分について示すもので、同図(a)はパターニングの際の合わせズレの発生がない場合のものであり、同図(b)は合わせズレが発生している場合のものである。
なお、この構成においては、製造上の過程で層間配線層23が第1の実施形態における層間配線層14とは異なる。また、同図(b)の構成で説明するように、タングステン16a,16bのエッチング条件が異なることから、d−TEOS膜15よりも低いところまでエッチングされ、僅かな段差が生じている。また、図示はしないが、実際には、d−TEOS膜15の角部は丸みを帯びた状態にエッチングされるので、狭い隙間が発生することにはならない。
次に、上記構成の製造過程について説明する。図7(a)は、層間配線層23を形成した状態である。同図(b)は、この状態からd−TEOS膜15をCHF3/Ar/O2からなるガスプラズマに晒しRIE法によりエッチバック処理を行い、Wプラグ16a,16bがd−TEOS膜15に対して突出するように加工した図である。エッチバック処理条件は、例えばCHF3/Ar/O2=30/110/5sccmで、エッチバック量は20nmである。
また、上層側配線層のパターニング処理時に合わせズレが生じた場合には、図9に示すように、同図(a)を経てレジスト20a,20bのパターニングをする際に同図(b)のようになる。この状態で、エッチング処理をすると、同図(c)に示すようにWプラグ16a,16bが露出した状態になる。この後、プラグ16a,16bおよびd−TEOS膜15がエッチングされる条件でエッチング処理をすると、図6(b)に示すような形状が得られる。
本発明は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
上記実施形態では、落とし込み量fを20nmの場合を例にとって示したが、この落とし込み量fの値は、デバイス動作上必要とされる絶縁間距離を確保できるのであれば、TiN膜17の底面から、層間配線層14つまりタングステン16a,16bおよびd-TEOS膜15の落とし込みを行う量は幾らであっても良い。これにより同様にショート不良の発生と寄生容量の誘発を抑えることが可能となる。
上記実施形態では、上層側配線層となるTiN膜17、Al−Cu膜18およびTiN膜19a,19bのエッチング処理と、Wプラグ16a,16bの落とし込みを行うエッチング処理は、それぞれ異なるガスプラズマによりエッチング処理を行っているが、バリアメタルであるTiN膜17の底面から下側にWプラグ16a,16bが位置する状態が得られるのであれば、どの様なガス条件でも良い。また、その処理についても、同一のエッチングチャンバー内にて連続的に処理を行っていたが、TiN膜17の底面から下側にWプラグ16a,16bが位置する状態が得られるのであれば、連続処理で無くとも良い。
上記実施形態において、コンタクトプラグであるタングステン16a,16bの落とし込み処理では、RIE法以外に、CDE(Chemical Dry Etching)法やウェットエッチングなどの方法を採用することができる。
同様に下層側配線層や上層側配線層に用いたAl−Cu以外にも、W、Al、Al−Si−Cu、TiN、Ti、Doped−Poly−Si、Cu、WSiなどの材料を用いることができる。
上記実施形態では、層間絶縁膜のd−TEOS膜15をコンタクトプラグ材料のWプラグ16a,16bと合わせて落とし込みする処理工程を採用しているが、本実施例を適用する場合、予め、d−TEOS膜15の成膜の時点で、層間絶縁膜の落とし込み量fを見越した分の厚膜として成膜しておくことで、絶縁膜としての機能を失う事無く所望のデバイス動作が得られる。
上記実施形態では、落とし込み処理はVia Hole内に形成されたコンタクトプラグの場合で示しているが、本発明は、コンタクトプラグに限らず、層間絶縁膜が形成された埋め込み配線等を用いたデバイス回路に於いても適用することができ、この場合でも同様の効果が得られる。
Claims (2)
- 半導体基板上に形成された下層側配線層と、
前記下層側配線層に電気的に接続されるよう前記下層側配線層上に形成された一対のコンタクトプラグであって、第1の上面と、前記第1の上面より低い位置に形成された第2の上面と、前記第1および第2の上面に接続された第1の側面とをそれぞれ有するコンタクトプラグと、
前記一対のコンタクトプラグ間の前記下層側配線層上に形成され、前記一方のコンタクトプラグの前記第1の上面と面一な第3の上面と、前記他方のコンタクトプラグの前記第2の上面と面一な第4の上面と、前記第3および第4の上面に接続された第2の側面とを有する層間絶縁膜と、
前記第1および第3の上面上に形成された上層側配線層であって、前記第1の側面と面一な第3の側面と、前記第2の側面に面一な第4の側面とを有する上層側配線と
を備えた層間配線構造を有することを特徴とする半導体装置。 - 半導体基板上に下層配線層を形成する工程と、
この下層配線層上に層間絶縁膜を形成する工程と、
この層間絶縁膜中に前記下層配線層と電気的に接触するコンタクトプラグを形成することにより層間配線層を形成する工程と、
この層間配線層上に前記コンタクトプラグと電気的に接触する上層配線層を形成する工程と、
この上層配線層を前記コンタクトプラグに対応してパターニングする工程と
を備え、
前記上層配線層をコンタクトプラグに対応してパターニングする工程では、当該上層配線層をエッチングした後、露出している前記層間配線層の前記層間絶縁膜及び前記コンタクトプラグを共にエッチングすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003386526A JP4282444B2 (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | 半導体装置およびその製造方法 |
US10/988,613 US7268069B2 (en) | 2003-11-17 | 2004-11-16 | Method of fabricating semiconductor device having multilayer wiring structure |
US11/828,727 US7719117B2 (en) | 2003-11-17 | 2007-07-26 | Semiconductor device having multilayer wiring structure |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003386526A JP4282444B2 (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005150439A JP2005150439A (ja) | 2005-06-09 |
JP4282444B2 true JP4282444B2 (ja) | 2009-06-24 |
Family
ID=34694189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003386526A Expired - Fee Related JP4282444B2 (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7268069B2 (ja) |
JP (1) | JP4282444B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7704885B2 (en) * | 2007-05-24 | 2010-04-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor device and method for fabricating the same |
US7629264B2 (en) * | 2008-04-09 | 2009-12-08 | International Business Machines Corporation | Structure and method for hybrid tungsten copper metal contact |
US8635573B2 (en) | 2011-08-01 | 2014-01-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method of fabricating a semiconductor device having a defined minimum gate spacing between adjacent gate structures |
TWI833425B (zh) * | 2019-05-01 | 2024-02-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 完全對準消去處理及來自此處理的電子裝置 |
KR20220117469A (ko) | 2021-02-17 | 2022-08-24 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5756396A (en) * | 1996-05-06 | 1998-05-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd | Method of making a multi-layer wiring structure having conductive sidewall etch stoppers and a stacked plug interconnect |
JP3228181B2 (ja) * | 1997-05-12 | 2001-11-12 | ヤマハ株式会社 | 平坦配線形成法 |
US6291891B1 (en) * | 1998-01-13 | 2001-09-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device |
JP2000208615A (ja) | 1999-01-06 | 2000-07-28 | Texas Instr Inc <Ti> | 集積回路および集積回路内接続方法 |
US6271596B1 (en) * | 1999-01-12 | 2001-08-07 | Agere Systems Guardian Corp. | Damascene capacitors for integrated circuits |
JP2002176098A (ja) | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Sony Corp | 多層配線構造を有する半導体装置の製造方法 |
CN1207773C (zh) * | 2001-12-27 | 2005-06-22 | 松下电器产业株式会社 | 布线结构的形成方法 |
US7238609B2 (en) * | 2003-02-26 | 2007-07-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for fabricating semiconductor device |
JP2004288950A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Renesas Technology Corp | 配線構造 |
KR100596489B1 (ko) * | 2004-06-28 | 2006-07-03 | 삼성전자주식회사 | 금속배선을 갖는 반도체 장치 및 이의 제조방법 |
-
2003
- 2003-11-17 JP JP2003386526A patent/JP4282444B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-11-16 US US10/988,613 patent/US7268069B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-07-26 US US11/828,727 patent/US7719117B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005150439A (ja) | 2005-06-09 |
US20050167843A1 (en) | 2005-08-04 |
US20080036089A1 (en) | 2008-02-14 |
US7268069B2 (en) | 2007-09-11 |
US7719117B2 (en) | 2010-05-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090317 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120327 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130327 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140327 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |