JP2006222208A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 コンタクトホールがボーイング形状となるのを防止し、かつコンタクトホールの下部の開口径を大きくすることができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】 絶縁膜を所定深さまでドライエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールの側壁に側壁保護膜を形成する工程と、側壁保護膜をマスクとしてコンタクトホールの底部から絶縁膜をドライエッチングしてコンタクトホールを更に掘り込む工程と、側壁保護膜をマスクとしてコンタクトホールの下部の側面にある絶縁膜をウェットエッチングすることにより、コンタクトホールの下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする工程とを有する。
【選択図】 図2
【解決手段】 絶縁膜を所定深さまでドライエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールの側壁に側壁保護膜を形成する工程と、側壁保護膜をマスクとしてコンタクトホールの底部から絶縁膜をドライエッチングしてコンタクトホールを更に掘り込む工程と、側壁保護膜をマスクとしてコンタクトホールの下部の側面にある絶縁膜をウェットエッチングすることにより、コンタクトホールの下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする工程とを有する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、高アスペクト比のコンタクトホールを有する半導体装置の製造方法に関するものである。
従来は、キャパシタ用のシリンダーコンタクトやメタル配線用のコンタクトなどの高アスペクト比のコンタクトホールを形成するために、レジスト又は、レジストをマスクとしてポリシリコンドライエッチャーで加工したポリシリコンなどをマスクとして酸化膜ドライエッチングを行っていた。ここで、アスペクト比とは、コンタクトホールの深さ/ホール径の比であり、この数値が大きいほどエッチング難度が高くなる。
特にDRAMにおいては、微細化とキャパシタ容量の確保を両立するために高アスペクト比化が進んでいる。キャパシタ材料にも左右されるが、110〜130nmDRAMではキャパシタのシリンダーコンタクトでアスペクト比は約10となり、それに伴いメタル配線と下層のビット線導通用のコンタクトではアスペクト比は約12となる。更に次世代の90〜100nmDRAMでは、キャパシタのシリンダーコンタクトでアスペクト比は約14となり、それに伴いメタル配線と下層のビット線導通用のコンタクトではアスペクト比は約20となる。
図9は、高アスペクト比のコンタクトホールを形成する従来の工程を示す断面図である。図示のように、下層の配線層91上に酸化膜92を堆積し、レジストパターン93をマスクとして酸化膜92をドライエッチングして、高アスペクト比のコンタクトホール94を形成する。この場合、コンタクトホール94の開口部近傍にポリマーが吸着・堆積し、それよりも下部ではイオンの散乱によりコンタクトホール94の側面がエッチングされ径拡大するため、コンタクトホール94はたる型の形状(以下、「ボーイング形状」と呼ぶ)になる。
このため、図8に示すような密集パターンでは、コンタクト同士が径拡大した部分で接触してショートするという問題があった。また、図9に示す工程の後にコンタクトホールに金属を埋め込んでメタルプラグを形成した場合、図10に示すようにメタルプラグ95中に髭(以下、「シーム」と呼ぶ)が発生する。このため、コンタクト抵抗が増大し、配線の信頼性が劣化するという問題があった。
例えば、110nmDRAMの場合、キャパシタのシリンダーコンタクトの深さは2000nm、ドライエッチング直後のコンタクト上部の開口径とボーイング部の開口径の差は56nm、隣接するコンタクト同士の距離は50nm程度となる。そして、開口後のウェットエッチング処理でボーイング部の開口径は更に拡大し、隣接したコンタクト同士のショートが発生する。
これらのボーイング形状の問題は、微細化・高アスペクト比化に伴って顕在化し深刻な問題となっている。これに対し、コンタクトホールがボーイング形状となるのを防止するための手法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかし、従来の方法では、微細化・高アスペクト比化によりコンタクトホールの下部の開口径が小さくなるため、キャパシタ容量が減少し、下層配線との重なりマージンが小さくなり、コンタクト抵抗が上昇するという問題があった。例えば、110nmDRAMの場合、下層配線との重なりは60〜100nm程度となる。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、コンタクトホールがボーイング形状となるのを防止し、かつコンタクトホールの下部の開口径を大きくすることができる半導体装置の製造方法を得るものである。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、絶縁膜を所定深さまでドライエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホールの側壁に側壁保護膜を形成する工程と、側壁保護膜をマスクとしてコンタクトホールの底部から絶縁膜をドライエッチングしてコンタクトホールを更に掘り込む工程と、側壁保護膜をマスクとしてコンタクトホールの下部の側面にある絶縁膜をウェットエッチングすることにより、コンタクトホールの下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする工程とを有する。本発明のその他の特徴は以下に明らかにする。
本発明により、コンタクトホールがボーイング形状となるのを防止し、かつコンタクトホールの下部の開口径を大きくすることができる。
実施の形態1.
図1及び図2は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
図1及び図2は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
まず、図1(a)に示すように、Si基板11にHDP酸化膜などにより素子分離12を形成する。次に、Si基板11上に酸化膜13を形成し、この酸化膜13中にポリプラグ14を形成する。そして、酸化膜13上に酸化膜15を形成し、この酸化膜15中にポリプラグ16、及び、W/TIN又はW/TiWなどのメタル配線17(ビットライン)を形成する。次に、酸化膜15上に、キャパシタを形成するための絶縁膜である酸化膜18を形成する。そして、酸化膜18上に、マスク材となるポリシリコン膜19を形成し、その上にポリシリコン膜19を加工するためのレジストパターン20を形成する。
次に、図1(b)に示すように、レジストパターン20をマスクとして、ポリシリコンドライエッチャーでポリシリコン膜19をエッチングする。その後、レジストパターン20を除去する。
次に、図1(c)に示すように、ポリシリコン膜19をマスクとして、酸化膜ドライエッチャーで酸化膜18を所定深さまでドライエッチングしてコンタクトホール21を形成する。この時、従来のように酸化膜18をボトムまでエッチングするのに比べてエッチング量が少ないため、ボーイングは発生しない。但し、保護したい個所よりも深くエッチングする必要がある。例えば、層間2.3μmのキャパシタのエッチングを行う場合、従来は、表面から0.7μm〜1.2μmの位置でボーイングを起こしていた。そこで、深さ約1.5μmまでエッチングを行う。勿論、深さ1.5μmまでエッチングしてもボーイングは発生しない。
次に、図1(d)に示すように、コンタクトホール21の側壁に側壁保護膜としてポリシリコン膜22を形成する。そして、図2(a)に示すように、ポリシリコンエッチャーによりコンタクトホール21の底の酸化膜18をドライエッチングする。
次に、図2(b)に示すように、ポリシリコン膜22をマスクとしてコンタクトホール21の底部から酸化膜18を酸化膜ドライエッチャーによりドライエッチングして、ポリプラグ16に達するまでコンタクトホール21を更に掘り込む。そして、図2(c)に示すように、マスクとして用いたポリシリコン膜19をドライエッチやCMPなどで除去する。
次に、図2(d)に示すように、ポリシリコン膜22をマスクとしてコンタクトホール21の下部の側面にある酸化膜18をウェットエッチングすることにより、コンタクトホール21の下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする。
また、必要に応じて図2(e)に示すようにウェットエッチング等でポリシリコン膜22を選択的に除去することもできる。この場合、キャパシタの表面積を拡大でき、キャパシタ容量を向上させることができる。
その後、キャパシタの下部電極、誘電膜、上部電極を形成する。または、キャパシタの下部電極となるポリシリコンやメタルを成膜し、その後CMPにより上面に成膜されたキャパシタの下部電極とマスク材を同時に除去してもよい。
以上説明したように、本実施の形態1に係る半導体装置の製造方法では、イオンの散乱による径拡大が起きやすいコンタクトホール21の側壁部分がポリシリコン膜22により保護されているため、コンタクトホール21がボーイング形状となるのを防止することができる。これにより隣接するホール同士のショートを回避しつつ更に高アスペクト比のコンタクトの形成が可能となる。
また、ウェットエッチングでコンタクトホール21の下部のみを選択的に径拡大したことにより、コンタクトホール21の下部の開口径を大きくすることができる。これにより、キャパシタの表面積を拡大してキャパシタ容量を向上することができ、下層のポリプラグ16との接触面積を拡大してポリプラグ16との重ね合わせマージンを拡大し、コンタクト抵抗を低減することができる。
以上、キャパシタのシリンダーコンタクトの形成について説明したが、実施の形態1に係る半導体装置の製造方法は、配線間導通のためのコンタクトの形成にも適用することができる。この場合について図3を用いて説明する。図1又は図2と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
図3(a)に示すように、酸化膜13中にメタルプラグ23を形成し、酸化膜15中にWやAl等からなる下層配線24を形成する。そして、図1(a)〜図2(c)と同様の工程により、下層配線24まで達するコンタクトホール21と、その上部側面を覆うポリシリコン膜22を形成する。
次に、図3(b)に示すように、ウェットエッチングによりコンタクトホール21の下部を選択的にエッチングする。そして、ウェットエッチング等でポリシリコン膜22を選択的に除去する。
次に、図3(c)に示すように、コンタクトホール21にW等を埋め込んでコンタクト25を形成する。そして、酸化膜18上にコンタクト25と接続するようにWやAl等からなる上層配線26を形成する。
このように配線間導通のためのコンタクトの形成に適用した場合も、上記の例と同様の効果を得ることができる。
なお、ポリプラグ13,16の代わりに、TiN、TiW又はW等のメタルプラグを用いてもよい。また、マスク材や側壁保護膜として、ポリシリコン膜19,22の代わりに、酸化膜ドライエッチングに対して選択性のある窒化膜やメタル材を用いてもよい。そして、側壁保護膜として、ポリシリコンやメタル材料を使用した場合、そのままキャパシタの下層電極として利用することができる。一方、窒化膜を用いた場合は、そのまま絶縁膜として利用することができるため、除去する必要がない。また、表面の自然酸化膜を除去するためのウェットエッチ時においても、コンタクトホール21上部の径拡大を抑制でき、ウェットエッチ起因の隣接するホール同士のショートも回避することができる。
実施の形態2.
図4は、本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図1又は図2と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
図4は、本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図1又は図2と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
まず、図4(a)に示すように、第1の絶縁膜である酸化膜18上に、第2の絶縁膜である酸化膜27を形成する。ただし、酸化膜27として、酸化膜18よりも高密度の酸化膜、プラズマ酸化膜の様に酸化膜18よりも窒素原子を多く含む酸化膜、又は窒化膜など、酸化膜18よりもエッチング耐性が高い膜を用いる。そして、酸化膜27の上にポリシリコン膜19を形成し、実施の形態1と同様にパターニングする。
次に、図4(b)に示すように、ポリシリコン19をマスクとして、酸化膜27及び酸化膜18をドライエッチングしてコンタクトホール21を形成する。
次に、図4(c)に示すように、酸化膜27に対して酸化膜18を選択的にエッチングする条件で、コンタクトホール21の下部の側面にある酸化膜18を例えばフッ酸を用いてウェットエッチングして、コンタクトホール21の下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする。ここで、酸化膜27として窒素原子を含んだ膜を用いた場合、開口径が広がりにくく制御性よく設計値通りに成形することができる。そして、図4(d)に示すように、マスクとして用いたポリシリコン膜19をドライエッチやCMPなどで除去する。
以上説明したように、実施の形態2では、側璧保護膜を形成する代わりにキャパシタ層を2層構造にしている。これにより、実施の形態1と同様の効果を奏する。
ここで、キャパシタのシリンダーコンタクトと配線間導通のためのコンタクトの形成に、上記の製造方法を適用した場合について図5を用いて説明する。ただし、図1〜4と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
図5に示すように、コンタクトホール21部分に、下部電極/誘電率膜/上部電極からなるキャパシタ28を形成する。そして、これと同時に、下層配線24(ビットライン)と上層配線26を接続するWプラグ等のコンタクト25を形成する。
コンタクト25の層間膜の一部はキャパシタ層間膜である酸化膜18,27であるため、コンタクトホール21と同時にコンタクト25のボーイング形状も改善することができる。
実施の形態3.
図6及び図7は、本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図1又は図2と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
図6及び図7は、本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図1又は図2と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
まず、図1(a)(b)と同様の工程を行った後、図6(a)に示すように、絶縁膜である酸化膜18を下層のポリプラグ16を露出させない程度の深さまでドライエッチングしてコンタクトホール21を形成する。
次に、図6(b)に示すように、コンタクトホール21の側壁に側壁保護膜としてポリシリコン膜22を形成する。そして、図6(c)に示すように、ポリシリコンエッチャーによりコンタクトホール21の底のポリシリコン膜22をエッチングする。
次に、図7(a)に示すように、ポリシリコン膜22をマスクとしてコンタクトホール21の底部から酸化膜18をウェットエッチングして、ポリプラグ16に達するまでコンタクトホール21を更に掘り込み、コンタクトホール21の下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする。そして、図7(b)に示すように、マスクとして用いたポリシリコン膜19をドライエッチやCMPなどで除去する。
また、必要に応じて図7(c)に示すようにウェットエッチング等でポリシリコン膜22を選択的に除去することもできる。この場合、キャパシタの表面積を拡大でき、キャパシタ容量を向上させることができる。
以上説明した実施の形態3に係る半導体装置の製造方法により、実施の形態1と同様の効果に加え、酸化膜ドライエッチャーにより下層のポリプラグ表面にイオンが入射することがないので、一般的に言われている様なプラズマの照射によるポリ表面へのカーボンのノックオン(SiC形成)起因のコンタクト抵抗の上昇を回避でき、低抵抗化が可能である。また、これによりコンタクト抵抗低減を目的としたカーボンのノックオン層(SiC層)を除去する工程(CF4/O2プラズマ処理)等を省略することができる。これはキャパシタコンタクト以外の工程であるポリプラグ14,16の形成時にも適用することができ、各界面層で同様の効果が得られる。
実施の形態4.
図8は、本発明の実施の形態4に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図4と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
図8は、本発明の実施の形態4に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図4と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
まず、実施の形態2と同様に、第1の絶縁膜である酸化膜18上に、第2の絶縁膜である酸化膜27を形成する。ただし、酸化膜27として、酸化膜18よりもエッチング耐性が高い膜を用いる。次に、酸化膜27をドライエッチングしてコンタクトホール21を形成する。そして、酸化膜27に対して酸化膜18を選択的にエッチングする条件で、コンタクトホール21の底部から酸化膜18をウェットエッチングして、ポリプラグ16に達するまでコンタクトホール21を更に掘り込み、コンタクトホール21の下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする。
この実施の形態4に係る半導体装置の製造方法により、実施の形態3と同様の効果を得ることができる。
18 酸化膜(第1の絶縁膜)
21 コンタクトホール
22 ポリシリコン膜(側壁保護膜)
27 酸化膜(第2の絶縁膜)
21 コンタクトホール
22 ポリシリコン膜(側壁保護膜)
27 酸化膜(第2の絶縁膜)
Claims (4)
- 絶縁膜を所定深さまでドライエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールの側壁に側壁保護膜を形成する工程と、
前記側壁保護膜をマスクとして前記コンタクトホールの底部から前記絶縁膜をドライエッチングして前記コンタクトホールを更に掘り込む工程と、
前記側壁保護膜をマスクとして前記コンタクトホールの下部の側面にある前記絶縁膜をウェットエッチングすることにより、前記コンタクトホールの下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1の絶縁膜上に、前記第1の絶縁膜よりもエッチング耐性が高い第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜及び前記第1の絶縁膜をドライエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、
前記第2の絶縁膜に対して前記第1の絶縁膜を選択的にエッチングする条件で、前記コンタクトホールの下部の側面にある前記第1の絶縁膜をウェットエッチングすることにより、前記コンタクトホールの下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする工程とを有し、
前記第1の絶縁膜として酸化膜を用い、
前記第2の絶縁膜として、前記第1の絶縁膜よりも高密度の酸化膜、前記第1の絶縁膜よりも窒素原子を多く含む酸化膜、又は窒化膜を用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 絶縁膜を所定深さまでドライエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールの側壁に側壁保護膜を形成する工程と、
前記側壁保護膜をマスクとして前記コンタクトホールの底部から前記絶縁膜をウェットエッチングして前記コンタクトホールを更に掘り込み、前記コンタクトホールの下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1の絶縁膜上に、前記第1の絶縁膜よりもエッチング耐性が高い第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜をドライエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、
前記第2の絶縁膜に対して前記第1の絶縁膜を選択的にエッチングする条件で、前記コンタクトホールの底部から前記第1の絶縁膜をウェットエッチングして前記コンタクトホールを更に掘り込み、前記コンタクトホールの下部と上部の境界において、下部の開口径を上部の開口径以上にする工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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