JP4242844B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第2の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第3の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第3の実施形態の一変形例について図9を参照しながら説明する。
以下、本発明の第4の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第4の実施形態の第1変形例について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第4の実施形態の第2変形例について図面を参照しながら説明する。
11 LSI機能部
12 半導体基板
13 第1の絶縁膜
14 MOSトランジスタ
15 第1のLSI配線
16 第2のLSI配線
17 第2の絶縁膜
22 シールド配線層
23 下部シールド配線
24 第3の絶縁膜
25 上部シールド配線
26 第4の絶縁膜
31 クロック発生器
41 第1の配線
42 第2の配線
43 第3の配線
44 第4の配線
45 第5の配線
52 シールド配線
53 不正加工接続箇所
54 不正加工切断箇所
60 シールド配線
60a シールド配線
60b シールド配線
60c シールド配線
60d シールド配線
60e シールド配線
60f シールド配線
60g シールド配線
60h シールド配線
61 切替回路
62a 端子
62b1 端子
62b2 端子
62c 端子
62d 端子
62e 端子
62f 端子
62g 端子
62h 端子
63a 端子
63b 端子
63c 端子
63d 端子
64A 第1のスイッチ回路
64B 第2のスイッチ回路
64C 第3のスイッチ回路
64D 第4のスイッチ回路
65 レジスタ
66 設定信号線
70 シールド配線
71 信号線
72 ビア(接続部)
73 ダミービア
80 不正加工検知回路
Claims (9)
- 集積回路と、
前記集積回路の上に形成され、前記集積回路に対する物理的な改変を防止するシールド配線層とを備え、
前記シールド配線層は、下部シールド配線と該下部シールド配線の上に形成された上部シールド配線とを含み、
前記下部シールド配線と前記上部シールド配線との各配線の配置方向は互いに交差しており、
前記下部シールド配線及び上部シールド配線はそれぞれ複数からなり、
前記複数の下部シールド配線又は前記複数の上部シールド配線のうちの少なくとも2本を電気的に接続すると共に、その接続先を変更できる切替回路をさらに備えている半導体集積回路装置。 - 請求項1において、
前記切替回路を複数備え、
前記複数の切替回路は、前記集積回路の上に互いの間隔が不規則となるように設けられている半導体集積回路装置。 - 集積回路と、
前記集積回路の上に形成され、前記集積回路に対する物理的な改変を防止するシールド配線層とを備え、
前記シールド配線層は、下部シールド配線と該下部シールド配線の上に形成された上部シールド配線とを含み、
前記下部シールド配線と前記上部シールド配線との各配線の配置方向は互いに交差しており、
前記下部シールド配線又は前記上部シールド配線のうちの少なくとも一方は、電源線、接地線又は前記集積回路を制御する信号線と接続する接続部を有している半導体集積回路装置。 - 請求項3において、
前記接続部は、前記下部シールド配線又は前記上部シールド配線のうちの少なくとも一方に複数設けられ、
前記複数の接続部は、前記集積回路の上に互いの間隔が不規則となるように設けられている半導体集積回路装置。 - 請求項4において、
前記下部シールド配線又は前記上部シールド配線のうちの少なくとも一方は、前記信号線と電気的に接続されることなく不規則に配置された複数のダミービアが形成されている半導体集積回路装置。 - 集積回路と、
前記集積回路の上に形成され、前記集積回路に対する物理的な改変を防止するシールド配線とを備え、
前記シールド配線と前記集積回路における配線との各配線の配置方向は互いに斜めに交差しており、
前記シールド配線は複数からなり、
前記複数のシールド配線のうちの少なくとも2本を電気的に接続すると共に、その接続先を変更できる切替回路をさらに備えている半導体集積回路装置。 - 請求項6において、
前記切替回路を複数備え、
前記複数の切替回路は、前記集積回路の上に互いの間隔が不規則となるように設けられている半導体集積回路装置。 - 集積回路と、
前記集積回路の上に形成され、前記集積回路に対する物理的な改変を防止するシールド配線とを備え、
前記シールド配線と前記集積回路における配線との各配線の配置方向は互いに斜めに交差しており、
前記シールド配線は、電源線、接地線又は前記集積回路を制御する信号線と接続する接続部を有しており、
前記接続部は前記シールド配線に複数設けられ、
前記複数の接続部は、前記集積回路の上に互いの間隔が不規則となるように設けられている半導体集積回路装置。 - 請求項8において、
前記シールド配線は、前記信号線と電気的に接続されることなく不規則に配置された複数のダミービアが形成されている半導体集積回路装置。
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