JP4145327B2 - 磁性薄膜、磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッドおよび磁気メモリ素子 - Google Patents
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Description
実験1では、CoMnSiで表される組成のベースに付加元素としてAgを添加した合金膜を基板上に成膜し、その合金膜をアニールによって規則化することによって、L21構造またはB2構造を有する磁性薄膜を形成した。この際、ベースに対するAgの添加量およびアニール温度を変更した種々の条件で磁性薄膜を作製し、これらの条件による規則化の程度を調べた。磁性薄膜の膜厚は80nmとした。アニール後の規則化の程度の評価は、規則化後の磁性薄膜の飽和磁化Ms(A/m)、および(110)面または(220)面でのX線回折強度を測定することによって行った。
実験2では、実験1と同じ組成の磁性薄膜において、Agの添加量が10at.%と15at.%の場合の、種々の膜厚についての飽和磁化Msの変化を、アニール温度を変えて調べた。
実験3では、実験1と同じ組成のベースに、付加元素としてそれぞれデバイ温度の異なる付加元素を添加した複数の合金膜を基板上に成膜し、それをアニールによって規則化させることによって、付加元素のデバイ温度と規則化開始温度との関係を調べた。ベースに対する付加元素の添加量は10at.%とした。なお、比較のため、付加元素を添加しなかった磁性薄膜も作製し、その規則化開始温度を調べた。また、作製した磁性薄膜の膜厚は80nmとした。規則化開始温度は、飽和磁化Msが発生した温度とした。なお、実験3では、付加元素の添加量および磁性薄膜の膜厚を上記の条件で評価しているが、これらの条件については、実験1,2で得られた膜厚依存性および添加量依存性の結果から、規則化開始温度を評価するのに用いる条件として妥当であると考えられる。
2 再生部
3 記録部
4 MR素子
13 下部シールド層
15 上部シールド層
41 バッファー層
42 反強磁性層
43 ピンド層
43a アウター層
43b 非磁性中間層
43c インナー層
44 スペーサ層
45 フリー層
46 キャップ層
47 絶縁膜
48 ハードバイアス膜
Claims (10)
- 組成式がXYZまたはX2YZ(ただし、Xは、Co、Ir、Rh、Pt、およびCuから選択された1種または2種以上の元素、Yは、V、Cr、Mn、およびFeから選択された1種または2種以上の元素、Zは、Al、Si、Ge、As、Sb、Bi、In、TiおよびPbから選択された1種または2種以上の元素である。XがCu,YがMn,ZがAlである組み合わせを除く。)で表される規則化された結晶構造をもつ合金からなる層を有し、
前記合金に、前記合金の組成に含まれず、かつデバイ温度が300K以下である、少なくとも1種の付加元素が添加されている磁性薄膜。 - 前記合金に対する前記付加元素の添加量は2at.%以上20at.%以下である、請求項1に記載の磁性薄膜。
- 前記付加元素は、As、Se、Y、Zr、Nb、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Hf、Ta、Pt、Au、Hg、Tl、Pb、BiおよびLaから選択される元素である、請求項1または2に記載の磁性薄膜。
- 前記付加元素は、Au、Ag、PdおよびNbから選択される元素である、請求項3に記載の磁性薄膜。
- 前記結晶構造はL21構造であり、(220)面が優先配向し、かつ格子定数が0.55nm以上0.58nm以下である、請求項1から4のいずれか1項に記載の磁性薄膜。
- 前記結晶構造はB2構造であり、(110)面が優先配向し、かつ格子定数が0.275nm以上0.29nm以下である、請求項1から4のいずれか1項に記載の磁性薄膜。
- 磁化方向が固定されたピンド層と、
磁化方向が外部磁界に応じて変化するフリー層と、
前記ピンド層と前記フリー層との間に設けられた非磁性のスペーサ層と、
を有し、
前記ピンド層および前記フリー層の少なくとも一方は、請求項1から4のいずれか1項に記載の磁性薄膜を含んでいる磁気抵抗効果素子。 - 前記ピンド層は、非磁性中間層と、該非磁性中間層を挟んで設けられた2つの強磁性体層とを有する、請求項7に記載の磁気抵抗効果素子。
- 請求項7または8に記載の磁気抵抗効果素子を有する薄膜磁気ヘッド。
- 請求項7または8に記載の複数の磁気抵抗効果素子と、
前記複数の磁気抵抗効果素子に接続され、前記複数の磁気抵抗効果素子の任意の一つに選択的に情報を書込み、または任意の一つから選択的に情報を読出す配線部と、
を有する、
磁気メモリ素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006074521A JP4145327B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 磁性薄膜、磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッドおよび磁気メモリ素子 |
US11/723,143 US20070217087A1 (en) | 2006-03-17 | 2007-03-16 | Magnetic thin film and magnetoresistance effect element having a heusler alloy layer containing an additive element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006074521A JP4145327B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 磁性薄膜、磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッドおよび磁気メモリ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007250977A JP2007250977A (ja) | 2007-09-27 |
JP4145327B2 true JP4145327B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=38517546
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006074521A Active JP4145327B2 (ja) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 磁性薄膜、磁気抵抗効果素子、薄膜磁気ヘッドおよび磁気メモリ素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070217087A1 (ja) |
JP (1) | JP4145327B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4810360B2 (ja) | 2006-08-31 | 2011-11-09 | 石福金属興業株式会社 | 磁性薄膜 |
US20080173543A1 (en) * | 2007-01-19 | 2008-07-24 | Heraeus Inc. | Low oxygen content, crack-free heusler and heusler-like alloys & deposition sources & methods of making same |
JP2009164182A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP4764466B2 (ja) * | 2008-09-25 | 2011-09-07 | 株式会社東芝 | ホイスラー合金を有する積層体、この積層体を用いた磁気抵抗素子、及びスピントランジスタ |
JP5661995B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2015-01-28 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド |
JP2014116036A (ja) * | 2012-12-06 | 2014-06-26 | Toshiba Corp | 磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ、及び磁気記録再生装置 |
JP2015179824A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-10-08 | Tdk株式会社 | 磁性素子およびそれを備えた磁性高周波素子 |
JP2016134520A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | ホイスラー合金薄膜およびその製造方法、磁気抵抗効果素子、磁気メモリ |
CN109097610B (zh) * | 2018-08-01 | 2020-06-12 | 河海大学 | 一种具有大应变的磁性记忆合金及其制备方法 |
US11967348B2 (en) | 2020-12-21 | 2024-04-23 | Tdk Corporation | Magnetoresistance effect element containing Heusler alloy with additive element |
US11696512B2 (en) | 2021-01-05 | 2023-07-04 | Tdk Corporation | Magnetic domain wall moving element and magnetic array |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003016620A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Toshiba Corp | 磁気記録媒体、磁気記録装置および磁気記録方法 |
JP4157707B2 (ja) * | 2002-01-16 | 2008-10-01 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
JP2005346816A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | データ記憶装置及びその制御方法 |
US7558028B2 (en) * | 2005-11-16 | 2009-07-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic head with improved CPP sensor using Heusler alloys |
-
2006
- 2006-03-17 JP JP2006074521A patent/JP4145327B2/ja active Active
-
2007
- 2007-03-16 US US11/723,143 patent/US20070217087A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007250977A (ja) | 2007-09-27 |
US20070217087A1 (en) | 2007-09-20 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120627 Year of fee payment: 4 |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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