JP2008004811A - 磁界検出素子の製造方法、磁界検出素子、積層体、ウエハ、ヘッドジンバルアセンブリ、およびハードディスク装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁界検出素子の製造方法は、スペーサ層8と隣接するスペーサ隣接層91と、ホイスラー合金層92と、金属層94とを、この順で順次隣接するように形成するステップと、スペーサ隣接層91と、ホイスラー合金層92と、金属層94とを加熱して、ピンド層7の少なくとも一部またはフリー層9を形成するステップと、を有している。スペーサ隣接層91は、コバルトおよび鉄を主成分とする層である。ホイスラー合金層92は、銀、金、銅、パラジウム、または白金のいずれか、またはこれらの合金からなる金属成分を含んでいる。金属層94は、銀、金、銅、パラジウム、または白金のいずれか、またはこれらの合金からなる層である。
【選択図】図3
Description
2 磁界検出素子
3 上部電極兼シールド
4 下部電極兼シールド
5 バッファ層
6 反強磁性層
7 ピンド層
71 アウターピンド層
72 非磁性中間層
73 インナーピンド層
8 スペーサ層
9 フリー層
91 スペーサ隣接層
92 ホイスラー合金層
93 金属層
94 金属層
10 キャップ層
11 絶縁膜
12 ハードバイアス膜
Claims (12)
- 外部磁界に応じて磁化方向が変化するフリー層と外部磁界に対して磁化方向が固定されたピンド層とが導電性かつ非磁性のスペーサ層を挟んで積層され、センス電流が膜面直交方向に流れるようにされた磁界検出素子の製造方法であって、
前記スペーサ層と隣接するスペーサ隣接層と、ホイスラー合金層と、金属層とを、この順で順次隣接するように形成するステップと、
前記スペーサ隣接層と、前記ホイスラー合金層と、前記金属層とを加熱して、前記ピンド層の少なくとも一部または前記フリー層を形成するステップと、
を有し、
前記スペーサ隣接層は、コバルトおよび鉄を主成分とする層であり、
前記ホイスラー合金層は、銀、金、銅、パラジウム、または白金のいずれか、またはこれらの合金からなる金属成分を含み、
前記金属層は、銀、金、銅、パラジウム、または白金のいずれか、またはこれらの合金からなる層である、
磁界検出素子の製造方法。 - 前記ホイスラー合金層に含まれる前記金属成分は、前記金属層を構成する成分と同一である、請求項1に記載の磁界検出素子の製造方法。
- 前記ホイスラー合金層に含まれる銀の原子分率は、1%以上、20%以下である、請求項2に記載の磁界検出素子の製造方法。
- 前記スペーサ隣接層と、前記ホイスラー合金層と、前記金属層とを加熱することによって前記フリー層が形成され、
前記金属層の膜厚は0.2nm以上、2nm以下である、
請求項3に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 前記ピンド層は、
外部磁界に対して磁化方向が固定されたアウターピンド層と、
前記アウターピンド層よりも前記スペーサ層に近接して設けられ、前記アウターピンド層によって磁化方向が固定されたインナーピンド層と、
を有し、
前記スペーサ隣接層と、前記ホイスラー合金層と、前記金属層とを加熱することによって前記インナーピンド層が形成され、
前記金属層の膜厚は0.2nm以上、0.4nm以下である、
請求項3に記載の磁界検出素子の製造方法。 - 前記スペーサ隣接層と、前記ホイスラー合金層と、前記金属層とを加熱する温度は523K以上、673K以下である、請求項1から5のいずれか1項に記載の磁界検出素子の製造方法。
- 外部磁界に応じて磁化方向が変化するフリー層と、
外部磁界に対して磁化方向が固定されたピンド層と、
前記フリー層と前記ピンド層との間に挟まれた非磁性のスペーサ層と、
を有し、
センス電流が膜面直交方向に流れるようにされ、
前記フリー層または前記ピンド層の少なくとも一方は、前記スペーサ層に隣接するスペーサ隣接層と、該スペーサ隣接層に隣接するホイスラー合金層と、該ホイスラー合金層に隣接する金属層と、を有し、
前記金属層は、前記ホイスラー合金層から拡散移動した、銀、金、銅、パラジウム、または白金のいずれか、またはこれらの合金からなる金属成分を含んでいる、
磁界検出素子。 - 前記金属成分は銀である、請求項8に記載の磁界検出素子。
- 請求項7または8に記載の磁界検出素子を備えた積層体。
- 請求項9に記載の積層体の製造に用いる、少なくとも1つの薄膜磁気変換素子が設けられたウエハ。
- 請求項9に記載の積層体を含み、記録媒体に対向して配置されるスライダと、
前記スライダを弾性的に支持するサスペンションと、
を有するヘッドジンバルアセンブリ。 - 請求項9に記載の積層体を含み、回転駆動される円盤状の記録媒体に対向して配置されるスライダと、
前記スライダを支持するとともに、前記記録媒体に対して位置決めする位置決め装置と、
を有するハードディスク装置。
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