JP5240342B2 - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る薄膜磁気ヘッド1の要部断面図を示している。薄膜磁気ヘッド1は基板W上に形成され、再生ヘッド2と記録ヘッド3とを有している。図2は、図1のA−A方向から見た再生ヘッド2の側面図、すなわち媒体対向面Sにおける再生ヘッド2の層構成を示している。媒体対向面Sとは、薄膜磁気ヘッド1の、記録媒体Mと対向する面である。まず、図2を参照して、再生ヘッド2の構成について説明する。
本実施形態の薄膜磁気ヘッド1は、再生ヘッド2の構成を除いて、図1に示す第1の実施形態と同一である。図4及び表2には、このような磁気抵抗効果素子の層構成を示している。再生ヘッド102は、第1の実施形態と同様に多数の層が積層された磁気抵抗効果素子104と、磁気抵抗効果素子104を膜面直交方向P(積層方向)に挟むように設けられた上部及び下部シールド層106,105と、を有している。上部及び下部シールド層106,105はセンス電流Sの電極としても用いられ、センス電流Sを磁気抵抗効果素子104の膜面直交方向Pに流す。
表2に示す層構成の磁気抵抗効果膜を、RFスパッタリング装置を用いて、Al2O3−TiC(ALTIC)からなる基板W上に成膜した。成膜後、250℃で3時間熱処理を行った。第1及び第2の磁化自由層115,117は外部磁界がない状態では互いに直交する方向を向いているが、外部磁界が印加すると自由に回転し、磁気抵抗効果を生じる。
4 磁気抵抗効果素子
15 内側磁化固定層
16 スペーサ層
16a 第1の非磁性層
16b 主スペーサ層
16c 第2の非磁性層
17 磁化自由層
L1 第1の磁性層
L2 第2の磁性層
Claims (10)
- 外部磁界に対して磁化方向のなす相対角度が変化する第1及び第2の磁性層と、
前記第1の磁性層と前記第2の磁性層との間に位置するスペーサ層と、
を有する磁気抵抗効果素子であって、
前記第1の磁性層は、前記磁気抵抗効果素子が形成される基板に対し、前記第2の磁性層よりも近い側に位置し、
前記スペーサ層は、
酸化ガリウムを主成分とするアモルファスの主スペーサ層と、
前記主スペーサ層と前記第1の磁性層との間に位置し、銅とガリウムとを含む第1の非磁性層と、を有している、磁気抵抗効果素子。 - 前記第1の非磁性層における銅とガリウムの合計含有量に対するガリウムの含有量の比は、30%原子分率以上65%原子分率以下である、請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第1の非磁性層の膜厚は、0.4nm以上1.0nm以下である、請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記スペーサ層は、前記主スペーサ層と前記第2の磁性層との間に位置し、銅とガリウムとを含む非磁性層、Cu層またはZn層のいずれかからなる第2の非磁性層を有している、請求項1から3のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気抵抗効果素子を有する磁気ヘッド。
- 前記第1の磁性層と前記第2の磁性層の一方が、外部磁界に対して磁化方向が変化する磁化自由層であり、他方が、外部磁界に対して磁化方向が固定された磁化固定層であり、
前記磁気抵抗効果素子のトラック幅方向両側に設けられ、前記磁化自由層に前記トラック幅方向のバイアス磁界を印加する一対のバイアス磁界印加層を有する、請求項5に記載の磁気ヘッド。 - 前記第1の磁性層と前記第2の磁性層が共に、外部磁界に対して磁化方向が変化する磁化自由層であり、
媒体対向面から見て前記磁気抵抗効果素子の裏面側に設けられ、前記第1及び第2の磁性層に前記媒体対向面と直交する方向のバイアス磁界を印加するバイアス磁界印加層を有する、請求項5に記載の磁気ヘッド。 - 請求項5に記載の磁気ヘッドを有する磁気ヘッドスライダ。
- 請求項5に記載の磁気ヘッドを有するヘッドジンバルアセンブリ。
- 請求項5に記載の磁気ヘッドを有するハードディスクドライブ装置。
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