JP4111955B2 - 半導体装置の試験装置 - Google Patents
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Description
半導体装置は一般に大量生産される。そのため、半導体装置の試験効率を向上させるため、1台で複数個の半導体装置を同時試験する試験装置がある(例えば、特許文献1参照。)。このような、半導体装置の試験装置は、主に半導体装置の設計、製造側が不良解析に用いるものであり、どの部分が不良であるかを解析するための装置である。
しかし、納入側では、半導体装置の良否を判別することができればよく、高機能な試験機能は不要である。そのため、簡単な構成で半導体装置を同時試験することができる半導体装置の試験装置が望まれていた。
本発明では上記課題を解決するために、図1に示すような、複数の半導体装置を同時に試験する半導体装置の試験装置において、同一の試験信号が入力された複数の被試験半導体装置(DUT)12a〜12dから出力される出力信号をラッチするラッチ回路13a〜13dと、ラッチされた出力信号及び試験信号に対して複数の被試験半導体装置12a〜12dが出力すべき信号の期待値をラッチ期間内に順に出力する出力回路と、ラッチされた出力信号と期待値とを比較する比較回路と、出力信号と期待値とが一致しない場合、出力回路から出力される出力信号及び期待値が記憶されるメモリ18と、メモリ18に記憶された出力信号及び期待値から複数の被試験半導体装置12a〜12dの良否を判定する判定回路19と、を有することを特徴とする半導体装置の試験装置が提供される。
このような半導体装置の試験装置によれば、ラッチ回路13a〜13dによって、同一の試験信号が入力された複数の被試験半導体装置12a〜12dから出力される出力信号をラッチし、出力回路によって、ラッチされた出力信号及び期待値をラッチ期間内に順に出力し、比較回路によって、期待値と出力信号とを比較する。そして、出力信号と期待値とが一致しなかった場合、メモリ18によって、出力回路から出力される出力信号及び期待値が記憶され、判定回路19によって、メモリ18に記憶された出力信号及び期待値から被試験半導体装置12a〜12dの良否を判定するので、構成が簡単となる。
本発明の上記および他の目的、特徴および利点は本発明の例として好ましい実施の形態を表す添付の図面と関連した以下の説明により明らかになるであろう。
図2は、図1の半導体装置の試験装置のタイミングチャートを示す図である。
図3は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置の試験装置の回路構成図である。
図4は、図3のウエーハ及び冶具ウエーハの詳細を示した図である。
図5は、本発明の第3の実施の形態に係る半導体装置の試験装置の回路構成図である。
試験信号入力端子11aには、DUT12a〜12dの機能試験を行うための試験信号testが入力される。機能試験とは、DUT12a〜12dにH状態及びL状態の信号を入力し、その信号がDUT12a〜12dの有する機能に応じた状態で出力されるか否かを調べる試験である。試験信号入力端子11aは、DUT12a〜12dの入力と接続されるようになっており、試験信号testは、DUT12a〜12dに出力される。
期待値入力端子11bには、期待値信号expが入力される。期待値信号expとは、DUT12a〜12dに試験信号testを入力した場合に、DUT12a〜12dが応答して出力すべき信号である。期待値入力端子11bに入力された期待値信号expは、P−S変換回路15、エンコーダ回路16に出力される。
クロック入力端子11cには、クロックCLKが入力される。クロックCLKは、試験信号test、期待値信号expの同期信号である。クロック入力端子11cに入力されたクロックCLKは、ラッチ回路13a〜13d、逓倍回路14に出力される。
DUT12a〜12dは、機能試験される半導体装置である。DUT12a〜12dは、パッケージ化されており、図示してないが、例えば半導体装置の試験装置が備えるソケットに挿入される。ソケットへの挿入によって、DUT12a〜12dの試験信号testが入力される入力端子は、試験信号入力端子11aと接続される。DUT12a〜12dの試験信号testに応答する出力信号を出力する出力端子は、ラッチ回路13a〜13dに接続される。
ラッチ回路13a〜13dは、クロックCLKに同期して、DUT12a〜12dから出力される出力信号をラッチし、ラッチ信号Dout1〜Dout4をP−S変換回路15、エンコーダ回路16に出力する。クロックCLKは、前述したように、試験信号testの同期信号である。従って、ラッチ回路13a〜13dは、試験信号testの一状態の間、DUT12a〜12dが出力した出力信号をラッチする。
逓倍回路14は、クロックCLKを逓倍し、逓倍クロックmulCLKを出力する。逓倍回路14は、試験が行われるDUTの個数に1を加算した数、クロックCLKを逓倍する。図1においては、DUT12a〜12dの個数は4である。よって、逓倍回路14は、クロックCLKを5逓倍した逓倍クロックmulCLKを出力する。逓倍クロックmulCLKは、P−S変換回路15、アドレスデコーダ17に出力される。
P−S変換回路15は、期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4が並列に同時入力される。P−S変換回路15は、逓倍クロックmulCLKに同期して、入力された期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4を1つの出力ポートから順に出力する。逓倍クロックmulCLKは、前述したように、試験が行われるDUTの個数に1を加算した数、クロックCLKを逓倍したクロックである。従って、P−S変換回路15は、ラッチ回路13a〜13dがクロックCLKに同期して出力信号をラッチしている期間内に、期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4を順に出力する。P−S変換回路15は、期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4を変換信号P−Soutとして、メモリ18に出力する。
エンコーダ回路16は、期待値入力端子11bに入力される期待値信号exp及びラッチ回路13a〜13dから出力されるラッチ信号Dout1〜Dout4が入力される。エンコーダ回路16は、期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4の各々とを比較する。エンコーダ回路16は、ラッチ信号Dout1〜Dout4のうち1つでも期待値信号expと一致していなかった場合、その旨を示すライト信号/Wをメモリ18に出力する。
なお、図1においては、エンコーダ回路16は、ラッチ信号Dout1〜Dout4のうち1つでも期待値信号expと一致していなかった場合、L状態のライト信号/Wを出力するとする。
アドレスデコーダ17は、逓倍クロックmulCLKに同期して、メモリ18のアドレスをカウントアップしていく。
メモリ18は、エンコーダ回路16からのライト信号/Wを受けるライトイネーブル端子/WEを有している。メモリ18は、エンコーダ回路16から、ラッチ信号Dout1〜Dout4が期待値信号expと一致していなかった旨のライト信号/Wをライトイネーブル端子/WEに受けると、P−S変換回路15から出力されている変換信号P−Soutを記憶する。メモリ18のアドレスは、アドレスデコーダ17により、逓倍クロックmulCLKに同期してカウントアップされているので、P−S変換回路15から順に出力される期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4(変換信号P−Sout)は、1アドレスに1つずつ記憶される。メモリ18は、全アドレスにおいて、同じ値が初期値として記憶されている。
なお、図1においては、メモリ18は、ライトイネーブル端子/WEにL状態のライト信号/Wが入力されると、P−S変換回路15から出力されている変換信号P−Soutを記憶する。
判定回路19は、メモリ18に記憶されている期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4を比較し、期待値信号expと一致していなかったラッチ信号Dout1〜Dout4に対応するDUT12a〜12dを不良品であると判定する。メモリ18は、前述したように全アドレスにおいて、同じ値が初期値として記憶されている。そして、ラッチ信号Dout1〜Dout4が期待値信号expと異なった場合に、メモリ18は、アドレスデコーダ17によってカウントアップされるアドレスに、期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4が1つずつ記憶される。従って、判定回路19は、アドレスを参照しながら期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4を比較することにより、どのDUT12a〜12dが不良品であるかを判定できる。
以下、図1に示す半導体装置の試験装置の動作を、タイミングチャートを用いて説明する。図2は、図1の半導体装置の試験装置のタイミングチャートを示す図である。
図に示すCLKは、クロック入力端子11cに入力されるクロックCLKを示す。mulCLKは、逓倍回路14によって逓倍された逓倍クロックmulCLKを示す。逓倍クロックmulCLKに示す数字は、逓倍クロックmulCLKのクロック数を示す。図1では、逓倍回路14は、試験を行うDUTの個数4に1を加算した数、クロックCLKを逓倍するので、逓倍クロックmulCLKは、クロックCLKの5逓倍となっている。expは、期待値入力端子11bに入力される期待値信号expを示している。Dout1〜Dout4は、ラッチ回路13a〜13dから出力されるラッチ信号Dout1〜Dout4を示している。P−Soutは、P−S変換回路15から出力される変換信号P−Soutを示している。/Wは、エンコーダ回路16から出力されるライト信号/Wを示している。
試験信号入力端子11aに入力された試験信号testは、DUT12a〜12dに入力される。DUT12a〜12dは、入力された試験信号testに応じて、出力信号を出力する。
ラッチ回路13a〜13dは、図2に示すように、クロックCLKの1周期間、DUT12a〜12dから出力される出力信号をラッチし、ラッチ信号Dout1〜Dout4を出力する。
ラッチ回路13a〜13dから出力されるラッチ信号Dout1〜Dout4は、P−S変換回路15、エンコーダ回路16に出力される。P−S変換回路15、エンコーダ回路16には、期待値入力端子11bに入力された期待値信号expも入力されている。
P−S変換回路15は、逓倍回路14から出力される逓倍クロックmulCLKに同期して、入力されている期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4を順に出力する。図2において、P−S変換回路15は、逓倍クロックmulCLKの1クロック目に期待値信号expを変換信号P−Soutとして出力している。P−S変換回路15は、逓倍クロックmulCLKの2クロック目にラッチ信号Dout1を変換信号P−Soutとして出力している。P−S変換回路15は、逓倍クロックmulCLKの3クロック目にラッチ信号Dout2を変換信号P−Soutとして出力している。P−S変換回路15は、逓倍クロックmulCLKの4クロック目にラッチ信号Dout3を変換信号P−Soutとして出力している。P−S変換回路15は、逓倍クロックmulCLKの5クロック目にラッチ信号Dout4を変換信号P−Soutとして出力している。以下同様にして、P−S変換回路15は、逓倍クロックmulCLKに同期して、期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4を順に、変換信号P−Soutとして出力する。
エンコーダ回路16は、期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4の各々とを比較する。エンコーダ回路16は、ラッチ信号Dout1〜Dout4のうち1つでも期待値信号expと一致していなかった場合、L状態のライト信号/Wをメモリ18に出力する。図2において、逓倍クロックmulCLKの1〜5クロック間では、期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4は一致しているので、ライト信号/WはH状態となっている。逓倍クロックmulCLKの6〜10クロック間では、期待値信号expとラッチ信号Dout4は一致していないので、ライト信号/WはL状態となっている。逓倍クロックmulCLKの11〜15クロック間では、期待値信号expとラッチ信号Dout3は一致していないので、ライト信号/WはL状態となっている。逓倍クロックmulCLKの16〜20クロック間では、期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4は一致しているので、ライト信号/WはH状態となっている。
メモリ18は、エンコーダ回路16からL状態のライト信号/Wを受けると、P−S変換回路15から出力されている変換信号P−Sout(期待値信号exp、ラッチ信号Dout1〜Dout4)を記憶する。すなわち、メモリ18は、DUT12a〜12dが期待値信号expと異なる出力信号を出力したときのみ、期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4が記憶される。メモリ18のアドレスは、アドレスデコーダ17により逓倍クロックmulCLKに同期してカウントアップされているので、1アドレスに期待値信号exp及びラッチ信号Dout1〜Dout4のそれぞれが記憶される。
判定回路19は、メモリ18に記憶されている期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4を比較し、DUT12a〜12dが不良品であるか否かを判定する。例えば、図2では、逓倍クロックmulCLKの6〜10クロック間においては、期待値信号expとラッチ信号Dout4は一致していないので、期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4は、メモリ18に記憶されている。判定回路19は、メモリ18に記憶された期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4を比較し、ラッチ信号Dout4に対応する出力信号を出力したDUT12dを不良品として判定する。同様にして、判定回路19は、逓倍クロックmulCLKの11〜15クロック間で、期待値信号expと異なった出力信号(ラッチ信号Dout3)を出力しているDUT12cを不良品として判定する。
このように、ラッチ回路13a〜13dによって、DUT12a〜12dから出力される出力信号をラッチし、P−S変換回路15によって、ラッチ回路13a〜13dがラッチ出力するラッチ信号Dout1〜Dout4及び期待値信号expを順に出力し(変換信号P−Sout)、エンコーダ回路16によって、ラッチ信号Dout1〜Dout4と期待値信号expを比較する。そして、ラッチ信号Dout1〜Dout4と期待値信号expが一致しなかったとき、メモリ18によって、P−S変換回路15から出力される変換信号P−Soutが記憶され、判定回路19によって、メモリ18に記憶されたラッチ信号Dout1〜Dout4及び期待値信号expからDUT12a〜12dの良否を判定するようにした。よって、簡単な構成で複数のDUT12a〜12dを同時試験することができる。
また、半導体装置の試験装置を簡単な構成にすることにより、半導体装置の試験装置のコストが低減され、半導体装置の試験コスト低減につながる。
なお、図2において、ラッチ信号Dout1〜Dout4は、1ビットの信号であるが、多ビットの信号であってもよい。この場合、P−S変換回路15は、多ビットのラッチ信号Dout1〜Dout4を1つずつ順にパラレルに出力する。メモリ18は、1アドレスに多ビットのラッチ信号Dout1〜Dout4が1つずつ記憶される。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図3は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置の試験装置の回路構成図である。第2の実施の形態では、ウエーハ上に形成された半導体装置の不良品を判定する。図3において、図1と同じものには同じ符号を付し、その説明を省略する。
図3にはウエーハ21、冶具ウエーハ22が示してある。ウエーハ21には、試験される半導体装置(DUT)が形成されている。冶具ウエーハ22は、ウエーハ21に重ね合わされることによって、DUTの入力端子、出力端子に接触する端子を有している。冶具ウエーハ22のDUTの入力端子と接触する端子は、試験信号入力端子11aと接続され、DUTの出力端子と接触する端子は、ラッチ回路13a〜13dの各々と接続される。図4は、図3のウエーハ及び冶具ウエーハの詳細を示した図である。
図に示すように、ウエーハ21には、DUT21a〜21dが形成されている。DUT21a〜21dは、試験信号testが入力される入力端子21aa,21ba,21ca,21daを有している。また、DUT21a〜21dは、試験信号testに応答した出力信号を出力する出力端子21ab,21bb,21cb,21dbを有している。
冶具ウエーハ22は、ウエーハ21に重ね合わされることにより、DUT21a〜21dの入力端子21aa〜21daと接触する試験入力端子22a〜22dを有している。また、冶具ウエーハ22は、ウエーハ21に重ね合わされることにより、DUT21a〜21dの出力端子21ab〜21dbと接触する試験出力端子22aa〜22daを有している。
冶具ウエーハ22の試験入力端子22a〜22dは、各々と短絡されている。従って、例えば、図3の試験信号入力端子11aと接続されたプローブを、試験入力端子22a〜21dのどれかに接続することにより、試験入力端子22a〜21dのすべてに試験信号testが入力される。
また、例えば、図3のラッチ回路13a〜13dの入力と接続されたプローブを、試験出力端子22aa〜22daのそれぞれに接続することにより、DUT21a〜21dの出力信号をラッチ回路13a〜13dに出力することができる。
このように、冶具ウエーハ22をウエーハ21に重ね合わせることにより、DUT21a〜21dの入力端子21aa〜21daと冶具ウエーハ22の短絡された試験入力端子22a〜22dを接触させる。DUT21a〜21dの出力端子21ab〜21dbと冶具ウエーハ22の試験出力端子22aa〜22daを接触させる。そして、試験信号入力端子11aと冶具ウエーハ22の試験入力端子22a〜22dのいずれかを接続して試験信号testを入力し、ラッチ回路13a〜13dの入力と冶具ウエーハ22の試験出力端子22aa〜22daaの各々を接続して、DUT21a〜21dの出力信号をラッチ回路13a〜13dに出力させるようにした。これにより、容易に試験信号testをウエーハ21に形成されたDUT21a〜21dに入力することができ、DUT21a〜21dから出力される出力信号をラッチ回路13a〜13dに出力することができる。また、ウエーハ21の損傷を防止できる。
なお、上記では、冶具ウエーハ22にプローブを接続することにより、冶具ウエーハ22と、試験信号入力端子11a及びラッチ回路13a〜13dとが接続されるよう説明したが、冶具ウエーハ22と、試験信号入力端子11a及びラッチ回路13a〜13dは、リード線で接続固定されていてもよい。
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図5は、本発明の第3の実施の形態に係る半導体装置の試験装置の回路構成図である。第3の実施の形態では、予め良品として判定された半導体装置に、被試験半導体装置と同じ試験信号testを入力する。そして、良品の半導体装置から出力される出力信号を期待値信号expとして用いる。図5において、図1と同じものには同じ符号を付し、その説明を省略する。
図5に示す半導体装置の試験装置は、図1の期待値入力端子11bの替わりに、良品と判定されたSMPDUT31、SMPDUT31から出力される出力信号をラッチするラッチ回路32を有している。
SMPDUT31の入力は、試験信号入力端子11aと接続され、DUT12a〜12dと同じ試験信号testが入力される。SMPDUT31は、良品の半導体装置なので、SMPDUT31が出力する出力信号は、DUT12a〜12dが試験信号testに応答して出力すべき信号の期待値となる。
ラッチ回路32は、クロック入力端子11cに入力されるクロックCLKに同期して、SMPDUT31から出力される出力信号をラッチする。ラッチ回路32から出力される信号は、期待値信号expとして、P−S変換回路15、エンコーダ回路16に出力される。
P−S変換回路15は、図1で説明したのと同様にして、ラッチ回路32から出力される期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4を順にメモリ18に出力する。
エンコーダ回路16は、図1で説明したのと同様にして、ラッチ回路32から出力される期待値信号expとラッチ信号Dout1〜Dout4の各々とを比較し、比較結果をメモリ18に出力する。
このように、試験されるDUT12a〜12dと同様に、予め良品と判定されたSMPDUT31に試験信号testを入力し、SMPDUT31から出力される出力信号を期待値信号expとするようにした。これによっても、簡単な構成でDUT12a〜12dを同時試験することができる。
以上説明したように本発明では、ラッチ回路によって、同一の試験信号が入力された複数の被試験半導体装置から出力される出力信号をラッチし、出力回路によって、ラッチされた出力信号及び期待値をラッチ期間内に順に出力し、比較回路によって、期待値と出力信号とを比較する。そして、出力信号と期待値とが一致しなかった場合、メモリによって、出力回路から出力される出力信号及び期待値が記憶され、判定回路によって、メモリに記憶された出力信号及び期待値から被試験半導体装置の良否を判定するようにした。よって、簡単な構成で複数の半導体装置を同時試験することができる。
上記については単に本発明の原理を示すものである。さらに、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、本発明は上記に示し、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではなく、対応するすべての変形例および均等物は、添付の請求項およびその均等物による本発明の範囲とみなされる。
Claims (8)
- 複数の半導体装置を同時に試験する半導体装置の試験装置において、
同一の試験信号が入力された複数の被試験半導体装置から出力される出力信号をラッチするラッチ回路と、
ラッチされた前記出力信号及び前記試験信号に対して前記複数の被試験半導体装置が出力すべき信号の期待値をラッチ期間内に順に出力する出力回路と、
ラッチされた前記出力信号と前記期待値とを比較する比較回路と、
前記出力信号と前記期待値とが一致しない場合、前記出力回路から出力される前記出力信号及び前記期待値が記憶されるメモリと、
前記メモリに記憶された前記出力信号及び前記期待値から前記複数の被試験半導体装置の良否を判定する判定回路と、
を有することを特徴とする半導体装置の試験装置。 - 前記複数の被試験半導体装置は、ウエーハ上に形成されており、
前記ウエーハに重ね合わされることによって、前記複数の被試験半導体装置の入力端子及び出力端子と接触する、前記試験信号を入力するための試験入力端子及び前記出力信号を前記ラッチ回路に出力するための試験出力端子を有する冶具基板を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の試験装置。 - 前記試験入力端子は、各々短絡されていることを特徴とする請求の範囲第2項記載の半導体装置の試験装置。
- 前記複数の被試験半導体装置は、良品の半導体装置を含み、
前記比較回路は、前記良品の半導体装置が出力する信号を前記期待値として前記出力信号と比較することを特徴とする請求の範囲第1項記載の半導体装置の試験装置。 - 前記ラッチ回路が同期動作するクロック信号を、前記複数の被試験半導体装置の個数に1加算した数逓倍した逓倍クロックを出力する逓倍回路と、をさらに有し、
前記出力回路は、前記逓倍クロックに同期して、前記出力信号及び前記期待値を順に出力することを特徴とする請求の範囲第1項記載の半導体装置の試験装置。 - 前記逓倍クロックに基づいて、前記メモリのアドレスをカウントアップするアドレスデコーダを有することを特徴とする請求の範囲第5項記載の半導体装置の試験装置。
- 前記判定回路は、前記期待値と前記出力信号とが一致しているか否かを判断することを特徴とする請求の範囲第1項記載の半導体装置の試験装置。
- 前記メモリには、初期値として全アドレスに同じ値が記憶されていることを特徴とする請求の範囲第1項記載の半導体装置の試験装置。
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