JP4062334B2 - 発光ダイオード - Google Patents
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Description
上記パッケージの搭載部に半導体発光素子を搭載し、次いで凹部に、蛍光体および/または保護樹脂を充てんして半導体発光素子を封止すると共に、開口を、必要に応じて封止キャップやレンズなどで閉じることによって発光ダイオードが製造される。
半導体発光素子は、チップの段階において良品と不良品とを判別するのが難しい。そこで、発光ダイオードの場合は、半導体発光素子を、接着剤やはんだなどによってパッケージの搭載部に実装すると共に、ワイヤーボンドなどによって電気的に結線した後で、発光するか否か、発光波長が正しいか否かといった良否の判定をするのが一般的である。
そのため、半導体発光素子が不良品で、全く発光しなかったり、あるいは発光波長が大きくずれて、正しい発光が得られなかったりした場合には、使用したパッケージや蛍光体などが全く無駄になってしまうという問題がある。
特に近時、発光ダイオードの発光効率を向上するために、前記文献1に記載のように、複雑な構造のパッケージを使用したり、あるいは発光ダイオードの高出力化に対応するために、パッケージに、高価な高放熱部材を使用したりすることが一般化しつつある。
したがって、パッケージの無駄が発生した場合には、多額の損失を生じるという問題がある。
すなわち、半導体発光素子は、接着剤やはんだなどによって基板の搭載部に実装すると共に、ワイヤーボンドなどによって電気的に結線した後で、発光するか否か、発光波長が正しいか否かといった良否の判定をするのが一般的である。
そのため、基板上に搭載した複数の半導体発光素子の中に1つでも不良品があり、発光しなかったり、発光波長がずれて正しく白色に発光しなかったりした場合には、その他の全ての半導体発光素子や、個々の半導体発光素子を封止した蛍光体、あるいは個々の半導体発光素子を駆動する回路等を形成した基板などが全て無駄になってしまい、多額の損失を生じるという問題がある。
しかし、このコファイア法では、高温の焼成時にセラミックグリーンシートが収縮するため、ビアやスルーホール、メタライズ層等を精度良く形成するのが難しく、特に、小さなパッケージや、微細なメタライズパターンを有するパッケージ等を、歩留まり良く製造できないという問題がある。
片面に、半導体発光素子と接続するための、少なくとも2つの互いに絶縁された電極層が形成されることによって、当該片面が、半導体発光素子を搭載するための素子搭載領域を含む主面とされ、その反対面が、他部材との接続のための外部接続面とされると共に、熱伝導率が10W/mK以上で、かつ熱膨張係数が10×10-6/℃以下である高放熱部材と、この高放熱部材の主面上に、素子搭載領域を囲むように、少なくとも1層の樹脂系の接着剤層を介して接合、一体化される凸条とを備える半導体発光素子搭載部材の、高放熱部材の主面の、凸条で囲まれた素子搭載領域に半導体発光素子が搭載されて構成された発光ダイオード構成部材が搭載され、
凹部の開口が、発光ダイオード構成部材からの光を透過しうる材料によって形成される封止キャップまたはレンズで封止されることを特徴とするものである。
すなわち、上記半導体発光素子搭載部材は、熱伝導率が10W/mK以上という高放熱部材を有していることから、発光ダイオードの高出力化に対応するための放熱性に優れている。
また、上記半導体発光素子搭載部材は、高放熱部材の熱膨張係数が10×10-6/℃以下であって、特に半導体基板を有する半導体発光素子と熱膨張係数が近いことから、発光時の熱履歴などによって膨張収縮した際に、素子に過大な応力が加わって破損したり、電極層との接合が外れて接合不良を生じたりするのを防止することもできる。
さらに、上記半導体発光素子搭載部材によれば、上記主面に、素子搭載領域を囲むように設けた凸条の内側の空間に、蛍光体および/または保護樹脂を充てんして半導体発光素子を封止することもできる。
そして、この発光ダイオード構成部材を、従来の半導体発光素子のチップと同様の1つの部品として取り扱って、発光ダイオードのパッケージに組み込むことができる。
したがって、発光ダイオードには、良品の半導体発光素子を実装した発光ダイオード構成部材のみを選別して使用できるため、高価なパッケージなどが無駄になるのを極力、防止することが可能となる。
* 高放熱部材のもとになる、あらかじめ焼結したセラミック板の表裏両面や、側面の一部となる通孔内などに、必要に応じて電極層、接続層を形成したものと、
* 凸条のもとになる、あらかじめ焼結したセラミック板の所定の位置に、凸条で囲まれた領域となる通孔を形成すると共に、その表面や、側面の一部となる通孔内などに、必要に応じて電極層、接続層を形成したものとを、
接合層を介して接合、一体化したのち、所定の平面形状に切り出すなどして製造することができる。
詳しくは、パターン間の間隔やパターン幅、あるいは、パターンの平面形状の最小値等がいずれも100μm以下、好ましくは50μm以下という微細な電極層、接続層を、より高い精度で形成することができる。そのため、半導体発光素子を、素子搭載領域に、フリップチップ実装等によって実装して、半導体発光素子の発光部の発熱を、高放熱部材に効率よく伝達して放熱させることが可能となり、半導体発光素子の、更なる高出力化が可能となる。
なお、半導体発光素子搭載部材の外形を極力、小さくして省スペース化を図ることや、高価な高放熱部材の使用量を極力、減らして材料の無駄をなくすることを考慮すると、素子搭載領域の面積は、搭載する半導体発光素子の面積の3倍以下であるのが好ましい。
また、半導体発光素子搭載部材の外形を極力、小さくして省スペース化を図ることや、材料の無駄を極力、抑えながら、半導体発光素子を搭載する際の作業性を向上することを考慮すると、高放熱部材の面積は、搭載する半導体発光素子の面積の1.5〜10倍であるのが好ましく、2〜7倍であるのがさらに好ましい。
(1) 外部接続面に、他部材との接続のための、少なくとも2つの互いに絶縁された電極層が形成されると共に、各電極層と、主面の各電極層とが、それぞれ、高放熱部材の側面、または高放熱部材を貫通する通孔の内面に形成される接続層を介して、個別に接続される。
(2) 高放熱部材の主面の、凸条より外側に、他部材との接続のための領域が設けられ、主面の各電極層が、それぞれこの領域まで延設されて、他部材との接続のための電極層としても用いられる。
(3) 凸条の上面に、他部材との接続のための、少なくとも2つの互いに絶縁された電極層が形成されると共に、各電極層と、主面の各電極層とが、凸条の側面、または凸条を貫通する通孔の内面に形成される接続層を介して個別に接続される。
一方、(1)や(3)の構造とした場合には、高放熱部材の主面の凸条より外側に他部材との接続のための領域を設ける必要がないので、半導体発光素子搭載部材の外形を極力、小さくして省スペース化を図ることができる。
なお、表面実装の際には、高放熱部材と、パッケージとの間の放熱経路を十分に確保することを考慮して、外部接続面に設けた電極層の面積の合計の、当該外部接続面の面積に占める割合が30%以上、特に50%以上であるのが好ましい。
また、凸条の、高放熱部材と接合される面に反射層を形成すると、さらに、発光ダイオードの発光効率を向上することができる。
上記発光ダイオード構成部材は、前述したように、従来の半導体発光素子のチップと同様に取り扱って発光ダイオードのパッケージに搭載できる上、これらの搭載部に搭載する前に事前に、半導体発光素子の良否の判定や発光の色合いを調べることができるという優れた特徴を有する。また搭載作業などの際に、半導体発光素子に直接に触れなくてもよいため、静電気などによる素子の破損の発生を極力、抑制することもできる。
上記本発明の発光ダイオードは、高価なパッケージなどを無駄にすることなく、効率よく製造できるという優れた特徴を有する。
これらの図に見るように、この例の半導体発光素子搭載部材BLは、略正方形の平面形状を有する平板状の高放熱部材1と、当該高放熱部材1の、各図において上面側である主面10上に設けた、高放熱部材1の正方形の4辺に沿う凸条2とを備えている。
半導体発光素子搭載部材BLは、上記高放熱部材1と凸条2とを、少なくとも1層の樹脂系の接着剤層3を介して接合、一体化して形成される。
この2つの電極層41、42はそれぞれ、半導体発光素子LE1の2つの極に対応しており、図7に示すように、半導体発光素子LE1の両極と、AuバンプBPを介して接合される。そしてそれによって半導体発光素子LE1を素子搭載領域10aに搭載した後、凸条2の内側の空間に蛍光体および/または保護樹脂FRを充てんして半導体発光素子LE1を封止すると、同図に示す発光ダイオード構成部材LE2を得ることができる。
高放熱部材1の外部接続面11には、2つのギャップを設けて互いに絶縁した状態で、他部材との接続用の3つの電極層51〜53を形成してある。
また、高放熱部材1の側面12のうち、正方形の四隅に設けた4つの面取り面にはそれぞれ、図3、図4に網線を入れて示したように接続層6を形成してある。
すなわち、電極層41、51は、当該両電極層41、51に近い側の2つの面取り面に形成した2つの接続層6を介して接続してあり、電極層42、52は、残りの、両電極層42、52に近い側の2つの面取り面に形成した2つの接続層6を介して接続してある。
電極層51、52は、図8に示すように、発光ダイオードLE3のパッケージ7の搭載部7aに設けた2つの引き出し用の電極層72a、72bに対応しており、当該両電極層72a、72bと、はんだ層SLを介してはんだ付けすることによって、発光ダイオード構成部材LE2を、前述したように表面実装によって、パッケージ7の搭載部7aに搭載するために機能する。
なお、電極層51〜53の面積の合計の、外部接続面11の面積に占める割合は、上述した高放熱部材1と、パッケージ7などとの間の放熱経路を十分に確保することを考慮すると、前記のように30%以上、中でも50%以上、特に70%以上であるのが好ましい。
上記各部からなるこの例の半導体発光素子搭載部材BLのうち高放熱部材1は、前記のように熱伝導率が10W/mK以上で、かつ熱膨張係数が10×10-6/℃以下である必要がある。
また、高放熱部材1の熱膨張係数が10×10-6/℃を超える場合には、半導体発光素子LE1との熱膨張係数の差が大きくなりすぎる。そして、素子搭載領域10aに半導体発光素子LE1を搭載する際、ならびに発光ダイオード構成部材LE2をパッケージ7の搭載部7aに搭載する際の、はんだ付けなどによる熱履歴や、あるいは半導体発光素子EL1の発光時の発熱などによって高放熱部材1が膨張収縮した際に、半導体発光素子LE1に過大な応力が加わるなどして、当該半導体発光素子LE1が破損したり、AuバンプBPによる電極層41、42との接合が外れて接合不良を生じたりするおそれがある。
しかし、放熱性を考慮すると、高放熱部材1の熱伝導率は、前記の範囲内でも150W/mK以上、特に200W/mK以上であるのが好ましく、このように高い熱伝導率を達成するためには、AlNまたはSiCが好ましい。また半導体発光素子LE1との熱膨張係数の差を小さくすることを考慮すると、AlNまたはAl2O3が好ましい。
しかし、機械的強度などの、高放熱部材1のその他の物性との兼ね合いや、あるいは製造コストなどを考慮すると、上述したセラミックの場合、熱伝導率は、上記範囲内でも特に300W/mK以下であるのが好ましく、熱膨張係数は、上記の範囲内でも特に4×10-6〜7×10-6/℃であるのが好ましい。
素子搭載領域10aの面積が、半導体発光素子LE1の面積の4倍を超える場合には、半導体発光素子搭載部材BLが大きくなりすぎて、半導体発光素子LE1の不良が生じた際に生じる材料の無駄が、従来のパッケージの場合とほとんど変わらなくなってしまうという問題がある。
また、素子搭載領域10aの面積が、半導体発光素子LE1の面積の1.05倍未満では、当該素子搭載領域10aの面積が小さくなり過ぎて、半導体発光素子LE1の搭載作業が難しくなるおそれがある。
また、半導体発光素子搭載部材BLの外形を極力、小さくして省スペース化を図ることや、材料の無駄を極力抑えつつ、半導体発光素子LE1の搭載作業の作業性を向上することなどを考慮すると、上記素子搭載領域10aを含む高放熱部材1の面積は、半導体発光素子LE1の面積の1.5〜10倍、中でも2〜7倍、特に3〜5倍の範囲内であるのが好ましい。
高放熱部材1の厚みは、強度を十分に確保しつつ、半導体発光素子搭載部材BLの容積をできるだけ小さくすることを考慮すると、0.1〜1mmであるのが好ましく0.2〜0.5mmであるのがさらに好ましい。
高放熱部材1と凸条2とは、前記のように、少なくとも1層の樹脂系の接着剤層3を介して接合、一体化される。
ただし、接着剤は、素子搭載領域10aに半導体発光素子LE1を搭載する際、ならびに発光ダイオード構成部材LE2をパッケージ7の搭載部7aに搭載する際の、はんだ付けなどによる熱履歴や、あるいは半導体発光素子EL1の発光時の発熱などに対して十分な耐熱性を有している必要があり、かかる高耐熱性の接着剤としては、例えばエポキシ系、ポリイミド系、ポリアミドイミド系、ポリエーテルイミド系、ポリエーテルスルホン系、液晶ポリマー系などの接着剤を挙げることができる。
また、物理蒸着法では、特に電極層41、42の表面を、前記のように反射面としても機能させることを考慮すると、高放熱部材1の、少なくとも上記各層を形成する表面の中心線平均粗さRaが0.1μm以下であるのが好ましい。
高放熱部材の表面の中心線平均粗さRaを調整するためには、従来公知の種々の研磨方法を採用することができる。
一方、物理蒸着法では、電極層41〜53や接続層6を、機能分離した複数の層を積層した多層構造に形成するのが好ましく、かかる層としては、例えば高放熱部材1に近い側から順に、
・ Ti、Cr、NiCr、Ta、およびこれら金属の化合物などからなり、セラミックとの密着性に優れた密着層、
・ Pt、Pd、Cu、Ni、Mo、NiCrなどからなり、次に述べる導電層を形成する金属の拡散を防止する機能を有する拡散防止層、ならびに
・ Ag、Al、Auなどからなり、導電性に優れた表面層
などを挙げることができる。
電極層41、42の表面には、Ag、AlまたはAl合金等からなり、半導体発光素子LE1からの光、特に波長600nm以下の短波長の光を高い反射率で反射するための反射層を設けてもよい。中でもAlは、特に450nm以下の短波長の光の反射率に優れており、蛍光体と組み合わせて白色発光させるために用いる、短波長の半導体発光素子LE1の発光効率を向上できる点で好ましい。
また、電極層51〜53の表面には、例えばパッケージ7の電極層72a〜72cと、はんだ層SLによってはんだ接合した際の信頼性を向上するために、Auなどからなる対はんだ接合層を設けてもよい。
ただし、Auを、前記のように導電層として使用して最表層に配置している場合は、対はんだ接合層を省略してもよい。
なお、電極層41、51間および42、52間は、上記の接続層6に代えて、例えば高放熱部材1の面内の、任意の位置に形成したViaを介して接続するようにしてもよい。
それと共に、図の例では、上記領域2a′の角が4つ集まった部分に、先のスルーホール1b′と一致するようにスルーホール2b′を形成する。
セラミック板1′にスルーホール1b′を形成するための穴あけ加工や、セラミック板2′に通孔20、スルーホール2b′を形成するための穴あけ加工としては、例えば切削や研削等の、従来公知の種々の機械的加工方法を採用してもよいが、スルーホール1b′、2b′、通孔20に対応する通孔を有するメタルマスクやフォトリソグラフィーによるマスクなどを用いたサンドブラスト法が好ましい。かかるサンドブラスト法によれば、セラミック板1′上の全てのスルーホール1b′や、セラミック板2′上の全ての通孔20、スルーホール2b′を、いずれも1工程で同時に形成できるため、加工工程を簡略化して低コスト化が可能である。
また、スルーホール1b′の内面の全面には、接続層6のもとになる金属層6′を形成する。
このため、加工工程を簡略化して低コスト化が可能である。
なお、図5D、図5Eでは位置関係がわかりやすいように、セラミック板1′と接着剤3′とを、図6A中のA−A線断面図で表し、セラミック板2′を、図6B中のB−B線断面図で表している。
このあと、上記の積層体を、図5Eに破線で示すように、領域1a′、2a′の境界部分〔図6A、図6B中に示した、近接した2本の一点鎖線の間の領域〕においてダイシングして、各領域ごとに切り分けると、図1〜図4に示したこの例の半導体発光素子搭載部材BLを製造することができる。
また、この際、スルーホール1b′内の金属層6′がそれぞれ4つの領域に分割されて、前述した、高放熱部材1の側面12のうち、正方形の四隅に設けた面取り面の接続層6となる。
また、発光ダイオード構成部材LE2を、図8に示すパッケージ7の凹部7bの、開口7cと対向する底面に設けた搭載部7aに搭載すると共に、開口7cを、半導体発光素子LE1からの光を透過しうる材料にて形成した封止キャップまたはレンズLSで閉じると、発光ダイオードLE3を得ることができる。
また、反射部材71の通孔は、搭載部7a側から開口7c側へ向けて外方に拡がった形状(すり鉢状)に形成してあると共に、その内面を反射面71aとしてある。
基板70としては、セラミック基板やガラスエポキシ基板などの絶縁性でかつ耐熱性の基板を用いる。また反射部材71としては、上記のように半導体発光素子LE1からの光を効率よく反射するために、その全体または少なくとも反射面71aを金属にて形成したものを用いる。
これらの図に見るように、この例の半導体発光素子搭載部材BLは、高放熱部材1の平面形状を長方形として、その主面10の、平面形状が正方形である凸条2の左右の外側に、それぞれ他部材との接続のための領域10b、10bを設けると共に、主面10の両電極層41、42をそれぞれ、凸条2の通孔20を通して外部に露出させた素子搭載領域10aから、凸条2の下を通して両領域10b、10bまで延設して、他部材との接続用の電極層を兼ねさせている点が、先の例と相違している。
それ以外は先の例と同様である。
また、電極層41、42は、周知のメタライジング法などによって、高放熱部材1の主面10にパターン形成される。
上記の発光ダイオード構成部材LE2は、前記と同様に、発光ダイオードデバイスの最終形態として使用することができる。すなわち発光ダイオード構成部材LE2を複数個、基板上に搭載すれば面発光体を構成することができる。
そして、半導体発光素子LE1からの光を、この反射面80bによって開口8cの方向に反射して、レンズLSを通してパッケージ8の外部に、より効率よく放射することができる。
これらの図に見るように、この例の半導体発光素子搭載部材BLを構成する高放熱部材1および凸条2の形状は、図1〜図4の例と同じである。
先の例との相違点は、他部材との接続用の電極層51、52を、凸条2の上面に形成すると共に、接続層6を、図16に網線を入れて示したように、凸条2の側面21のうち、正方形の四隅に設けた4つの面取り面に形成した点にある。
すなわち、高放熱部材1と凸条2とは、例えばAlNなどの、あらかじめ焼結したセラミックにて形成したものを、少なくとも1層の樹脂系の接着剤層3を介して積層した構造を有する。
また、電極層41〜52は、周知のメタライジング法などによって、高放熱部材1の主面10、および凸条2の上面にパターン形成される。
また、この際、凸条のもとになるセラミック板に、通孔20と共にスルーホールを形成し、このスルーホールの内面に、電極層51、52と共に形成した金属層を、ダイシングによって半導体発光素子搭載部材BLを切り出す際に分割して接続層6が形成される。
この例の半導体発光素子搭載部材BLは、図1〜図4の例のものと共に、その外形を極力、小さくして省スペース化を図ることができるという利点がある。
また、上記の発光ダイオード構成部材LE2を、図13のものと同じ、図18に示すパッケージ8の凹部8bの、開口8cと対向する底面に設けた搭載部8aに搭載すると共に、開口8cを、半導体発光素子LE1からの光を透過しうる材料にて形成した封止キャップまたはレンズLSで閉じると、発光ダイオードLE3を得ることができる。
Claims (10)
- 発光ダイオードであって、凹部を有するパッケージを備え、この凹部の底面に、
片面に、半導体発光素子と接続するための、少なくとも2つの互いに絶縁された電極層が形成されることによって、当該片面が、半導体発光素子を搭載するための素子搭載領域を含む主面とされ、その反対面が、他部材との接続のための外部接続面とされると共に、熱伝導率が10W/mK以上で、かつ熱膨張係数が10×10-6/℃以下である高放熱部材と、この高放熱部材の主面上に、素子搭載領域を囲むように、少なくとも1層の樹脂系の接着剤層を介して接合、一体化される凸条とを備える半導体発光素子搭載部材の、高放熱部材の主面の、凸条で囲まれた素子搭載領域に半導体発光素子が搭載されて構成された発光ダイオード構成部材が搭載され、
凹部の開口が、発光ダイオード構成部材からの光を透過しうる材料によって形成される封止キャップまたはレンズで封止されることを特徴とする。 - 請求項1の発光ダイオードであって、半導体素子搭載部材の、凸条の内側の空間に、蛍光体および保護樹脂のうちの少なくとも一方が充てんされて、半導体発光素子が封止されていることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、素子搭載領域の面積が、搭載する半導体発光素子の面積の1.05〜4倍であることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、高放熱部材の面積が、搭載する半導体発光素子の面積の1.5〜10倍であることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、外部接続面に、他部材との接続のための、少なくとも2つの互いに絶縁された電極層が形成されると共に、各電極層と、主面の各電極層とが、それぞれ、高放熱部材の側面、または高放熱部材を貫通する通孔の内面に形成される接続層を介して、個別に接続されることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、高放熱部材の主面の、凸条より外側に、他部材との接続のための領域が設けられ、主面の各電極層が、それぞれこの領域まで延設されて、他部材との接続のための電極層としても用いられることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、高放熱部材と凸条とが、少なくとも1層の接合層を介して接合、一体化されていることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、凸条の熱膨張係数が10×10-6/℃以下、高放熱部材の熱膨張係数との差が3×10-6/℃以下であることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、凸条が、半導体発光素子からの光を透過しうる材料によって形成されることを特徴とする。
- 請求項1の発光ダイオードであって、凸条の、高放熱部材と接合される面に反射層が形成されることを特徴とする。
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