JP4025232B2 - 半導体記憶装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、強誘電体キャパシタを有する半導体記憶装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体メモリの一つとして、強誘電体キャパシタ(Ferro-electric Capacitor)を用いた不揮発性メモリ(FeRAM)が注目されている(例えば特許文献1参照)。
【0003】
このFeRAMのメモリセルは、例えば、次のような構造をしている。半導体基板上にゲート電極が形成され、このゲート電極の両側に一対のソース/ドレイン拡散層が形成されることで、トランジスタが形成されている。このトランジスタ上には層間絶縁膜が形成され、この層間絶縁膜内にはトランジスタのソース/ドレイン拡散層の一方に接続する第1のコンタクトが形成されている。この第1のコンタクト上には第2のコンタクトが形成され、この第2のコンタクトには下部電極、強誘電体膜及び上部電極からなる強誘電体キャパシタが接続されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平10-255483号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の構造では、強誘電体キャパシタを形成した後に、第1のコンタクトに接続する第2のコンタクトを形成する。このため、第1のコンタクト上に第2のコンタクト開口を行うと、強誘電体キャパシタにダメージが生じることがわかっている。このため、強誘電体キャパシタのダメージ回復には、第2のコンタクト開口後に、酸素雰囲気中の高温熱処理が必要となる。
【0006】
しかしながら、第1のコンタクトは、W(タングステン)などの酸化し易い材料で形成されている。従って、強誘電体キャパシタのダメージ回復のために高温の酸素アニールを行うと第1のコンタクトが酸化してしまうため、高温の酸素アニールを行うことができなかった。このため、強誘電体キャパシタのダメージを完全に回復させることができず、歩留まりが低下するという問題があった。
【0007】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、コンタクトの酸化を防止しつつ、強誘電体キャパシタのダメージを回復させることが可能な半導体記憶装置及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために以下に示す手段を用いている。
【0009】
本発明の第1の視点による半導体記憶装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成され、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタと、前記第1の拡散層に接続された第1のコンタクトと、前記第1のコンタクトと電気的に接続され、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜と、第1の電極と前記第1の電極の下方に配置されかつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタと、前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第1の接続部材と、前記第2の拡散層に接続された第2のコンタクトと、前記第2の電極の下方に形成され、前記第2のコンタクトと電気的に接続され、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜と、前記第2の導電性酸素バリア膜の上面と前記第2の電極の下面とを接続する第2の接続部材とを具備する。
【0010】
本発明の第2の視点による半導体記憶装置の製造方法は、半導体基板上に、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタを形成する工程と、前記第1の拡散層に接続する第1のコンタクトと前記第2の拡散層に接続する第2のコンタクトとを形成する工程と、前記第1のコンタクト上に、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜を形成するとともに、前記第2のコンタクト上に、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜を形成する工程と、前記第2の導電性酸素バリア膜上に第1の接続部材を形成する工程と、前記第2の導電性酸素バリア膜の上方に、第1の電極と前記第1の電極の下方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタを、前記第2の電極の下面と前記第1の接続部材の上面とが接続されるように形成する工程と、前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とを接続する第2の接続部材を形成する工程とを具備する。
【0011】
本発明の第3の視点による半導体記憶装置の製造方法は、半導体基板上に、ゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有するトランジスタを形成する工程と、前記第1の拡散層に接続する第1のコンタクトと前記第2の拡散層に接続する第2のコンタクトをそれぞれ形成する工程と、前記第1及び第2のコンタクト上に導電性酸素バリア材を形成する工程と、前記導電性酸素バリア材上に第1の絶縁膜を形成する工程と、前記第1の絶縁膜内に、前記第1及び第2のコンタクトの上方に位置し、前記導電性酸素バリア材に接触する第3及び第4のコンタクトをそれぞれ形成する工程と、前記第1の絶縁膜、前記第3及び第4のコンタクト上に第1の電極材、強誘電体材、第2の電極材を順に形成する工程と、前記第4のコンタクトの上部に残るように前記強誘電体材及び第2の電極材をパターニングする工程と、前記第1の電極材、前記第1の絶縁膜及び前記導電性酸素バリア材をパターニングし、前記第1及び第3のコンタクトに挟まれて前記第1及び第3のコンタクトに接続する第1の導電性酸素バリア膜と前記第2及び第4のコンタクトに挟まれて前記第2及び第4のコンタクトに接続する第2の導電性酸素バリア膜と前記第4のコンタクトに接続する強誘電体キャパシタを形成する工程とを具備する。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を以下に図面を参照して説明する。この説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
【0013】
尚、各実施形態では、TC並列ユニット直列接続型強誘電体メモリの構造を例にあげて説明するが、この構造に限定されず、種々の強誘電体メモリ構造に適用することも可能である。ここで、TC並列ユニット直列接続型強誘電体メモリとは、セルトランジスタ(T)のソースドレイン間にキャパシタ(C)の両端をそれぞれ接続し、これをユニットセルとし、このユニットセルを複数直列に接続した構造のことをいう。
【0014】
[第1の実施形態]
第1の実施形態は、トランジスタにつながるコンタクト上に導電性酸素バリア膜を設けた例である。
【0015】
図1乃至図3は、本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第1の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。
【0016】
図1乃至図3に示すように、シリコン基板11内にソース/ドレイン拡散層14が形成され、シリコン基板11上にゲート電極13a,13bが形成されることで、トランジスタ15a,15bが形成されている。トランジスタ15bのソース/ドレイン拡散層14の一方には、コンタクト18aが接続され、トランジスタ15bのソース/ドレイン拡散層14の他方には、コンタクト18bが接続されている。このようなコンタクト18a,18bは、例えば、ドープされた多結晶シリコンやW(タングステン)で形成されている。
【0017】
また、コンタクト18a,18b上には導電性酸素バリア膜19a,19bがそれぞれ形成され、コンタクト18a,18bと導電性酸素バリア膜19a,19bとが電気的に接続されている。この導電性酸素バリア膜19a,19bでコンタクト18a,18bの各上面が少なくとも覆われていればよいが、導電性酸素バリア膜19a,19bの面積はコンタクト18a,18bの上面よりも大きくする方が望ましい。ここで、導電性酸素バリア膜19a,19bは、例えば、Ir,IrO2,Ru,RuO2などのいずれかが含まれた材料で形成されており、単層でも積層であってもよい。
【0018】
また、導電性酸素バリア膜19aの上方には、強誘電体キャパシタ(Ferro-electric Capacitor)24a,24bが形成されている。この強誘電体キャパシタ24a,24bは、下部電極21と、上部電極23と、これら下部電極21及び上部電極23間に設けられた強誘電体膜22とで、それぞれ形成されている。2つの強誘電体キャパシタ24a,24bは、下部電極21を強誘電体キャパシタ24a,24b毎に分断せずに共有している。
【0019】
また、強誘電体キャパシタ24aの上部電極23は、コンタクト27aを介してメタル配線28aに接続されている。2つの強誘電体キャパシタ24a,24bで共有する下部電極21は、コンタクト27bを介してメタル配線28bに接続され、このメタル配線28bは、コンタクト27fを介して導電性酸素バリア膜19aに接続されている。強誘電体キャパシタ24bの上部電極23は、コンタクト27cを介してメタル配線28cに接続され、このメタル配線28cは、コンタクト27dを介して導電性酸素バリア膜19bに接続されている。ここで、コンタクト27a,27b,27c,27d及びメタル配線28a,28b,28cは、例えば、W,Al,Cu,Tiなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0020】
図4乃至図11は、本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第1の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。ここでは、強誘電体キャパシタが存在する強誘電体キャパシタ回路部とこの強誘電体キャパシタ回路部を制御する周辺回路部とを同時に形成する場合を例にあげる。
【0021】
まず、図4に示すように、シリコン基板11内に素子分離を行うためのSTI(Shallow Trench Isolation)領域12が形成される。その後、シリコン基板11上にゲート電極13a,13b,13c,13dが形成され、このゲート電極13a,13b,13c,13dを挟むようにソース/ドレイン拡散層14が形成される。このようにして、強誘電体キャパシタ回路部のトランジスタ15a,15bと周辺回路部のトランジスタ15c,15dが形成される。
【0022】
次に、図5に示すように、シリコン基板11及びトランジスタ15a,15b,15c,15d上に層間絶縁膜16が堆積され、この層間絶縁膜16の上面が平坦化される。この層間絶縁膜16の材料としては、例えば、BPSG(Boron Phosphorous Silicate Glass),P−TEOS(Plasma-Tetra Ethoxy Silane)などがあげられる。
【0023】
次に、図6に示すように、層間絶縁膜16が選択的に除去され、コンタクトホール17a,17b,17c,17dが開口される。その後、コンタクトホール17a,17b,17c,17dに金属材が埋め込まれ、平坦化されることで、コンタクト18a,18b,18c,18dが形成される。このコンタクト18a,18b,18c,18dの材料としては、例えば、Wやドープした多結晶シリコンなどがあげられる。ここで、強誘電体キャパシタ回路部のコンタクト18a,18bはソース/ドレイン拡散層14にそれぞれ接続され、周辺回路部のコンタクト18c,18dはゲート電極13c,13dにそれぞれ接続される。
【0024】
次に、図7に示すように、層間絶縁膜16及びコンタクト18a,18b,18c,18d上に、導電性酸素バリア膜19a,19b,19cが堆積されてパターニングされる。この導電性酸素バリア膜19a,19b,19cは、例えば、Ir,IrO2,Ru,RuO2などのいずれかを含む材料で形成されている。ここで、強誘電体キャパシタ回路部の導電性酸素バリア膜19a,19bは、コンタクト18a,18bにそれぞれ接続される。周辺回路部の導電性酸素バリア膜19cは、コンタクト18cとコンタクト18dとを接続し、配線として機能する。
【0025】
次に、図8に示すように、層間絶縁膜16及び導電性酸素バリア膜19a,19b,19c上に層間絶縁膜20が堆積されて平坦化される。この層間絶縁膜20の材料としては、例えば、BPSG,P−TEOSなどがあげられる。
【0026】
次に、コンタクト15上に、下部電極21、強誘電体膜22、上部電極23が順に堆積される。ここで、下部電極21は、例えば、Pt,Ir,IrO2,SRO,Ru,RuO2などのいずれかを含む材料で形成され、強誘電体膜22は、例えば、PZT,SBTなどのいずれかを含む材料で形成され、上部電極23は、例えば、Pt,Ir,IrO2,SRO,Ru,RuO2などのいずれかを含む材料で形成されている。次に、下部電極21がパターニングされた後、強誘電体膜22及び上部電極23が同時にパターニングされる。これにより、強誘電体キャパシタ24a,24bが形成される。
【0027】
次に、図9に示すように、層間絶縁膜20及び強誘電体キャパシタ24a,24b上に層間絶縁膜25が形成される。この層間絶縁膜25の材料としては、例えば、P−TEOS,O3−TEOS,SOG,Al2O3,SiN,SiONなどがあげられる。次に、層間絶縁膜20,25が選択的に除去され、コンタクトホール26a,26b,26c,26d,26eが開口される。その後、例えば650℃の酸素雰囲気中に1時間などの条件で、高温の酸素アニールが行われる。
【0028】
次に、図10に示すように、コンタクトホール26a,26b,26c,26d,26e内に金属材27が埋め込まれる。
【0029】
次に、図11に示すように、金属材27が層間絶縁膜25の上面が露出するまで平坦化され、コンタクト27a,27b,27c,27d,27eが形成される。このコンタクト27a,27b,27c,27d,27eは、例えば、W,Al,TiNなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0030】
ここで、コンタクト27aは、強誘電体キャパシタ24aの上部電極23に接続される。コンタクト27bは、強誘電体キャパシタ24a,24bの下部電極21に接続される。コンタクト27cは、強誘電体キャパシタ24bの上部電極23に接続される。コンタクト27dは、導電性酸素バリア膜19bに接続される。コンタクト27eは、周辺回路部の配線(導電性酸素バリア膜19c)に接続される。
【0031】
次に、コンタクト27a,27b,27c,27d,27e及び層間絶縁膜25上に配線材が形成され、パターニングされる。これにより、配線28a,28b,28c,28dが形成される。この配線28a,28b,28c,28dは、例えば、W,Al,TiNなどのいずれかを含む材料で形成されている。ここで、配線28aはコンタクト27aに接続され、配線28bはコンタクト27bに接続され、配線28cはコンタクト27cと27dに接続され、配線28dはコンタクト27eに接続される。以上のように、キャパシタ回路部と周辺回路部が同時に形成される。
【0032】
上記第1の実施形態によれば、酸化され易い材料で形成されたコンタクト18a,18bの上面が、導電性酸素バリア膜19a,19bによって保護されている。このため、コンタクトホール26a,26b,26c,26d,26eを開口した後、高温酸素アニールを行っても、導電性酸素バリア膜19a,19bでコンタクト18a,18bが酸化されることを防ぐことができる。従って、高温酸素アニールによって、コンタクト18a,18bを酸化させることなく、コンタクト開口プロセスによって強誘電体キャパシタ24a,24bに与えられたダメージを回復できる。このように、ダメージレスの強誘電体キャパシタ24a,24bを形成できるため、歩留まりを向上させることができる。
【0033】
また、コンタクト18a,18b上に導電性酸素バリア膜19a,19bが形成されているため、この導電性酸素バリア膜19a,19bをコンタクト27d,27fのコンタクト開口時にエッチングストッパーとして使用できる。このため、コンタクト18aとコンタクト27fや、コンタクト18bとコンタクト27dのミスアライメントを防止することができる。これにより、ミスアライメントによってコンタクト開口時にスリットが発生してコンタクト不良が生じることを抑制できるため、歩留まりの低下を低減できる。
【0034】
また、周辺回路部に形成された導電性酸素バリア膜19cを配線層として利用することができる。従って、キャパシタ回路部に導電性酸素バリア膜19a,19bを形成する工程を利用して、周辺回路部に配線を形成できる。このため、キャパシタ回路部の導電性酸素バリア膜19a,19bの形成工程を無駄にすることなく、周辺回路部の微細化も図れ、チップサイズを縮小することも可能である。
【0035】
[第2の実施形態]
第2の実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、導電性酸素バリア膜に加えて絶縁性酸素バリア膜も設けた例である。
【0036】
図12乃至図14は、本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第2の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0037】
図12乃至図14に示すように、第2の実施形態において、第1の実施形態と異なる点は、導電性酸素バリア膜19a,19b上に、絶縁性酸素バリア膜30を堆積させたことである。この絶縁性酸素バリア膜30が、導電性酸素バリア膜19a,19bが形成された後、堆積することで形成される。ここで、絶縁性酸素バリア膜30は、例えば、Al2O3,SiN,SiON,TiO2,PZTなどのいずれかを含む材料で形成され、単層でも積層であってもよい。
【0038】
上記第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができるだけでなく、さらに次のような効果も得ることができる。
【0039】
導電性酸素バリア膜19a,19bは、トランジスタ13a,13bがショートしないように、各コンタクト18a,18b毎に分離する必要がある。従って、高温酸素アニールの際、導電性酸素バリア膜19a,19bの端部からコンタクト18a,18bが酸化されるおそれもある。そこで、第2の実施形態では、導電性酸素バリア膜19a,19b上に絶縁性酸素バリア膜30を設け、導電性酸素バリア膜19a,19b間の隙間を埋めることで、酸化し易いコンタクト18a,18bを高温酸素アニールから十分に保護することができる。
【0040】
尚、絶縁性酸素バリア膜30は、導電性酸素バリア膜19a,19bの端部からコンタクト18a,18bが酸化されることを防止できるのであれば、どこに形成してもよい。例えば、図15に示すように、絶縁性酸素バリア膜30を、導電性酸素バリア膜19a,19bの下に形成してもよい。また、図16に示すように、絶縁性酸素バリア膜30a,30bを、導電性酸素バリア膜19a,19bの上下に形成してもよい。ここで、酸化防止の効果をより得るためには、絶縁性酸素バリア膜30を、導電性酸素バリア膜19a,19bの下よりも上に形成した方がよい。
【0041】
[第3の実施形態]
第3の実施形態は、第2の実施形態の変形例であり、導電性酸素バリア膜がダマシン構造になっている例である。
【0042】
図17乃至図19は、本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第3の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第2の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0043】
図17乃至図19に示すように、第3の実施形態において、第2の実施形態と異なる点は、絶縁性酸素バリア膜30が、凹凸のない平坦な膜になっていることである。これは、導電性酸素バリア膜19a,19bが絶縁膜内に埋め込まれて形成されることで、導電性酸素バリア膜19a,19bとその周囲の絶縁膜の上面が一致して平坦になっており、導電性酸素バリア膜19a,19bがいわゆるダマシン構造になっているためである。
【0044】
尚、図20に示すように、絶縁性酸素バリア膜30a,30bを、導電性酸素バリア膜19a,19bの上下に形成してもよい。また、絶縁性酸素バリア膜30を、導電性酸素バリア膜19a,19bの下のみに形成してもよい。
【0045】
図21乃至図23は、本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第3の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる工程を主に説明する。
【0046】
まず、図4乃至図6に示すように、第1の実施形態と同様に、層間絶縁膜16内にコンタクト18a,18b,18c,18dが形成される。
【0047】
次に、図21に示すように、層間絶縁膜16及びコンタクト18a,18b,18c,18d上に層間絶縁膜20aが形成される。その後、層間絶縁膜20aが選択的に除去され、コンタクト18a,18b,18c,18dの上面を露出する溝32a,32b,32cがそれぞれ形成される。
【0048】
次に、図22に示すように、溝32a,32b,32c内及び層間絶縁膜20a上に導電性酸素バリア膜19a,19b,19cの材料層が形成される。そして、この材料層が、層間絶縁膜20aの上面が露出するまで、CMP(Chemical Mechanical Polish)などにより平坦化される。これにより、溝32a,32b,32c内に、ダマシン構造の導電性酸素バリア膜19a,19b,19cがそれぞれ形成される。
【0049】
次に、図23に示すように、層間絶縁膜20a及び導電性酸素バリア膜19a,19b,19c上に、絶縁性酸素バリア膜30が形成される。そして、この絶縁性酸素バリア膜30上に層間絶縁膜20bが形成される。その後は、第1の実施形態と同様であり、図8の工程へと続く。
【0050】
上記第3の実施形態によれば、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0051】
さらに、ダマシン構造の導電性酸素バリア膜19a,19b,19c上に絶縁性酸素バリア膜30を形成することで、絶縁性酸素バリア膜30のステップカバレッジによる酸素バリア性の低下を抑制できる。
【0052】
[第4の実施形態]
第4の実施形態は、第2の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの側面に側壁絶縁膜を設けることで、強誘電体キャパシタと導電性酸素バリア膜との接続を一つのコンタクトで行う例である。
【0053】
図24乃至図26は、本発明の第4の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第4の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第2の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0054】
図24乃至図26に示すように、第4の実施形態において、第2の実施形態と異なる点は、強誘電体キャパシタ24a,24bの両側面に側壁絶縁膜(サイドウォール)33a,33bを設けたことである。この側壁絶縁膜33a,33bは、酸化膜との加工選択比を有する絶縁材料で形成さていればよく、例えば、Al2O3,SiN,SiON,PZT,TiO2などのいずれかを含む材料で形成されている。ここで、側壁絶縁膜33aの一方及び側壁絶縁膜33bの一方は、これらでコンタクト35bの開口幅を規定し、かつ、コンタクト35bと上部電極23とを絶縁させており、側壁絶縁膜33bの他方は、下部電極21とコンタクト35cとを絶縁させている。
【0055】
また、第4の実施形態において、第2の実施形態と異なる点は、図13及び図14のコンタクト27bと27fが一つのコンタクト35bとして形成され、図13及び図14のコンタクト27cと27dが一つのコンタクト35cとして形成されていることである。このように、コンタクト35a,35b,35cは、側壁絶縁膜33a,33bと自己整合的に形成されている。
【0056】
図27乃至図29は、本発明の第4の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第4の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる工程を主に説明する。
【0057】
まず、図4乃至図8に示すように、第1の実施形態と同様に、層間絶縁膜20上に強誘電体キャパシタ24a,24bが形成される。
【0058】
次に、図27に示すように、強誘電体キャパシタ24a,24bの両側面に側壁絶縁膜33a,33bがそれぞれ形成される。ここで、側壁絶縁膜33a,33bは、後述する層間絶縁膜25と加工選択比を有する材料で形成するとよい。
【0059】
次に、図28に示すように、強誘電体キャパシタ24a,24b、側壁絶縁膜33a,33b及び層間絶縁膜20上に層間絶縁膜25が形成される。この層間絶縁膜25の材料としては、例えば、P−TEOS,O3−TEOS,SOG,Al2O3,SiN,SiONなどがあげられる。そして、この層間絶縁膜25が選択的に除去され、コンタクトホール34a,34b,34c,34dが開口される。その後、例えば650℃の酸素雰囲気中に1時間などの条件で、高温酸素アニールが行われる。
【0060】
次に、図29に示すように、コンタクトホール34a,34b,34c,34dに金属材が埋め込まれ平坦化される。これにより、コンタクト35a,35b,35c,35dが形成される。
【0061】
ここで、コンタクト35aは、強誘電体キャパシタ24aの上部電極23に接続される。コンタクト35bは、強誘電体キャパシタ24a,24bの下部電極21に接続される。コンタクト35cは、強誘電体キャパシタ24bの上部電極23及び導電性酸素バリア膜19bに接続される。コンタクト35dは、導電性酸素バリア膜19cに接続される。
【0062】
次に、コンタクト35a,35b,35c,35d及び層間絶縁膜25上に配線材が形成され、パターニングされる。これにより、配線28a,28b,28c,28dが形成される。ここで、配線28aはコンタクト35aに接続され、配線28bはコンタクト35bに接続され、配線28cはコンタクト35cに接続され、配線28dはコンタクト35dに接続される。
【0063】
上記第4の実施形態によれば、第2の実施形態と同様の効果を得ることができるだけでなく、さらに次のような効果も得ることができる。
【0064】
上記第2の実施形態では、コンタクト27d,27fを形成する際、コンタクト27d,27fと導電性酸素バリア膜19a,19bとのリソグラフィーによる合わせずれが生じる場合もある。そこで、第4の実施形態では、強誘電体キャパシタ24a,24bの側面に側壁絶縁膜33a,33bを形成することで、コンタクト35a,35b,35c,35dを自己整合的に形成できる。このため、コンタクトレイヤーのリソグラフィーによる合わせずれを無視できるので、強誘電体キャパシタ回路部の微細化を図ることができる。
【0065】
また、図13に示す第2の実施形態の構造では、強誘電体キャパシタ24bへのコンタクト27cと、トランジスタ15bにつながるコンタクト18bへのコンタクト27dとを同時に開口することが困難であった。これに対し、第4の実施形態では、強誘電体キャパシタ24a,24bの側面に側壁絶縁膜33a,33bを設けることで、コンタクト27c,27dを同時に開口して一つのコンタクト35cとして形成できるため、コストを削減できる。
【0066】
さらに、強誘電体キャパシタ24a,24bの側面に側壁絶縁膜33a,33bを形成することによって、側壁絶縁膜33a,33bと自己整合的にコンタクト35a,35b,35cを形成できるため、セルサイズを小さくできる。
【0067】
[第5の実施形態]
第5の実施形態は、COP(Capacitor On Plug)構造の強誘電体キャパシタ回路部の例である。
【0068】
図30及び図31は、本発明の第5の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第5の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0069】
図30及び図31に示すように、第5の実施形態において、第1の実施形態と異なる点は、強誘電体キャパシタ24a,24bの下部電極21と導電性酸素バリア膜19aとの接続の仕方である。第1の実施形態では、強誘電体キャパシタ24a,24bの下部電極21は、コンタクト27b→メタル配線28b→コンタクト27fを介して、導電性酸素バリア膜19aに接続していた。これに対し、第5の実施形態では、強誘電体キャパシタ24a,24bの下部電極21は、下部電極21の直下のコンタクト38aを介して導電性酸素バリア膜19aに接続し、COP構造の強誘電体キャパシタ回路部になっている。ここで、コンタクト38aは、酸化雰囲気でも導電性を失わない材料で形成されており、例えば、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0070】
同様に、強誘電体キャパシタ24c,24dの下部電極も、コンタクト38bを介して、導電性酸素バリア膜19aに接続されており、COP構造となっている。
【0071】
また、強誘電体キャパシタ24bの上部電極23は、コンタクト27c,27f及びメタル配線28cを介して、強誘電体キャパシタ24cの上部電極23に接続されている。そして、メタル配線28cは、コンタクト27dを介して導電性酸素バリア膜19bに接続され、この導電性酸素バリア膜19bはコンタクト18bを介してトランジスタ15b,15eで共有するソース/ドレイン拡散層14に接続されている。
【0072】
図32乃至図34は、本発明の第5の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第5の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる工程を主に説明する。
【0073】
まず、図4乃至図7に示すように、第1の実施形態と同様に、層間絶縁膜16上に導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19dが形成される。
【0074】
次に、図32に示すように、導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19d及び層間絶縁膜16上に層間絶縁膜20が形成される。そして、この層間絶縁膜20が選択的に除去され、コンタクトホール36a,36b,36cが形成される。
【0075】
次に、図33に示すように、コンタクトホール36a,36b,36c内及び層間絶縁膜20上に金属膜37が形成される。
【0076】
次に、図34に示すように、層間絶縁膜20の上面が露出するまで金属膜37が平坦化され、コンタクトホール36a,36b,36c内にコンタクト38a,38b,38cが形成される。その後は、第1の実施形態と同様に、強誘電体キャパシタが形成される。
【0077】
上記第5の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができるだけでなく、さらに次のような効果を得ることもできる。
【0078】
従来のCOP型のFeRAMでは、強誘電体キャパシタの下部電極の直下に、酸化されやすい下部プラグが配置されている。そのため、下部電極の材質として、高温の酸化雰囲気でも導電性を失わず、さらに、下部プラグが酸化されないように、酸素バリアとしての機能を兼ね備える必要があった。その結果、下部電極構造が複雑になり、強誘電体キャパシタ構造の最適化、加工などが困難であるという問題があった。これに対し、第5の実施形態では、下部電極21の下のコンタクト38a,38bを、高温の酸化雰囲気で導電性を失わない材質で形成するため、前記問題を回避することができる。
【0079】
また、COP構造であるため、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dとトランジスタ15a,15b,15e,15fとの接続部材を短くすることができるため、キャパシタ回路部の微細化を図ることができる。
【0080】
[第6の実施形態]
第6の実施形態は、第5の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの上部電極と導電性酸素バリア膜とを接続するコンタクトを2段にし、コンタクトのアスペクト比を小さくした例である。
【0081】
図35及び図36は、本発明の第6の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第6の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第5の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0082】
図35及び図36に示すように、第6の実施形態において、第5の実施形態と異なる点は、コンタクト27dが、導電性酸素バリア膜19bに直接接続されずに、コンタクト38dを介して接続されていることである。このコンタクト38dは、コンタクト38a,38dと同時に形成されるため、コンタクト38a,38dと同じ材料で形成されている。従って、コンタクト38dは、コンタクト38a,38dと同様に、酸化雰囲気でも導電性を失わない材料で形成されており、例えば、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0083】
図37乃至図39は、本発明の第6の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第6の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる工程を主に説明する。
【0084】
まず、図4乃至図7に示すように、第1の実施形態と同様に、層間絶縁膜16上に導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19dが形成される。
【0085】
次に、図37に示すように、導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19d及び層間絶縁膜16上に層間絶縁膜20が形成される。そして、この層間絶縁膜20が選択的に除去され、コンタクトホール36a,36b,36c,36dが形成される。
【0086】
次に、図33に示すように、コンタクトホール36a,36b,36c,36d内及び層間絶縁膜20上に金属膜37が形成される。
【0087】
次に、図34に示すように、層間絶縁膜20の上面が露出するまで金属膜37が平坦化され、コンタクトホール36a,36b,36c,36d内にコンタクト38a,38b,38c,38dが形成される。その後は、第1の実施形態と同様に、強誘電体キャパシタが形成される。
【0088】
上記第6の実施形態によれば、第5の実施形態と同様の効果を得ることができるだけでなく、次のような効果も得ることができる。
【0089】
例えば第5の実施形態のような構造では、強誘電体キャパシタ24bとトランジスタ15bを電気的に接続させるコンタクト27dは、アスペクト比が大きくなり、コンタクト材料をコンタクトホールに埋め込む際に埋め込み不良などを引き起こしやすいため、歩留まりが低下するおそれがある。これに対し、第6の実施形態では、コンタクト27dは、導電性酸素バリア膜19b上に形成されたコンタクト38dと電気的に接続させることになる。このため、コンタクト27dのアスペクト比を小さくできるので、コンタクト材料の埋め込み不良を抑制でき、歩留まりの低下も回避できる。
【0090】
[第7の実施形態]
第7の実施形態は、第5の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの下部電極と導電性酸素バリア膜とを、コンタクトではなくローカル配線で接続した例である。
【0091】
図40乃至図41は、本発明の第7の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第7の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第5の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0092】
図40及び41に示すように、第7の実施形態において、第5の実施形態と異なる点は、コンタクト38a,38bの代わりにローカル配線43a,43bを設けることである。このローカル配線43a,43bは、コンタクト38a,38bと同じく、酸化雰囲気でも導電性を失わない材料で形成されており、例えば、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0093】
また、ローカル配線43a,43bは下部電極21と同時にパターニングされるため、ローカル配線43a,43bの平面形状は下部電極21の平面形状と同じになっている。また、ローカル配線43aの一方の側面は、キャパシタ24aの下部電極21の一方の側面と一致し、ローカル配線43aの他方の側面は、キャパシタ24bの下部電極21の一方の側面と一致している。同様に、ローカル配線43bの一方の側面は、キャパシタ24cの下部電極21の一方の側面と一致し、ローカル配線43bの他方の側面は、キャパシタ24dの下部電極21の一方の側面と一致している。また、ローカル配線43a,43bの中央部は、ローカル配線43a,43bの両端部よりも窪んでおり、導電性酸素バリア膜19a,19bに接している。
【0094】
図42乃至図44は、本発明の第7の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第7の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる工程を主に説明する。
【0095】
まず、図4乃至図7に示すように、第1の実施形態と同様に、層間絶縁膜16上に導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19dが形成される。
【0096】
次に、図42に示すように、導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19d及び層間絶縁膜16上に層間絶縁膜20が形成される。そして、この層間絶縁膜20が選択的に除去され、溝40a,40bが形成される。次に、溝40a,40b内及び層間絶縁膜20上に、例えばスパッタリングや塗布などによって金属膜41が形成される。
【0097】
次に、図43に示すように、溝40a,40b内に絶縁膜42a,42bが形成される。この絶縁膜42a,42bは、例えば、P−TEOS、O3−TEOS、SOGなどで形成されている。
【0098】
次に、図44に示すように、金属膜41及び絶縁膜42a,42b上に、下部電極41,強誘電体膜42,上部電極43が順に形成される。次に、RIE(Reactive Ion Etching)を用いて、下部電極のパターニングと同時に、金属膜41もパターニングされ、ローカル配線43a,43bが形成される。
【0099】
上記第7の実施形態によれば、第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0100】
さらに、ローカル配線43a,43bは、コンタクト38a,38bのように、材料を埋め込み、平坦化する必要が無く、スパッタリング及びRIEにより容易に形成できる。これにより、第5の実施形態よりも、プロセスコストを抑制できる。
【0101】
[第8の実施形態]
第8の実施形態は、第5の実施形態の変形例であり、導電性酸素バリア膜に加えて絶縁性酸素バリア膜も設けた例である。
【0102】
図45乃至図46は、本発明の第8の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第8の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第5の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0103】
図45及び図46に示すように、第8の実施形態において、第5の実施形態と異なる点は、導電性酸素バリア膜19a,19b,19d上に、絶縁性酸素バリア膜30を堆積させたことである。この絶縁性酸素バリア膜30は、例えば、Al2O3,SiN,SiON,TiO2,PZTなどのいずれかを含む材料で形成され、単層でも積層であってもよい。
【0104】
上記第8の実施形態によれば、第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0105】
さらに、導電性酸素バリア膜19a,19b,19d上に絶縁性酸素バリア膜30を設けることで、酸化し易いコンタクト18a,18b,18fを高温酸素アニールから十分に保護できる。
【0106】
[第9の実施形態]
第9の実施形態は、第8の実施形態の変形例であり、導電性酸素バリア膜がダマシン構造になっている例である。
【0107】
図47乃至図48は、本発明の第9の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第9の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第8の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0108】
図47乃至図48に示すように、第9の実施形態において、第8の実施形態と異なる点は、絶縁性酸素バリア膜30が、凹凸のない平坦な膜になっていることである。これは、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dが絶縁膜内に埋め込まれて形成されることで、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dとその周囲の絶縁膜の上面が平坦になっており、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dがいわゆるダマシン構造になっているためである。
【0109】
上記第9の実施形態によれば、第8の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0110】
さらに、ダマシン構造の導電性酸素バリア膜19a,19b,19d上に絶縁性酸素バリア膜30を形成することで、絶縁性酸素バリア膜30のステップカバレッジによる酸素バリア性の低下を抑制できる。
【0111】
尚、絶縁性酸素バリア膜30を、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dの上下に形成してもよい。
【0112】
[第10の実施形態]
第10の実施形態は、第5の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの側面に側壁絶縁膜を設けることで、強誘電体キャパシタと導電性酸素バリア膜との接続を一つのコンタクトで行う例である。
【0113】
図49及び図50は、本発明の第10の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第10の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第8の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0114】
図49及び図50に示すように、第10の実施形態において、第8の実施形態と異なる点は、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dの側面に側壁絶縁膜(サイドウォール)33a,33b,33c,33dを設けたことである。この側壁絶縁膜33a,33b,33c,33dは、酸化膜との加工選択比を有する絶縁材料で形成されていればよく、例えば、Al2O3,SiN,SiON,PZT,TiO2などのいずれかを含む材料で形成されている。ここで、側壁絶縁膜33bの一方及び側壁絶縁膜33cの一方は、これらでコンタクト35cの開口幅を規定し、かつ、コンタクト35cと下部電極21とを絶縁させている。
【0115】
また、第10の実施形態において、第8の実施形態と異なる点は、図46のコンタクト27cと27dと27fが一つのコンタクト35cとして形成されていることである。このように、コンタクト35a,35c,35eは、側壁絶縁膜33a,33bと自己整合的に形成されている。
【0116】
上記第10の実施形態によれば、第8の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0117】
さらに、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dの側面に側壁絶縁膜33a,33b,33c,33dを形成することで、コンタクト35a,35c,35eを自己整合的に形成できる。このため、コンタクトレイヤーのリソグラフィーによる合わせずれを無視できるので、強誘電体キャパシタ回路部の微細化を図ることができる。
【0118】
また、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dの側面に側壁絶縁膜33a,33b,33c,33dを形成することで、上部電極23と導電性酸素バリア膜19bとを一つのコンタクト35cで接続できるため、コストを削減できる。
【0119】
また、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dの側面に側壁絶縁膜33a,33b,33c,33dを形成することによって、側壁絶縁膜33a,33b,33c,33dと自己整合的にコンタクト35a,35c,35eを形成できるため、セルサイズを小さくできる。
【0120】
[第11の実施形態]
第11の実施形態は、第5の実施形態の変形例であり、第5の実施形態において2つの強誘電体キャパシタで共有していた下部電極を強誘電体キャパシタ毎に分断した例である。
【0121】
図51及び図52は、本発明の第11の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第11の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第5の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0122】
図51及び図52に示すように、第11の実施形態において、第5の実施形態と異なる点は、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24d毎に下部電極21が分断されていることである。ここで、下部電極21は上部電極23及び強誘電体膜22と同時にパターニングされるため、下部電極21、強誘電体膜22及び上部電極23は平面形状が同じになっている。
【0123】
また、第11の実施形態において、第5の実施形態と異なる点は、独立した2つの強誘電体キャパシタ24a,24bはコンタクト38aで電気的に接続され、独立した2つの強誘電体キャパシタ24c,24dはコンタクト38cで電気的に接続されていることである。このコンタクト38a,38cは、酸化雰囲気でも導電性を失わない材料で形成されており、例えば、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0124】
図53乃至図55は、本発明の第11の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第11の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる工程を主に説明する。
【0125】
まず、図4乃至図7に示すように、第1の実施形態と同様に、層間絶縁膜16上に導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19dが形成される。
【0126】
次に、図53に示すように、導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19d及び層間絶縁膜16上に層間絶縁膜20が形成される。そして、この層間絶縁膜20が選択的に除去され、溝36a,36b,36cが形成される。
【0127】
次に、図54に示すように、溝36a,36b,36c内に金属膜が埋め込まれ、コンタクト38a,38b,38cがそれぞれ形成される。
【0128】
次に、図55に示すように、コンタクト38a,38b,38c及び層間絶縁膜20上に、下部電極41,強誘電体膜42,上部電極43が順に形成される。次に、RIEを用いて、下部電極41,強誘電体膜42,上部電極43が一括でパターニングされ、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dが形成される。
【0129】
上記第11の実施形態によれば、第5の実施形態と同様の効果を得ることができるだけでなく、さらに次のような効果も得ることができる。
【0130】
従来の構造では、下部電極21が電気的につながった2つの強誘電体キャパシタを形成するため、上部電極23と下部電極21を別々に加工する必要があった。従って、上部電極加工と下部電極加工時に、リソグラフィー工程が2回必要であった。これに対し、第11の実施形態では、2つのキャパシタをコンタクトで電気的に接続しているため、上部電極23、強誘電体膜22、下部電極21を一括で加工することが可能となる。これにより、キャパシタのリソグラフィー工程が1回省略できるため、プロセスが容易となり、コストを削減できる。
【0131】
また、第11の実施形態では、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dの各下部電極21は、上部電極23及び強誘電体膜22と同じ平面形状になっている。このため、下部電極21を2つの強誘電体キャパシタで共有している場合よりも、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dの専有面積を減少することができる。従って、セル部の微細化を図ることができる。
【0132】
[第12の実施形態]
第12の実施形態は、第11の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの上部電極と導電性酸素バリア膜とを接続するコンタクトを2段にし、コンタクトのアスペクト比を小さくした例である。
【0133】
図56及び図57は、本発明の第12の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第12の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第11の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0134】
図56及び図57に示すように、第12の実施形態において、第11の実施形態と異なる点は、コンタクト27dが、導電性酸素バリア膜19bに直接接続されずに、コンタクト38dを介して接続されていることである。このコンタクト38dは、コンタクト38a,38cと同時に形成されるため、コンタクト38a,38cと同じ材料で形成されている。従って、コンタクト38dは、コンタクト38a,38cと同様に、酸化雰囲気でも導電性を失わない材料で形成されており、例えば、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0135】
上記第12の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0136】
さらに、第11の実施形態よりも、コンタクト27dのアスペクト比を小さくできるため、コンタクト材料の埋め込み不良を抑制できる。
【0137】
[第13の実施形態]
第13の実施形態は、第11の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの下部電極と導電性酸素バリア膜とを、コンタクトではなくローカル配線で接続した例である。
【0138】
図58及び図59は、本発明の第13の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第13の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第11の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0139】
図58及び図59に示すように、第13の実施形態において、第11の実施形態と異なる点は、コンタクト38a,38cの代わりにローカル配線43a,43bを設けることである。このローカル配線43a,43bは、コンタクト38a,38cと同じく、酸化雰囲気でも導電性を失わない材料で形成されており、例えば、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROなどのいずれかを含む材料で形成されている。
【0140】
また、ローカル配線43aの一方の側面は、キャパシタ24aの下部電極21の一方の側面と一致し、ローカル配線43aの他方の側面は、キャパシタ24bの下部電極21の一方の側面と一致している。同様に、ローカル配線43bの一方の側面は、キャパシタ24cの下部電極21の一方の側面と一致し、ローカル配線43bの他方の側面は、キャパシタ24dの下部電極21の一方の側面と一致している。また、ローカル配線43a,43bの中央部は、ローカル配線43a,43bの両端部よりも窪んでおり、導電性酸素バリア膜19a,19dに接している。
【0141】
上記第13の実施形態によれば、第11の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0142】
さらに、ローカル配線43a,43bは、コンタクト38a,38cのように、材料を埋め込み、平坦化する必要が無く、スパッタリング及びRIEにより容易に形成できる。これにより、第11の実施形態よりも、プロセスコストを抑制できる。
【0143】
[第14の実施形態]
第14の実施形態は、第11の実施形態の変形例であり、導電性酸素バリア膜に加えて絶縁性酸素バリア膜も設けた例である。
【0144】
図60及び図61は、本発明の第14の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第14の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第11の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0145】
図60及び図61に示すように、第14の実施形態において、第11の実施形態と異なる点は、導電性酸素バリア膜19a,19b,19d上に、絶縁性酸素バリア膜30を堆積させたことである。この絶縁性酸素バリア膜30は、例えば、Al2O3,SiN,SiON,TiO2,PZTなどのいずれかを含む材料で形成され、単層でも積層であってもよい。
【0146】
上記第14の実施形態によれば、第11の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0147】
さらに、導電性酸素バリア膜19a,19b,19d上に絶縁性酸素バリア膜30を設けることで、酸化し易いコンタクト18a,18b,18fを高温酸素アニールから十分に保護できる。
【0148】
[第15の実施形態]
第15の実施形態は、第11の実施形態の変形例であり、導電性酸素バリア膜がダマシン構造になっている例である。
【0149】
図62及び図63は、本発明の第15の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第15の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第11の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0150】
図62及び図63に示すように、第15の実施形態において、第11の実施形態と異なる点は、絶縁性酸素バリア膜30が、凹凸のない平坦な膜になっていることである。これは、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dが絶縁膜内に埋め込まれて形成されることで、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dとその周囲の絶縁膜の上面が平坦になっており、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dがいわゆるダマシン構造になっているためである。
【0151】
上記第15の実施形態によれば、第11の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0152】
さらに、ダマシン構造の導電性酸素バリア膜19a,19b,19d上に絶縁性酸素バリア膜30を形成することで、絶縁性酸素バリア膜30のステップカバレッジによる酸素バリア性の低下を抑制できる。
【0153】
尚、絶縁性酸素バリア膜30を、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dの上下に形成してもよい。
【0154】
[第16の実施形態]
第16の実施形態は、第11の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの側面に側壁絶縁膜を設けることで、強誘電体キャパシタと導電性酸素バリア膜との接続を一つのコンタクトで行う例である。
【0155】
図64及び図65は、本発明の第16の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第16の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第11の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0156】
図64及び図65に示すように、第16の実施形態において、第11の実施形態と異なる点は、強誘電体キャパシタ24a,24b,24cの側面に側壁絶縁膜(サイドウォール)33e,33f,33gを設けたことである。この側壁絶縁膜33e,33f,33gは、酸化膜との加工選択比を有する絶縁材料で形成されていればよく、例えば、Al2O3,SiN,SiON,PZT,TiO2などのいずれかを含む材料で形成されている。ここで、側壁絶縁膜33eの一方及び側壁絶縁膜33fの一方は、これらでコンタクト35fの開口幅を規定し、側壁絶縁膜33fの他方及び側壁絶縁膜33gの一方は、これらでコンタクト35gの開口幅を規定している。
【0157】
また、第16の実施形態において、第11の実施形態と異なる点は、コンタクト35fで強誘電体キャパシタ24aの上部電極23と導電性酸素バリア膜19bとが電気的に接続され、コンタクト35gで強誘電体キャパシタ24bの上部電極23と導電性酸素バリア膜19dとが電気的に接続されていることである。つまり、任意の強誘電体キャパシタの上部電極23と隣の強誘電体キャパシタの下部電極21とが、電気的に接続されている。ここで、コンタクト35fは、側壁絶縁膜33e,33fと自己整合的に形成され、コンタクト35gは、側壁絶縁膜33f,33gと自己整合で電気的に接続されている。
【0158】
上記第16の実施形態によれば、第11の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0159】
さらに、強誘電体キャパシタ24a,24b,24cの側面に側壁絶縁膜33e,33f,33gを形成することで、コンタクト35f,35g,35hを自己整合的に形成できる。このため、コンタクトレイヤーのリソグラフィーによる合わせずれを無視できるので、強誘電体キャパシタ回路部の微細化を図ることができる。
【0160】
また、強誘電体キャパシタ24a,24b,24cの側面に側壁絶縁膜33e,33f,33gを形成することで、上部電極23と導電性酸素バリア膜19b,19dとを一つのコンタクト35f,35gでそれぞれ接続できるため、コストを削減できる。
【0161】
また、強誘電体キャパシタ24a,24b,24cの側面に側壁絶縁膜33e,33f,33gを形成することによって、側壁絶縁膜33e,33f,33gと自己整合的にコンタクト35f,35g,35hを形成できるため、セルサイズを小さくできる。
【0162】
[第17の実施形態]
第17の実施形態は、第8の実施形態の変形例であり、強誘電体キャパシタの下部電極と、その下方にある導電性酸素バリア膜とを同時にパターニングする例である。
【0163】
図66及び図67は、本発明の第17の実施形態に係る半導体記憶装置の平面図及び断面図を示す。以下に、第17の実施形態に係る半導体記憶装置の構造について説明する。尚、ここでは、第8の実施形態と異なる構造のみ説明する。
【0164】
図66及び図67に示すように、第17の実施形態において、第8の実施形態と異なる点は、強誘電体キャパシタの下部電極とその下方にある導電性酸素バリア膜とを同時にパターニングするため、下部電極と導電性酸素バリア膜との平面形状がほぼ同じになっていることである。つまり、強誘電体キャパシタ24a,24bの下部電極21は、導電性酸素バリア膜19aとほぼ同じ平面形状となっており、強誘電体キャパシタ24c,24dの下部電極21は、導電性酸素バリア膜19bとほぼ同じ平面形状となっている。
【0165】
また、導電性酸素バリア膜19a,19bは、コンタクト18a,18fの各上面を少なくとも覆う程度の大きさで、かつ、2つの強誘電体キャパシタがそれぞれ配置できる程度の大きさは必要である。一方、導電性酸素バリア19dは、コンタクト18bの上面を少なくとも覆う程度の大きさであればよいが、コンタクト18bの上面よりも大きくする方が望ましい。
【0166】
また、コンタクト18bの上方には、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dの下部電極21の一部である配線層21’が存在し、この配線層21’は導電性酸素バリア膜19dとほぼ同じ平面形状になっている。そして、配線層21’と導電性酸素バリア膜19dとは、コンタクト38dで電気的に接続されている。
【0167】
また、絶縁性酸素バリア膜30は、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dだけでなく、強誘電体キャパシタ24a,24b,24c,24dも覆うように、形成されている。
【0168】
図68乃至図75は、本発明の第17の実施形態に係る半導体記憶装置の製造工程の断面図を示す。以下に、第17の実施形態に係る半導体記憶装置の製造方法について説明する。尚、ここでは、第1の実施形態と異なる工程を主に説明する。
【0169】
まず、図4乃至図6に示すように、第1の実施形態と同様に、層間絶縁膜16内にコンタクト18a,18b,18c,18d,18fが形成される。
【0170】
次に、図68に示すように、層間絶縁膜16及びコンタクト18a,18b,18c,18d,18f上に、導電性酸素バリア膜の材料層19が形成される。次に、この材料層19上に層間絶縁膜20が形成される。
【0171】
次に、図69に示すように、層間絶縁膜20が選択的に除去され、コンタクトホール36a,36b,36c,36dが形成される。そして、このコンタクトホール36a,36b,36c,36d内に金属材が埋め込まれ、コンタクト38a,38b,38c,38dが形成される。
【0172】
次に、図70に示すように、コンタクト38a,38b,38c,38d及び層間絶縁膜20上に、下部電極21、強誘電体膜22、上部電極23が順に堆積される。そして、強誘電体膜22及び上部電極23がパターニングされる。次に、上部電極23及び下部電極21上に層間絶縁膜25aが形成され、この層間絶縁膜25aがパターニングされる。
【0173】
次に、図71に示すように、パターニングされた層間絶縁膜25aをマスクとして用いて、下部電極21がパターニングされる。
【0174】
次に、図72に示すように、パターニングされた層間絶縁膜25aをマスクとして用いて、層間絶縁膜20がパターニングされる。
【0175】
次に、図73に示すように、パターニングされた層間絶縁膜25aをマスクとして用いて、材料層19がパターニングされ、導電性酸素バリア膜19a,19b,19c,19dが形成される。
【0176】
次に、図74に示すように、層間絶縁膜25a,16上に絶縁性酸素バリア膜30が形成される。
【0177】
次に、図75に示すように、絶縁性酸素バリア膜30上に層間絶縁膜25bが形成される。次に、層間絶縁膜25a,25b及び絶縁性酸素バリア膜30が選択的に除去されて金属材で埋め込まれることで、コンタクト27a,27c,27d,27e,27f,27gが形成される。
【0178】
ここで、コンタクト27aは、強誘電体キャパシタ24aの上部電極23に接続される。コンタクト27cは、強誘電体キャパシタ24bの上部電極23に接続される。コンタクト27dは、配線層21’に接続される。コンタクト27fは、強誘電体キャパシタ24cの上部電極23に接続される。コンタクト27gは、強誘電体キャパシタ24dの上部電極23に接続される。コンタクト27eは、周辺回路部の配線(導電性酸素バリア膜19c)に接続される。
【0179】
次に、コンタクト27a,27c,27d,27e,27f,27g及び層間絶縁膜25上に配線材が形成され、パターニングされる。これにより、配線28a,28c,28d,28eが形成される。
【0180】
ここで、配線28aはコンタクト27aに接続され、配線28cはコンタクト27cと27dと27fに接続され、配線28eはコンタクト27gに接続され、配線28dはコンタクト27eに接続される。
【0181】
上記第17の実施形態によれば、第8の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0182】
さらに、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dと下部電極21のパターニングを同時に行っている。このため、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dと下部電極21のパターニングを別々に行う場合よりも、パターニングが容易となる。
【0183】
また、導電性酸素バリア膜19d上にコンタクト38dを形成している。このため、第8の実施形態よりも、コンタクト27dのアスペクト比を小さくできるため、コンタクト材料の埋め込み不良を抑制できる。
【0184】
尚、図76に示すように、絶縁性酸素バリア膜30を、導電性酸素バリア膜19a,19b,19dの下に形成してもよい。
【0185】
その他、本発明は、上記各実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形することが可能である。さらに、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【0186】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、コンタクトの酸化を防止しつつ、強誘電体キャパシタのダメージを回復させることが可能な半導体記憶装置及びその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図2】 図1のII−II線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図3】 図1のIII−III線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図4】 本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図5】 図4に続く、本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図6】 図5に続く、本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図7】 図6に続く、本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図8】 図7に続く、本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図9】 図8に続く、本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図10】 図9に続く、本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図11】 図10に続く、本発明の第1の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図12】 本発明の第2の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図13】 図12のXIII−XIII線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図14】 図12のXIV−XIV線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図15】 本発明の第2の実施形態に係わる他の半導体記憶装置を示す断面図。
【図16】 本発明の第2の実施形態に係わる他の半導体記憶装置を示す断面図。
【図17】 本発明の第3の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図18】 図17のXVIII−XVIII線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図19】 図17のXIX−XIX線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図20】 本発明の第3の実施形態に係わる他の半導体記憶装置を示す断面図。
【図21】 本発明の第3の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図22】 図21に続く、本発明の第3の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図23】 図22に続く、本発明の第3の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図24】 本発明の第4の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図25】 図24のXXV−XXV線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図26】 図24のXXVI−XXVI線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図27】 本発明の第4の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図28】 図27に続く、本発明の第4の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図29】 図28に続く、本発明の第4の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図30】 本発明の第5の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図31】 図30のXXXI−XXXI線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図32】 本発明の第5の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図33】 図32に続く、本発明の第5の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図34】 図33に続く、本発明の第5の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図35】 本発明の第6の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図36】 図35のXXXVI−XXXVI線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図37】 本発明の第6の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図38】 図37に続く、本発明の第6の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図39】 図38に続く、本発明の第6の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図40】 本発明の第7の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図41】 図40のXLI−XLI線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図42】 本発明の第7の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図43】 図42に続く、本発明の第7の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図44】 図43に続く、本発明の第7の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図45】 本発明の第8の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図46】 図45のXLVI−XLVI線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図47】 本発明の第9の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図48】 図47のXLVIII−XLVIII線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図49】 本発明の第10の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図50】 図49のL−L線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図51】 本発明の第11の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図52】 図51のLII−LII線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図53】 本発明の第11の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図54】 図53に続く、本発明の第11の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図55】 図54に続く、本発明の第11の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図56】 本発明の第12の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図57】 図56のLVII−LVII線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図58】 本発明の第13の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図59】 図58のLIX−LIX線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図60】 本発明の第14の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図61】 図60のLXI−LXI線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図62】 本発明の第15の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図63】 図62のLXII−LXII線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図64】 本発明の第16の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図65】 図64のLXV−LXV線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図66】 本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置を示す平面図。
【図67】 図66のLXVII−LXVII線に沿った半導体記憶装置の断面図。
【図68】 本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図69】 図68に続く、本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図70】 図69に続く、本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図71】 図70に続く、本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図72】 図71に続く、本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図73】 図72に続く、本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図74】 図73に続く、本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図75】 図74に続く、本発明の第17の実施形態に係わる半導体記憶装置の製造工程を示す断面図。
【図76】 本発明の第17の実施形態に係わる他の半導体記憶装置を示す断面図。
【符号の説明】
11…シリコン基板、12…STI領域、13a,13b,13c,13d,13e,13f…ゲート電極、14…ソース/ドレイン拡散層、15a,15b,15c,15d,15e,15f…トランジスタ、16,20,20a,20b,25,25a,25b,…層間絶縁膜、17a,17b,17c,17d,26a,26b,26c,26d,26e,34a,34b,34c,34d,36a,36b,36c,36d…コンタクトホール、18a,18b,18c,18d,18f,27a,27b,27c,27d,27e,27f,27g,35a,35b,35c,35d,35f,35g,35h,38a,38b,38c,38d…コンタクト、19…導電性酸素バリア膜の材料層、19a,19b,19c,19d…導電性酸素バリア膜、21…下部電極、21’…配線層、22…強誘電体膜、23…上部電極、24a,24b,24c,24d…強誘電体キャパシタ、27,37,41…金属膜、28a,28b,28c,28d,28e…メタル配線、30,30a,30b…絶縁性酸素バリア膜、32a,32b,32c,40a,40b…溝、33a,33b,33e,33f,33g…側壁絶縁膜、42a,42b…絶縁膜、43a,43b…ローカル配線。
Claims (39)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタと、
前記第1の拡散層に接続された第1のコンタクトと、
前記第1のコンタクトと電気的に接続され、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜と、
第1の電極と前記第1の電極の下方に配置されかつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタと、
前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第1の接続部材と、
前記第2の拡散層に接続された第2のコンタクトと、
前記第2の電極の下方に形成され、前記第2のコンタクトと電気的に接続され、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜と、
前記第2の導電性酸素バリア膜の上面と前記第2の電極の下面とを接続する第2の接続部材と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1の導電性酸素バリア膜は、Ir,IrO2,Ru,RuO2のいずれかを含む材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1の接続部材は、
前記第1の強誘電体キャパシタの上方に設けられた第1の配線と、
前記第1の配線と前記第1の電極とを接続する第3のコンタクトと、
前記第1の配線と前記第1の導電性酸素バリア膜とを接続する第4のコンタクトと
で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第2の電極の上方に配置された第3の電極と前記第2の電極と前記第3及び第2の電極間に設けられた第2の強誘電体膜とを有する第2の強誘電体キャパシタをさらに具備し、
前記第1及び第2の強誘電体キャパシタで前記第2の電極を共有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタと、
前記半導体基板及び前記第1のトランジスタ上に形成された第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜内に形成され、前記第1の拡散層に接続された第1のコンタクトと、
前記第1の絶縁膜上に形成され、前記第1のコンタクトと電気的に接続され、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜と、
前記第1の絶縁膜及び前記第1の導電性酸素バリア膜上に設けられた第1の絶縁性酸素バリア膜と、
第1の電極と前記第1の電極の下方に配置されかつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタと、
前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第1の接続部材と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1の絶縁膜上に形成され、前記第1の導電性酸素バリア膜及び前記第1の絶縁性酸素バリア膜が上面に設けられた第2の絶縁性酸素バリア膜と
をさらに具備することを特徴とする請求項5に記載の半導体記憶装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタと、
前記第1の拡散層に接続された第1のコンタクトと、
前記第1のコンタクトと電気的に接続され、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜と、
第1の電極と前記第1の電極の下方に配置されかつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタと、
前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第1の接続部材と、
前記半導体基板及び前記第1のトランジスタ上に形成され、前記第1の導電性酸素バリア膜の上面と等しい上面を有する第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜及び前記第1の導電性酸素バリア膜上に設けられた第1の絶縁性酸素バリア膜と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1の絶縁性酸素バリア膜は、Al2O3,SiN,SiON,TiO2,PZTのいずれかを含む材料で形成されていることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1の強誘電体キャパシタの両側面にそれぞれ形成された側壁絶縁膜をさらに具備し、
前記第1の接続部材は、前記側壁絶縁膜と自己整合的に形成された一つのコンタクトであることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記側壁絶縁膜は、Al2O3,SiN,SiON,PZT,TiO2のいずれかを含む材料で形成されていることを特徴とする請求項9に記載の半導体記憶装置。
- 前記半導体基板及び前記第1のトランジスタ上に形成され、前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜が上面の一部に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜、前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜上に設けられた絶縁性酸素バリア膜と
をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第2の接続部材は、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROのいずれかを含む材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1の接続部材は、
第1の配線と、
前記第1の配線と前記第1の電極とを接続する第3のコンタクトと、
前記第1の配線に接続する第4のコンタクトと、
前記第4のコンタクトと前記第1の導電性酸素バリア膜とを接続する第5のコンタクトと
で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第5のコンタクトは、Pt,Ir,IrO2,Ru,RuO2,SROのいずれかを含む材料で形成されていることを特徴とする請求項13に記載の半導体記憶装置。
- 前記第5のコンタクトと前記第2の接続部材は同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項13に記載の半導体記憶装置。
- 前記第2の接続部材は、コンタクト又は配線であることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記配線は、両端部と中央部とを有し、
前記両端部は、前記第2の電極の下面に接し、
前記両端部の各側面は、前記第2の電極の両端部の各側面と一致しており、
前記中央部は、前記両端部よりも窪んでおり、かつ、前記第2の導電性酸素バリア膜に接している
ことを特徴とする請求項16に記載の半導体記憶装置。 - 前記配線の平面形状は、前記第2の電極の平面形状と同じであることを特徴とする請求項16に記載の半導体記憶装置。
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタと、
前記第1の拡散層に接続された第1のコンタクトと、
前記第1のコンタクトと電気的に接続され、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜と、
第1の電極と前記第1の電極の下方に配置されかつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタと、
前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第1の接続部材と、
前記第2の拡散層に接続された第2のコンタクトと、
前記第2の電極の下方に形成され、前記第2のコンタクトと電気的に接続され、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜と、
第3の電極と前記第3の電極の下方に配置されかつ前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第4の電極と前記第3及び第4の電極間に設けられた第2の強誘電体膜とを有する第2の強誘電体キャパシタと、
前記第2の導電性酸素バリア膜の上面、前記第2及び第4の電極の下面を電気的に接続する第2の接続部材と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1の電極、前記第2の電極及び前記第1の強誘電体膜の平面形状は等しく、
前記第3の電極、前記第4の電極及び前記第2の強誘電体膜の平面形状は等しいことを特徴とする請求項19に記載の半導体記憶装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタと、
前記第1の拡散層に接続された第1のコンタクトと、
前記第1のコンタクトと電気的に接続され、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜と、
第1の電極と前記第1の電極の下方に配置されかつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタと、
前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第1の接続部材と、
前記第2の拡散層に接続された第2のコンタクトと、
前記第2のコンタクトと電気的に接続され、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜と、
第3の電極と前記第3の電極の下方に配置されかつ前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第4の電極と前記第3及び第4の電極間に設けられた第2の強誘電体膜とを有する第2の強誘電体キャパシタと、
前記第2の電極の下面と前記第2の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第2の接続部材と、
前記第1の強誘電体キャパシタの両側面にそれぞれ形成された第1の側壁絶縁膜と、
前記第2の強誘電体キャパシタの両側面にそれぞれ形成された第2の側壁絶縁膜と
をさらに具備し、
前記第1の接続部材は、前記第1及び第2の側壁絶縁膜と自己整合的に形成され、一つのコンタクトからなることを特徴とする半導体記憶装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタと、
前記第1の拡散層に接続された第1のコンタクトと、
前記第1のコンタクトと電気的に接続され、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜と、
第1の電極と前記第1の電極の下方に配置されかつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた強誘電体膜とを有する強誘電体キャパシタと、
前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とに接続された第1の接続部材と、
前記第2の拡散層に接続された第2のコンタクトと、
前記第2の電極の下方に形成され、前記第2のコンタクトと電気的に接続され、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆い、前記第2の電極と同じ平面形状を有する第2の導電性酸素バリア膜と、
前記第2の導電性酸素バリア膜の上面と前記第2の電極の下面とを接続する第2の接続部材と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1の接続部材は、
前記強誘電体キャパシタの上方に設けられた第1の配線と、
前記第1の配線と前記第1の電極とを接続する第3のコンタクトと、
前記第1の導電性酸素バリア膜上に形成され、前記第2の接続部材と同じ材料で形成された第3の接続部材と、
前記第3の接続部材上に形成され、前記第2の電極と同じ材料で形成され、前記第1の導電性酸素バリア膜と同じ平面形状を有する第2の配線と、
前記第1及び第2の配線を接続する第4のコンタクトと
をさらに具備することを特徴とする請求項22に記載の半導体記憶装置。 - 周辺回路部に形成され、配線として使用する第3の導電性酸素バリア膜をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1のトランジスタの前記第1及び第2の拡散層と前記第1の強誘電体キャパシタの前記第1及び第2の電極とがそれぞれ接続されたセルが、複数個直列に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 半導体基板上に、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有する第1のトランジスタを形成する工程と、
前記第1の拡散層に接続する第1のコンタクトと前記第2の拡散層に接続する第2のコンタクトとを形成する工程と、
前記第1のコンタクト上に、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜を形成するとともに、前記第2のコンタクト上に、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜を形成する工程と、
前記第2の導電性酸素バリア膜上に第1の接続部材を形成する工程と、
前記第2の導電性酸素バリア膜の上方に、第1の電極と前記第1の電極の下方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有する第1の強誘電体キャパシタを、前記第2の電極の下面と前記第1の接続部材の上面とが接続されるように形成する工程と、
前記第1の電極の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とを接続する第2の接続部材を形成する工程と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第2の接続部材は、
前記第1の電極に接続する第3のコンタクトと、
前記第1の導電性酸素バリア膜に接続する第4のコンタクトと、
前記第3及び第4のコンタクトを接続する第1の配線と
で形成されることを特徴とする請求項26に記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第1の強誘電体キャパシタを形成すると同時に、前記第2の電極の上方に配置された第3の電極と前記第2の電極と前記第3及び第2の電極間に設けられた第2の強誘電体膜とを有する第2の強誘電体キャパシタを形成し、
前記第1及び第2の強誘電体キャパシタで前記第2の電極を共有することを特徴とする請求項26に記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 半導体基板上に、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有するトランジスタを形成する工程と、
前記第1の拡散層に接続するコンタクトを形成する工程と、
前記コンタクト上に、前記コンタクトの上面を少なくとも覆う導電性酸素バリア膜を形成する工程と、
前記導電性酸素バリア膜上に絶縁性酸素バリア膜を形成する工程と、
前記絶縁性酸素バリア膜の上方に、第1の電極と前記第1の電極の下方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた強誘電体膜とを有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記第1の電極の上面と前記導電性酸素バリア膜の上面とを接続する接続部材を形成する工程と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 半導体基板上に、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有するトランジスタを形成する工程と、
前記第1の拡散層に接続するコンタクトを形成する工程と、
前記コンタクトの上面を露出する溝を有する絶縁膜を形成する工程と、
前記溝内及び前記絶縁膜上に導電膜を形成する工程と、
前記絶縁膜の上面が露出するまで前記導電膜を平坦化することで、前記コンタクトの上面を少なくとも覆う導電性酸素バリア膜を前記コンタクト上に形成する工程と、
前記絶縁膜及び前記導電性酸素バリア膜上に絶縁性酸素バリア膜を形成する工程と、
前記導電性酸素バリア膜の上方に、第1の電極と前記第1の電極の下方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた強誘電体膜とを有する強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記第1の電極の上面と前記導電性酸素バリア膜の上面とを接続する接続部材を形成する工程と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第1の強誘電体キャパシタを形成した後に、前記第1の強誘電体キャパシタの両側面に側壁絶縁膜を形成する工程と、
前記側壁絶縁膜と自己整合的に前記第2の接続部材を形成する工程と
をさらに具備することを特徴とする請求項26に記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜を形成した後に、前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜上に絶縁性酸素バリア膜を形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項26に記載の半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1の接続部材を形成すると同時に、前記第2の接続部材の一部を構成し、かつ前記第1の導電性酸素バリア膜の上面に接続する第3のコンタクトを形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項26に記載の半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1の接続部材の形成は、
前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜を形成した後、前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜を選択的に除去し、前記第2の導電性酸素バリア膜の上面を露出する第1の溝を形成する工程と、
前記第1の溝内及び前記第1の絶縁膜上に配線材を形成する工程と、
前記第1の溝内の前記配線材上に第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜及び前記配線材上に前記第2の電極の電極材を形成する工程と、
前記配線材及び前記電極材を同時にパターニングし、前記第1の接続部材及び前記第2の電極を形成する工程と
を具備することを特徴とする請求項26に記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 半導体基板上に、第1のゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有するトランジスタを形成する工程と、
前記第1の拡散層に接続する第1のコンタクトと前記第2の拡散層に接続する第2のコンタクトとを形成する工程と、
前記第1のコンタクト上に、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜を形成するとともに、前記第2のコンタクト上に、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜を形成する工程と、
前記第2の導電性酸素バリア膜上に、第1の接続部材を形成する工程と、
前記第1の接続部材上に、第1の電極材、強誘電体膜及び第2の電極材を順に形成する工程と、
前記第1の電極材、前記強誘電体膜及び前記第2の電極材を同時にパターニングすることで第1の強誘電体キャパシタと第2の強誘電体キャパシタを形成し、前記第1の強誘電体キャパシタの前記第1の電極材の下面及び前記第2の強誘電体キャパシタの前記第1の電極材の下面を前記第1の接続部材の上面に接続する工程と、
前記第1の強誘電体キャパシタの前記第2の電極材の上面と前記第1の導電性酸素バリア膜の上面とを接続する第2の接続部材を形成する工程と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 半導体基板上に、ゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有するトランジスタを形成する工程と、
前記第1の拡散層に接続する第1のコンタクトを形成するとともに、前記第2の拡散層に接続する第2のコンタクトを形成する工程と、
前記第1のコンタクト上に、前記第1のコンタクトの上面を少なくとも覆う第1の導電性酸素バリア膜を形成するとともに、前記第2のコンタクト上に、前記第2のコンタクトの上面を少なくとも覆う第2の導電性酸素バリア膜を形成する工程と、
前記第1の導電性酸素バリア膜に接続する第1の接続部材を形成するとともに、前記第2の導電性酸素バリア膜に接続する第2の接続部材を形成する工程と、
第1の電極と前記第1の電極の上方に配置された第2の電極と前記第1及び第2の電極間に設けられた第1の強誘電体膜とを有し、かつ、前記第1の電極の下面と前記第1の接続部材の上面とを接続する第1の強誘電体キャパシタを形成するとともに、第3の電極と前記第3の電極の上方に配置された第4の電極と前記第3及び第4の電極間に設けられた第2の強誘電体膜とを有し、かつ、前記第3の電極の下面と前記第2の接続部材の上面とを接続する第2の強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記第1の強誘電体キャパシタの両側面に第1の側壁絶縁膜をそれぞれ形成するとともに、前記第2の強誘電体キャパシタの両側面に第2の側壁絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、
前記第2の電極と前記第2の導電性酸素バリア膜とを接続する一つのコンタクトからなる第3の接続部材を、前記第1及び第2の側壁絶縁膜と自己整合的に形成する工程と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 半導体基板上に、ゲート電極と第1及び第2の拡散層とを有するトランジスタを形成する工程と、
前記第1の拡散層に接続する第1のコンタクトと前記第2の拡散層に接続する第2のコンタクトをそれぞれ形成する工程と、
前記第1及び第2のコンタクト上に導電性酸素バリア材を形成する工程と、
前記導電性酸素バリア材上に第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜内に、前記第1及び第2のコンタクトの上方に位置し、前記導電性酸素バリア材に接触する第3及び第4のコンタクトをそれぞれ形成する工程と、
前記第1の絶縁膜、前記第3及び第4のコンタクト上に第1の電極材、強誘電体材、第2の電極材を順に形成する工程と、
前記第4のコンタクトの上部に残るように前記強誘電体材及び第2の電極材をパターニングする工程と、
前記第1の電極材、前記第1の絶縁膜及び前記導電性酸素バリア材をパターニングし、前記第1及び第3のコンタクトに挟まれて前記第1及び第3のコンタクトに接続する第1の導電性酸素バリア膜と前記第2及び第4のコンタクトに挟まれて前記第2及び第4のコンタクトに接続する第2の導電性酸素バリア膜と前記第4のコンタクトに接続する強誘電体キャパシタを形成する工程と
を具備することを特徴とする半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第1の電極材をパターニングする際に、前記第3のコンタクト上に前記第1の電極材からなる配線層を形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項37に記載の半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1及び第2の導電性酸素バリア膜を形成すると同時に、配線として使用する第3の導電性酸素バリア膜を周辺回路部に形成する工程をさらに具備することを特徴とする請求項26に記載の半導体記憶装置の製造方法。
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US9966426B2 (en) * | 2015-09-14 | 2018-05-08 | Qualcomm Incorporated | Augmented capacitor structure for high quality (Q)-factor radio frequency (RF) applications |
DE112017008080T5 (de) * | 2017-12-26 | 2020-07-09 | Intel Corporation | Gestapelte transistoren mit zuletzt ausgebildetem kontakt |
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US5990507A (en) * | 1996-07-09 | 1999-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device having ferroelectric capacitor structures |
US6107136A (en) * | 1998-08-17 | 2000-08-22 | Motorola Inc. | Method for forming a capacitor structure |
WO2000045429A1 (fr) * | 1999-01-26 | 2000-08-03 | Hitachi, Ltd. | Procede de fabrication d'un dispositif de circuit integre a semi-conducteur |
JP3276007B2 (ja) * | 1999-07-02 | 2002-04-22 | 日本電気株式会社 | 混載lsi半導体装置 |
DE19929308C1 (de) * | 1999-06-25 | 2000-11-09 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Speicheranordnung |
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