JP4021234B2 - 光・電気配線基板 - Google Patents

光・電気配線基板 Download PDF

Info

Publication number
JP4021234B2
JP4021234B2 JP2002108092A JP2002108092A JP4021234B2 JP 4021234 B2 JP4021234 B2 JP 4021234B2 JP 2002108092 A JP2002108092 A JP 2002108092A JP 2002108092 A JP2002108092 A JP 2002108092A JP 4021234 B2 JP4021234 B2 JP 4021234B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
light
electrical
waveguide
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002108092A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003302543A (ja
Inventor
誠二 中嶋
大輔 末次
崇文 大熊
憲一 山本
隆亮 東田
宗和 西原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2002108092A priority Critical patent/JP4021234B2/ja
Publication of JP2003302543A publication Critical patent/JP2003302543A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4021234B2 publication Critical patent/JP4021234B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光によって情報を伝送する回路を備えた光・電気配線基板に関するものである。
【0002】
【従来技術】
近年、電子回路基板は、小型、高性能化を実現するために、片面だけに回路を形成した片面板から両面に回路を形成した両面板に、さらに回路を積層した多層回路基板へと変化してきており、現在では多層化の進んだ基板が多く採用されている。
【0003】
以下、多層基板の製造について説明する。まず、多層基板の製造工程では、ガラスクロスにエポキシを含浸し乾燥させたプリプレグと呼ばれる基板材料の両面に銅箔を張付け、この銅箔の上にドライフィルムをラミネートし、感光、現像、銅箔のエッチング、ドライフィルム除去の工程を経て両面板を形成する。次に、この両面板とプリプレグを交互に積層し、加熱・プレスによって一体化する。その後、所望の位置に穴を加工したうえで、穴の内面にメッキを施し、各層間の導通を確保する。この回路基板の穴は、普通ドリルやパンチングマシンにより1穴づつ形成されるが、コストダウンのためにレーザにより高速穴加工することもある。
【0004】
そして、レーザ穴加工においては、レーザの波長、出力、パルス幅などの条件設定が必要となる。そのため、エポキシ樹脂等に強化材等のガラス繊維やアラミド繊維等を複合させたFRP基板等の穴加工では、前記副成分に対応する加工性を加工面において確保するために、出力、パルス幅などを変えて条件の調整を行い、これにより歩留まりを向上させている。
【0005】
また、穴加工したビアホールやスルーホールにペーストを押圧して充填する工程では、スキージと呼ばれる充填ヘッドを用いた印刷工法が用いられる。この印刷工法においては、スキージの硬度、角度、印圧、充填動作の速度など極めて多くの条件設定が必要であり、わずかな設定の差が品質に影響を与えるため、製造現場での経験をもとにそれらの調整を行い、ペースト充填工程での歩留まり、品質を向上させている。また、ペーストの充填工程においては、スキージに対する工夫がなされており、平スキージ、剣スキージ、印刷面との接触部が曲面となっているスキージなどスキージの形状に工夫がなされているだけでなく、スキージにヒータを内蔵し、一定温度に加熱してペーストの粘度を低下させて充填性を向上させている。さらに、ペーストは稼働時間に比例してその粘度が上昇することから、一定時間毎にペーストを入れ換えたり有機溶剤を加え、ペーストの粘度の安定化を図っている。その他、穴加工されたビアホールやスルーホールヘのペーストの充填量をコントロールするために、穴の上端位置(基板表面)までペーストを充填することで充填量の安定化を図っている。
【0006】
さらに、ビアホールやスルーホールに導体をメッキする方法においては、最表面だけは配線形成を施さず、両面板とプリプレグを交互に積層し、加熱・プレスによって一体化させる。さらに所望の位置に穴加工し、最表面の銅箔を利用して電気的に穴の内面にメッキを施す。その後、スルーホール部分にエッチング液が侵入しないように穴埋めを施し、然る後に表面にドライフィルムをラミネートし、露光、現像、エッチング、ドライフィルム除去の工程を経て完成に至る。
【0007】
以下に図5と図6を参照しながら上述した従来の回路基板の製造方法の具体例について説明する。
【0008】
図5(a)は従来の積層回路基板の製造方法を模式的に示す。この図において、50は両面板、51は両面板50の両面に形成された配線、52はプリプレグ、53は銅箔、54はプレス装置によって加熱・プレスされる部分(面)であり、製造工程上、両面板50の両側にそれぞれプリプレグ52、銅箔53が配置され、これら両面板50等が加熱・プレス部分54で所定の温度、圧力で所定時間加熱・プレスされ、両面板50、プリプレグ52、銅箔53が一体化される。
【0009】
図5(b)は、積層回路基板に穴を形成する方法を模式的に示しており、55はドリル、56はドリル55によって形成された穴である。この工程では、銅箔53の上方からドリル55が回転しながら降下し、ドリル55の先端にある先切れ刃により銅箔53から順次穴をあけて貫通穴を形成する。
【0010】
図6(a)、(b)は、従来のペースト充填工程を模式的に示しており、61はマスク、62はマスク61を支持する基材、63,64はマスク61上を接触しながら移動するスキージ、65はペースト、66はステージである。この充填工程において、ステージ66の上に接触して基材62が配置される。基材62の上方にはわずかの空間をあけてマスク61が配置され、マスク61の上にペースト65が供給できる構造となっている。マスク61の上方にスキージ63,64が配置され、スキージ63,64は上下方向および印刷方向に移動できるようになっている。
【0011】
この充填作業では、まずステージ66上の所定の位置に基材62を配置する。次に、基材62に形成されている貫通穴の位置とマスク61に形成されている穴位置を合わせ、基材62上にマスク61をセットする。次に、マスク61上にペースト65を供給し、スキージ63,64を降下させ、基材62に所定の圧力をかけた状態で保持する。さらにスキージ63,64を印刷方向に移動させ、ペースト65をマスク61上で移動させることで印刷を行い、基材62の穴加工されている貫通穴にペースト65を押圧して充填する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、電気信号に代わって光を信号として伝達する方式を選択した場合、所望の位置に光―電気変換素子を配置し、基板上へ光ファイバを配置して信号の伝達を行うことになる。この場合、情報伝送路中にLD、PD、光アンプ、光スイッチ等の光情報通信回路が存在するため、情報伝送用配線のほかに、電気信号伝送用の金属配線が別途必要となる。その結果、光配線に加えて金属配線を設けなければならなくなり、製造プロセスが複雑化するという課題を生じる。
【0013】
また、光信号に加えてもう1つの信号伝送する必要がある場合、例えば、光信号の行き先をルーティング情報によって切り替えなければならないとき、ルーティング情報等の信号用配線が別途必要になり、同様の理由で製造プロセスが複雑化するという課題を生じる。
【0014】
さらに、光信号による情報伝送では、外乱光が光配線に入射することによりノイズが発生するという課題がある。さらにまた、表面層付近に電流が流れる光配線が存在するため、光配線−表面間の絶縁抵抗を十分高くしなければならないという課題を生じる。
【0015】
本発明は、電気−光変換手段、光―電気変換手段の少なくともいずれか一方を有する回路において、同一配線で光信号と電力又は光信号と電気信号を伝送することにより、配線パターンを簡略化できると共に、配線の種類を少なくすることで製造プロセスを簡略化できる光・電気回路を提供するものである。また、本発明は、外乱光によるノイズの低減することができ、光配線−表面間の絶縁抵抗を十分高くできる光・電気配線基板を提供するものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明に係る光・電気配線基板は、光・電気回路を有する光・電気配線基板であって、
前記光・電気回路は、光信号と電気信号とを同時に伝送する複数の伝送路を備えており、前記伝送路は、前記光信号に対する透光性と、導電性とを有する材料で形成されており、前記材料がアルミ添加酸化亜鉛(AZO)、フッ素添加酸化亜鉛(FZO)、フッ素添加酸化インジウム(FIO)、フッ素添加酸化錫(FTO)から選択された少なくとも一つを含み、
前記伝送路は、光導波路により形成され、前記光導波路が絶縁物基板内に埋め込まれており、
前記絶縁物基板には、前記複数の伝送路を結ぶ可動ミラー式光路切換装置が設けてあり、
前記可動ミラー式光路切換装置は、前記伝送路を介して入力される電気信号に応じて切り換えられることを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
I.実施の形態1:
図1は実施形態1に係る光・電気回路を1示す。この光・電気回路1は3つの発光素子2a、2b、2cを有する。これら3つの発光素子2a、2b、2cは、それぞれ異なる波長λ1、λ2、λ3の光を発するものが使用されている。各発光素子2a、2b、2cは、電源3a、3b、3cとスイッチ4a、4b、4cに接続されており、スイッチ4a、4b、4cをオン・オフすることで、発光素子2a、2b、2cを個別に点灯・消灯できるようにしてある。発光素子2a、2b、2cはまた、導光路5a、5b、5cを介して光合成器6にそれぞれ接続されており、発光素子2a、2b、2cから出射された光が対応する導光路5a、5b、5cを通り光合成器6に集められて合成されるようにしてある。
【0020】
回路基板7は、上述の光合成器6の他に、3つのフォトダイオード8a、8b、8cと、光合成器6から出射された光を第1のフォトダイオード8a、次に第2のフォトダイオード8b、続いて第3のフォトダイオード8cへと伝送するチャンネル型導波路(伝送路)9を支持している。第1のフォトダイオード8aは、導波路9との接続部に第1の光フィルタ10aを備えている。この第1の光フィルタ10aは、第1の波長λ1の光だけを選択的に透過する機能を有する。同様に、第2のフォトダイオード8bは、導波路9との接続部に第2の光フィルタ10bを備えている。この第2の光フィルタ10bは、第2の波長λ2の光だけを選択的に透過する機能を有する。
【0021】
ここで、前述した光・電気回路1のうち、特に導波路9について図2を参照して詳細に説明すると、この導波路9は、図2に示すように、回路基板7上に、例えば周知のエッチング技術を用いて形成されており、クラッド層11によって被覆されている。基板7は、光・電気回路1で用いる波長城の光を透過しない材料を用いるのが好ましい。導波路9を構成する材料は、透光性だけでなく導電性を備えた材料が用いられており、特に信号の伝送に用いる光の波長域において、配線長に対して十分損失が小さい材料を用いることが好ましい。例えば、透光性と導電性を備えた好適な材料として、ITO、ZnO、In、SnO、ITO、AZO、ATO、FZO、FIO、FTO等がある。クラッド層11は、例えばSiOで形成されている。
【0022】
図1に戻り、第1〜第3のフォトダイオード8a、8b、8cは、それぞれ対応する電球点灯回路12a,12b,12cに接続されている。電球点灯回路12a,12b,12cは、それぞれ電球13a,13b,13cとこれに直列接続されたスイッチング用トランジスタ14a,14b,14cを備えており、導電性の導波路9を介して電源15に接続されている。第1〜第3のフォトダイオード8a,8b,8cはまた、対応する電球点灯回路12a,12b,12cに含まれるトランジスタ14a,14b,14cのベースと電源15の間に接続されており、導波路9を介して波長λ1、λ2、λ3の光が入射されたとき、対応するトランジスタ14a,14b,14cのベースに所定の電流を印加するように構成されている。
【0023】
このような構成を備えた光・電気回路において、3つの発光素子2a、2b、2cから出射された光(波長λ1、λ2、λ3の光)は対応する導光路5a,5b,5cを介して光合成器6に伝送され、そこで合成される。合成された光は導波路9を介して第1〜第3のフォトダイオード8a、8b、8cに向けて伝送され、その伝送過程で第1の波長λ1を有する光が第1のフォトダイオード8aで検出され、第2の波長λ2を有する光が第2のフォトダイオード8bで検出され、さらに第3の波長λ3を有する光が第3のフォトダイオード8cで検出される。そして、光を検出したフォトダイオード8a,8b,8cは、対応する電球点灯回路12a,12b,12cに含まれるトランジスタ14a,14b,14cをオンする。その結果、トランジスタ14a,14b,14cを介して電球13a,13b,13cに電流が流れ、電球13a,13b,13cが点灯する。
【0024】
このように、実施の形態1に係る光・電気回路によれば、光を伝送する伝送路である導波路が、電球、フォトダイオードに電力を伝送する伝送路として機能する。したがって、電球点灯回路に対する電力供給も導波路を介して行われるため、電力供給用の金属配線を基板上に別途形成する必要がない。そのため、基板の製造が著しく簡略化される。
【0025】
II.実施の形態2:
図3は実施形態2に係る光・電気回路21を示す。この光・電気回路21は一つの発光素子22を有する。この発光素子22は、電源23とスイッチ24に接続されており、スイッチ24をオン・オフすることで、発光素子22を点灯・消灯できるようにしてある。一方、回路基板25は、上述の発光素子22の他に、2つのフォトダイオード26a,26bと、一端が発光素子22とフォトダイオード26a,26bにそれぞれ接続された3つのチャンネル型導波路(伝送路)27、28a、28bを支持している。また、導波路27、28a、28bは、実施の形態1と同様に形成することができるが、図4に示すように、基板25中に埋め込まれ、外乱光が光導波路へ入射するのを抑制するために周囲がクラッド層29で被覆されている。なお、基板25、導波路、クラッド層を構成する材料は実施の形態1と同一である。
【0026】
図3に戻り、基板25は可動ミラー式光路切換装置30を備えており、この切換装置30に第1の導波路27、第2及び第3の導波路(分岐路)28a、28bの他端が接続されている。切換装置30はまた可動ミラー31を備えており、この可動ミラー31は第1の導波路27から送られた光を第2の導波路28aに案内する第1の位置(実線位置)と、第1の導波路27から送られた光を第3の導波路28bに案内する第2の位置(点線位置)との間を移動できるようにしてある。この可動ミラー31は、切換装置30に入力される信号に応じて第1の位置と第2の位置との間を移動する。そのため、切換装置30は、導電性の導波路27を介して、電源32とスイッチ33に接続されており、図示するようにスイッチ33がオフした状態で可動ミラー31が第1の位置に設定され、スイッチ33をオンして切換装置30に所定の電圧が印加されると可動ミラー31が第2の位置に切換えられるようにしてある。
【0027】
フォトダイオード26a,26bは、それぞれ対応する電球点灯回路34a,34bに接続されている。各電球点灯回路34a,34bは、直列に接続された、電球35a,35bと、スイッチング用トランジスタ36a,36bと、電源37a,37bを備えている。フォトダイオード26a,26bはまた、対応する電球点灯回路34a,34bに含まれるトランジスタ36a,36bのベースと電源37a,37bの間に接続されており、導波路28a,28bを介して光が入射されたとき、対応するトランジスタ36a,36bのベースに所定の電流を印加するように構成されている。
【0028】
このような構成を備えた光・電気回路において、発光素子22から出射された光は導波路27を介して切換装置30に伝送される。いまスイッチ33がオフされて可動ミラー31が第1の位置にあるとき、導波路27から出射した光は可動ミラー31に反射して第1の導波路28aに伝送される。他方、スイッチ33がオンされて可動ミラー31が第2の位置にあるとき、導波路27から出射した光は可動ミラー31に反射して第2の導波路28bに伝送される。導波路28a又は28bから出射した光は、フォトダイオード26a又は26bで検出される。光を検出したフォトダイオード26a又は26bは、対応する電球点灯回路34a又は34bに含まれるトランジスタ36a又は36bのベースに所定の電流を印加する。その結果、トランジスタ36a又は36bを介して電球35a又は35bに電流が流れ、電球35a又は35bが点灯する。
【0029】
このように、実施の形態2に係る光・電気回路によれば、光を伝送する伝送路である導波路が、切換装置に電気信号を伝送する伝送路として機能する。したがって、電気信号供給用の金属配線を基板上に別途形成する必要がない。そのため、基板の製造が著しく簡略化される。また、基板は、光信号伝送に用いる波長城の光を透過しない材料で形成されているので、外乱光が光導波路へ入射することによるノイズを低減できる。
【0030】
なお、本発明の光・電気配線基板は以上の実施の形態に限るものでなく、光と電気を伝送する配線を必要とする配線基板であれば等しく適用できる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、透光性を有する伝送路が導電性も有することから、この伝送路を用いて光信号と電力又は電気信号とを同時に伝送することができる。そのため、電力供給用配線を形成する必要がなく、製造プロセスが簡略化される。また、光伝送路を基板内に埋め込むことによって、光配線―表面間における絶縁抵抗が十分高くすることができる。また、その基板材料に光信号の伝送に用いる波長域の光を吸収もしくは反射する材料を用いることにより、外乱光が光導波路へ入射することによるノイズを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1に係る光・電気回路の模式図。
【図2】 実施の形態1で用いた光導波路の断面構造を示す模式図。
【図3】 本発明の実施の形態2に係る光・電気回路の模式図。
【図4】 実施の形態2で用いた光導波路の断面構造を示す模式図。
【図5】 従来の回路基板の製造方法を示す模式図。
【図6】 従来技術のペースト充填工程における回路基板の製造方法および装置示す模式図。
【符号の説明】
1:光・電気回路
2a,2b,2c:発光素子
7:回路基板
8a,8b,8c:フォトダイオード
9,27,28a,28b:導波路
10a,10b:光フィルタ

Claims (2)

  1. 光・電気回路を有する光・電気配線基板であって、
    前記光・電気回路は、光信号と電気信号とを同時に伝送する複数の伝送路を備えており、前記伝送路は、前記光信号に対する透光性と、導電性とを有する材料で形成されており、前記材料がアルミ添加酸化亜鉛(AZO)、フッ素添加酸化亜鉛(FZO)、フッ素添加酸化インジウム(FIO)、フッ素添加酸化錫(FTO)から選択された少なくとも一つを含み、
    前記伝送路は、光導波路により形成され、前記光導波路が絶縁物基板内に埋め込まれており、
    前記絶縁物基板には、前記複数の伝送路を結ぶ可動ミラー式光路切換装置が設けてあり、
    前記可動ミラー式光路切換装置は、前記伝送路を介して入力される電気信号に応じて切り換えられることを特徴とする光・電気配線基板。
  2. 前記基板の材料に、前記光信号を伝送するために用いる波長城の光を吸収もしくは反射する材料を用いることを特徴とする請求項1に記載の光・電気配線基板。
JP2002108092A 2002-04-10 2002-04-10 光・電気配線基板 Expired - Fee Related JP4021234B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002108092A JP4021234B2 (ja) 2002-04-10 2002-04-10 光・電気配線基板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002108092A JP4021234B2 (ja) 2002-04-10 2002-04-10 光・電気配線基板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003302543A JP2003302543A (ja) 2003-10-24
JP4021234B2 true JP4021234B2 (ja) 2007-12-12

Family

ID=29391956

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002108092A Expired - Fee Related JP4021234B2 (ja) 2002-04-10 2002-04-10 光・電気配線基板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4021234B2 (ja)

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54162688A (en) * 1978-06-13 1979-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Forming method for oxide single crystal thin film
JPS5567709A (en) * 1978-11-14 1980-05-22 Semiconductor Res Found Conductive focusing type optical guide
JPS61242069A (ja) * 1985-04-19 1986-10-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 混成光集積回路およびその製造方法
JPH0235130Y2 (ja) * 1985-06-28 1990-09-21
JPS62108412A (ja) * 1985-11-05 1987-05-19 三菱重工業株式会社 金属コ−ト光フアイバケ−ブル
JP3100154B2 (ja) * 1990-11-05 2000-10-16 新光電気工業株式会社 光電子装置の複合線路
US5175504A (en) * 1991-06-17 1992-12-29 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for automatically inspecting and repairing a simple matrix circuit panel
JPH0566312A (ja) * 1991-07-04 1993-03-19 Hitachi Cable Ltd 光・電気複合回路モジユール
JPH05281429A (ja) * 1992-03-30 1993-10-29 Sony Corp 光導体路を内装したプリント基板の製造方法
JPH05307199A (ja) * 1992-04-28 1993-11-19 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 導波路型光スイッチ及びその製造方法
JPH063544A (ja) * 1992-06-23 1994-01-14 Japan Steel Works Ltd:The 光導波路の製造方法
JPH06123812A (ja) * 1992-10-12 1994-05-06 Sharp Corp 光信号用配線および同配線を備える半導体装置
JPH06308519A (ja) * 1993-04-20 1994-11-04 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> フレキシブル電気光混載配線板
JPH08185797A (ja) * 1994-12-27 1996-07-16 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 透明導電膜形成用処理液およびその処理液を用いた透明導電膜の作製方法
JP3830181B2 (ja) * 1995-08-23 2006-10-04 富士通株式会社 光インタコネクションケーブルの製造方法
US5659648A (en) * 1995-09-29 1997-08-19 Motorola, Inc. Polyimide optical waveguide having electrical conductivity
JPH09281529A (ja) * 1996-04-17 1997-10-31 Fujikura Ltd 空間型光偏向素子
JPH10282351A (ja) * 1997-04-11 1998-10-23 Kyocera Corp 光導波路ならびに光電子混在基板
CN1206752C (zh) * 1998-02-02 2005-06-15 杜邦显示器股份有限公司 具有电微开关的传感器阵列及其驱动方法
JP3821582B2 (ja) * 1998-07-13 2006-09-13 富士写真フイルム株式会社 光変調素子及び露光素子及び表示装置
JP2000215798A (ja) * 1999-01-25 2000-08-04 Jsr Corp 透明電極の製造方法および透明電極用転写フィルム
EP1126749B1 (en) * 1999-06-10 2009-02-11 Seiko Epson Corporation Light-emitting device
JP2001064870A (ja) * 1999-06-21 2001-03-13 Sony Corp 機能材料およびその製造方法ならびに機能構造体ならびに光機能素子
JP2001072498A (ja) * 1999-07-08 2001-03-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 酸化物単結晶薄膜およびその加工方法
JP2001217512A (ja) * 2000-02-02 2001-08-10 Fujitsu Ltd 回路基板の配線構造
JP4075277B2 (ja) * 2000-03-22 2008-04-16 Jsr株式会社 無機粒子含有感光性組成物および感光性フィルム
JP2002009307A (ja) * 2000-06-19 2002-01-11 Matsushita Battery Industrial Co Ltd 太陽電池の製造方法
JP4010135B2 (ja) * 2001-11-07 2007-11-21 富士ゼロックス株式会社 光電融合素子

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003302543A (ja) 2003-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20200068706A1 (en) Optical waveguide having aluminum nitride thin film
US8275223B2 (en) Opto-electrical hybrid wiring board and method for manufacturing the same
KR20100071083A (ko) 인쇄회로기판 엘리먼트 및 그 제조 방법
JP4690870B2 (ja) 光電気集積配線基板及び光電気集積配線システム
CN101120623B (zh) 多层电路基板的制造方法和多层电路基板
CN109511220B (zh) 电路板和光模块
CN104220910A (zh) 使用嵌入式电介质波导和金属波导的芯片间通信
CN101076229A (zh) 用于印刷电路板的导孔的制作方法
US20140119703A1 (en) Printed Circuit Board Comprising Both Conductive Metal and Optical Elements
KR20040016329A (ko) 다층 인쇄회로기판, 및 광섬유를 다층 인쇄회로기판 내에삽입하는 방법
JP4021234B2 (ja) 光・電気配線基板
JP2010170150A (ja) 印刷回路基板の製造方法
JP5755158B2 (ja) 光伝送基板および光伝送モジュール
JP2001007463A (ja) 光電気混載基板およびその製造方法
JP5272999B2 (ja) 光基板の製造方法
JP2014122929A (ja) 光導波路装置及びその製造方法
JP2012194287A (ja) 光電気混載基板の製造方法、光電気混載基板および電子機器
TWI414223B (zh) 多引線通孔之形成方法
CN101610635B (zh) 线路板结构及其工艺
CN108419384B (zh) 半弯折印刷线路板及其制作方法
TWI452364B (zh) 線路板及其製作方法與具有此線路板的光電裝置
KR101059642B1 (ko) 광도파로를 갖는 인쇄회로기판 및 그 제조방법
CN105163498B (zh) 线路板的加工方法
JP2002094195A (ja) 信号配線基板及び信号配線基板の製造方法
KR20130006287A (ko) 금속 슬롯 광도파로를 포함하는 광전 회로 기판과 광전 동시 통신 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050407

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060704

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060901

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061205

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070227

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070529

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070727

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070828

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070926

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101005

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111005

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees