JP3956222B2 - 液体吐出装置 - Google Patents
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Description
そして、この従来のインクジェットプリンタは、吐出電極にパルス電圧を印加することでインク液滴を吐出し、吐出電極と対向電極間で形成された電界によりインク液滴を対向電極側に導いている。
(1)微小液滴形成の限界と安定性
ノズル径が大きいため、ノズルから吐出される液滴の形状が安定しなく、且つ液滴の微小化に限界がある。
(2)高印加電圧
微小液滴の吐出のためには、ノズルの吐出口の微細化を図ることが重要因子となってくるが、従来の静電吸引方式の原理では、ノズル径が大きいことにより、ノズル先端部の電界強度が弱く、液滴を吐出するのに必要な電界強度を得るために、高い吐出電圧(例えば2000[V]に近い非常に高い電圧)を印加する必要があった。従って、高い電圧を印加する
ために、電圧の駆動制御が高価になるという問題があった。
先端部から液滴を吐出する先端部の内部直径が0.2[μm]より大きく4[μm][μm]以下のノズルを有する液体吐出ヘッドと、ノズル内に溶液を供給する溶液供給手段と、ノズル内の溶液に吐出電圧を印加する吐出電圧印加手段と、を備え、ノズル内の溶液が当該ノズル先端部から凸状に盛り上がった状態を形成する凸状メニスカス形成手段を設ける、という構成を採っている。
以下、ノズル径という場合には、液滴を吐出する先端部におけるノズルの内部直径(ノズルの先端部の内部直径)を示すものとする。なお、ノズル内の液体吐出穴の断面形状は円形に限定されるものではない。例えば、液体吐出穴の断面形状が多角形、星形その他の形状である場合にはその断面形状の外接円が0.2[μm]より大きく4[μm]以下となることを示すものとする。
以下、ノズル径或いはノズルの先端部の内部直径という場合において、他の数値限定を行っている場合にも同様とする。また、ノズル半径という場合には、このノズル径(ノズルの先端部の内部直径)の1/2の長さを示すものとする。
そして、溶液供給手段により液体吐出ヘッド内に溶液が供給される。ノズル内の溶液は吐出を行うために帯電した状態にあることが要求される。なお、溶液の帯電に必要な電圧印加を行う帯電専用の電極を設けても良い。
そして、凸状メニスカス形成手段によりノズル先端部において溶液が盛り上がった状態(凸状メニスカス)が形成される。かかる凸状メニスカスの形成のためには、例えば、ノズル内圧力をノズル先端部から液滴がこぼれ落ちない範囲で高める等の方法が採られる。
そして、ノズル先端部の凸状メニスカスの形成前に、液体吐出ヘッド内の溶液に対して吐出電圧印加手段により凸状メニスカス位置における吐出電圧が印加されている。この吐出電圧は、単独では液滴吐出が行われず、凸状メニスカス形成手段によるメニスカス形成との協働により吐出が可能となる範囲に設定されている。従って、凸状メニスカスを形成する駆動電圧により凸状メニスカスがノズル先端に形成されると、凸状メニスカスの突出先端部から溶液の液滴が基材の受け面に対して垂直方向に飛翔し、基材の受け面上には溶液のドットが形成される。
なお、本発明では、溶液に対する電圧の印加を行う吐出電圧印加手段とは別に、凸状メニスカスを形成するための凸状メニスカス形成手段を備えることにより、吐出電圧印加手段単独でメニスカス形成及び液滴吐出に要する電圧印加を行う場合と比較して、低い電圧で吐出させることができるので、液体吐出装置をかかる負荷を軽減することができる。
ここで、上記構成では、凸状メニスカスの形成を、圧電素子がその形状変化によりノズル内容積を変化せしめ、ノズル圧力を高めることにより実行する。凸状メニスカス形成を圧電素子での容積変化で行うことにより溶液に対する制約なく且つ高周波駆動が可能となる。
但し、本発明の構成は、対向電極を不要とすることを可能とするが、対向電極を併用しても構わない。対向電極を併用する場合には、当該対向電極の対向面に沿わせた状態で基材を配置すると共に対向電極の対向面がノズルからの液滴吐出方向に垂直に配置されることが望ましく、これによりノズル−対向電極間での電界による静電力を飛翔電極の誘導のために併用することも可能となるし、対向電極を接地すれば、帯電した液滴の電荷を空気中への放電に加え、対向電極を介して逃がすことができ、電荷の蓄積を低減する効果も得られるので、むしろ併用することが望ましい構成といえる。
上記構成では、請求項1記載の発明と同様の作用を奏すると共に、液滴吐出後において、ノズル先端部の液滴を、例えばノズル内部圧力の低下等により内側に吸引させる。これは、凸状メニスカスから液滴が飛翔すると、当該飛翔により凸状メニスカスが振動を生じる場合があり、その場合,振動の影響を防ぐために沈静化を待ってから次の吐出を行う必要性を生じる。上記構成では、凸状メニスカスが振動を生じても、ノズル先端部における溶液の液面を一時的にノズル内に吸引することで凸状状態が一旦解消され、且つ低コンダクタンスのノズル内通過による整流作用により、液面振動状態を解消する。従って、積極的且つ迅速に液面の沈静化を図ることができ、従来のような吸引後一定の沈静化の待ち時間を待つことなくすぐに次回の凸状メニスカス形成及び吐出を行うことができる。
また、上式(1)における吐出電圧Vの下限の基準となる右側の項は、ノズル先端部における溶液による表面張力に抗して液滴の吐出を行うための本発明の限界最低吐出電圧を示す。つまり、この限界最低吐出電圧よりも低い電圧を印加しても液滴の吐出は実行されないが、例えば、この限界最低吐出電圧を境界とするこれより高い値を吐出電圧とし、これより低い値の電圧と吐出電圧とを切り替えることで、吐出動作のオンオフの制御を行うことができる。即ち、電圧の高低の切替のみにより吐出動作のオンオフの制御が可能となる。なお、この場合、吐出のオフ状態に切り替える低電圧値は、限界最低吐出電圧に近いことが望ましい。これにより、オンオフの切替における電圧変化幅を狭小化し、応答性の向上を図ることが可能となるからである。
ここで、絶縁性とは、絶縁破壊強度が10[kV/mm]以上、好ましくは21[kV/mm]以上、さらに好ましくは30[kV/mm]以上をいう。絶縁破壊強度は、JIS-C2110で記載されている「絶縁破壊の強さ」をいい、同JISに記載されている測定方法により測定される値をいう。
このように構成することにより、ノズル先端部からの放電が効果的に抑制され、溶液の電荷のチャージが効果的に行われた状態で液体を吐出することができるので、円滑に良好な吐出を行うことが可能となる。
さらに、電界集中の度合いが高まることにより、多ノズル化時のノズルの高密度化で課題となる電界クロストークの影響が軽減し、一層の高密度化が可能となる。
さらに、電界集中の度合いが高まることにより、多ノズル化時のノズルの高密度化で課題となる電界クロストークの影響が受けにくくなり、より一層の高密度化が可能となる。
また、上記構成において、ノズルの内部直径は0.2[μm]より大きい方が望ましい。ノズルの内径を0.2[μm]より大きくすることで、液滴の帯電効率を向上させることができるので、液滴の吐出安定性を向上させることができる。
(1)ノズルを電気絶縁材で形成し、ノズル内に吐出電圧印加用の電極を挿入あるいは当該電極として機能するメッキ形成を行うことが好ましい。
(2)上記各請求項の構成又は上記(1)の構成において、ノズルを電気絶縁材で形成し、ノズル内に電極を挿入或いは電極としてのメッキを形成すると共にノズルの外側にも吐出用の電極を設けることが好ましい。
ノズルの外側の吐出用電極は、例えば、ノズルの先端側端面或いは、ノズルの先端部側の側面の全周若しくは一部に設けられる。
(1)及び(2)により、上記各請求項による作用効果に加え、吐出力を向上させることができるので、ノズル径をさらに微細化しても、低電圧で液滴を吐出することができる。
(3)上記各請求項の構成、上記(1)又は(2)の構成において、基材を導電性材料または絶縁性材料により形成することが好ましい。
(4)上記各請求項の構成、上記(1)、(2)又は(3)の構成において、印加する吐出電圧が1000V以下であることが好ましい。
吐出電圧の上限値をこのように設定することにより、吐出制御を容易とすると共に装置の耐久性の向上及び安全対策の実行により確実性の向上を容易に図ることが可能となる。
(5)上記各請求項の構成、上記(1)、(2)、(3)又は(4)の構成において、印加する吐出電圧が500V以下であることが好ましい。
吐出電圧の上限値をこのように設定することにより、吐出制御をより容易とすると共に装置の耐久性のさらなる向上及び安全対策の実行により確実性のさらなる向上を容易に図ることが可能となる。
(6)上記各請求項の構成、上記(1)〜(5)いずれかの構成において、ノズルと基材との距離が500[μm]以下とすることが、ノズル径を微細にした場合でも高い着弾精度を得ることができるので好ましい。
(7)上記各請求項の構成、上記(1)〜(6)いずれかの構成において、ノズル内の溶液に圧力を印加するように構成することが好ましい。
(8)上記各請求項の構成、上記(1)〜(7)いずれかの構成において、単一パルスによって吐出する場合、
また、従来は、凸状メニスカスの形成と液滴の吐出の両方について溶液に電圧を印加することにより行っていたため、これらを同時に実行するための高電圧の印加を必要としたが、本発明では、凸状メニスカスの形成は溶液に電圧を印加する吐出電圧印加手段とは異なる別個の凸状メニスカス形成手段により行い、液滴の吐出は吐出電圧印加手段による電圧の印加により行うため、吐出時に溶液に印加される電圧の値を低減することが可能となる。
従って、微細ノズルでありながら従来考えられていたよりも低電圧で液滴の吐出を行うことが可能となると共に、基材が導電体であっても絶縁体であっても良好に液滴の吐出を行うことが可能となる。また、対向電極の存在を不要とすることが可能となる。さらに、これにより、装置構成における備品点数の低減を図ることが可能となる。従って、本発明を業務用インクジェットシステムに適用した場合、システム全体の生産性の向上に貢献し、コスト低減をも図ることが可能となる。
ここで、各図において、ノズル中心位置とは、ノズル先端の液体吐出孔の液体吐出面の中心位置を示す。また、各々の図の(a)は、ノズルと対向電極との距離が2000[μm]に設定されたときの電界強度分布を示し、(b)は、ノズルと対向電極との距離が100[μm]に設定されたときの電界強度分布を示す。なお、印加電圧は、各条件とも200[V]と一定にした。図中の分布線は、電荷強度が1×106[V/m]から1×107[V/m]までの範囲を示している。
図7に、各条件下での最大電界強度を示す図表を示す。
図1〜図6から、ノズル径がφ20[μm](図5)以上だと電界強度分布は広い面積に広がっていることが分かった。また、図7の図表から、ノズルと対向電極の距離が電界強度に影響していることも分かった。
これらのことから、ノズル径がφ8[μm](図4)以下であると電界強度は集中すると共に、対向電極の距離の変動が電界強度分布にほとんど影響することがなくなる。従って、ノズル径がφ8[μm]以下であれば、対向電極の位置精度及び基材の材料特性のバラ付きや厚さのバラツキの影響を受けずに安定した吐出が可能となる。 次に、上記ノズルのノズル径とノズルの先端位置に液面があるとした時の最大電界強度と強電界領域の関係を図8に示す。
図8に示すグラフから、ノズル径がφ4[μm]以下になると、電界集中が極端に大きくなり最大電界強度を高くすることができるのが分かった。これによって、溶液の初期吐出速度を大きくすることができるので、液滴の飛翔安定性が増すと共に、ノズルの先端部での電荷の移動速度が増すために吐出応答性が向上する。
続いて、吐出した液滴における帯電可能な最大電荷量について、以下に説明する。液滴に帯電可能な電荷量は、液滴のレイリー分裂(レイリー限界)を考慮した以下の(3)式で示される。
上記(3)式で求められる電荷量qがレイリー限界値に近いほど、同じ電界強度でも静電力が強く、吐出の安定性が向上するが、レイリー限界値に近すぎると、逆にノズルの液体吐出孔で溶液の霧散が発生してしまい、吐出安定性に欠けてしまう。
ここで、ノズルのノズル径とノズルの先端部で吐出する液滴が飛翔を開始する吐出開始電圧、該初期吐出液滴のレイリー限界での電圧値及び吐出開始電圧とレイリー限界電圧値の比との関係を示すグラフを図9に示す。
図9に示すグラフから、ノズル径がφ0.2[μm]からφ4[μm]の範囲において、吐出開始電圧とレイリー限界電圧値の比が0.6を超え、液滴の帯電効率が良い結果となっており、該範囲において安定した吐出が行えることが分かった。
例えば、図10に示すノズル径とノズルの先端部の強電界(1×106[V/m]以上)の領域の関係で表されるグラフでは、ノズル径がφ0.2[μm]以下になると電界集中の領域が極端に狭くなることが示されている。このことから、吐出する液滴は、加速するためのエネルギーを十分に受けることができず飛翔安定性が低下することを示す。よって、ノズル径はφ0.2[μm]より大きく設定することが好ましい。
(液体吐出装置の全体構成)
以下、本発明の第一の実施形態である液体吐出装置20について図11乃至図12に基づいて説明する。図11は後述するノズル21に沿った液体吐出装置20の断面図であり、図12は溶液の吐出動作と溶液に印加される電圧との関係を示す説明図であって、図12(A)は吐出を行わない状態であり、図12(B)は吐出状態を示し、図12(C)は吐出後の状態を示す。
この液体吐出装置20は、帯電可能な溶液の液滴をその先端部から吐出する超微細径のノズル21と、ノズル21の先端部に対向する対向面を有すると共にその対向面で液滴の着弾を受ける基材Kを支持する対向電極23と、ノズル21内の流路22に溶液を供給する溶液供給手段29と、ノズル21内の溶液に吐出電圧を印加する吐出電圧印加手段25と、ノズル21内の溶液が当該ノズル21の先端部から凸状に盛り上がった状態を形成する凸状メニスカス形成手段40と、凸状メニスカス形成手段40の駆動電圧の印加及び吐出電圧印加手段25による吐出電圧の印加を制御する動作制御手段50とを備えている。なお、上記ノズル21と溶液供給手段の一部の構成と吐出電圧印加手段25の一部の構成は液体吐出ヘッドとして一体的に形成されている。
なお、図11では、説明の便宜上、ノズル21の先端部が上方を向き、ノズル21の上方に対向電極23が配設されている状態で図示されているが、実際上は、ノズル21が水平方向か或いはそれよりも下方、より望ましくは垂直下方に向けた状態で使用される。
上記液体吐出装置20による吐出を行う溶液の例としては、無機液体としては、水、COCl2、HBr、HNO3、H3PO4、H2SO4、SOCl2、SO2Cl2、FSO3Hなどが挙げられる。有機液体としては、メタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、2−メチル−1−プロパノール、tert−ブタノール、4−メチル−2−ペンタノール、ベンジルアルコール、α−テルピネオール、エチレングリコール、グリセリン、ジエチレングリコール、トリエチレングリコールなどのアルコール類;フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、などのフェノール類;ジオキサン、フルフラール、エチレングリコールジメチルエーテル、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、エピクロロヒドリンなどのエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、2−メチル−4−ペンタノン、アセトフェノンなどのケトン類;ギ酸、酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸などの脂肪酸類;ギ酸メチル、ギ酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸−3−メトキシブチル、酢酸−n−ペンチル、プロピオン酸エチル、乳酸エチル、安息香酸メチル、マロン酸ジエチル、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、炭酸ジエチル、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、セロソルブアセテート、ブチルカルビトールアセテート、アセト酢酸エチル、シアノ酢酸メチル、シアノ酢酸エチルなどのエステル類;ニトロメタン、ニトロベンゼン、アセトニトリル、プロピオニトリル、スクシノニトリル、バレロニトリル、ベンゾニトリル、エチルアミン、ジエチルアミン、エチレンジアミン、アニリン、N−メチルアニリン、N,N−ジメチルアニリン、o−トルイジン、p−トルイジン、ピペリジン、ピリジン、α−ピコリン、2,6−ルチジン、キノリン、プロピレンジアミン、ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N−メチルプロピオンアミド、N,N,N',N'−テトラメチル尿素、N−メチルピロリドンなどの含窒素化合物類;ジメチルスルホキシド、スルホランなどの含硫黄化合物類;ベンゼン、p−シメン、ナフタレン、シクロヘキシルベンゼン、シクロヘキセンなどの炭化水素類;1,1−ジクロロエタン、1,2−ジクロロエタン、1,1,1−トリクロロエタン、1,1,1,2−テトラクロロエタン、1,1,2,2−テトラクロロエタン、ペンタクロロエタン、1,2−ジクロロエチレン(cis−)、テトラクロロエチレン、2−クロロブタン、1−クロロ−2−メチルプロパン、2−クロロ−2−メチルプロパン、ブロモメタン、トリブロモメタン、1−ブロモプロパンなどのハロゲン化炭化水素類、などが挙げられる。また、上記各液体を二種以上混合して溶液として用いても良い。
上記ノズル21は、後述するノズルプレート26cと共に一体的に形成されており、当該ノズルプレート26cの平板面上から垂直に立設されている。また、液滴の吐出時においては、ノズル21は、基材Kの受け面(液滴が着弾する面)に対して垂直に向けて使用される。さらに、ノズル21にはその先端部からノズルの中心に沿って貫通するノズル内流路22が形成されている。
溶液供給手段29は、液体吐出ヘッド26の内部であってノズル21の根元となる位置に設けられると共にノズル内流路22に連通する溶液室24と、図示しない外部の溶液タンクから溶液室24に溶液を導く供給路27と、溶液室24への溶液の供給圧力を付与する図示しない供給ポンプとを備えている。
上記供給ポンプは、ノズル21の先端部まで溶液を供給し、当該先端部からこぼれ出さない範囲の供給圧力を維持して溶液の供給を行う(図12(A)参照)。
供給ポンプとは、液体吐出ヘッドと供給タンクの配置位置による差圧を利用する場合も含み、別途、溶液供給手段を設けなくとも溶液供給路のみで構成しても良い。ポンプシステムの設計にもよるが、基本的にはスタート時に液体吐出ヘッドに溶液を供給するときに稼動し、液体吐出ヘッドから液体を吐出し、それに応じた溶液の供給は、キャピラリ及び凸状メニスカス形成手段による液体吐出ヘッド内の容積変化及び供給ポンプの各圧力の最適化を図って溶液の供給が実施される。
吐出電圧印加手段25は、液体吐出ヘッド26の内部であって溶液室24とノズル内流路22との境界位置に設けられた吐出電圧印加用の吐出電極28と、この吐出電極28に常時,直流の吐出電圧を印加する直流電源30と、を備えている。
直流電源30による吐出電圧は、ノズル21の先端部に溶液による凸状のメニスカスが既に形成された状態において初めて液滴の吐出が可能となり、上記メニスカスが未形成の状態では液滴の吐出が行われない範囲の電圧値となるように動作制御手段50により直流電源30の制御が行われる。
この直流電源30により印加を行う吐出電圧は、理論上は、次式(1)により求められる。
なお、上記条件は理論値であり、実際上は、凸状メニスカスの形成時と非形成時における試験を行い、適宜な電圧値を求めても良い。
本実施形態では、一例として吐出電圧を400[V]とする。
液体吐出ヘッド26は、図11において最も下層に位置し、可撓性を有する素材(例えば金属,シリコン、樹脂等)からなる可撓ベース層26aと、この可撓ベース層26aの上面全体に形成される絶縁素材からなる絶縁層26dと、その上に位置する溶液の供給路を形成する流路層26bと、この流路層26bのさらに上に形成されるノズルプレート26cとを備え、流路層26bとノズルプレート26cとの間には前述した吐出電極28が介挿されている。
そして、絶縁層26dの上には、溶解可能な樹脂層を形成すると共に供給路27及び溶液室24を形成するための所定のパターンに従う部分のみを残して除去し、当該残存部を除いて除去された部分に絶縁樹脂層を形成する。この絶縁樹脂層が流路層26bとなる。そして、この絶縁樹脂層の上面に面状に広がりをもって導電素材(例えばNiP)のメッキにより吐出電極28を形成し、さらにその上から絶縁性のレジスト樹脂層或いはパリレン層を形成する。このレジスト樹脂層がノズルプレート26cとなるので、この樹脂層はノズル21の高さを考慮した厚みで形成される。そして、この絶縁性のレジスト樹脂層を電子ビーム法やフェムト秒レーザにより露光し、ノズル形状を形成する。ノズル内流路22もレーザ加工により形成される。そして、供給路27及び溶液室24のパターンに従う溶解可能な樹脂層を除去し、これら供給路27及び溶液室24が開通して液体吐出ヘッド26が完成する。
対向電極23は、ノズル21の突出方向に垂直な対向面を備えており、かかる対向面に沿うように基材Kの支持を行う。ノズル21の先端部から対向電極23の対向面までの距離は、500[μm]以下が好ましく、さらには100[μm]以下が好ましく、一例としては100[μm]に設定される。
また、この対向電極23は接地されているため、常時,接地電位を維持している。従って、ノズル21の先端部と対向面との間に生じる電界による静電力により吐出された液滴を対向電極23側に誘導する。
なお、液体吐出装置20は、ノズル21の超微細化による当該ノズル21の先端部での電界集中により電界強度を高めることで液滴の吐出を行うことから、対向電極23による誘導がなくとも液滴の吐出を行うことは可能ではあるが、ノズル21と対向電極23との間での静電力による誘導が行われた方が望ましい。また、帯電した液滴の電荷を対向電極23の接地により逃がすことも可能である。
凸状メニスカス形成手段40は、ノズルプレート26の可撓ベース層26aの外側面(図1における下面)であって溶液室24に対応する位置に設けられた圧電素子としてのピエゾ素子41と、このピエゾ素子41に変形を起こすための駆動パルス電圧を印加する駆動電圧電源42とを備えている。
上記ピエゾ素子41は、駆動パルス電圧の印加を受けて可撓ベース層26aを内側又は外側のいずれにも窪ませる方向に変形を生じるように当該可撓ベース層26aに装着されている。
駆動電圧電源42は、動作制御手段50の制御により、ノズル内流路22内の溶液がノズル21の先端部おいて凹状にメニスカスを形成している状態(参照図12(A))から凸状にメニスカスを形成する状態(参照図12(B))となるために適当な溶液室24の容積の減少をピエゾ素子41がもたらすための適当な第一の電圧値に応じた駆動パルス電圧(例えば10[V])を出力する。また、駆動電圧電源42は、動作制御手段50の制御により、ノズル内流路22内の溶液がノズル21の先端部おいて凹状にメニスカスを形成している状態(参照図12(A))から液面を所定距離だけ引き込んだ状態(参照図12(C))となるために適当な溶液室24の容積の増加をピエゾ素子41がもたらすための適当な第二の電圧値に応じた駆動パルス電圧を出力する。第二の電圧値の駆動パルス電圧は、第一の電圧値の駆動パルス電圧の印加によるピエゾ素子41の変形方向とは逆方向の変形を生じさせる必要があるため、第一の電圧値とは逆極性となる。なお、上記液面の引き込み距離は、特に限定はないが、例えば、液面がノズル内流路22の途中の位置で止まる程度である。
動作制御手段50は、実際的にはCPU,ROM,RAM等を含む演算装置を有する構成であり、これらに所定のプログラムが入力されることにより、下記に示す機能的な構成を実現すると共に後述する動作制御を実行する。
上記動作制御手段50は、直流電源30による吐出電圧の印加を連続的に行わせると共に、外部からの吐出指令の入力を受けると駆動電圧電源42による第一の電圧値の駆動パルス電圧の印加を行わせる第一の吐出制御部51と、第一の電圧値の駆動パルス電圧の印加の後に駆動電圧電源42による第二の電圧値の駆動パルス電圧の印加を行わせる動作制御を行う液面安定化制御部52とを備えている。
第一の吐出制御部51は、直流電源30に対し、定常的に吐出電圧を吐出電極28に印加させる。さらに、第一の吐出制御部51は、受信手段を介して吐出指令信号の受信を認識すると、駆動電圧電源42による第一の電圧値の駆動パルス電圧をピエゾ素子41に印加させる。これにより、ノズル21の先端部から液滴の吐出が行われる。
液面安定化制御部52は、第一の吐出制御部51による駆動電圧電源42の第一の電圧値の駆動パルス電圧出力を認識すると、その後すぐに、駆動電圧電源42による第二の電圧値の駆動パルス電圧をピエゾ素子41に印加させる。
図11及び図12により液体吐出装置20の動作説明を行う。
溶液供給手段の供給ポンプによりノズル内流路22には溶液が供給された状態にあり、かかる状態で定常的に直流電源30から吐出電極28に吐出電圧が印加されている(図12(A))。かかる状態で、溶液は帯電状態にある。
そして、外部から動作制御手段50に吐出指令信号が入力されると、第一の吐出制御部51の制御に従って、駆動電圧電源42による第一の電圧値の駆動パルス電圧がピエゾ素子41に印加される。これにより、帯電した溶液による電界集中状態と、ノズル21の先端部における凸状メニスカス形成状態とより電界強度が高まり、凸状メニスカスの頂点において微小液滴が吐出される(図12(B))。
液滴吐出後は、凸状メニスカスが振動状態となるが、すぐに、液面安定化制御部52により駆動電圧電源42による第二の電圧値の駆動パルス電圧がピエゾ素子41に印加されるので、凸状メニスカスは消滅し、溶液の液面はノズル21の内側に後退する(図12(C))。この凸状メニスカスの消滅と微細径ゆえに低コンダクタンスであるノズル21内の溶液の移動により振動状態は沈静化される。また、パルス電圧であるため、かかるノズル21の先端部の液面の後退状態は一時的であり、すぐに図2(A)の状態に戻される。
そして、微細径であるがために、ノズルコンダクタンスの低さによりノズル内流路22における溶液の流動が制限されることから、その単位時間あたりの吐出流量を低減する制御を容易に行うことができると共に、パルス幅を狭めることなく十分に小さな液滴径(上記各条件によれば0.8[μm])による溶液の吐出を実現している。
さらに、吐出される液滴は帯電されているので、微小の液滴であっても蒸気圧が低減され、蒸発を抑制することから液滴の質量の損失を低減し、飛翔の安定化を図り、液滴の着弾精度の低下を防止する。
次に、本発明の第二の実施形態である液体吐出装置20Aについて図13乃至図14に基づいて説明する。図13は液体吐出装置20Aの断面図であり、図14は溶液の吐出動作と溶液に印加される電圧との関係を示す説明図であって、図4(A)は吐出を行わない状態であり、図14(B)は吐出状態を示し、図14(C)は吐出後の状態を示す。なお、図13では、説明の便宜上、ノズル21の先端部が上方を向きで図示されているが、実際上は、ノズル21が水平方向か或いはそれよりも下方、より望ましくは垂直下方に向けた状態で使用される。
なお、本実施形態の説明において、第一の実施形態たる液体吐出装置20と同一の構成については同符号を付して重複する説明は省略するものとする。
この液体吐出装置20Aは、前述した液体吐出装置20と比較して特徴となるのは、ノズル21内の溶液に吐出電圧を印加する吐出電圧印加手段25Aと、凸状メニスカス形成手段40の駆動電圧の印加及び吐出電圧印加手段25Aによる吐出電圧の印加を制御する動作制御手段50Aであるため、これらについてのみ説明を行う。
吐出電圧印加手段25Aは、前述した吐出電圧印加用の吐出電極28と、この吐出電極28に常時,直流のバイアス電圧を印加するバイアス電源30Aと、吐出電極28にバイアス電圧に重畳して吐出に要する電位とする吐出パルス電圧を印加する吐出電圧電源31Aと、を備えている。
この吐出電圧電源31Aにより印加を行う吐出パルス電圧はバイアス電圧と重畳させた状態において、前述した式(1)により求められる。
なお、上記条件は理論値であり、実際上は、凸状メニスカスの形成時と非形成時における試験を行い、適宜な電圧値を求めても良い。一例を挙げると、バイアス電圧はDC300[V]で印加され、吐出パルス電圧は100[V]で印加される。従って、吐出の際の重畳電圧は400[V]となる。
動作制御手段50Aは、実際的にはCPU,ROM,RAM等を含む演算装置を有する構成であり、これらに所定のプログラムが入力されることにより、下記に示す機能的な構成を実現すると共に後述する動作制御を実行する。
上記動作制御手段50Aは、バイアス電源30Aによるバイアス電圧の印加を連続的に行わせた状態において外部からの吐出指令の入力を受けると吐出電圧電源31Aによる吐出パルス電圧の印加と駆動電圧電源42による第一の電圧値の駆動パルス電圧の印加とを同期させて行わせる第二の吐出制御部51Aと、吐出パルス電圧及び第一の電圧値の駆動パルス電圧の印加の後に駆動電圧電源42による第二の電圧値の駆動パルス電圧の印加を行わせる動作制御を行う液面安定化制御部52とを備えている。
第二の吐出制御部51Aは、バイアス電源30Aに対し、定常的にバイアス電圧を吐出電極28に印加させる。さらに、第二の吐出制御部51Aは、受信手段を介して吐出指令信号の受信を認識すると、吐出電圧電源31Aによる吐出パルス電圧の印加と駆動電圧電源42による第一の電圧値の駆動パルス電圧の印加とを同期を図って行わせる。これにより、ノズル21の先端部から液滴の吐出が行われる。
なお、ここでいう同期を図るとは、電圧印加を厳密に同時に行わせる場合と、溶液の帯電速度による応答性とピエゾ素子41による圧力変化による応答性とを考慮した上でこれらによるズレを考慮調整した上でほぼ同時に電圧印加を行う場合との双方を含むものとする。
図13及び図14により液体吐出装置20Aの動作説明を行う。
溶液供給手段の供給ポンプによりノズル内流路22には溶液が供給された状態にあり、かかる状態で定常的にバイアス電源30Aから吐出電極28にバイアス電圧が印加されている(図14(A))。
そして、外部から動作制御手段50Aに吐出指令信号が入力されると、第二の吐出制御部51Aの制御に従って、吐出電圧電源31Aによる吐出電極28への吐出パルス電圧の印加と駆動電圧電源42によるピエゾ素子41への第一の電圧値の駆動パルス電圧の印加とが同期を図って行われる。これにより、帯電した溶液による電界集中状態と、ノズル21の先端部における凸状メニスカス形成状態とより電界強度が高まり、凸状メニスカスの頂点において微小液滴が吐出される(図14(B))。
液滴吐出後は、凸状メニスカスが振動状態となるが、すぐに、液面安定化制御部52により駆動電圧電源42による第二の電圧値の駆動パルス電圧がピエゾ素子41に印加され、溶液の液面はノズル21の内側に後退する(図14(C))。
上記液体吐出装置20,20Aでは、ノズル21の先端部に凸状メニスカスを形成するためにピエゾ素子41を利用しているが、凸状メニスカス形成手段としては、溶液のノズル内流路22内での先端側への誘導,同方向への流動,圧力の上昇等各手段を用いることが可能である。例えば、図示しないが、溶液室に備えた振動板を静電力により変形させる静電アクチュエータ方式で溶液室内部の容積変化を生じさせることにより凸状メニスカスを形成させることも可能である。ここで、静電アクチュエータとは、静電気力により流路壁を撓ませ容積を変化させる機構である。この静電アクチュエータを用いる場合には、凸状メニスカスの形成を、静電アクチュエータが、その形状変化により溶液室内容積を変化せしめ、ノズル圧力を高めることにより実行する。また、ノズル先端部の液面の内側への引き込みを行う場合には、静電アクチュエータの形状変化により溶液室内容積を変化せしめ、ノズル圧力を低めることにより実行する。かかる、凸状メニスカス形成を静電アクチュエータでの容積変化により行うことにより、構造的にはピエゾ素子を用いる場合よりも複雑になるが、同様に溶液に対する制約無く且つ高周波駆動が可能となり、それに加え、他ノズル化におけるノズルの高密度化及び環境対応に優れるという効果を得ることが出来る。
また、ヒータ41Bは、その凸状メニスカス形成の原理上、ノズル21の先端部において溶液液面を後退させることはできないので、液面安定化制御部52による制御を行うことはできないが、例えば、図16に示すように、メニスカス待機位置(ヒータ41Bの非加熱時のノズル21の先端部における溶液液面位置)を下げることによって吐出直後のメニスカスの安定効果を同様に得ることも可能である。
また、ヒータ41Bとしては加熱応答性の高いものを使用し、その駆動には加熱パルス電圧(例えば10[V])をヒータ41Bに印加する駆動電圧電源42Bが使用される。
そして、外部から動作制御手段50に吐出指令信号が入力されると、第一の吐出制御部51の制御に従って、駆動電圧電源42Bによる加熱パルス電圧がヒータ41Bに印加される。これにより、溶液室24内で気泡が発生し、一時的にその内部圧力が上昇するので、ノズル21の先端部には凸状メニスカスが形成される。一方、溶液は既に吐出電圧が印加され帯電状態にあるので、凸状メニスカスの形成がトリガーとなり、その頂点から微小液滴が吐出される(図17(B))。
液滴吐出後は、凸状メニスカスが振動状態となるが、ヒータ41Bは非加熱状態となるのでノズル21先端部の液面はメニスカス待機位置に戻ることにより凸状メニスカスは消滅し、溶液の液面はノズル21の内側に後退する(図17(C))。
また、ピエゾ素子を使用する場合のように溶液室24が撓み可能な構造を採らなくて良いため、構造の簡易化による生産性の向上を図ることが可能となる。
この場合も、吐出電圧電源31Aによる吐出電極28への吐出パルス電圧の印加と駆動電圧電源42Bによるヒータ41Bへの加熱パルス電圧の印加とが同期を図って行われるので、これらを別タイミングで行う場合と比較して吐出反応性の向上を図ることが可能である。
上述した凸状メニスカス形成手段を備える各種の液体吐出装置と凸状メニスカス形成手段を備えない液体吐出装置とを所定の条件下で行った比較試験の結果を以下に説明する。図19は、比較試験結果を示す図表である。比較試験の対象は以下に示す七種のものである。
1)制御パターンA
凸状メニスカス形成手段:無し
吐出電圧印加手段 :バイアス電圧+吐出パルス電圧
同期 :無し
液面吸引 :無し
2)制御パターンB
凸状メニスカス形成手段:ピエゾ素子
吐出電圧印加手段 :直流電圧
同期 :無し
液面吸引 :無し
3)制御パターンC
凸状メニスカス形成手段:ピエゾ素子
吐出電圧印加手段 :バイアス電圧+吐出パルス電圧
同期 :ピエゾ素子と吐出パルス電圧を同期
液面吸引 :無し
4)制御パターンD
凸状メニスカス形成手段:ピエゾ素子
吐出電圧印加手段 :直流電圧
同期 :無し
液面吸引 :有り
5)制御パターンE
凸状メニスカス形成手段:ピエゾ素子
吐出電圧印加手段 :バイアス電圧+吐出パルス電圧
同期 :ピエゾ素子と吐出パルス電圧を同期
液面吸引 :有り
6)制御パターンF
凸状メニスカス形成手段:ヒータ
吐出電圧印加手段 :直流電圧
同期 :無し
液面吸引 :無し
7)制御パターンG
凸状メニスカス形成手段:ヒータ
吐出電圧印加手段 :バイアス電圧+吐出パルス電圧
同期 :ヒータと吐出パルス電圧を同期
液面吸引 :無し
さらに、駆動条件としては、吐出のトリガーとなるパルス電圧の周波数:1[kHz]、吐出電圧:(1)直流電圧(400[V]),(2)バイアス電圧(300[V])+吐出パルス電圧(100[V])、ピエゾ素子駆動電圧:10[V]、ヒータ駆動電圧10[V]とする。
溶液は水であり、その物性は粘性:8[cP](8×10-2[Pa・S]),比抵抗:108[Ωcm],表面張力30×10-3[N/m]である。
評価方法は、0.1[mm]のガラス基板に上記吐出周波数により連続して20回の吐出を行い、応答性の評価を行った。評価は最も結果が良好だったものを5とする五段階で行っている。
評価の結果によれば、5)制御パターンE(ピエゾ素子使用、吐出電圧印加手段はバイアス電圧と吐出パルス電圧の重畳電圧印加、ピエゾ素子と吐出パルス電圧の同期あり、液面吸引あり)の液体吐出装置が最も高い応答性を示している。ちなみにこの制御パターンEは第二の実施形態で示した液体吐出装置20Aと同一の構成である。
以下に、本発明による液体吐出の理論説明及びこれに基づく基本例の説明を行う。なお、以下に説明する理論及び基本例におけるノズルの構造、各部の素材及び吐出液体の特性、ノズル周囲に付加する構成、吐出動作に関する制御条件等全ての内容は、可能な限り上述した各実施形態中に適用しても良いことはいうまでもない。
従前は以下の条件式により定まる範囲を超えて液滴の吐出は不可能と考えられていた。
このような駆動電圧低下および微少量吐出実現の方策のための吐出条件等を近似的に表す式を導出したので以下に述べる。
以下の説明は、上記各本発明の実施形態で説明した液体吐出装置に適用可能である。
いま、内径dのノズルに導電性溶液を注入し、基材としての無限平板導体からhの高さに垂直に位置させたと仮定する。この様子を図20に示す。このとき、ノズル先端部に誘起される電荷は、ノズル先端の半球部に集中すると仮定し、以下の式で近似的に表される。
ところで、ノズル先端部に於ける凸状メニスカスの先端部の電界強度Eloc.[V/m]は、凸状メニスカス先端部の曲率半径をR[m]と仮定すると、
今簡単のため、d/2=Rとする。これは、ノズル先端部に表面張力で導電性溶液がノズルの半径と同じ半径を持つ半球形状に盛り上がっている状態に相当する。
ノズル先端の液体に働く圧力のバランスを考える。まず、静電的な圧力は、ノズル先端部の液面積をS[m2]とすると、
静電的な力により流体の吐出が起こる条件は、静電的な力が表面張力を上回る条件なので、
この関係式より、Vとdの関係を求めると、
従来の電界に対する考え方、すなわちノズルに印加する電圧と対向電極間の距離によって定義される電界のみを考慮した場合では、微細ノズルになるに従い、吐出に必要な電圧は増加する。一方、局所電界強度に注目すれば、微細ノズル化により吐出電圧の低下が可能となる。
また、上記各実施形態において電極への印加電圧はプラス、マイナスのどちらでも良い。
さらに、ノズルと基材との距離は、500[μm]以下に保つことにより、溶液の吐出を容易にすることができる。また、図示しないが、ノズル位置検出によるフィードバック制御を行い、ノズルを基材に対し一定に保つようにすることが望ましい。
また、基材を、導電性または絶縁性の基材ホルダーに裁置して保持するようにしても良い。
まず吐出のためには、それ以上の電界でないと吐出しないというある一定の臨界電界Ecが存在する。この臨界電界は、ノズル径、溶液の表面張力、粘性などによって変わってくる値で、Ec以下での吐出は困難である。臨界電界Ec以上すなわち吐出可能電界強度において、ノズル−基材間距離(h)と印加電圧の振幅(V)の間には、おおむね比例の関係が生じ、ノズル−基材間距離を縮めた場合、臨界印加電圧Vを小さくする事が出来る。
逆に、ノズル−基材間距離hを極端に離し、印加電圧Vを大きくした場合、仮に同じ電界強度を保ったとしても、コロナ放電による作用などによって、流体液滴の破裂すなわちバーストが生じてしまう。
3 流体(溶液)
13 基板
15 ノズル外側の電極
20,20A 液体吐出装置
21 ノズル
25,25A 吐出電圧印加手段
29 溶液供給手段
40,40A 凸状メニスカス形成手段
41 ピエゾ素子(圧電素子)
41B ヒータ
50,50A 動作制御手段
51 第一の吐出制御部
51A 第二の吐出制御部
52 液面安定化制御手段
K 基材
Claims (5)
- 帯電した溶液の液滴を基材に吐出する液体吐出装置であって、
先端部から前記液滴を吐出する先端部の内部直径が0.2[μm]より大きく4[μm]以下のノズルを有する液体吐出ヘッドと、
前記ノズル内に溶液を供給する溶液供給手段と、前記ノズル内の溶液に吐出電圧を印加する吐出電圧印加手段と、
前記ノズル内の溶液が当該ノズル先端部から凸状に盛り上がった状態を形成する凸状メニスカス形成手段と
前記凸状メニスカス形成手段を駆動する駆動電圧の印加及び吐出電圧印加手段による吐出電圧の印加を制御する動作制御手段とを備え、
前記凸状メニスカス形成手段は、前記ノズル内の容積を変動させる圧電素子を有し、
前記動作制御手段は、前記吐出電圧印加手段による吐出電圧の印加されたままの状態で液滴の吐出に際して前記凸状メニスカス形成手段の駆動電圧の印加を行わせる第一の吐出制御部を有することを特徴とする液体吐出装置。 - 前記動作制御手段は、前記溶液の盛り上げ動作及び吐出電圧の印加の後に前記ノズル先端部の液面を内側に引き込ませる動作制御を行う液面安定化制御部を有することを特徴とする請求項1記載の液体吐出装置。
- 前記ノズルは、絶縁性の材料で形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
- 前記ノズルの少なくとも先端部が絶縁性の材料で形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
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US20140263695A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | King Abdullah University Of Science And Technology | Method and apparatus for atomizing and vaporizing liquid |
CN103286031B (zh) * | 2013-05-16 | 2015-07-22 | 中国科学院光电研究院 | 一种高频、高速的微米级液滴产生装置 |
TWI736949B (zh) * | 2019-04-16 | 2021-08-21 | 南韓商恩傑特股份有限公司 | 感應電流體動力學噴射打印裝置 |
JP7415402B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2024-01-17 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射装置の制御方法および液体噴射装置 |
EP4217203A1 (en) * | 2020-09-28 | 2023-08-02 | Axalta Coating Systems GmbH | Nozzle plate comprising borosilicate glass |
CN116811430B (zh) * | 2023-05-25 | 2024-04-23 | 中国石油大学(华东) | 一种基于受约束表面振荡的阵列化无串扰电流体动力喷墨打印装置及方法 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL239226A (ja) * | 1958-05-16 | |||
US3886565A (en) * | 1974-05-09 | 1975-05-27 | Tokyo Shibaura Electric Co | Injection nozzle for an ink jet printer |
US4281333A (en) * | 1979-02-14 | 1981-07-28 | Nippon Electric Co., Ltd. | Ink-on-demand type ink-jet printer with coordinated variable size drops with variable charges |
JPS55140570A (en) | 1979-04-23 | 1980-11-04 | Casio Comput Co Ltd | Ink-jet type recording device |
US4717926A (en) * | 1985-11-09 | 1988-01-05 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Electric field curtain force printer |
JPS62199451A (ja) | 1986-02-27 | 1987-09-03 | Toshiba Corp | インクジエツト式記録装置 |
US5165601A (en) * | 1990-04-11 | 1992-11-24 | Terronics Development Corporation | Nozzle for low resistivity flowable material |
JP2854390B2 (ja) | 1990-06-28 | 1999-02-03 | 正之 佐藤 | 均一な液滴の形成方法 |
JPH04338548A (ja) | 1991-05-16 | 1992-11-25 | Tokyo Electric Co Ltd | インクジェットプリンタ |
US5477249A (en) * | 1991-10-17 | 1995-12-19 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for forming images by jetting recording liquid onto an image carrier by applying both vibrational energy and electrostatic energy |
JPH05278212A (ja) | 1992-04-03 | 1993-10-26 | Ricoh Co Ltd | 電界アシスト型インクジェット記録用ヘッド |
JPH10217461A (ja) * | 1997-02-06 | 1998-08-18 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録装置 |
JPH1110885A (ja) | 1997-06-25 | 1999-01-19 | Hitachi Ltd | インクジェット記録装置の記録ヘッド及びその製造方法 |
JPH11277747A (ja) | 1998-03-31 | 1999-10-12 | Toshiba Corp | インクジェット記録装置 |
DE69942966D1 (de) * | 1998-04-16 | 2011-01-05 | Tdk Corp | Dielektrische verbundwerkstoffzusammensetzung, und film, substrat, elektronische teile und formteile davon |
JP2000006423A (ja) | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Sony Corp | インクジェット記録用ヘッドの製造方法 |
JP2000015817A (ja) | 1998-07-01 | 2000-01-18 | Casio Comput Co Ltd | インクジェットヘッド |
JP2001026120A (ja) * | 1999-07-14 | 2001-01-30 | Brother Ind Ltd | インク噴射装置 |
JP4191330B2 (ja) * | 1999-08-03 | 2008-12-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 微量液滴形成方法及び微量液滴形成装置 |
DE19947496C2 (de) * | 1999-10-01 | 2003-05-22 | Agilent Technologies Inc | Mikrofluidischer Mikrochip |
NL1016030C1 (nl) * | 2000-08-28 | 2002-03-01 | Aquamarijn Holding B V | Sproei inrichting met een nozzleplaat, een nozzleplaat, alsmede werkwijzen ter vervaardiging en voor toepassing van een dergelijke nozzleplaat. |
JP2002154211A (ja) | 2000-11-20 | 2002-05-28 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置 |
JP2002172787A (ja) | 2000-12-08 | 2002-06-18 | Ricoh Co Ltd | 液体現像剤を用いる記録方法 |
JP2003024835A (ja) | 2001-07-11 | 2003-01-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 静電塗布装置および静電塗布方法 |
EP1275440A1 (en) | 2001-07-11 | 2003-01-15 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Electrostatic coating device and method |
JP2003225591A (ja) | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 静電塗布装置および静電塗布方法 |
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