JP3887364B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に従った他の実施の形態による半導体装置の製造方法は、半導体基板上に第1の窒化膜を形成する窒化膜形成ステップと、前記半導体基板と前記第1の窒化膜との間に第1の酸化層を形成し、並びに、前記第1の窒化膜の上に第2の酸化層を形成する酸化層形成ステップと、前記第2の酸化層を窒化することによって、第2の窒化膜または酸窒化膜を前記第1の窒化膜上に形成する酸化層窒化ステップと、前記第1の酸化層と前記第1の窒化膜と前記第2の窒化膜または前記酸窒化膜とを含むバッファ膜上に、シリコン酸化膜よりも高い誘電率を有する誘電体膜を形成するステップと、前記誘電体膜上にゲート電極を形成する電極形成ステップとを備え、前記窒化膜形成ステップにおいて、前記第1の窒化膜は、窒素原子を含む雰囲気中において800℃未満の温度で前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする。
図1は、本発明に係る第1の実施形態に従った半導体装置の製造方法をプロセス順に示したフロー図である。図2から図5は、第1の実施形態に従った半導体装置の製造方法を半導体基板の断面で示した断面フロー図である。図1から図5を参照して、本実施形態による製造方法を説明する。
図8は、本発明に係る第2の実施形態に従った半導体装置の製造方法をプロセス順に示したフロー図である。本実施形態の断面フロー図は、図2〜図5と同様であるので省略する。本実施形態は、図1に示すステップS40に代えて窒化条件を限定したステップS41を具備している点で第1の実施形態と異なる。
図11は、本発明に係る第3の実施形態に従った半導体装置の製造方法をプロセス順に示したフロー図である。本実施形態の断面フロー図は、図2〜図5と同様であるので省略する。
図14は、本発明に係る第4の実施形態に従った半導体装置の製造方法をプロセス順に示したフロー図である。本実施形態の断面フロー図は、図2〜図5と同様であるので省略する。本実施形態は、図1に示すステップS50に代えて熱処理温度を限定したステップS51を具備している点で第3の実施形態と異なる。
図17は、本発明に係る第5の実施形態に従った半導体装置の製造方法をプロセス順に示したフロー図である。半導体基板の断面で示した断面フロー図は、図2〜図5と同様であるので省略する。本実施形態は、ステップS20に代えて熱処理温度を限定したステップS24を具備している点で第1から第4の実施形態と異なる。
図21は、本発明に係る第6の実施形態に従った半導体装置の製造方法をプロセス順に示したフロー図である。半導体基板の断面で示したフロー図は、図2〜図5と同様であるので省略する。本実施形態は、ステップS30に代えて熱処理温度を限定したステップS34を具備している点で第1から第5の実施形態と異なる。
図25は、本発明に係る第7の実施形態に従った半導体装置の製造方法をプロセス順に示したフロー図である。半導体基板の断面で示したフロー図は、図2〜図5と同様であるので省略する。本実施形態は、ステップS34に代えて熱処理温度をさらに限定し、また、N2で1%に希釈したO2を用いたステップS35を具備している点で第6の実施形態と異なる。
20 シリコン窒化膜
30 シリコン酸化層
40 シリコン酸化層
50 シリコン窒化膜またはシリコン酸窒化膜(SiON)
60 シリコン窒化膜またはシリコン酸窒化膜(SiON)
70 ゲート絶縁膜
Claims (13)
- 半導体基板上に第1の窒化膜を形成する窒化膜形成ステップと、
前記半導体基板と前記第1の窒化膜との間に第1の酸化層を形成し、並びに、前記第1の窒化膜の上に第2の酸化層を形成する酸化層形成ステップと、
前記第2の酸化層を窒化することによって、第2の窒化膜または酸窒化膜を前記第1の窒化膜上に形成する酸化層窒化ステップと、
前記第1の酸化層と前記第1の窒化膜と前記第2の窒化膜または前記酸窒化膜とを含むゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する電極形成ステップとを備え、
前記窒化膜形成ステップにおいて、前記第1の窒化膜は、窒素原子を含む雰囲気中において800℃未満の温度で前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記酸化層窒化ステップにおいて、窒素原子を含むガスのラジカルまたは窒素原子を含むプラズマを用いて、前記第2の酸化膜を窒化することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化層窒化ステップの後に、前記半導体基板を900℃から1000℃の温度で熱処理するアニールステップをさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アニールステップにおいて、前記半導体基板はヘリウム(He)を含む雰囲気中で熱処理されることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒化膜形成ステップにおいて、前記第1の窒化膜は、窒素原子を含む雰囲気中において700℃〜750℃の温度で前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記窒化膜形成ステップにおいて、前記第1の窒化膜は、NH3、NラジカルおよびN2ラジカルのうちいずれか少なくとも1種類を含む雰囲気中において前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする請求項1または請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化膜形成ステップにおいて、前記第1の酸化膜は、前記窒化膜内を通過した酸素が前記半導体基板を熱酸化することによって形成され、それと同時に、前記第2の酸化膜は、前記窒化膜の表面を熱酸化することによって形成されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化膜形成ステップにおいて、前記第1の酸化膜および前記第2の酸化膜は、酸素原子を含む雰囲気中において1050℃未満の温度で前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化膜形成ステップにおいて、前記第1の酸化膜および前記第2の酸化膜は、酸素原子を含む雰囲気中において800℃から1000℃の温度で前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化膜形成ステップにおいて、前記第1の酸化膜および前記第2の酸化膜は、酸素原子を含む雰囲気中において850℃から950℃の温度で前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化膜形成ステップにおいて、前記第1の酸化膜および前記第2の酸化膜は、N2OまたはO2を含む雰囲気中において前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化層窒化ステップにおいて、窒素原子およびヘリウム原子を含むガスのラジカルまたは窒素原子およびヘリウム原子を含むガスのプラズマを用いて、前記第2の酸化膜を窒化することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に第1の窒化膜を形成する窒化膜形成ステップと、
前記半導体基板と前記第1の窒化膜との間に第1の酸化層を形成し、並びに、前記第1の窒化膜の上に第2の酸化層を形成する酸化層形成ステップと、
前記第2の酸化層を窒化することによって、第2の窒化膜または酸窒化膜を前記第1の窒化膜上に形成する酸化層窒化ステップと、
前記第1の酸化層と前記第1の窒化膜と前記第2の窒化膜または前記酸窒化膜とを含むバッファ膜上に、シリコン酸化膜よりも高い誘電率を有する誘電体膜を形成するステップと、
前記誘電体膜上にゲート電極を形成する電極形成ステップとを備え、
前記窒化膜形成ステップにおいて、前記第1の窒化膜は、窒素原子を含む雰囲気中において800℃未満の温度で前記半導体基板を熱処理することによって形成されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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