JP3778549B2 - 光子デバイス用気密形チップスケールパッケージ - Google Patents
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Description
【発明の背景】
光子デバイスへの光学的結合及び電気的接続、特に単一チップ上の前記結合や接続のアレーは、環境の影響、電気的渦流(electrical parasitics)、機械的な不整合を被りやすい。これらの問題を有効に解消するとともに、耐衝撃性に優れコンパクトで高性能且つ信頼性のあるシステムを提供するために役立つ適切なパッケージングの取り組みはないようである。
【0002】
【発明の概要】
本発明は、電気的にパターンが形成された透明なウインドウ上のバンプボンディング(bump bonding:隆起結合)を介した光学エミッタ及び/又は検出器の気密パッケージングにある。本発明は、同時に、密封収納即ち気密性、及びVCSEL又は検出器への光学的結合を、アレー(配列)又は単一デバイスとして提供するものである。これらのデバイスは、ガリウム砒素化合物のような半導体から作られる。環境に敏感なデバイスには、しばしば気密性が必要とされる。このような密封形アレーパッケージは知られていない。
【0003】
半導体は、導電性トレースでパターンが形成されたウインドウにバンプボンディングされるが、ウインドウ自体は周辺がセラミック又は同様のパッケージに密封接合される。例えば、密封されたキャビティの外にある、インピーダンスが制御された多層型トレースへの電気的接続は、セラミックパッケージ内で行われる。ウインドウは、パッケージに入出する際の光学的連結を改良するために屈折レンズ又は回折レンズを備える。
【0004】
光学デバイス及びこれに相当するレンズは、1次元アレーの形態でも2次元アレーの形態でもよい。デバイスのアレーに光学的に接続されるファイバーは、デバイスに出入りする光を伝達するための多数のファイバーを有するリボン又はコードの形態であってもよい。光学デバイスが中に入った第1レベルのパッケージを覆う第2レベルのパッケージを受動的又は半能動的に整列させるため、機械的な機構が設けられる。
【0005】
パッケージは光学バックプレーンと共に利用される。この取り組みは、精密な光学連結整列、機械的頑強性、コンパクトさ、光学的及び電気的な絶縁性、非常に低い寄生特性、高速性能、周囲環境の水分、湿気及びその他の不要な汚染物質からの保護、デバイスの信頼性、及び製作上の有利性を提供する。
【0006】
【実施例の説明】
図1aは、光子デバイス用の気密性チップスケールパッケージ10を示す。VCSEL11及び/又は検出器12の線形又は2次元アレーへの機密的且つ効果的な光学的連結を実現するために、VCSEL又は検出器を含んでいる半導体のダイは、一部金属被覆されたウインドウ13に導電性バンプ14でバンプ接着される。
【0007】
ウインドウの金属被覆28は、Cr、Pt、Au、Ti、Cu、ITO、又はNiの組み合わせを、スパッタリング、蒸着、又はめっきにより形成したものである。ウインドウ13も周囲が、気密性はんだシール16を使って、多層セラミックパッケージ15に密封接合され、同時にチップ対ウインドウの電気的接続が導電性バンプ14で形成される。チップ11、12は、電気的及び/又は熱的接続部17を介してセラミックパッケージ15に取り付けられる。チップ11、12は、デバイス10の周囲環境18から気密密封される。
【0008】
電気接続部17はチップ11、12に接続され、且つ導電路31を介して外部パッド19に接続される。バンプ14のパッドも、チップ11、12からパッド51への導電トレース28を介して電気経路31に接続されており、これにより経路31を経由して外部の電気的接続パッド20に接続される。光学的連結の効率改善を促進するために、屈折及び/又は回折光学要素58が、ウインドウの表面にエッチング加工されるか又は蒸着される。ここまで説明してきたパッケージは第1レベルのパッケージである。
【0009】
第2レベルのパッケージは、ハウジング21であり、気密シール内にチップ11、12を包んでいる第1レベルのパッケージ上にこれを取り囲んで嵌め込まれている。ハウジング21は、ウインドウ13上の1つ又はそれ以上のキー22と機械的に整列している。フェルール(はばき金)23は、ハウジング21内に挿入され、フェルールの縁24と単一又は複数のキー22がぶつかる位置まで滑動できるようになっている。
【0010】
フェルール23には、単一又は複数のファイバー25が設けられ、これらファイバーは、VCSEL11からの光信号26及び/又は検出器12への光信号27を伝達する。ハウジング21は、にかわ、接着剤、又はエポキシを使って第1レベルのハウジングに固定される。フェルール23が完全にハウジング21に挿入された後、フェルール23は、定位置に接着してもよいし、しなくともよい。
【0011】
図1bは、ファイバー25と光子デバイス11、12との間の光学的連結をより詳しく示す図である。光はファイバー25のコア部53を通って出入りする。クラッディング(被覆材)54はガラスコア部53を覆って保護している。クラッディングは、光をコア部53内に閉じ込めるような屈折率を有する。ファイバー25は、ウインドウ13に突き合わせられる。ウインドウ13は、厚さ55が凡そ25から250ミクロンの範囲にある。ウインドウ13の材料の屈折率は、約1.52である。この屈折率は、パッケージ10の具体的な設計により変わる。ウインドウ13とデバイス11、12の発光部又は感知部の間には、約25ミクロンの隙間56がある。
【0012】
図2aは、ウインドウ13の上に第1レベルのハウジング15がはんだシール16により接着される状態を示す。光信号源11又は検出器12は、ウインドウ13の表面上の導電性又は金属のトレース28及びチップ11、12上の金属端子29を介して、はんだバンプ14により、透明なウインドウ13の表面にバンプ接着される。
【0013】
金属被覆ストリップ28は、横方向寸法が20から50ミクロンで、厚さは5ミクロン未満である。チップ11、12は、普通3から8ミリの間にある。ウインドウ13は、石英又はサファイアのような材料で構成される。はんだリング16は、すずを鉛、金、又は銀と組み合わせて作られる。はんだバンプ14は、すずを鉛、金、又は銀と組み合わせて作られる。
【0014】
図2bは、光学デバイス11、12を有するハウジングを示しており、電気的接続点58は、導電ストリップ28と整列して、デバイス11、12の感知域57と接続点29を電気的に接続するようになっている。外部接続部20は、ハウジング15内で接続点29に接続される。
【0015】
図3aは実施例40を示しており、この実施例では、プラグ即ちフェルール43をハウジング41に対して保持するためにピン42を使っている。図3aは、ピン42に沿った切断面を示している。一方、図3bは、ファイバー25及び発光又はレセプタ域57に沿った切断面を示している。フェルール43は、図3bに示すように、端部44がバンパ45に突き合わされており、バンパ45はエラストマーシールでもよい。
【0016】
ピン42は、フェルール43内の整列孔51とハウジング41内の整列孔52を通して挿入され、ピン42の端のノッチ47に保持クリップ46を挿入して定位置に固定される。フェルール43は、フェルール43と、ピン42のノッチ47がある端とは反対側の端のクリップ又はショルダ49との間に配置された負荷ばね48の張力により定位置にしっかり保持される。ピン42と孔51及び52により、図3bに示すように、ファイバー25とVCSEL11又は検出器12の発光部又はレセプタ域57との整合度はそれぞれ、プラスマイナス5ミクロンmm未満になる。
【0017】
フェルール43はハウジング41に接着されていないので、必要時には、クリップ46をノッチ47から外せば、フェルール43を外すことができる。実施例40によると、チップ11、12は気密密封される。しかしながら、より費用の掛らない実施例40とすると、多層セラミックパッケージをFR4又は同等のプラスチックパッケージに代えることにより、チップ11、12を気密密封しない方式を選択することもできる。
【0018】
図4a及び4bに示す装置では、ファイバーアレー25と共にフェルール43をハウジング41に対して保持するピン42を1つ又はそれ以上有する。ピン42と各孔51及び52は、ファイバーアレー25とレンズ37及びチップ11、12の感知域又は発光域57とを、確実に且つ丈夫に精度よく整列させるために、ファイバーアレー25のそれぞれの側に配置される。
【0019】
別の実施例では、プラグ又はフェルール43は、バックプレーンの一部となっており、ハウジング41は光学要素回路板に取り付けられ、プラグ43及びハウジング41を介してバックプレーンにプラグ接続される。本発明の、ここに開示していないその他の実施例及び変型例は、特許請求の範囲に述べたことに含まれ、本発明は、特許請求の範囲に述べる範囲にのみ限定され、これと等価なもの全てを含むものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1aは光学デバイス用の気密形第1レベルパッケージ、及びそれら光学デバイスの光学的及び電気的連結を示す図であり、ボードレベルの電気パッド及び光ファイバー双方に対して図示の第2レベルパッケージアッセンブリを介して連結される状態を示す。図1bは光ファイバと光子デバイスとの間の光学的連結を示す図である。
【図2】 図2aはウインドウを示す図であり、金属トレース及び機械的位置合わせ機構がウインドウの上に形成される。図2bは、光子デバイスを有するハウジングを示す図であり、その電気的相互接続がウインドウ上の対応している相互接続と整合している様子を示す。
【図3】 図3aはウインドウに隣接して配置される光学的光波ガイド又はファイバ−を有するフェルール又はプラグを接続及び固定するためのピン装置を有するハウジングを示す。図3bはウインドウに隣接して配置される光学的光波ガイド又はファイバ−を有するフェルール又はプラグを接続及び固定するためのピン装置を有するハウジングを示す別の図である。
【図4】 図4aはピン装置を有するプラグとハウジングの斜視図、図4bはピン装置を有するプラグとハウジングの別の斜視図である。
Claims (2)
- 各々が各端にパッドを有する複数の導電路を支持するパッケージと、
前記パッケージに結合され、且つ、トレースを有するウインドウのバンプと、
前記ウインドウに結合された半導体チップのバンプと、積み重なった配置で、前記半導体チップと前記パッケージのパッドとの間にはさまれた電気接続部と、を有し、
前記パッケージ及びウインドウは、協働して、前記半導体チップを気密に包囲する気密形チップスケールパッケージ。 - 少なくとも 1 つの導電性トレースが表面にパターン形成された透明なウインドウと、
前記ウインドウ上に固定された半導体チップであって、上面を有し、且つ、前記少なくとも 1 つの導電性トレースに電気的に接続されている前記半導体チップと、
前記半導体チップの前記上面に取り付けられた電気接続部と、前記ウインドウ及び前記電気接続部に固定され、かつ、前記ウインドウと協働して、前記半導体チップを気密に包囲する多層セラミックパッケージと、
前記多層セラミックパッケージ内部に保持され、且つ、前記多層セラミックパッケージの第一外部パッドと共に、前記少なくとも1つの伝導トレースに電気的に接続する第一導電路と、
前記多層セラミックパッケージ内部に支持され、且つ、前記多層セラミックパッケージの第二外部パッドと共に、前記半導体チップの上面の電気接続部に電気的に接続する第二導電路であって、前記半導体チップの上面の電気接続部と機械的に接触している前記第二導電路と、
を含む電子デバイス用のチップスケールパッケージ。
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