JPH08271757A - 光導波路モジュールとその製造方法 - Google Patents

光導波路モジュールとその製造方法

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JPH08271757A
JPH08271757A JP7097609A JP9760995A JPH08271757A JP H08271757 A JPH08271757 A JP H08271757A JP 7097609 A JP7097609 A JP 7097609A JP 9760995 A JP9760995 A JP 9760995A JP H08271757 A JPH08271757 A JP H08271757A
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Japan
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optical waveguide
optical
cylindrical member
optical fiber
circular
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JP7097609A
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Masaaki Funahashi
正昭 舟橋
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Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/30Optical coupling means for use between fibre and thin-film device

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ファイバと光導波路素子との結合を容易に
行うことが可能な光導波路モジュールと、その製造方法
を提供する。 【構成】 内部に光導波路素子1が固定支持された光導
波路円形ロッド3と、内部に光ファイバ2の端部が固定
支持された光ファイバ円形ロッド4と、これら光導波路
円形ロッド3と光ファイバ円形ロッド4とがそれぞれ両
端部から嵌入される円形スリーブ5とで構成される。各
円形ロッド3,4の外形は、光導波路素子1の1つの光
導波路、及び1本の光ファイバ2をそれぞれ中心とした
円形に形成されることで、光導波路と光ファイバの位置
合わせが容易となる。また、円形ロッド3,4を円形ス
リーブ5に嵌合して結合を行うことで、その円周方向の
位置の設定により他の光導波路と光ファイバとの位置合
わせを容易に行うことも可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光通信用光導波路に関
し、特に光導波路素子と光ファイバとを光学的に結合す
る光導波路モジュールとその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体基板に光導波路を形成し、
これをチップ状に切断して形成した光導波路素子と、光
ファイバを光学的に結合する場合、光導波路素子に形成
された光導波路(コア)と光ファイバのコアとを正対さ
せた状態で接続する必要がある。このため、光導波路素
子コアと光ファイバコアとの芯合わせを行いながら両者
を接続する方法が行われており、例えば図7のように、
V字状の溝を加工した基板101に光ファイバ2を沿わ
せ、接着剤を塗布して上から同様に構成した蓋板102
で押さえ、接着剤を硬化させ、かつ端面を研磨した光フ
ァイバ端末を作製する。そして、この光ファイバ端末を
光導波路素子1の基板11の端面に露呈されている光導
波路12のコアに対向配置した上で両者の端面を接着剤
にて接着している。この場合、基板101に形成した複
数本のV字状の溝は、そのピッチを光導波路12のコア
の配列ピッチに等しくすることで、全部の光ファイバ2
をそれぞれ光導波路12の各コアに結合することが可能
となる。
【0003】また、特開平1−227109号公報に記
載されている他の技術は、図8のように、光導波路12
のコアが存在する光導波路素子1の一部を加工してコア
を含む素子の1a端部を突出させ、その周囲に金属パイ
プ201を一体的に被せている。そして、この金属パイ
プ201の外周をコア12を中心として切削し、同様な
方法で作製した図外の光ファイバ端末とこの金属パイプ
201とを図外のスリーブを介して光学的に結合してい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図7に
示した技術では、光ファイバ端末と光導波路素子との接
着するために光ファイバのコアと光導波路素子のコアを
互いに位置合わせる際に、マニュピレータ等を用いて少
しづつ互いの位置を移動させながら、光学的結合状態を
確認しつつ、最適な位置を探し、最適な位置にて接着を
行っているが、図示したような複数本の光ファイバを結
合する場合には複数の光ファイバに対する調心が必要で
あり、時間がかかると同時に集中力を必要とする作業で
あるため、作業者に精神的ストレスが蓄積する。また、
最適位置を見い出して接着を行った場合でも、接着剤が
硬化するまで、少なくとも1〜2分の間、最適位置を維
持する必要があるが、マニュピレータが、温度振動、重
力等で微妙に移動してしまうことがあり、最適位置を維
持するのが困難であった。
【0005】また、図8に示した技術では、光導波路素
子の一部のみに金属パイプを被せているため、その外周
を切削する際に、光導波路素子を把持しなければなら
ず、通常この光導波路素子は脆性材料で形成されている
ため、外周切削の加工時の応力に耐えられず割れてしま
うことがあり、実際に作製することは不可能である。ま
た、光導波路素子を加工してコアを含む領域を突起状に
形成することも困難である。更に、この構成は、1つの
コアに対して1本の光ファイバを結合する場合には、有
効であるが、複数本のコアと光ファイバとを同時に結合
する場合には適用できないという問題もある。
【0006】
【発明の目的】本発明の目的は、光ファイバと光導波路
素子との結合を容易に行うことが可能な光導波路モジュ
ールと、その製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の光導波路モジュ
ールは、内部に光導波路素子が固定支持され、かつ光導
波路の結合端がその軸方向端面に露呈される光導波路円
形ロッドと、内部に光ファイバの端部が固定支持され、
かつその光ファイバの結合端がその軸方向端面に露呈さ
れる光ファイバ円形ロッドと、これら光導波路円形ロッ
ドと光ファイバ円形ロッドとがそれぞれ両端部から嵌入
される円形スリーブとで構成されており、光導波路円形
ロッドは、光導波路素子に設けられた複数の光導波路の
うち1つの光導波路を中心とした円形に形成され、光フ
ァイバ円形ロッドは配列された複数本の光ファイバのう
ち1本の光ファイバを中心とした円形に形成されたこと
を特徴とする。
【0008】ここで、光導波路円形ロッドや光ファイバ
円形ロッドは、円柱部材の内部に形成された軸穴または
円周一部に形成された溝を有し、この軸穴や溝内に光導
波路素子や光ファイバの端部を支持した支持体が内装固
定される。あるいは、円柱部材は径方向に2分割され、
2分割した少なくとも一方の分割面に溝が設けられ、こ
の溝内に光導波路素子や光ファイバの支持体が嵌入さ
れ、かつ分割面が互いに接着される。そして、円柱部材
の外側に円筒部材が一体的に嵌合され、この円筒部材の
外周面が円形に形成される。
【0009】本発明の光導波路モジュールの製造方法
は、円柱部材に設けた軸穴または溝に光導波路素子や光
ファイバを支持した支持体を内装固定する工程と、この
円柱部材の外側に円筒部材を嵌合して前記円柱部材に一
体化する工程と、前記円柱部材と円筒部材の端面を前記
光導波路素子や光ファイバ支持体と共に研磨した平坦化
する工程と、前記光導波路素子の光導波路の1つ或いは
光ファイバの1つを中心とした円形となるように前記円
筒部材の外周面を切削する工程とを含んで光導波路円形
ロッド及び光ファイバ円形ロッドを製造することを特徴
とする。
【0010】
【作用】光導波路素子や光ファイバ支持体を内装した円
柱部材により円形ロッドを構成し、かつこの円形ロッド
の外周面を光導波路や光ファイバの1つを中心とした円
形とすることで、これら光導波路と光ファイバの位置合
わせが容易となる。また、円形ロッドを円形スリーブに
嵌合して結合を行うことで、その円周方向の位置を設定
することで他の光導波路と光ファイバとの位置合わせを
容易に行うことも可能となる。
【0011】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1は本発明の光導波路モジュールの一実施例の部
分分解斜視図である。ここでは、光導波路素子1として
石英導波路型光分波器を適用し、この分波器の両端にそ
れぞれ2本の光ファイバ2を接続するモジュールの例を
示している。前記光分波器1は、図2に示すように、半
導体基板11に形成された一対の導波路12を利用して
光の分波、或いは合波を行うものであり、全体が細長い
矩形の板状に形成され、その長手方向の両端面にそれぞ
れ導波路の端部が露呈されて2個の光導波路ポート13
が形成されている。そして、図1に示した前記2本の光
ファイバ2は、これらの光導波路ポート13に対してそ
れぞれ端面が同心的に接続されるものとする。
【0012】図1において、この光導波路モジュール
は、前記光導波路素子1を一体に内装した光導波路円形
ロッド3と、前記各光ファイバ2の端部を一体的に支持
した2個の光ファイバ円形ロッド4と、前記光導波路円
形ロッド3と光ファイバ円形ロッド4とを同心状態に結
合させるための円形スリーブ5とで構成される。
【0013】前記光導波路円形ロッド3は、図3にその
端面構造を示すように、円柱部材31の略中心位置に軸
方向の溝穴32を開設し、この溝穴32内に前記光導波
路素子1を挿通し、接着剤等により軸穴32の内面に一
体的に接着固定している。そして、前記円柱部材31の
周囲に円筒部材33を嵌合し、接着剤により円柱部材3
1の周面に一体化している。この場合、円柱部材31と
円筒部材33はステンレス等の金属やセラミックス等で
形成される。そして、この円柱部材31と円筒部材33
の両端面を平坦に研磨することで、光導波路素子1の光
導波路ポート13の端面が平坦化される。さらに、同図
に破線で示すように、接着した円筒部材33の両端部の
外周面を所定の半径の円形となるように削成する。この
場合、外周面が前記光導波路素子1の端面に露呈されて
いる2個の光導波路ポート13のうちの一方13aを中
心とした円形となるように円筒部材33の表面を削成す
る。
【0014】この削成に際しては、例えば、図4に示す
ように、光導波路円形ロッド3を固定支持し、その周囲
で切削用バイトBを公転させながら円筒部材33の外周
面の切削を行なう。そして、徐々に切削バイトBの公転
半径を縮小させることで所定の半径にまで切削すること
ができる。また、このとき、光導波路素子1の中心とな
る側の光導波路ポート13aに白色光を通しておけば、
この光導波路ポート13aの軸位置を光線によって確認
することが可能となり、切削バイトBとの軸芯合わせを
容易に行うことが可能となる。なお、光導波路円形ロッ
ド3の両端部の各外周部においては、それぞれ同じ光導
波路ポートを中心とする円形に切削加工し、これにより
両端部の円形が同心形成されるものであることは言うま
でもない。
【0015】一方、光ファイバ円形ロッド4は、図5に
部分分解斜視図を示すように、前記光導波路素子の2個
の光導波路ポート13の間隔と同じ間隔で表面にV溝4
5を形成した基板44上に2本の光ファイバ2の端部を
乗せ、それぞれをV溝45に嵌合させる。さらに、その
上に覆板46を被せ接着剤により基板44の表面に固定
して光ファイバ2を基板44と覆板46の間に挟持させ
て支持体47を構成する。また、円柱部材41の略中心
位置には矩形の軸穴42を開設し、この軸穴42内に一
体化された前記支持体47を挿通させて接着剤により接
着固定することで光ファイバ2の端部を円柱部材41に
固定支持させる。その上で、前記光導波路円形ロッド3
の場合と同様に、円柱部材41の外側に円筒部材43を
被せて接着剤で固定し、かつこれら円柱部材41と円筒
部材43の端面を平坦に研磨するとともに、円筒部材4
3の外周面を光ファイバ2の一方の端部を中心とする所
定の径寸法の円形となるように切削する。
【0016】したがって、以上のように構成された光導
波路円形ロッド3では、その両端部の端面は平坦面とさ
れ、かつその外周面は特定の光導波路ポート13aを中
心とした円形に形成される。また、光ファイバ円形ロッ
ド4においても、その端部の端面は平坦面とされ、かつ
その外周面は光ファイバ2の一方を中心とした円形に形
成される。そのため、図1に示したように、前記各円形
ロッド3,4の外周面の外径よりも多少内径寸法が小さ
く、かつ円周一部に軸方向のスリット51が形成された
円形スリーブ5の一端側から光導波路円形ロッド3の一
端部を嵌入し、他端側から光ファイバ円形ロッド4の端
部を嵌入すれば、その中心に位置されている特定の光導
波路ポート13aと光ファイバの一方の端部とが位置合
わせされることになる。その上で、円形ロッド3,4の
いずれか一方を軸回り方向に回転させれば、他の光導波
路ポートと他の光ファイバとを位置合わせすることがで
き、その状態で各円形ロッド3,4を円形スリーブ5に
接着固定すれば、光ファイバ2と光導波路ポート13と
を正確に光学結合することが可能となる。
【0017】これにより、作業者に精神的ストレスを生
じさせることはなく、容易に光ファイバと光導波路素子
との芯合わせが可能となる。このとき、円形スリーブ5
にはスリット51により径方向に多少の弾性が持たせら
れているため、各円形ロッド3,4をその弾性力により
挟持することになり、各円形ロッド3,4を円形スリー
ブ5に接着固定する際にその最適位置を維持するのも容
易となる。また、光導波路素子には加工を施していない
ため、割れ等の問題が生じることもない。
【0018】なお、前記実施例では、各円形ロッド3,
4において円柱部材の周囲に円筒部材を嵌合している
が、この構成は円筒部材を比較的に加工の容易な素材で
構成することにより、円形の切削加工を容易に行う上で
有効となる。したがって、円柱部材を加工の容易な素材
で構成すれば円筒部材は特に必要とされるものではな
い。
【0019】ここで、前記実施例では、光導波路素子や
光ファイバの支持体を円柱部材に設けた軸穴に挿通して
接着固定した例を示しているが、図6(a),(b)に
例えば光導波路円形ロッドで例示するように、円柱部材
31の円周一部に軸方向に伸びる矩形の溝32A,32
Bを形成し、この溝内に光導波路素子1を内装すること
で、円柱部材31に接着固定するようにしてもよい。こ
の場合、光導波路素子1の外側から溝32A,32Bに
押え部材34A,34Bを被せて一体的に接着するよう
にしてもよい。なお、この例では、同図(a)では光導
波路素子1を矩形溝32Aの底面に沿わせるのに対し、
同図(b)では、矩形溝32Bの側壁に沿わせている。
【0020】あるいは、図6(c),(d)のように、
円柱部材31を略中心位置において径方向に2分割し、
これらの間に光導波路素子1を挟持させるように構成し
てもよい。同図(c)では、分割した円柱部材31a,
31bの一方31aに矩形溝32Cを設け、この溝32
C内に光導波路素子1を収納し、これに他方の分割円柱
部材31bを接着して挟持している。また、同図(d)
では、分割した両方の円柱部材31a,31bにそれぞ
れ浅い矩形溝32Dを形成し、これらの溝内に光導波路
素子1を収納し、両者を接着して挟持を行っている。
【0021】なお、光ファイバの支持体を円柱部材に内
装する場合も同様である。このように、円柱部材に溝を
設けて光導波路素子や光ファイバ支持体を内装固定する
構成を採用した場合には、円柱部材の外周面を円形に切
削加工する際に接着剤の一部が外周面に露出されるた
め、その加工精度を高める上では好ましくない状態とな
る。この場合には、前記実施例で示したように、円柱部
材の外側に円筒部材を嵌合し、この円筒部材の外周面を
切削加工することで、その精度を高めることが可能とな
る。
【0022】なお、前記実施例では、光導波路素子とし
て光分波器を用いているが、他の光導波路素子の場合で
も同様に本発明が適用できることは言うまでもない。ま
た、1本、或いは3本以上の光導波路と光ファイバを結
合する場合でも同様に適用できる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように本発明の光導波路モ
ジュールは、内部に光導波路素子が固定支持された光導
波路円形ロッドと、内部に光ファイバの端部が固定支持
された光ファイバ円形ロッドと、これらの円形ロッドと
が嵌入される円形スリーブとで構成され、各円形ロッド
は、光導波路素子に設けられた複数の光導波路の1つ
と、複数本の光ファイバの1本とをそれぞれ中心とした
円形に形成されるため、光導波路素子と光ファイバを光
学的に結合する際には、マニュピレータ等による調心作
業が不要となり、作業を容易に行うことができ、かつ複
数の光導波路と光ファイバとを同時に芯合わせして結合
することができる効果がある。
【0024】また、本発明は、光導波路素子や光ファイ
バの支持体を内装した円柱部材、或いはその外側に設け
た円筒部材の外周面を切削して円形に形成するため、脆
性材料である光導波路素子に対して加工を行う必要がな
く、外周切削の加工時の応力から保護してその破損を防
止することができる。特に、円筒部材を用いることで、
円柱部材の素材にかかわらず円形の切削可能を容易に行
うことができる。
【0025】さらに、本発明の製造方法では、光導波路
素子や光ファイバ支持体を内装した円柱ロッドや円筒ロ
ッドの外周面を、光導波路の1つ或いは光ファイバの1
つを中心とした円形に切削することで、同心構造をした
光導波路円形ロッドと光ファイバ円形ロッドを容易に製
造することができ、本発明の光導波路モジュールを構成
することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光導波路モジュールの一実施例の部分
分解斜視図である。
【図2】光導波路素子の一例を示す斜視図である。
【図3】光導波路円形ロッドの端面図である。
【図4】円形ロッドの切削方法を説明するための概念図
である。
【図5】光ファイバ円形ロッドの部分分解斜視図であ
る。
【図6】各円形ロッドの変形例の断面図である。
【図7】従来技術の一例を示す斜視図である。
【図8】従来技術の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 光導波路素子 2 光ファイバ 3 光導波路円形ロッド 4 光ファイバ円形ロッド 5 円形スリーブ 11 半導体基板 12 光導波路 13 光導波路ポート 31,41 円柱部材 32,42 軸穴 32A〜32D 矩形溝 33,43 円筒部材 47 光ファイバ支持体

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部に光導波路素子が固定支持され、か
    つ光導波路の結合端がその軸方向端面に露呈される光導
    波路円形ロッドと、内部に光ファイバの端部が固定支持
    され、かつその光ファイバの結合端がその軸方向端面に
    露呈される光ファイバ円形ロッドと、前記光導波路円形
    ロッドと光ファイバ円形ロッドとがそれぞれ両端部から
    嵌入される円形スリーブとで構成され、前記光導波路円
    形ロッドは、光導波路素子に設けられた複数の光導波路
    のうち1つの光導波路を中心とした円形に形成され、光
    ファイバ円形ロッドは複数本の配列された光ファイバの
    うち1本の光ファイバを中心とした円形に形成されたこ
    とを特徴とする光導波路モジュール。
  2. 【請求項2】 光導波路円形ロッド及び光ファイバ円形
    ロッドは、円柱部材の内部に形成された軸穴または円周
    一部に形成された溝を有し、この軸穴や溝内に光導波路
    素子や光ファイバの端部を支持した支持体が内装固定さ
    れ、かつ円柱部材の外側に円筒部材が一体的に嵌合さ
    れ、この円筒部材の外周面が円形に形成されてなる請求
    項1の光導波路モジュール。
  3. 【請求項3】 円柱部材は径方向に2分割され、2分割
    した少なくとも一方の分割面に溝が設けられ、この溝内
    に光導波路素子や光ファイバの支持体が嵌入され、かつ
    分割面が互いに接着され、かつ円柱部材の外側に円筒部
    材が一体的に嵌合され、この円筒部材の外周面が円形に
    形成されてなる請求項2の光導波路モジュール。
  4. 【請求項4】 円形スリーブはその円周一部にスリット
    が形成され、常態における内径寸法は光導波路円形ロッ
    ドと光ファイバ円形ロッドの円形をした外径よりも小径
    に形成されてなる請求項1ないし3の光導波路モジュー
    ル。
  5. 【請求項5】 円柱部材に設けた軸穴または溝に光導波
    路素子や光ファイバを支持した支持体を内装固定する工
    程と、この円柱部材の外側に円筒部材を嵌合して前記円
    柱部材に一体化する工程と、前記円柱部材と円筒部材の
    端面を前記光導波路素子や光ファイバ支持体と共に研磨
    した平坦化する工程と、前記光導波路素子の光導波路の
    1つ或いは光ファイバの1つを中心とした円形となるよ
    うに前記円筒部材の外周面を切削する工程とを含んで光
    導波路円形ロッド及び光ファイバ円形ロッドを製造する
    ことを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
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