JPH08278425A - 光導波路モジュールの製造方法 - Google Patents
光導波路モジュールの製造方法Info
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- JPH08278425A JPH08278425A JP7082187A JP8218795A JPH08278425A JP H08278425 A JPH08278425 A JP H08278425A JP 7082187 A JP7082187 A JP 7082187A JP 8218795 A JP8218795 A JP 8218795A JP H08278425 A JPH08278425 A JP H08278425A
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- JP
- Japan
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- optical waveguide
- optical fiber
- optical
- positioning
- continuous body
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ウェーハ上に、複数の光導波路パターンと２
本の位置決め溝を平行に形成し、ウェーハを切断して、
複数の光導波路パターン12と２本の位置決め溝31が横に
並んだ光導波路チップ連結体41を作製する。複数の光フ
ァイバアレイ17と、２本のガイドピン孔35を有する光フ
ァイバアレイ連結体43を作製する。光導波路チップ連結
体41と光ファイバアレイ連結体43を、ガイドピン37で軸
心を合わせて接着した後、光導波路モジュール１単位ご
とに分割する。 【効果】 多数の光導波路モジュールを効率よく製造す
ることができ、量産性が向上する。複数の光導波路モジ
ュールが同じ条件の位置決めによって製造されるため、
製品間のバラツキを少なくできる。
本の位置決め溝を平行に形成し、ウェーハを切断して、
複数の光導波路パターン12と２本の位置決め溝31が横に
並んだ光導波路チップ連結体41を作製する。複数の光フ
ァイバアレイ17と、２本のガイドピン孔35を有する光フ
ァイバアレイ連結体43を作製する。光導波路チップ連結
体41と光ファイバアレイ連結体43を、ガイドピン37で軸
心を合わせて接着した後、光導波路モジュール１単位ご
とに分割する。 【効果】 多数の光導波路モジュールを効率よく製造す
ることができ、量産性が向上する。複数の光導波路モジ
ュールが同じ条件の位置決めによって製造されるため、
製品間のバラツキを少なくできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路チップと光フ
ァイバアレイを接続してなる光導波路モジュールの製造
方法に関するものである。
ァイバアレイを接続してなる光導波路モジュールの製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来、光導波路モジュールは次のようにし
て製造されていた。まず図５に示すように複数の光導波
路パターン１２を形成したウェーハ１１をダイサー等で
分割して光導波路チップ１３を得る。符号１５は光導波
路の端面である。次に光導波路チップ１３の端面を研磨
した後、図６に示すように、光導波路チップ１３と、同
じく端面を研磨した光ファイバアレイ１７とを調心した
上で、接着剤等により接続すれば、光導波路モジュール
が得られる。図６において、１９は光導波路チップ１３
の補強板、２１は光ファイバアレイ１７端部のＶ溝付き
台板、２３は蓋板であり、一般的にはこれらはいずれも
ガラス板よりなる。
て製造されていた。まず図５に示すように複数の光導波
路パターン１２を形成したウェーハ１１をダイサー等で
分割して光導波路チップ１３を得る。符号１５は光導波
路の端面である。次に光導波路チップ１３の端面を研磨
した後、図６に示すように、光導波路チップ１３と、同
じく端面を研磨した光ファイバアレイ１７とを調心した
上で、接着剤等により接続すれば、光導波路モジュール
が得られる。図６において、１９は光導波路チップ１３
の補強板、２１は光ファイバアレイ１７端部のＶ溝付き
台板、２３は蓋板であり、一般的にはこれらはいずれも
ガラス板よりなる。
【０００３】図６では光ファイバアレイ１７の端部を台
板２１と蓋板２３で挟んだものを示したが、図７に示す
ように光ファイバアレイ１７の端部にガラス枠２５と樹
脂成形体２７をインサートモールドして、光導波路チッ
プ１３との接続に紫外線硬化型接着剤を用いることを可
能にしたものも提案されている。図７において、２９は
光ファイバ端面である。
板２１と蓋板２３で挟んだものを示したが、図７に示す
ように光ファイバアレイ１７の端部にガラス枠２５と樹
脂成形体２７をインサートモールドして、光導波路チッ
プ１３との接続に紫外線硬化型接着剤を用いることを可
能にしたものも提案されている。図７において、２９は
光ファイバ端面である。
【０００４】また調心を不要にする製造方法も提案され
ている。この方法は、まず図８に示すようにウェーハ１
１上に複数の光導波路パターン１２を形成し、各光導波
路パターン１２の両側に位置決め溝（Ｖ溝）３１を、光
導波路パターンの光軸と平行に形成した後、ウェーハ１
１をダイサー等で分割して、位置決め溝３１付きの光導
波路チップ１３を得る。一方、光ファイバアレイ１７の
端部には、図９に示すように両側にガイドピン孔３５を
有する光コネクタ３３を取り付ける。この光コネクタ３
３と光導波路チップ１３をガイドピン３７で位置決めし
て接続することにより光導波路モジュールとする、とい
うものである。図９において、３９はガイドピン３７を
押さえる蓋板である。
ている。この方法は、まず図８に示すようにウェーハ１
１上に複数の光導波路パターン１２を形成し、各光導波
路パターン１２の両側に位置決め溝（Ｖ溝）３１を、光
導波路パターンの光軸と平行に形成した後、ウェーハ１
１をダイサー等で分割して、位置決め溝３１付きの光導
波路チップ１３を得る。一方、光ファイバアレイ１７の
端部には、図９に示すように両側にガイドピン孔３５を
有する光コネクタ３３を取り付ける。この光コネクタ３
３と光導波路チップ１３をガイドピン３７で位置決めし
て接続することにより光導波路モジュールとする、とい
うものである。図９において、３９はガイドピン３７を
押さえる蓋板である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の製造方法はいず
れも、ウェーハを切断して光導波路チップを１個ずつに
分離し、１個の光導波路チップと１組の光ファイバアレ
イとを接続して、光導波路モジュールとするものであ
る。
れも、ウェーハを切断して光導波路チップを１個ずつに
分離し、１個の光導波路チップと１組の光ファイバアレ
イとを接続して、光導波路モジュールとするものであ
る。
【０００６】このため調心接続方法の場合には、光導波
路モジュール１組ごとに、端面研磨、調心、接続固定の
工程が必要である。また無調心接続方法の場合でも、光
導波路パターン１列につき２本の位置決め溝を形成する
必要があり、かつ光導波路モジュール１組ごとに、端面
研磨、接続の工程が必要である。
路モジュール１組ごとに、端面研磨、調心、接続固定の
工程が必要である。また無調心接続方法の場合でも、光
導波路パターン１列につき２本の位置決め溝を形成する
必要があり、かつ光導波路モジュール１組ごとに、端面
研磨、接続の工程が必要である。
【０００７】以上の理由により光導波路モジュールは量
産性に乏しく、きわめて高価なものとなっていた。また
調心接続方法の場合も無調心接続方法の場合も、光導波
路と光ファイバアレイとの位置決めは、各光導波路モジ
ュールごとに別々に行われることから、製品間でバラツ
キが発生しやすいという問題もあった。
産性に乏しく、きわめて高価なものとなっていた。また
調心接続方法の場合も無調心接続方法の場合も、光導波
路と光ファイバアレイとの位置決めは、各光導波路モジ
ュールごとに別々に行われることから、製品間でバラツ
キが発生しやすいという問題もあった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上のような
問題点を解決した光導波路モジュールの製造方法を提供
するもので、その方法は、ウェーハ上に、複数の光導波
路パターンを平行に並べた光導波路パターンの組を、光
導波路パターンの縦方向に１組以上形成すると共に、２
本の位置決め溝を光導波路パターンの縦方向と平行に形
成し、そのウェーハを、光導波路パターンの縦方向の両
端に相当する位置で横方向に切断して、複数の光導波路
パターンと２本の位置決め溝が横に並んだ光導波路チッ
プ連結体を作製し、その一方で、光導波路チップ連結体
の複数の光導波路パターンに対応する複数の光ファイバ
アレイと、光導波路チップ連結体の２本の位置決め溝に
対応する２本の位置決め部とを有する光ファイバアレイ
連結体を作製し、前記光導波路チップ連結体と光ファイ
バアレイ連結体を、光導波路チップ連結体の位置決め溝
と光ファイバアレイ連結体の位置決め部の軸心を合わせ
て接続した後、光導波路モジュール１単位ごとに分割す
る、ことを特徴とするものである。
問題点を解決した光導波路モジュールの製造方法を提供
するもので、その方法は、ウェーハ上に、複数の光導波
路パターンを平行に並べた光導波路パターンの組を、光
導波路パターンの縦方向に１組以上形成すると共に、２
本の位置決め溝を光導波路パターンの縦方向と平行に形
成し、そのウェーハを、光導波路パターンの縦方向の両
端に相当する位置で横方向に切断して、複数の光導波路
パターンと２本の位置決め溝が横に並んだ光導波路チッ
プ連結体を作製し、その一方で、光導波路チップ連結体
の複数の光導波路パターンに対応する複数の光ファイバ
アレイと、光導波路チップ連結体の２本の位置決め溝に
対応する２本の位置決め部とを有する光ファイバアレイ
連結体を作製し、前記光導波路チップ連結体と光ファイ
バアレイ連結体を、光導波路チップ連結体の位置決め溝
と光ファイバアレイ連結体の位置決め部の軸心を合わせ
て接続した後、光導波路モジュール１単位ごとに分割す
る、ことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】この方法によると、複数の光導波路パターンに
対して位置決め溝の加工は２本のみで済み、かつ複数の
光導波路パターンおよび複数の光ファイバアレイの端面
研磨、位置決め、接続の工程も１回で済む。したがって
従来の製造方法に比べ、組立工程を大幅に削減できる。
また複数の光導波路パターンと複数の光ファイバアレイ
が、同じ位置決め溝で位置決めされるため、個々の光導
波路モジュール間で接続状態のバラツキが少なくなる。
対して位置決め溝の加工は２本のみで済み、かつ複数の
光導波路パターンおよび複数の光ファイバアレイの端面
研磨、位置決め、接続の工程も１回で済む。したがって
従来の製造方法に比べ、組立工程を大幅に削減できる。
また複数の光導波路パターンと複数の光ファイバアレイ
が、同じ位置決め溝で位置決めされるため、個々の光導
波路モジュール間で接続状態のバラツキが少なくなる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。図１ないし図３は本発明の一実施例を示
す。この製造方法では、まず図１に示すようにウェーハ
１１上に、複数の光導波路パターン１２を平行に並べた
光導波路パターンの組を、光導波路パターン１２の縦方
向（光軸方向）に２組（１組または３組以上でも可）形
成すると共に、光導波路パターン１２の組の両側に１本
ずつ位置決め溝（Ｖ溝）３１を、光導波路パターン１２
の縦方向と平行に形成する。
に説明する。図１ないし図３は本発明の一実施例を示
す。この製造方法では、まず図１に示すようにウェーハ
１１上に、複数の光導波路パターン１２を平行に並べた
光導波路パターンの組を、光導波路パターン１２の縦方
向（光軸方向）に２組（１組または３組以上でも可）形
成すると共に、光導波路パターン１２の組の両側に１本
ずつ位置決め溝（Ｖ溝）３１を、光導波路パターン１２
の縦方向と平行に形成する。
【００１１】次にこのウェーハ１１を、光導波路パター
ン１２の縦方向の両端に相当する位置で横方向に切断し
て、複数の光導波路パターン１２と２本の位置決め溝３
１が横に並んだ光導波路チップ連結体４１を作製する。
光導波路チップ連結体４１の端面は通常の方法で研磨す
る。
ン１２の縦方向の両端に相当する位置で横方向に切断し
て、複数の光導波路パターン１２と２本の位置決め溝３
１が横に並んだ光導波路チップ連結体４１を作製する。
光導波路チップ連結体４１の端面は通常の方法で研磨す
る。
【００１２】その一方で図２に示すように、光導波路チ
ップ連結体４１の複数の光導波路パターン１２に対応す
る複数の光ファイバアレイ１７と、光導波路チップ連結
体４１の２本の位置決め溝３１に対応する２本のガイド
ピン孔３５とを有する光ファイバアレイ連結体４３を作
製する。この光ファイバアレイ連結体４３は、複数の光
ファイバアレイ１７の端部に、ガラス枠２５と樹脂成形
体２７をインサートモールドして、一括接続型のコネク
タを形成することにより作製される。２９は光ファイバ
の端面である。
ップ連結体４１の複数の光導波路パターン１２に対応す
る複数の光ファイバアレイ１７と、光導波路チップ連結
体４１の２本の位置決め溝３１に対応する２本のガイド
ピン孔３５とを有する光ファイバアレイ連結体４３を作
製する。この光ファイバアレイ連結体４３は、複数の光
ファイバアレイ１７の端部に、ガラス枠２５と樹脂成形
体２７をインサートモールドして、一括接続型のコネク
タを形成することにより作製される。２９は光ファイバ
の端面である。
【００１３】端部にガラス枠２５をインサートモールド
するのは、光導波路チップ連結体４１との接着に紫外線
硬化型接着剤を用いるためであり、熱硬化型接着剤を用
いる場合は、通常の横長の光コネクタを用いてもよい。
光ファイバアレイ連結体４３の端面は通常の方法で研磨
する。
するのは、光導波路チップ連結体４１との接着に紫外線
硬化型接着剤を用いるためであり、熱硬化型接着剤を用
いる場合は、通常の横長の光コネクタを用いてもよい。
光ファイバアレイ連結体４３の端面は通常の方法で研磨
する。
【００１４】次に、光導波路チップ連結体４１と光ファ
イバアレイ連結体４３を、ガイドピン３７と蓋板３９に
より位置決めして接続し、接着剤で固定する。これによ
り図３に示すような複数の光導波路モジュールが横に連
結された状態の光導波路モジュール連結体４５が得られ
るので、この連結体４５をダイサー４７により切断すれ
ば、１単位ずつの光導波路モジュール４９が得られる。
イバアレイ連結体４３を、ガイドピン３７と蓋板３９に
より位置決めして接続し、接着剤で固定する。これによ
り図３に示すような複数の光導波路モジュールが横に連
結された状態の光導波路モジュール連結体４５が得られ
るので、この連結体４５をダイサー４７により切断すれ
ば、１単位ずつの光導波路モジュール４９が得られる。
【００１５】以上の実施例では、位置決め溝３１を、複
数の光導波路パターン１２の両側に１本ずつ設けたが、
位置決め溝は光導波路パターンの間に設けることもでき
る。ただし位置決め溝を光導波路パターンの間に設ける
と、最後に個々の光導波路モジュールに分割するときに
切断箇所が増えるため、多少生産効率が落ちる。位置決
め精度を高めるためには、２本の位置決め溝の間隔はス
ペース上許される限り広く設定することが望ましい。
数の光導波路パターン１２の両側に１本ずつ設けたが、
位置決め溝は光導波路パターンの間に設けることもでき
る。ただし位置決め溝を光導波路パターンの間に設ける
と、最後に個々の光導波路モジュールに分割するときに
切断箇所が増えるため、多少生産効率が落ちる。位置決
め精度を高めるためには、２本の位置決め溝の間隔はス
ペース上許される限り広く設定することが望ましい。
【００１６】また以上の実施例では、光ファイバアレイ
連結体として、ガラス枠をインサートモールドした一括
接続コネクタを使用したが、光ファイバアレイ連結体は
これ以外の構造でもよい。例えば図４に示すように、光
ファイバ位置決め用のＶ溝５１とガイドピン位置決め用
のＶ溝５３を形成したガラス台５５と、ガラス板５７で
光ファイバを挟んで固定した構造であってもよい。なお
図４では、図２と同一部分に同一符号を付してあるの
で、その他の説明は省略する。
連結体として、ガラス枠をインサートモールドした一括
接続コネクタを使用したが、光ファイバアレイ連結体は
これ以外の構造でもよい。例えば図４に示すように、光
ファイバ位置決め用のＶ溝５１とガイドピン位置決め用
のＶ溝５３を形成したガラス台５５と、ガラス板５７で
光ファイバを挟んで固定した構造であってもよい。なお
図４では、図２と同一部分に同一符号を付してあるの
で、その他の説明は省略する。
【００１７】図４の場合も紫外線硬化型接着剤を用いる
ためにガラスを用いたものであり、その他の接着剤、例
えば熱硬化型接着剤や嫌気性接着剤などを用いる場合に
は、ガラス以外の材料例えば金属、セラミック、プラス
チックなどを用いることができる。さらに、光導波路パ
ターン連結体と光ファイバアレイ連結体の材料を選べ
ば、両者を溶接やろう付けにより接続することも可能で
ある。
ためにガラスを用いたものであり、その他の接着剤、例
えば熱硬化型接着剤や嫌気性接着剤などを用いる場合に
は、ガラス以外の材料例えば金属、セラミック、プラス
チックなどを用いることができる。さらに、光導波路パ
ターン連結体と光ファイバアレイ連結体の材料を選べ
ば、両者を溶接やろう付けにより接続することも可能で
ある。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、多
数の光導波路モジュールを効率よく製造することがで
き、量産性を高めることができる。また複数の光導波路
モジュールが同じ条件の位置決めによって製造されるこ
とから、製品間のバラツキを少なくすることができる。
数の光導波路モジュールを効率よく製造することがで
き、量産性を高めることができる。また複数の光導波路
モジュールが同じ条件の位置決めによって製造されるこ
とから、製品間のバラツキを少なくすることができる。
【図１】 本発明の製造方法の一実施例における始めの
工程を示す斜視図。
工程を示す斜視図。
【図２】 同実施例における中間工程を示す斜視図。
【図３】 同実施例における終りの工程を示す斜視図。
【図４】 本発明の製造方法の他の実施例における中間
工程を示す斜視図。
工程を示す斜視図。
【図５】 従来の製造方法の一例における始めの工程を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図６】 同じく中間工程を示す斜視図。
【図７】 従来の製造方法の他の例における中間工程を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図８】 従来の製造方法のさらに他の例における始め
の工程を示す斜視図。
の工程を示す斜視図。
【図９】 同じく中間工程を示す斜視図。
１１：ウェーハ １２：光導波路パターン １３：光導波路チップ １７：光ファイバアレイ ３１：位置決め溝 ３５：ガイドピン孔 ３７：ガイドピン ４１：光導波路チップ連結体 ４３：光ファイバアレイ連結体 ４５：光導波路モジュール連結体 ４９：光導波路モジュール
Claims (1)
- 【請求項１】光導波路チップと光ファイバアレイを接続
してなる光導波路モジュールを製造する方法において、 ウェーハ上に、複数の光導波路パターンを平行に並べた
光導波路パターンの組を、光導波路パターンの縦方向に
１組以上形成すると共に、２本の位置決め溝を光導波路
パターンの縦方向と平行に形成し、 そのウェーハを、光導波路パターンの縦方向の両端に相
当する位置で横方向に切断して、複数の光導波路パター
ンと２本の位置決め溝が横に並んだ光導波路チップ連結
体を作製し、 その一方で、光導波路チップ連結体の複数の光導波路パ
ターンに対応する複数の光ファイバアレイと、光導波路
チップ連結体の２本の位置決め溝に対応する２本の位置
決め部とを有する光ファイバアレイ連結体を作製し、 前記光導波路チップ連結体と光ファイバアレイ連結体
を、光導波路チップ連結体の位置決め溝と光ファイバア
レイ連結体の位置決め部の軸心を合わせて接続した後、
光導波路モジュール１単位ごとに分割する、 ことを特徴とする光導波路モジュールの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7082187A JPH08278425A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 光導波路モジュールの製造方法 |
| GB9606988A GB2299684B (en) | 1995-04-07 | 1996-04-02 | Method of production of optical waveguide module |
| US08/626,946 US5706378A (en) | 1995-04-07 | 1996-04-03 | Method of production of optical waveguide module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7082187A JPH08278425A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08278425A true JPH08278425A (ja) | 1996-10-22 |
Family
ID=13767442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7082187A Pending JPH08278425A (ja) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | 光導波路モジュールの製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5706378A (ja) |
| JP (1) | JPH08278425A (ja) |
| GB (1) | GB2299684B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9791643B2 (en) | 2015-11-02 | 2017-10-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of fabricating optical communication apparatus, optical connecting part, optical communication apparatus |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE69701503T2 (de) | 1996-12-26 | 2000-11-09 | Hoya Corp | Verfahren zum Herstellen eines Glasproduktes durch Pressformen |
| WO1998029772A1 (en) * | 1996-12-31 | 1998-07-09 | Honeywell Inc. | Flexible optic connector assembly |
| KR19990002838A (ko) * | 1997-06-23 | 1999-01-15 | 윤종용 | Ct-2 기지국에서의 발/착신 서비스를 위한 다중 채널 검색 방법 |
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| KR100349597B1 (ko) | 1999-01-12 | 2002-08-22 | 삼성전자 주식회사 | 광도파로 소자 및 그 제조방법 |
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