JP3753968B2 - 配線一体型サスペンション及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハード・ディスク装置の磁気ヘッド・ジンバル部を支持する配線一体型サスペンションに関し、特に、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとを接合する際の不都合を改善できる配線一体型サスペンションに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のハード・ディスク装置の小型化に伴い、磁気ヘッドを移動させるサスペンションの各部の設計および製造は難しくなってきているが、特に、磁気ヘッドを有するスライダにリード線を接続する作業は非常に難しい作業になっている。また、リード線自体の重さや配線位置等がヘッド制御に影響を与えるようになってきたため、サスペンション上に配線部を接着するか配線パターンを形成して配線によるばらつきを抑制する配線一体型サスペンションが知られるようになった。
【０００３】
配線一体型サスペンションでは、サスペンション側のフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、スライダに設けられるボンディングパッドとを接続する必要があるが、両者の接続面は、その両パッドの延長された平面が直交する（両平面を側面から見た場合の交点に仮想の直角が形成される）位置関係にあるために、通常の対向する平面を接続する技術では対応できないことから、様々な新しい技術が使用されている。
【０００４】
例えば、直交する位置関係のリード配線用パッドとボンディングパッドとを接合するための一つの方法としては、金（Ａｕ）製のボールを用いるアップル・ボンドが知られている。アップル・ボンドでは、前記両パッドが形成する仮想の直角の間に金製のボールを押しつけて超音波溶着させることで接続する。また、他の方法としては、例えば、ハンダ・ボールを用いる方法が、本出願人によって特願２０００−１８９１４８号、あるいは、特願２００１−０３９８８８号として出願されている。
【０００５】
ハンダ・ボールを用いる方法では、前記両パッドで形成される仮想の直角が鉛直方向で上部を向くように配線一体型サスペンションを支持し、両パッド間にハンダ・ボールを配置する。その後、レーザビームをハンダ・ボールに照射することによりハンダを溶融させて両パッドを接続する方法である。
【０００６】
図１５は、従来の配線一体型サスペンションにおいて、リード配線用パッドとボンディングパッドとを、ハンダ・ボールを用いて接合する場合を示す図である。
【０００７】
サスペンションのフレキシャ５は、絶縁性の高分子材料であるポリイミド層１７と、ステンレス鋼箔層１８の２層構造であり、ポリイミド層１７の上には、更に導電体層でリード線１０が形成され、リード線１０の末端には、ハンダ接続に充分な面積となるようにリード線１０よりも幅が広げられたリード配線用パッド１２が形成されている。
【０００８】
ポリイミド層１７、および、ステンレス鋼箔層１８は、例えば、レジストで必要部分を覆った後にエッチングすることにより、形状を加工することができる。また、ポリイミド層１７が感光性ポリイミド層である場合には、感光性ポリイミド層１７の必要部分をレジスト等で覆った後に露光および現像することにより形状を加工することができる。
【０００９】
フレキシャ５におけるリード配線用パッド１２の先端部には、スライダをサスペンションに接着する際の接着剤のはみ出しがリード配線用パッド１２に付着すること、あるいは、レーザビームの照射による発熱で高分子材料のポリイミド層１７が変化すること等を避けるために、開口部１１が形成されている。従って、リード配線用パッド１２の先端部は、開口部１１に突出した空中配線となっている。
【００１０】
また、フレキシャ５には、ハードディスク用磁気ヘッドを内蔵するスライダ６が取り付けられており、スライダ６のボンディングパッド１５は、前述したようにリード配線用パッド１２と直交する位置に配置されている。このため、ボンディングパッド１５の面を延長した面が、リード配線用パッド１２の面を延長した面と交差する仮想の直交軸は９０度（直角）となっている。
【００１１】
ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続する場合、このボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２で形成される仮想の直角が、鉛直方向で上部を向いて開く方向でサスペンション（フレキシャ５）が固定される。通常は、フレキシャ５上のリード配線用パッド１２と、スライダ６上のボンディングパッド１５が、双方の位置関係が直交位置となる状態を維持したまま、双方共に、水平面から４５度立ち上がった角度となるように、フレキシャ５が固定される。そして、固定された両パッド間に、図示していないハンダ・ボールの移設装置からハンダ・ボール４００が落とされる。そして、ハンダ・ボール４００を図示しないレーザビーム照射装置等で加熱することにより溶融させて、両パッドが接続される。
【００１２】
従来の配線一体型サスペンションでは、このようにしてボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続していた。
【００１３】
なお、配線一体型サスペンションは、その製造方法の違いにより、以下の３タイプに分類されるが、何れのタイプで製造する場合でも、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続する場合には、上記のように接続される。
【００１４】
（ａ）サスペンションの絶縁体上に銅箔の配線およびパッドを付加形成するアディティブ・タイプ。
【００１５】
（ｂ）および、サスペンションの絶縁体上にシート状に形成されている銅箔から配線およびパッドをエッチングすることにより形成するサブトラクティブ・タイプ。
【００１６】
（ｃ）さらに、銅箔の配線およびパッドが形成されたフレキシブル基板（ＦＰＣ）をサスペンションに接着するＦＰＣ・タイプ。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の配線一体型サスペンションでは、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続する場合、ハンダ・ボールがほぼ真球形状であり、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２の表面が略平面であるため、両パッドの延長平面が直交する仮想の直角軸方向（図１５に示したＡ方向またはＢ方向）にハンダ・ボールがころがり、ハンダ・ボールの位置が図１５に示した各パッドの中心線ＣＬからずれてしまうという問題を有している。この問題は、上記した何れのタイプであっても、同様に発生する。
【００１８】
また、特に、アディティブ・タイプでは、図１５の１２ａ〜１２ｃに示したようにエッジ近辺部が斜めの面取り状態なる型だれが発生し、そのため平坦部１２ｄの面積が少なくなっており、さらに、残った平坦部１２ｄも表面が荒れて起伏を有している。このため、アディティブ・タイプでは、他のタイプよりもさらにハンダ・ボールの位置がパッドの中心線ＣＬからずれやすいという問題を有している。
【００１９】
ハンダ・ボールの位置がパッドの中心線からずれると、ハンダ・ボールをレーザビーム照射で溶融させて両パッドを接続する際に、ハンダ・ボールが接続部位に無い無ハンダや、ハンダ・ボールは接続部位にはあるが中心線からずれているためにハンダ接続不良が発生する。ハンダ接続不良とは、例えば、溶融したハンダが両パッド間を接続していない場合、両パッドの一部分のみが不完全にハンダ接続される部分ハンダ、あるいは、隣接する同種のパッド同士を接続してしまうブリッジ接続等である。
【００２０】
本発明は、上述した如き従来の問題を解決するためになされたものであって、ボンディングパッドとリード配線用パッドとをハンダ・ボールで接続する場合にハンダ・ボールの位置が中心線からずれない配線一体型サスペンションを提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明の配線一体型サスペンションは、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、そのハンダ・ボールを溶融させてリード配線用パッドとボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションであって、リード配線用パッドの表面に、ボンディングパット側に開口部を有する溝部を設けることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、その両脇の部分との間に段差、曲面、あるいは、斜面が形成されるように構成しても良い。
【００２３】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、その中心線から、両脇の部分までの距離が均等であるように構成しても良い。
【００２４】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、中心線と平行な溝形状、あるいは、切り欠き部としても良い。
【００２５】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、開口側がボンディングパッド側を向き、両脇の部分が中心線と平行となるＵ字型、あるいは、開口側が下を向き、両脇の部分が中心線上に配置される頂点から開口側に向けて延伸されるＶ字型の形状であっても良い。
【００２６】
また、本発明の配線一体型サスペンションの製造方法は、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、そのハンダ・ボールを溶融させてリード配線用パッドとボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションの製造方法であって、エッチング技術を利用してリード配線用パッドを形成する際に、そのリード配線用パッドの表面に、ボンディングパッド側に開口部を有する溝を形成することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の配線一体型サスペンションの製造方法は、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、そのハンダ・ボールを溶融させてリード配線用パッドとボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションの製造方法であって、先に、平面状の表面を有するリード配線用パッドを形成し、その後、リード配線用パッドの表面に、ボンディングパッド側に開口部を有する溝を形成しても良い。
【００２８】
また、本発明の配線一体型サスペンションの製造方法では、エッチング技術、折り曲げ加工、あるいは、金型プレス加工を用いて溝部を設けるようにしても良い。
【００２９】
また、本発明の配線一体型サスペンションがアディティブ・タイプである場合の製造方法では、先に、銅メッキ技術を用いて平面状の表面を有するリード配線用パッドを形成し、その後、リード配線用パッドの表面の中心線近辺を除いた両脇の部分に、追加の銅メッキを実施することにより突出させて、相対的な溝部を設けるようにしても良い。
【００３０】
また、本発明の配線一体型サスペンションがアディティブ・タイプである場合の製造方法では、先に、リード配線用パッドの下地層に対して、エッチング技術を用いて下地溝部を設け、その後、その下地層の上に銅メッキ技術を用いてリード配線用パッドを形成することにより溝部を設けるようにしても良い。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示した実施形態に基づいて説明する。
【００３２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態の配線一体型サスペンションの全体構成を示す斜視図であり、図２は、図１の配線一体型サスペンションにおけるスライダが配置される先端部の部分拡大図である。
【００３３】
配線一体型サスペンション１は、ベースプレート２、ロードビーム４、サスペンションプレート３、及び、フレキシャ５によって主要部が構成されている。ベースプレート２に形成された開口部２ａが図示しない磁気ディスク装置のサスペンション保持手段によって保持され、配線一体型サスペンション１は開口部２ａを中心として矢印Ｒ方向に回動する。
【００３４】
サスペンションプレート３は、ベースプレート２に接着され、ロードビーム４は、サスペンションプレート３に固定される。サスペンションプレート３は、弾性的にベースプレート２に保持されており、形成された開口部によって所望のサスペンション特性を得ている。また、ロードビーム４は、配線一体型サスペンション１を回転させる回転軸から放射する方向に延在され、その先端部にはタブ７が形成されている。
【００３５】
フレキシャ５は、配線一体型サスペンション１の先端部からマルチコネクタ部９までクランク状に延在するリード線保持機構であり、ロードビーム４には３箇所でレーザ溶接され、ベースプレート２にも固定されている。このフレキシャ５の上面（図１において上側に位置する面）には、絶縁シートを介して互いに接触しないように４本のリード線８が配設されている。これらのリード線は、保護シートによって要部が保護されている。
【００３６】
フレキシャ５の先端部近傍は、ロードビーム４に固定されるが、その固定部より先のリード線はロードビーム４から自由になっており、ここにはアーチ状の開口部が形成されている。また、フレキシャ５の最先端部のプラットフォーム１３からアーチ状の開口部の中央に向かって突出して形成されたフレキシャ・タング１４には、スライダ６が接着されている。
【００３７】
このフレキシャ・タング１４は、ロードビーム４から突出した図示しないピボットにより、スライダ６の中央部にあたる位置が支持されている。これによりスライダ６は、ロードビーム４に対して全方向への所定量の傾き（ピッチ、ロール、ヨーと称される）を持つことが可能となる。
【００３８】
図１に示した４本のリード線８は、図２に示すように保護シートから出た辺りから２本づつ対のリード線１０に分割されて最先端部に向かい、開口部１１の側面部で宙に浮いた状態で略直角に湾曲してプラットフォーム１３に至る。さらに、プラットフォーム１３上で、各リード線１０は、スライダ６の最先端側面６ａに形成された４つのボンディングパッド１５に向けて再度略垂直に湾曲する。
【００３９】
湾曲した各リード線１０の末端には、スライダ６の最先端側面６ａに形成されたボンディングパッド１５と接続されるリード配線用パッド２０が形成される。また、ボンディングパッド１５およびリード配線用パッド２０のハンダ接続箇所である、プラットフォーム１３とフレキシャ・タング１４の間には、開口部１１が形成される。
【００４０】
次に、ボンディングパッド１５と、リード配線用パッド２０を、ハンダ・ボールを用いて接続する方法について説明する。
【００４１】
概略的には、まず、ボンディングパッド１５の表面（接続面）とリード配線用パッド２０の表面（接続面）の交点に形成される直角が鉛直方向で上部を向くように配線一体型サスペンション１を支持し、次いで、両パッド間にハンダ・ボールを配置し、その後、レーザビームをハンダ・ボールに照射することにより両パッドを接続する。
【００４２】
まず、配線一体型サスペンション１をボンディングパッド１５の表面とリード配線用パッド２０の表面で形成される直角部が鉛直方向で上部を向くように支持する方法について以下に説明する。
【００４３】
図３は、両パッド間に配置されたハンダ・ボールをレーザビームで照射して両パッドを接続するハンダ・ボール接合装置を示す断面図である。
【００４４】
ハンダ・ボール４００にレーザビーム２０１を照射するべく接近する光学（レーザ）装置２００、配線一体型サスペンション１を保持する作業治具３０１、及び、この作業治具３０１を保持する載置台３００を示す要部構成図である。
【００４５】
載置台３００は、水平面Ｈに対して４５度の傾斜を有する載置面３００ａを有し、この載置面３００ａに作業治具３０１が、やはり水平面に対して４５度の傾斜を有するように設置される。さらに、作業治具３０１上には、スライダ６を上にして、かつ、スライダ６を上面に向けて配線一体型サスペンション１が載置される。
【００４６】
このとき、作業治具３０１に保持された配線一体型サスペンション１では、その先端部のボンディングパッドの接合面とこれに対向するリード配線用パッドの接合面とが、水平面に対して略４５度を保つ。このようにして、ボンディングパッド１５の表面とリード配線用パッド２０の表面で形成される仮想の直角部は、作業治具３０１上で鉛直方向Ｖの上部を向いて開くように支持される。
【００４７】
次いで、両パッド間にハンダ・ボール４００を配置し、その後、レーザビーム２０１をハンダ・ボール４００に照射するが、両パッド間にハンダ・ボール４００を配置し、レーザビーム２０１を照射する方法については、本出願人による特願２０００−１８９１４８号、および、特願２００１−０３９８８８号中に詳細に開示されており、ハンダ・ボール４００を配置させる方法および光学装置２００の構成等については、本願の発明には直接に関係しないため簡単な説明のみとする。
【００４８】
光学装置２００は、光ファイバーを共振器に利用するファイバーレーザの終端モジュールであり、内部の光路上に配置された一連の光学レンズを有して、中空のレーザビーム路空間を形成する。光学レンズは、光ファイバーから出力する発散光を集束してレーザビーム２０１として光学装置２００の先端部から出力する。
【００４９】
図４は、図３の作業治具３０１に保持された配線一体型サスペンション１の先端部にハンダ・ボールが置かれた状態を拡大して示した断面図である。
【００５０】
ボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０は、各々水平面から４５度立ち上がるように配置され、ボンディングパッド１５の表面が延長された面とリード配線用パッド２０の表面が延長された面とは直交し、両パッドの間には仮想の直角が形成される。仮想の直角は、鉛直方向Ｖの上向きに開いており、上から配給されるハンダ・ボール４００を受け止めることに適した角度に設定されている。
【００５１】
吸引パッドで搬送されるハンダ・ボール４００がボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０の各接合面に接するように置かれて静止すると、光学装置２００は、図示しない移動手段によって、照射位置に移動して、ハンダ・ボール４００に所定のスポット径の集束するレーザビーム２０１を照射する。
【００５２】
このハンダ・ボール４００の載置からレーザビーム２０１が照射されるまでタイミングで、載置台３００の窒素ガス導入パイプから、ハンダの酸化を抑制するための不活性雰囲気となる所定量の窒素ガスＮ２が注入される。これにより、ボンディングパッド１５、リード配線用パッド２０、および、ハンダ・ボール４００は、不活性雰囲気中に置かれる。尚、窒素ガスが注入される際には、その注入時の風圧で静止中のハンダ・ボールの位置が移動しないように、注入位置及び流速が考慮されるが、それでも、例えば、パッドの表面状態が悪い場合には、窒素ガスの注入によりハンダ・ボールは移動する場合がある。
【００５３】
この不活性雰囲気状態が維持される間に、光学装置２００は、レーザビーム２０１を照射してハンダ・ボール４００を加熱することにより溶解して、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０とを接続する。尚、このときのレーザビームのスポット径は、例えば、ハンダ・ボールの外径が１２０μｍ程度である場合に１５０〜２００μｍ程度に設定される。
【００５４】
このように、窒素ガスＮ２による不活性雰囲気下でハンダを溶融させることにより、ハンダの溶融から冷却されて接合する時に不活性の窒素ガスＮ２がハンダの表面を覆うことになるので、ハンダの酸化を防止することができる。
【００５５】
図５は、図４のハンダ・ボールが溶融してボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０とを接続した状態を拡大して示した断面図である。
【００５６】
溶融したハンダ４０１は、ボンディングパッド１５の接合面とリード配線用パッド２０の接合面との双方の上にハンダの濡れ性により広がり、両パッドを接続する形状になる。溶融したハンダはボンディングパッド１５の接合面上とリード配線用パッド２０の接合面上の双方の上の前面に広がり、図５に示すように両者間が逆アーチ状に接続される場合には、良好な接続状態を示すフィレット４０１が形成される。図５のような良好な接続状態になるためには、ハンダ・ボール４００は、各パッドにおける側面方向（仮想直角軸方向）の中心線近辺に配置される必要がある。
【００５７】
図６は、本実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図であり、リード配線用パッドとボンディングパッドとを、ハンダ・ボールを用いて接合する部位を示している。
【００５８】
図６に示した本実施形態の配線一体型サスペンションと、図１５に示した従来の配線一体型サスペンションとの相違点は、リード配線用パッド２０の構造のみであり、他の構成については、図１５に示した従来の配線一体型サスペンションと同様である。
【００５９】
本実施形態のリード配線用パッド２０は、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成し、その表面に対して更にエッチング加工を実施する。従来のリード配線用パッドと同様なパッドは、サブトラクティブ・タイプあるいはＦＰＣ・タイプの配線一体型サスペンションでは、Ｃｕ（銅）箔層の必要部をレジストで覆い、それ以外の部分をエッチングしてから、レジストを除去することにより形成され、アディティブ・タイプでは、ポリイミド層１７の上にスパッタリングでシード層を設け、その上の必要部以外をレジストで覆ってからＣｕ（銅）メッキし、その後にレジストを除去することにより形成される。本実施形態では、その後、さらに別のレジストを用いて凸部２２および凸部２３を覆ってからハーフエッチングし、図６に示した凹溝部（凹部）２１をリード配線用パッド２０に設ける。
【００６０】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド２０には、ハーフエッチングにより、中心線ＣＬに沿って凹溝部２１が設けられ、凹溝部２１の両脇には、エッチングされなかった凸部２２および凸部２３が残り、凹溝部２１と凸部２２あるいは凸部２３との間には段差が形成される。
【００６１】
この段差は、図６に示したような明確な段差でなくとも、例えば、曲面で滑らかに凹溝部２１を両凸部２２および凸部２３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに凹溝部２１を両凸部２２および凸部２３から窪ませるように構成しても良い。
【００６２】
この段差が形成されたことから、ハンダ・ボール４００は、重力により凹溝部２１、即ち、凸部２２および凸部２３の間に落とし込まれ、凹溝部２１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図６に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００６３】
凹溝部２１の寸法としては、例えば、リード配線用パッド２０の幅寸法が１４８μｍであり、ハンダ・ボールの直径が１２０μｍの場合なら、リード配線用パッド２０の幅寸法の半分の幅寸法（７４μｍ）で、リード配線用パッド２０の厚み寸法の半分の厚み寸法とすればよい。
【００６４】
また、本実施形態では、リード配線用パッド２０でエッチングにより中心線ＣＬ近辺の凹溝部２１とその周辺部で段差を設けたが、例えば、エッチングにより周辺部と段差を設けずに周辺部から連続する曲面で滑らかに中心線ＣＬ近辺を窪ませたり、周辺部から中心線ＣＬ近辺に向けて斜行させて中心線ＣＬ近辺を窪ませるようにして凹溝部２１を形成しても良い。
【００６５】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド２０の中心線ＣＬの周辺にハーフエッチングを用いて溝部２１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、他の形状をエッチングにより形成しても良い。例えば、リード配線用パッド２０の中心付近に楕円形、円形の溝部、ひし形、あるいは、長方形の溝部をエッチングで設けても良い。
【００６６】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションでは、リード配線用パッド２０にハーフエッチングにより凹溝部２１を設けたことにより、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド２０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００６７】
（第２の実施形態）
図７は、本発明の第２の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００６８】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド３０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図１〜図６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００６９】
本実施形態のリード配線用パッド３０は、サブトラクティブ・タイプあるいはＦＰＣ・タイプの配線一体型サスペンションでは、Ｃｕ（銅）箔層の必要部をレジストで覆い、それ以外の部分をエッチングしてから、レジストを除去することにより形成され、アディティブ・タイプでは、ポリイミド層の上にスパッタリングでシード層を設け、その上の必要部以外をレジストで覆ってからＣｕ（銅）メッキし、その後にレジストを除去することにより形成されるが、その際に、レジストを変更することにより、図７に示したＵ字型切欠部（溝部）３１をリード配線用パッド３０に設けるようにする。
【００７０】
Ｕ字型切欠部３１は、開口側が下を向いたＵの字の直線部が中心線ＣＬと平行になるように設けられる。Ｕ字型切欠部３１の両脇には、二股部（凸部）３２および二股部（凸部）３３が形成され、二股部３２、および、二股部３３の間には、Ｕ字型切欠部３１による中心線ＣＬと平行な空間が構成される。
【００７１】
このＵ字型切欠部３１による空間が形成されたことから、ハンダ・ボール４００は、重力によりＵ字型切欠部３１、即ち、二股部３２および二股部３３の間に落とし込まれ、Ｕ字型切欠部３１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図７に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００７２】
Ｕ字型切欠部３１における中心線ＣＬと平行部分の幅寸法としては、例えば、リード配線用パッド３０の幅寸法が１４８μｍであり、ハンダ・ボールの直径が１２０μｍの場合なら、リード配線用パッド３０の幅寸法の半分の幅寸法（７４μｍ）または１／３の幅寸法（約４９μｍ）とすればよい。Ｕ字型切欠部３１における曲線部分については、両側の平行部分を接続できれば任意の円弧状曲線を用いることができる。
【００７３】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド３０の中心線ＣＬの周辺にＵ字型切欠部３１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、他の形状を形成しても良い。例えば、リード配線用パッド３０の中心付近に楕円形又は円形の切欠部を設けても良い。
【００７４】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド３０にＵ字型切欠部３１を設けたことにより、上記した第１の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド３０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００７５】
（第３の実施形態）
図８は、本発明の第３の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００７６】
本実施形態が第２の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド４０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図７に示した第２の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００７７】
本実施形態のリード配線用パッド４０の形成方法は、第２の実施形態と同様に、サブトラクティブ・タイプあるいはＦＰＣ・タイプでは、レジストで覆った以外の部分をエッチングすることにより形成され、アディティブ・タイプでは、レジストで覆った以外の部分にＣｕ（銅）メッキすることにより形成されるが、その際に、レジストを変更することにより、図８に示したＶ字型切欠部４１（溝部）をリード配線用パッド４０に設けるようにする。
【００７８】
Ｖ字型切欠部４１は、開口側が下を向いたＶ字の開口部をリード配線用パッド４０の先端側として、Ｖの字の頂点とＶ字の開口部の両端の中点とを結ぶ直線が中心線ＣＬと一致するように設けられる。Ｖ字型切欠部４１のＶの字の頂点からＶ字の開口部に向けて延伸される両脇には、二股部（凸部）４２および二股部（凸部）４３が形成され、二股部４２、および、二股部４３の間には、Ｖ字型切欠部４１によって、接続部位に近づくほど漸増する空間が構成される。
【００７９】
このＶ字型切欠部４１による空間が形成されたことから、ハンダ・ボール４００は、重力によりＶ字型切欠部４１、即ち、二股部４２および二股部４３の間に落とし込まれ、Ｖ字型切欠部４１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図８に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００８０】
Ｖ字型切欠部４１における中心線ＣＬと平行部分の幅寸法としては、例えば、リード配線用パッド４０の幅寸法が１４８μｍであり、ハンダ・ボールの直径が１２０μｍの場合なら、リード配線用パッド４０の幅寸法の１／３の幅寸法（約４９μｍ）の点でハンダ・ボール４００と接触するようにＶ字型切欠部４１の角度を決定すればよい。
【００８１】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド４０の中心線ＣＬの周辺にＶ字型切欠部４１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、他の形状を形成しても良い。例えば、リード配線用パッド４０の中心付近に長方形あるいはひし形等の形状の切欠部を設けても良い。
【００８２】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド４０にＶ字型切欠部４１を設けたことにより、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド４０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、さらに、Ｖ字型切欠部４１の形状がＶ字型であることから、Ｖ字の突端方向にもハンダ・ボール４００が移動しにくくなり、よりいっそうハンダ・ボール４００を安定させて、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００８３】
（第４の実施形態）
図９は、本発明の第４の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００８４】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド５０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００８５】
本実施形態のリード配線用パッド５０は、第１の実施形態と同様に、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成し、その後、そのパッド対して折り曲げ加工を実施する。従来のリード配線用パッドと同様なパッドの形成方法は、第１の実施形態と同様である。本実施形態では、その後、さらに図示しない金型等を用いてリード配線用パッド５０を変形させ、図９に示した折り曲げ部５１をリード配線用パッド５０に設ける。
【００８６】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド５０には、中心線ＣＬに沿って折り曲げ部（溝部）５１が設けられ、折り曲げ部５１の両脇には、折り曲げ部５１に向かって傾斜する斜行部（凸部）５２および斜行部（凸部）５３が形成される。
【００８７】
折り曲げ部５１は、直線状であり中心線ＣＬと一致するように設けられ、折り曲げ部５１の両脇の斜行部５２および斜行部５３は、折り曲げ部５１に向かって傾斜していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により折り曲げ部５１、すなわち、斜行部５２および斜行部５３の間に落とし込まれ、折り曲げ部５１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図９に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００８８】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド５０の中心線ＣＬに一致させて一筋の折り曲げ部５１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として複数の折り曲げ部を形成しても良い。
【００８９】
また、折り曲げ部５１は、図９に示したように直線的に折り曲げる場合のみではなく、例えば、曲面で滑らかに折り曲げ部５１を窪ませるように構成しても良い。
【００９０】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド５０に折り曲げ部５１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド５０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００９１】
（第５の実施形態）
図１０は、本発明の第５の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００９２】
本実施形態が第４の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド６０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図９に示した第４の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００９３】
本実施形態のリード配線用パッド６０は、第４の実施形態と同様に、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様に平坦なパッドを形成し、その後、そのパッド対して折り曲げ加工を実施するが、本実施形態では、パッドの両脇に折り曲げ部を有している。なお、従来のリード配線用パッドと同様なパッドの形成方法は、第１あるいは第４の実施形態と同様である。本実施形態では、その後、さらに図示しない金型等を用いてリード配線用パッド６０を変形させるが、図１０に示したように、折り曲げ部６２、および、折り曲げ部６３をリード配線用パッド６０から上向きに折り曲げる。
【００９４】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド６０には、平坦部６１（溝部）の両脇に、中心線ＣＬに平行に、且つ、上向きに折り曲げられた折り曲げ部（凸部）６２および折り曲げ部（凸部）６３が形成される。
【００９５】
折り曲げ部６２および折り曲げ部６３は、長方形状であり長辺が中心線ＣＬと平行になるように設けられ、かつ、上向きに折り曲げられていることから、ハンダ・ボール４００は、重力により平坦部６１、すなわち、折り曲げ部６２および折り曲げ部６３の間に落とし込まれ、平坦部６１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図９に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００９６】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド６０の中心線ＣＬに平行に折り曲げ部６２および折り曲げ部６３を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として傾斜角を持たせて折り曲げ部６２および折り曲げ部６３を形成しても良い。
【００９７】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド６０に折り曲げ部６２および折り曲げ部６３を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド６０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００９８】
（第６の実施形態）
図１１は、本発明の第６の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００９９】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド７０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１００】
本実施形態のリード配線用パッド７０は、第１の実施形態と同様に、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成し、その後、そのパッド対してプレス加工を実施する。従来のリード配線用パッドと同様なパッドの形成方法は、第１の実施形態と同様である。本実施形態では、その後、さらに図示しない金型等を用いてリード配線用パッド７０をプレス変形させ、図１１に示した陥没部（溝部）７１をリード配線用パッド７０に設ける。
【０１０１】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド７０には、中心線ＣＬに沿って陥没部７１が設けられ、陥没部７１の両脇には、凸部７２および凸部７３が形成される。
【０１０２】
本実施形態の陥没部７１は、第２の実施形態と同様なＵ字形状でありその中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、陥没部７１の両脇部である凸部７２および凸部７３は、第１の実施形態と同様に、陥没部７１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により陥没部７１、すなわち、凸部７２および凸部７３の間に落とし込まれ、陥没部７１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１１に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。なお、Ｕ字形状の寸法については、第２の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１０３】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心として第２の実施形態と同様な開口側が下向きであるＵ字形状の陥没部７１をリード配線用パッド７０に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の陥没部を形成しても良い。
【０１０４】
また、陥没部７１は、図１１に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに陥没部７１を両凸部７２および凸部７３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに陥没部７１を両凸部７２および凸部７３から窪ませるように構成しても良い。
【０１０５】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド７０に陥没部７１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド７０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１０６】
（第７の実施形態）
図１２は、本発明の第７の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。図１２（ａ）が製造途中で従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成した状態を示す図であり、図１２（ｂ）が本実施形態のリード配線用パッドを示す図である。
【０１０７】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、図１２（ｂ）に示したリード配線用パッド８０ａの形状が異なる点のみであるが、リード配線用パッド８０ａを形成するためには、アディティブ・タイプの製造方法を利用する必要があることから、本実施形態の配線一体型サスペンションとしては、製造方法がアディティブ・タイプのものに限られる。また、本実施形態におけるその他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１０８】
本実施形態のリード配線用パッド８０ａは、第１の実施形態と同様に、一旦、図１２（ａ）に示したような従来のリード配線用パッドと同様なリード配線用中間パッド８０を形成し、そのパッド８０の表面における中心線ＣＬの近傍を除いた両脇部にさらに銅メッキを追加する。従来のリード配線用パッドと同様なリード配線用中間パッド８０の形成方法は、第１の実施形態と同様である。
【０１０９】
リード配線用中間パッド８０上の中心線ＣＬの近傍（必要部）以外をレジストで覆ってからＣｕ（銅）メッキし、その後にレジストを除去することにより、中間パッド８０上に凹溝部（凹部）８１と、凸部８２および凸部８３が形成される。
【０１１０】
本実施形態の凹溝部８１は、第１の実施形態と同様な形状でありその中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、凹溝部８１の両脇部である凸部８２および凸部８３は、第１の実施形態と同様に、凹溝部８１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により凹溝部８１、すなわち、凸部８２および凸部８３の間に落とし込まれ、凹溝部８１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１２（ｂ）に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。なお、凹溝部の形状寸法については、第１の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１１１】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心として第１の実施形態と同様な形状の溝部８１をリード配線用パッド８０に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の溝部を形成しても良い。
【０１１２】
また、凹溝部８１は、図１２に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに凹溝部８１を両凸部８２および凸部８３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに凹溝部８１を両凸部８２および凸部８３から窪ませるように構成しても良い。
【０１１３】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド８０ａに凹溝部８１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド８０ａの中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１１４】
（第８の実施形態）
図１３は、本発明の第８の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。図１３（ａ）が製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、図１３（ｂ）が本実施形態のリード配線用パッドを示す図である。
【０１１５】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、図１３（ａ）に示したパッド下地部９５がポリイミド層１７に形成される点と、図１３（ｂ）に示したリード配線用パッド９０の形状が異なる点のみであるが、パッド下地部９５上にリード配線用パッド９０を形成するためには、アディティブ・タイプの製造方法を利用する必要があることから、本実施形態の配線一体型サスペンションとしては、製造方法がアディティブ・タイプのものに限られる。また、本実施形態におけるその他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１１６】
本実施形態のパッド下地部９５は、例えば、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７をエッチングする工程で形成される。その際に、ポリイミド層１７からパッド下地部９５の外形を得る通常のエッチングの後に、中心線ＣＬと中心軸が一致するように開口側を下向きにしたＵ字型の下地溝部９６部分を除いた形状でレジストを設けてハーフエッチングを実施する。また、ポリイミド層１７が感光性ポリイミド層である場合には、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７を露光および現像する工程で形成され、Ｕ字型の下地溝部９６部分を除いた形状でレジストを設けた後に露光および現像を実施することにより、図１３（ａ）に示したＵ字型の下地溝部９６、下地凸部９７及び下地凸部９８を形成する。
【０１１７】
次に、従来のアディティブ・タイプの製造方法と同様にして、ポリイミド層１７上に配線１０およびリード配線用パッド９０等を銅メッキで形成する。その際に、ポリイミド層１７の下地凸部９７及び下地凸部９８上では、銅メッキで形成されたリード配線用パッド９０の両脇部となる凸部９２および凸部９３は、第１の実施形態と同様な高さで形成される。しかし、ポリイミド層１７のＵ字型の下地溝部９６上では、第６の実施形態と同様に両脇部よりも陥没してしまい、銅メッキで形成されたリード配線用パッド９０にＵ字型の陥没部（溝部）９１が形成される。なお、Ｕ字形状の寸法については、第２の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１１８】
本実施形態のＵ字型の陥没部９１は、第６の実施形態と同様なＵ字型の形状でありその中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、陥没部９１の両脇部である凸部９２および凸部９３は、第１の実施形態と同様に、陥没部９１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により陥没部９１、すなわち、凸部９２および凸部９３の間に落とし込まれ、陥没部９１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１３（ｂ）に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【０１１９】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心として第６の実施形態と同様なＵ字型の形状の陥没部９１をリード配線用パッド９０に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の陥没部を形成しても良い。
【０１２０】
また、陥没部９１は、図１３に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに陥没部９１を両凸部９２および凸部９３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに陥没部９１を両凸部９２および凸部９３から窪ませるように構成しても良い。
【０１２１】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド９０に陥没部９１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド９０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１２２】
（第９の実施形態）
図１４は、本発明の第９の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。図１４（ａ）が製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、図１４（ｂ）が本実施形態のリード配線用パッドを示す図である。
【０１２３】
本実施形態が第８の実施形態と異なる点は、図１４（ａ）に示したパッド下地部１０５の形状、および、図１４（ｂ）に示したリード配線用パッド１００の形状が異なる点のみであり、本実施形態の配線一体型サスペンションとしては、製造方法がアディティブ・タイプのものに限られる点は同様である。本実施形態におけるその他の構成については、図１３に示した第８の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１２４】
本実施形態のパッド下地部１０５は、例えば、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７をエッチングする工程で形成される。その際に、ポリイミド層１７からパッド下地部１０５の抜き外形を得る通常のエッチングの後に、中心線ＣＬと中心軸が一致するように開口側を下向きにしたＶ字型の下地溝部１０６部分を除いた形状でレジストを設けてハーフエッチングを実施する。また、ポリイミド層１７が感光性ポリイミド層である場合には、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７を露光および現像する工程で形成され、Ｖ字型の下地溝部１０６部分を除いた形状でレジストを設けた後に露光および現像を実施することにより、図１４（ａ）に示したＶ字型の下地溝部１０６、下地凸部１０７及び下地凸部１０８を形成する。
【０１２５】
次に、従来のアディティブ・タイプの製造方法と同様にして、ポリイミド層１７上に配線１０およびリード配線用パッド１００等を銅メッキで形成する。その際に、ポリイミド層１７の下地凸部１０７及び下地凸部１０８上では、銅メッキで形成されたリード配線用パッド１００の両脇部となる凸部１０２および凸部１０３は、第１の実施形態と同様な高さで形成される。しかし、ポリイミド層１７のＶ字型の下地溝部１０６上では、両脇部よりも陥没してしまい、銅メッキで形成されたリード配線用パッド１００にＶ字型の陥没部（溝部）１０１が形成される。なお、Ｖ字形状の寸法については、第３の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１２６】
本実施形態のＶ字型の陥没部１０１は、Ｖ字型の形状の中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、陥没部１０１の両脇部である凸部１０２および凸部１０３は、第１の実施形態と同様に、陥没部１０１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により陥没部１０１、すなわち、凸部１０２および凸部１０３の間に落とし込まれ、陥没部１０１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１４（ｂ）に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【０１２７】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心としてＶ字型の形状の陥没部１０１をリード配線用パッド１００に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の陥没部を形成しても良い。
【０１２８】
また、陥没部１０１は、図１４に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに陥没部１０１を両凸部１０２および凸部１０３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに陥没部１０１を両凸部１０２および凸部１０３から窪ませるように構成しても良い。
【０１２９】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド１００に陥没部１０１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド１００の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、さらに、陥没部１０１の形状がＶ字型であることから、Ｖ字の突端方向にもハンダ・ボール４００が移動しにくくなり、よりいっそうハンダ・ボール４００を安定させて、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１３０】
なお、上記した各実施形態では、ボンディングパッドとリード配線用パッドとをハンダ・ボールで接続する場合、このボンディングパッドとリード配線用パッドとの間に形成される仮想の角度を直角としたが、この角度は、ハンダ・ボール４００を受け止められる角度で有れば任意の角度に変更可能である。
【０１３１】
また、同様にして、上記した各実施形態では、リード配線用パッドと、ボンディングパッドが、双方共に水平面から４５度立ち上がった角度となるようにフレキシャを固定していいるが、この角度についてもハンダ・ボール４００を受け止められる角度で有れば任意の角度に変更可能である。
【０１３２】
また、上記した各実施形態では、溝部の形状について、Ｖ字型とＵ字型の場合を記載したが、溝部を円形状や楕円形状、あるいは、長方形やひし形等の任意の形状としても本発明の効果を得ることができる。
【０１３３】
【発明の効果】
上記のように本発明の配線一体型サスペンションは、リード配線用パッドに凹部を設けたことにより、ハンダ・ボールの中心がリード配線用パッドの中心線に略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置の移動等でハンダ・ボールに何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボールが直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１３４】
また、リード配線用パッドに凹部をＶ字形状にした本発明は、上記した効果に加えて、凹部の形状がＶ字型であることから、Ｖ字の突端方向にもハンダ・ボールが移動しにくくなり、さらにハンダ・ボールを安定させて、良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施形態の配線一体型サスペンションの全体構成を示す斜視図である。
【図２】 図１の配線一体型サスペンションにおけるスライダが配置される先端部の部分拡大図である。
【図３】 両パッド間に配置されたハンダ・ボールをレーザビームで照射して両パッドを接続するハンダ・ボール接合装置を示す断面図である。
【図４】 図３の作業治具に保持された配線一体型サスペンションの先端部にハンダ・ボールが置かれた状態を拡大して示した断面図である。
【図５】 図４のハンダ・ボールが溶融してボンディングパッドとリード配線用パッドとを接続した状態を拡大して示した断面図である。
【図６】 本発明の第１の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図７】 本発明の第２の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図８】 本発明の第３の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図９】 本発明の第４の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１０】 本発明の第５の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１１】 本発明の第６の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１２】 （ａ）は製造途中で従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成した状態を示す図であり、（ｂ）は第７の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１３】 （ａ）は製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、（ｂ）は第８の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１４】 （ａ）は製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、（ｂ）は第９の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１５】 図１５は、従来の配線一体型サスペンションにおいて、リード配線用パッドとボンディングパッドとを、ハンダ・ボールを用いて接合する場合を示す図である。
【符号の説明】
１ 配線一体型サスペンション、 ２ ベースプレート、 ２ａ 開口部、 ３ サスペンションプレート、 ４ ロードビーム、 ５ フレキシャ、 ６ スライダ、 ６ａ 最先端側面、 ７ タブ、 ８ リード線（４本）、 ９ マルチコネクタ部、 １０ リード線（２本）、 １１ 開口部、 １２、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０ａ、９０、１００、 リード配線用パッド、 １２ａ〜１２ｃ エッジ近辺部、 １２ｄ 平坦部、 １３ プラットフォーム、 １４ フレキシャ・タング、 １５ ボンディングパッド、 １７ ポリイミド層、 １８ ステンレス鋼箔層、 ２１、８１ 凹溝部（凹部）、 ２２、２３、７２、７３、８２、８３、９２、９３、１０２、１０３ 凸部、 ３１ Ｕ字型切欠部（凹部）、 ３２、３３、４２、４３ 二股部（凸部）、 ４１ Ｖ字型切欠部（凹部）、 ５１ 折り曲げ部（凹部）、 ５２、５３ 斜行部（凸部）、 ６１ 平坦部（凹部）、 ６２、６３ 折り曲げ部（凸部）、７１、９１、１０１ 陥没部（凹部）、 ８０ リード配線用中間パッド、 ９５、１０５ パッド下地部、 ９６、１０６ 下地凹部、 ９７、９８、１０７、１０８ 下地凸部、 ２００ 光学（レーザ）装置、 ２０１ レーザビーム、 ３００ 載置台、 ３００ａ 載置面、 ３０１ 作業治具、 ４００ ハンダ・ボール、 Ａ、Ｂ 仮想直角軸方向、 ＣＬ 中心線、 Ｈ 水平方向、 Ｖ 鉛直方向、 Ｒ 回動方向。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハード・ディスク装置の磁気ヘッド・ジンバル部を支持する配線一体型サスペンションに関し、特に、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとを接合する際の不都合を改善できる配線一体型サスペンションに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年のハード・ディスク装置の小型化に伴い、磁気ヘッドを移動させるサスペンションの各部の設計および製造は難しくなってきているが、特に、磁気ヘッドを有するスライダにリード線を接続する作業は非常に難しい作業になっている。また、リード線自体の重さや配線位置等がヘッド制御に影響を与えるようになってきたため、サスペンション上に配線部を接着するか配線パターンを形成して配線によるばらつきを抑制する配線一体型サスペンションが知られるようになった。
【０００３】
配線一体型サスペンションでは、サスペンション側のフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、スライダに設けられるボンディングパッドとを接続する必要があるが、両者の接続面は、その両パッドの延長された平面が直交する（両平面を側面から見た場合の交点に仮想の直角が形成される）位置関係にあるために、通常の対向する平面を接続する技術では対応できないことから、様々な新しい技術が使用されている。
【０００４】
例えば、直交する位置関係のリード配線用パッドとボンディングパッドとを接合するための一つの方法としては、金（Ａｕ）製のボールを用いるアップル・ボンドが知られている。アップル・ボンドでは、前記両パッドが形成する仮想の直角の間に金製のボールを押しつけて超音波溶着させることで接続する。また、他の方法としては、例えば、ハンダ・ボールを用いる方法が、本出願人によって特願２０００−１８９１４８号、あるいは、特願２００１−０３９８８８号として出願されている。
【０００５】
ハンダ・ボールを用いる方法では、前記両パッドで形成される仮想の直角が鉛直方向で上部を向くように配線一体型サスペンションを支持し、両パッド間にハンダ・ボールを配置する。その後、レーザビームをハンダ・ボールに照射することによりハンダを溶融させて両パッドを接続する方法である。
【０００６】
図１５は、従来の配線一体型サスペンションにおいて、リード配線用パッドとボンディングパッドとを、ハンダ・ボールを用いて接合する場合を示す図である。
【０００７】
サスペンションのフレキシャ５は、絶縁性の高分子材料であるポリイミド層１７と、ステンレス鋼箔層１８の２層構造であり、ポリイミド層１７の上には、更に導電体層でリード線１０が形成され、リード線１０の末端には、ハンダ接続に充分な面積となるようにリード線１０よりも幅が広げられたリード配線用パッド１２が形成されている。
【０００８】
ポリイミド層１７、および、ステンレス鋼箔層１８は、例えば、レジストで必要部分を覆った後にエッチングすることにより、形状を加工することができる。また、ポリイミド層１７が感光性ポリイミド層である場合には、感光性ポリイミド層１７の必要部分をレジスト等で覆った後に露光および現像することにより形状を加工することができる。
【０００９】
フレキシャ５におけるリード配線用パッド１２の先端部には、スライダをサスペンションに接着する際の接着剤のはみ出しがリード配線用パッド１２に付着すること、あるいは、レーザビームの照射による発熱で高分子材料のポリイミド層１７が変化すること等を避けるために、開口部１１が形成されている。従って、リード配線用パッド１２の先端部は、開口部１１に突出した空中配線となっている。
【００１０】
また、フレキシャ５には、ハードディスク用磁気ヘッドを内蔵するスライダ６が取り付けられており、スライダ６のボンディングパッド１５は、前述したようにリード配線用パッド１２と直交する位置に配置されている。このため、ボンディングパッド１５の面を延長した面が、リード配線用パッド１２の面を延長した面と交差する仮想の直交軸は９０度（直角）となっている。
【００１１】
ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続する場合、このボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２で形成される仮想の直角が、鉛直方向で上部を向いて開く方向でサスペンション（フレキシャ５）が固定される。通常は、フレキシャ５上のリード配線用パッド１２と、スライダ６上のボンディングパッド１５が、双方の位置関係が直交位置となる状態を維持したまま、双方共に、水平面から４５度立ち上がった角度となるように、フレキシャ５が固定される。そして、固定された両パッド間に、図示していないハンダ・ボールの移設装置からハンダ・ボール４００が落とされる。そして、ハンダ・ボール４００を図示しないレーザビーム照射装置等で加熱することにより溶融させて、両パッドが接続される。
【００１２】
従来の配線一体型サスペンションでは、このようにしてボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続していた。
【００１３】
なお、配線一体型サスペンションは、その製造方法の違いにより、以下の３タイプに分類されるが、何れのタイプで製造する場合でも、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続する場合には、上記のように接続される。
【００１４】
（ａ）サスペンションの絶縁体上に銅箔の配線およびパッドを付加形成するアディティブ・タイプ。
【００１５】
（ｂ）および、サスペンションの絶縁体上にシート状に形成されている銅箔から配線およびパッドをエッチングすることにより形成するサブトラクティブ・タイプ。
【００１６】
（ｃ）さらに、銅箔の配線およびパッドが形成されたフレキシブル基板（ＦＰＣ）をサスペンションに接着するＦＰＣ・タイプ。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の配線一体型サスペンションでは、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２とをハンダ・ボールで接続する場合、ハンダ・ボールがほぼ真球形状であり、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド１２の表面が略平面であるため、両パッドの延長平面が直交する仮想の直角軸方向（図１５に示したＡ方向またはＢ方向）にハンダ・ボールがころがり、ハンダ・ボールの位置が図１５に示した各パッドの中心線ＣＬからずれてしまうという問題を有している。この問題は、上記した何れのタイプであっても、同様に発生する。
【００１８】
また、特に、アディティブ・タイプでは、図１５の１２ａ〜１２ｃに示したようにエッジ近辺部が斜めの面取り状態なる型だれが発生し、そのため平坦部１２ｄの面積が少なくなっており、さらに、残った平坦部１２ｄも表面が荒れて起伏を有している。このため、アディティブ・タイプでは、他のタイプよりもさらにハンダ・ボールの位置がパッドの中心線ＣＬからずれやすいという問題を有している。
【００１９】
ハンダ・ボールの位置がパッドの中心線からずれると、ハンダ・ボールをレーザビーム照射で溶融させて両パッドを接続する際に、ハンダ・ボールが接続部位に無い無ハンダや、ハンダ・ボールは接続部位にはあるが中心線からずれているためにハンダ接続不良が発生する。ハンダ接続不良とは、例えば、溶融したハンダが両パッド間を接続していない場合、両パッドの一部分のみが不完全にハンダ接続される部分ハンダ、あるいは、隣接する同種のパッド同士を接続してしまうブリッジ接続等である。
【００２０】
本発明は、上述した如き従来の問題を解決するためになされたものであって、ボンディングパッドとリード配線用パッドとをハンダ・ボールで接続する場合にハンダ・ボールの位置が中心線からずれない配線一体型サスペンションを提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明の配線一体型サスペンションは、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、そのハンダ・ボールを溶融させてリード配線用パッドとボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションであって、リード配線用パッドの表面に、ボンディングパット側に開口部を有する溝部を設けることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、その両脇の部分との間に段差、曲面、あるいは、斜面が形成されるように構成しても良い。
【００２３】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、その中心線から、両脇の部分までの距離が均等であるように構成しても良い。
【００２４】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、中心線と平行な溝形状、あるいは、切り欠き部としても良い。
【００２５】
また、本発明の配線一体型サスペンションの溝部は、開口側がボンディングパッド側を向き、両脇の部分が中心線と平行となるＵ字型、あるいは、開口側が下を向き、両脇の部分が中心線上に配置される頂点から開口側に向けて延伸されるＶ字型の形状であっても良い。
【００２６】
また、本発明の配線一体型サスペンションの製造方法は、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、そのハンダ・ボールを溶融させてリード配線用パッドとボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションの製造方法であって、エッチング技術を利用してリード配線用パッドを形成する際に、そのリード配線用パッドの表面に、ボンディングパッド側に開口部を有する溝を形成することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の配線一体型サスペンションの製造方法は、サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、そのハンダ・ボールを溶融させてリード配線用パッドとボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションの製造方法であって、先に、平面状の表面を有するリード配線用パッドを形成し、その後、リード配線用パッドの表面に、ボンディングパッド側に開口部を有する溝を形成しても良い。
【００２８】
また、本発明の配線一体型サスペンションの製造方法では、エッチング技術、折り曲げ加工、あるいは、金型プレス加工を用いて溝部を設けるようにしても良い。
【００２９】
また、本発明の配線一体型サスペンションがアディティブ・タイプである場合の製造方法では、先に、銅メッキ技術を用いて平面状の表面を有するリード配線用パッドを形成し、その後、リード配線用パッドの表面の中心線近辺を除いた両脇の部分に、追加の銅メッキを実施することにより突出させて、相対的な溝部を設けるようにしても良い。
【００３０】
また、本発明の配線一体型サスペンションがアディティブ・タイプである場合の製造方法では、先に、リード配線用パッドの下地層に対して、エッチング技術を用いて下地溝部を設け、その後、その下地層の上に銅メッキ技術を用いてリード配線用パッドを形成することにより溝部を設けるようにしても良い。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示した実施形態に基づいて説明する。
【００３２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態の配線一体型サスペンションの全体構成を示す斜視図であり、図２は、図１の配線一体型サスペンションにおけるスライダが配置される先端部の部分拡大図である。
【００３３】
配線一体型サスペンション１は、ベースプレート２、ロードビーム４、サスペンションプレート３、及び、フレキシャ５によって主要部が構成されている。ベースプレート２に形成された開口部２ａが図示しない磁気ディスク装置のサスペンション保持手段によって保持され、配線一体型サスペンション１は開口部２ａを中心として矢印Ｒ方向に回動する。
【００３４】
サスペンションプレート３は、ベースプレート２に接着され、ロードビーム４は、サスペンションプレート３に固定される。サスペンションプレート３は、弾性的にベースプレート２に保持されており、形成された開口部によって所望のサスペンション特性を得ている。また、ロードビーム４は、配線一体型サスペンション１を回転させる回転軸から放射する方向に延在され、その先端部にはタブ７が形成されている。
【００３５】
フレキシャ５は、配線一体型サスペンション１の先端部からマルチコネクタ部９までクランク状に延在するリード線保持機構であり、ロードビーム４には３箇所でレーザ溶接され、ベースプレート２にも固定されている。このフレキシャ５の上面（図１において上側に位置する面）には、絶縁シートを介して互いに接触しないように４本のリード線８が配設されている。これらのリード線は、保護シートによって要部が保護されている。
【００３６】
フレキシャ５の先端部近傍は、ロードビーム４に固定されるが、その固定部より先のリード線はロードビーム４から自由になっており、ここにはアーチ状の開口部が形成されている。また、フレキシャ５の最先端部のプラットフォーム１３からアーチ状の開口部の中央に向かって突出して形成されたフレキシャ・タング１４には、スライダ６が接着されている。
【００３７】
このフレキシャ・タング１４は、ロードビーム４から突出した図示しないピボットにより、スライダ６の中央部にあたる位置が支持されている。これによりスライダ６は、ロードビーム４に対して全方向への所定量の傾き（ピッチ、ロール、ヨーと称される）を持つことが可能となる。
【００３８】
図１に示した４本のリード線８は、図２に示すように保護シートから出た辺りから２本づつ対のリード線１０に分割されて最先端部に向かい、開口部１１の側面部で宙に浮いた状態で略直角に湾曲してプラットフォーム１３に至る。さらに、プラットフォーム１３上で、各リード線１０は、スライダ６の最先端側面６ａに形成された４つのボンディングパッド１５に向けて再度略垂直に湾曲する。
【００３９】
湾曲した各リード線１０の末端には、スライダ６の最先端側面６ａに形成されたボンディングパッド１５と接続されるリード配線用パッド２０が形成される。また、ボンディングパッド１５およびリード配線用パッド２０のハンダ接続箇所である、プラットフォーム１３とフレキシャ・タング１４の間には、開口部１１が形成される。
【００４０】
次に、ボンディングパッド１５と、リード配線用パッド２０を、ハンダ・ボールを用いて接続する方法について説明する。
【００４１】
概略的には、まず、ボンディングパッド１５の表面（接続面）とリード配線用パッド２０の表面（接続面）の交点に形成される直角が鉛直方向で上部を向くように配線一体型サスペンション１を支持し、次いで、両パッド間にハンダ・ボールを配置し、その後、レーザビームをハンダ・ボールに照射することにより両パッドを接続する。
【００４２】
まず、配線一体型サスペンション１をボンディングパッド１５の表面とリード配線用パッド２０の表面で形成される直角部が鉛直方向で上部を向くように支持する方法について以下に説明する。
【００４３】
図３は、両パッド間に配置されたハンダ・ボールをレーザビームで照射して両パッドを接続するハンダ・ボール接合装置を示す断面図である。
【００４４】
ハンダ・ボール４００にレーザビーム２０１を照射するべく接近する光学（レーザ）装置２００、配線一体型サスペンション１を保持する作業治具３０１、及び、この作業治具３０１を保持する載置台３００を示す要部構成図である。
【００４５】
載置台３００は、水平面Ｈに対して４５度の傾斜を有する載置面３００ａを有し、この載置面３００ａに作業治具３０１が、やはり水平面に対して４５度の傾斜を有するように設置される。さらに、作業治具３０１上には、スライダ６を上にして、かつ、スライダ６を上面に向けて配線一体型サスペンション１が載置される。
【００４６】
このとき、作業治具３０１に保持された配線一体型サスペンション１では、その先端部のボンディングパッドの接合面とこれに対向するリード配線用パッドの接合面とが、水平面に対して略４５度を保つ。このようにして、ボンディングパッド１５の表面とリード配線用パッド２０の表面で形成される仮想の直角部は、作業治具３０１上で鉛直方向Ｖの上部を向いて開くように支持される。
【００４７】
次いで、両パッド間にハンダ・ボール４００を配置し、その後、レーザビーム２０１をハンダ・ボール４００に照射するが、両パッド間にハンダ・ボール４００を配置し、レーザビーム２０１を照射する方法については、本出願人による特願２０００−１８９１４８号、および、特願２００１−０３９８８８号中に詳細に開示されており、ハンダ・ボール４００を配置させる方法および光学装置２００の構成等については、本願の発明には直接に関係しないため簡単な説明のみとする。
【００４８】
光学装置２００は、光ファイバーを共振器に利用するファイバーレーザの終端モジュールであり、内部の光路上に配置された一連の光学レンズを有して、中空のレーザビーム路空間を形成する。光学レンズは、光ファイバーから出力する発散光を集束してレーザビーム２０１として光学装置２００の先端部から出力する。
【００４９】
図４は、図３の作業治具３０１に保持された配線一体型サスペンション１の先端部にハンダ・ボールが置かれた状態を拡大して示した断面図である。
【００５０】
ボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０は、各々水平面から４５度立ち上がるように配置され、ボンディングパッド１５の表面が延長された面とリード配線用パッド２０の表面が延長された面とは直交し、両パッドの間には仮想の直角が形成される。仮想の直角は、鉛直方向Ｖの上向きに開いており、上から配給されるハンダ・ボール４００を受け止めることに適した角度に設定されている。
【００５１】
吸引パッドで搬送されるハンダ・ボール４００がボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０の各接合面に接するように置かれて静止すると、光学装置２００は、図示しない移動手段によって、照射位置に移動して、ハンダ・ボール４００に所定のスポット径の集束するレーザビーム２０１を照射する。
【００５２】
このハンダ・ボール４００の載置からレーザビーム２０１が照射されるまでタイミングで、載置台３００の窒素ガス導入パイプから、ハンダの酸化を抑制するための不活性雰囲気となる所定量の窒素ガスＮ２が注入される。これにより、ボンディングパッド１５、リード配線用パッド２０、および、ハンダ・ボール４００は、不活性雰囲気中に置かれる。尚、窒素ガスが注入される際には、その注入時の風圧で静止中のハンダ・ボールの位置が移動しないように、注入位置及び流速が考慮されるが、それでも、例えば、パッドの表面状態が悪い場合には、窒素ガスの注入によりハンダ・ボールは移動する場合がある。
【００５３】
この不活性雰囲気状態が維持される間に、光学装置２００は、レーザビーム２０１を照射してハンダ・ボール４００を加熱することにより溶解して、ボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０とを接続する。尚、このときのレーザビームのスポット径は、例えば、ハンダ・ボールの外径が１２０μｍ程度である場合に１５０〜２００μｍ程度に設定される。
【００５４】
このように、窒素ガスＮ２による不活性雰囲気下でハンダを溶融させることにより、ハンダの溶融から冷却されて接合する時に不活性の窒素ガスＮ２がハンダの表面を覆うことになるので、ハンダの酸化を防止することができる。
【００５５】
図５は、図４のハンダ・ボールが溶融してボンディングパッド１５とリード配線用パッド２０とを接続した状態を拡大して示した断面図である。
【００５６】
溶融したハンダ４０１は、ボンディングパッド１５の接合面とリード配線用パッド２０の接合面との双方の上にハンダの濡れ性により広がり、両パッドを接続する形状になる。溶融したハンダはボンディングパッド１５の接合面上とリード配線用パッド２０の接合面上の双方の上の前面に広がり、図５に示すように両者間が逆アーチ状に接続される場合には、良好な接続状態を示すフィレット４０１が形成される。図５のような良好な接続状態になるためには、ハンダ・ボール４００は、各パッドにおける側面方向（仮想直角軸方向）の中心線近辺に配置される必要がある。
【００５７】
図６は、本実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図であり、リード配線用パッドとボンディングパッドとを、ハンダ・ボールを用いて接合する部位を示している。
【００５８】
図６に示した本実施形態の配線一体型サスペンションと、図１５に示した従来の配線一体型サスペンションとの相違点は、リード配線用パッド２０の構造のみであり、他の構成については、図１５に示した従来の配線一体型サスペンションと同様である。
【００５９】
本実施形態のリード配線用パッド２０は、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成し、その表面に対して更にエッチング加工を実施する。従来のリード配線用パッドと同様なパッドは、サブトラクティブ・タイプあるいはＦＰＣ・タイプの配線一体型サスペンションでは、Ｃｕ（銅）箔層の必要部をレジストで覆い、それ以外の部分をエッチングしてから、レジストを除去することにより形成され、アディティブ・タイプでは、ポリイミド層１７の上にスパッタリングでシード層を設け、その上の必要部以外をレジストで覆ってからＣｕ（銅）メッキし、その後にレジストを除去することにより形成される。本実施形態では、その後、さらに別のレジストを用いて凸部２２および凸部２３を覆ってからハーフエッチングし、図６に示した凹溝部（凹部）２１をリード配線用パッド２０に設ける。
【００６０】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド２０には、ハーフエッチングにより、中心線ＣＬに沿って凹溝部２１が設けられ、凹溝部２１の両脇には、エッチングされなかった凸部２２および凸部２３が残り、凹溝部２１と凸部２２あるいは凸部２３との間には段差が形成される。
【００６１】
この段差は、図６に示したような明確な段差でなくとも、例えば、曲面で滑らかに凹溝部２１を両凸部２２および凸部２３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに凹溝部２１を両凸部２２および凸部２３から窪ませるように構成しても良い。
【００６２】
この段差が形成されたことから、ハンダ・ボール４００は、重力により凹溝部２１、即ち、凸部２２および凸部２３の間に落とし込まれ、凹溝部２１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図６に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００６３】
凹溝部２１の寸法としては、例えば、リード配線用パッド２０の幅寸法が１４８μｍであり、ハンダ・ボールの直径が１２０μｍの場合なら、リード配線用パッド２０の幅寸法の半分の幅寸法（７４μｍ）で、リード配線用パッド２０の厚み寸法の半分の厚み寸法とすればよい。
【００６４】
また、本実施形態では、リード配線用パッド２０でエッチングにより中心線ＣＬ近辺の凹溝部２１とその周辺部で段差を設けたが、例えば、エッチングにより周辺部と段差を設けずに周辺部から連続する曲面で滑らかに中心線ＣＬ近辺を窪ませたり、周辺部から中心線ＣＬ近辺に向けて斜行させて中心線ＣＬ近辺を窪ませるようにして凹溝部２１を形成しても良い。
【００６５】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド２０の中心線ＣＬの周辺にハーフエッチングを用いて溝部２１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、他の形状をエッチングにより形成しても良い。例えば、リード配線用パッド２０の中心付近に楕円形、円形の溝部、ひし形、あるいは、長方形の溝部をエッチングで設けても良い。
【００６６】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションでは、リード配線用パッド２０にハーフエッチングにより凹溝部２１を設けたことにより、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド２０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００６７】
（第２の実施形態）
図７は、本発明の第２の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００６８】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド３０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図１〜図６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００６９】
本実施形態のリード配線用パッド３０は、サブトラクティブ・タイプあるいはＦＰＣ・タイプの配線一体型サスペンションでは、Ｃｕ（銅）箔層の必要部をレジストで覆い、それ以外の部分をエッチングしてから、レジストを除去することにより形成され、アディティブ・タイプでは、ポリイミド層の上にスパッタリングでシード層を設け、その上の必要部以外をレジストで覆ってからＣｕ（銅）メッキし、その後にレジストを除去することにより形成されるが、その際に、レジストを変更することにより、図７に示したＵ字型切欠部（溝部）３１をリード配線用パッド３０に設けるようにする。
【００７０】
Ｕ字型切欠部３１は、開口側が下を向いたＵの字の直線部が中心線ＣＬと平行になるように設けられる。Ｕ字型切欠部３１の両脇には、二股部（凸部）３２および二股部（凸部）３３が形成され、二股部３２、および、二股部３３の間には、Ｕ字型切欠部３１による中心線ＣＬと平行な空間が構成される。
【００７１】
このＵ字型切欠部３１による空間が形成されたことから、ハンダ・ボール４００は、重力によりＵ字型切欠部３１、即ち、二股部３２および二股部３３の間に落とし込まれ、Ｕ字型切欠部３１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図７に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００７２】
Ｕ字型切欠部３１における中心線ＣＬと平行部分の幅寸法としては、例えば、リード配線用パッド３０の幅寸法が１４８μｍであり、ハンダ・ボールの直径が１２０μｍの場合なら、リード配線用パッド３０の幅寸法の半分の幅寸法（７４μｍ）または１／３の幅寸法（約４９μｍ）とすればよい。Ｕ字型切欠部３１における曲線部分については、両側の平行部分を接続できれば任意の円弧状曲線を用いることができる。
【００７３】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド３０の中心線ＣＬの周辺にＵ字型切欠部３１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、他の形状を形成しても良い。例えば、リード配線用パッド３０の中心付近に楕円形又は円形の切欠部を設けても良い。
【００７４】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド３０にＵ字型切欠部３１を設けたことにより、上記した第１の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド３０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００７５】
（第３の実施形態）
図８は、本発明の第３の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００７６】
本実施形態が第２の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド４０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図７に示した第２の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００７７】
本実施形態のリード配線用パッド４０の形成方法は、第２の実施形態と同様に、サブトラクティブ・タイプあるいはＦＰＣ・タイプでは、レジストで覆った以外の部分をエッチングすることにより形成され、アディティブ・タイプでは、レジストで覆った以外の部分にＣｕ（銅）メッキすることにより形成されるが、その際に、レジストを変更することにより、図８に示したＶ字型切欠部４１（溝部）をリード配線用パッド４０に設けるようにする。
【００７８】
Ｖ字型切欠部４１は、開口側が下を向いたＶ字の開口部をリード配線用パッド４０の先端側として、Ｖの字の頂点とＶ字の開口部の両端の中点とを結ぶ直線が中心線ＣＬと一致するように設けられる。Ｖ字型切欠部４１のＶの字の頂点からＶ字の開口部に向けて延伸される両脇には、二股部（凸部）４２および二股部（凸部）４３が形成され、二股部４２、および、二股部４３の間には、Ｖ字型切欠部４１によって、接続部位に近づくほど漸増する空間が構成される。
【００７９】
このＶ字型切欠部４１による空間が形成されたことから、ハンダ・ボール４００は、重力によりＶ字型切欠部４１、即ち、二股部４２および二股部４３の間に落とし込まれ、Ｖ字型切欠部４１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図８に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００８０】
Ｖ字型切欠部４１における中心線ＣＬと平行部分の幅寸法としては、例えば、リード配線用パッド４０の幅寸法が１４８μｍであり、ハンダ・ボールの直径が１２０μｍの場合なら、リード配線用パッド４０の幅寸法の１／３の幅寸法（約４９μｍ）の点でハンダ・ボール４００と接触するようにＶ字型切欠部４１の角度を決定すればよい。
【００８１】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド４０の中心線ＣＬの周辺にＶ字型切欠部４１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、他の形状を形成しても良い。例えば、リード配線用パッド４０の中心付近に長方形あるいはひし形等の形状の切欠部を設けても良い。
【００８２】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド４０にＶ字型切欠部４１を設けたことにより、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド４０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、さらに、Ｖ字型切欠部４１の形状がＶ字型であることから、Ｖ字の突端方向にもハンダ・ボール４００が移動しにくくなり、よりいっそうハンダ・ボール４００を安定させて、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００８３】
（第４の実施形態）
図９は、本発明の第４の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００８４】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド５０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００８５】
本実施形態のリード配線用パッド５０は、第１の実施形態と同様に、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成し、その後、そのパッド対して折り曲げ加工を実施する。従来のリード配線用パッドと同様なパッドの形成方法は、第１の実施形態と同様である。本実施形態では、その後、さらに図示しない金型等を用いてリード配線用パッド５０を変形させ、図９に示した折り曲げ部５１をリード配線用パッド５０に設ける。
【００８６】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド５０には、中心線ＣＬに沿って折り曲げ部（溝部）５１が設けられ、折り曲げ部５１の両脇には、折り曲げ部５１に向かって傾斜する斜行部（凸部）５２および斜行部（凸部）５３が形成される。
【００８７】
折り曲げ部５１は、直線状であり中心線ＣＬと一致するように設けられ、折り曲げ部５１の両脇の斜行部５２および斜行部５３は、折り曲げ部５１に向かって傾斜していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により折り曲げ部５１、すなわち、斜行部５２および斜行部５３の間に落とし込まれ、折り曲げ部５１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図９に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００８８】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド５０の中心線ＣＬに一致させて一筋の折り曲げ部５１を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として複数の折り曲げ部を形成しても良い。
【００８９】
また、折り曲げ部５１は、図９に示したように直線的に折り曲げる場合のみではなく、例えば、曲面で滑らかに折り曲げ部５１を窪ませるように構成しても良い。
【００９０】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド５０に折り曲げ部５１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド５０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００９１】
（第５の実施形態）
図１０は、本発明の第５の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００９２】
本実施形態が第４の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド６０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図９に示した第４の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【００９３】
本実施形態のリード配線用パッド６０は、第４の実施形態と同様に、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様に平坦なパッドを形成し、その後、そのパッド対して折り曲げ加工を実施するが、本実施形態では、パッドの両脇に折り曲げ部を有している。なお、従来のリード配線用パッドと同様なパッドの形成方法は、第１あるいは第４の実施形態と同様である。本実施形態では、その後、さらに図示しない金型等を用いてリード配線用パッド６０を変形させるが、図１０に示したように、折り曲げ部６２、および、折り曲げ部６３をリード配線用パッド６０から上向きに折り曲げる。
【００９４】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド６０には、平坦部６１（溝部）の両脇に、中心線ＣＬに平行に、且つ、上向きに折り曲げられた折り曲げ部（凸部）６２および折り曲げ部（凸部）６３が形成される。
【００９５】
折り曲げ部６２および折り曲げ部６３は、長方形状であり長辺が中心線ＣＬと平行になるように設けられ、かつ、上向きに折り曲げられていることから、ハンダ・ボール４００は、重力により平坦部６１、すなわち、折り曲げ部６２および折り曲げ部６３の間に落とし込まれ、平坦部６１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図９に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【００９６】
なお、本実施形態では、リード配線用パッド６０の中心線ＣＬに平行に折り曲げ部６２および折り曲げ部６３を形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として傾斜角を持たせて折り曲げ部６２および折り曲げ部６３を形成しても良い。
【００９７】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド６０に折り曲げ部６２および折り曲げ部６３を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド６０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【００９８】
（第６の実施形態）
図１１は、本発明の第６の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【００９９】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、リード配線用パッド７０の形状が異なる点のみであり、他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１００】
本実施形態のリード配線用パッド７０は、第１の実施形態と同様に、一旦、図１５に示した従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成し、その後、そのパッド対してプレス加工を実施する。従来のリード配線用パッドと同様なパッドの形成方法は、第１の実施形態と同様である。本実施形態では、その後、さらに図示しない金型等を用いてリード配線用パッド７０をプレス変形させ、図１１に示した陥没部（溝部）７１をリード配線用パッド７０に設ける。
【０１０１】
その結果、本実施形態のリード配線用パッド７０には、中心線ＣＬに沿って陥没部７１が設けられ、陥没部７１の両脇には、凸部７２および凸部７３が形成される。
【０１０２】
本実施形態の陥没部７１は、第２の実施形態と同様なＵ字形状でありその中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、陥没部７１の両脇部である凸部７２および凸部７３は、第１の実施形態と同様に、陥没部７１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により陥没部７１、すなわち、凸部７２および凸部７３の間に落とし込まれ、陥没部７１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１１に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。なお、Ｕ字形状の寸法については、第２の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１０３】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心として第２の実施形態と同様な開口側が下向きであるＵ字形状の陥没部７１をリード配線用パッド７０に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の陥没部を形成しても良い。
【０１０４】
また、陥没部７１は、図１１に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに陥没部７１を両凸部７２および凸部７３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに陥没部７１を両凸部７２および凸部７３から窪ませるように構成しても良い。
【０１０５】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド７０に陥没部７１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド７０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１０６】
（第７の実施形態）
図１２は、本発明の第７の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。図１２（ａ）が製造途中で従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成した状態を示す図であり、図１２（ｂ）が本実施形態のリード配線用パッドを示す図である。
【０１０７】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、図１２（ｂ）に示したリード配線用パッド８０ａの形状が異なる点のみであるが、リード配線用パッド８０ａを形成するためには、アディティブ・タイプの製造方法を利用する必要があることから、本実施形態の配線一体型サスペンションとしては、製造方法がアディティブ・タイプのものに限られる。また、本実施形態におけるその他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１０８】
本実施形態のリード配線用パッド８０ａは、第１の実施形態と同様に、一旦、図１２（ａ）に示したような従来のリード配線用パッドと同様なリード配線用中間パッド８０を形成し、そのパッド８０の表面における中心線ＣＬの近傍を除いた両脇部にさらに銅メッキを追加する。従来のリード配線用パッドと同様なリード配線用中間パッド８０の形成方法は、第１の実施形態と同様である。
【０１０９】
リード配線用中間パッド８０上の中心線ＣＬの近傍（必要部）以外をレジストで覆ってからＣｕ（銅）メッキし、その後にレジストを除去することにより、中間パッド８０上に凹溝部（凹部）８１と、凸部８２および凸部８３が形成される。
【０１１０】
本実施形態の凹溝部８１は、第１の実施形態と同様な形状でありその中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、凹溝部８１の両脇部である凸部８２および凸部８３は、第１の実施形態と同様に、凹溝部８１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により凹溝部８１、すなわち、凸部８２および凸部８３の間に落とし込まれ、凹溝部８１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１２（ｂ）に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。なお、凹溝部の形状寸法については、第１の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１１１】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心として第１の実施形態と同様な形状の溝部８１をリード配線用パッド８０に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の溝部を形成しても良い。
【０１１２】
また、凹溝部８１は、図１２に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに凹溝部８１を両凸部８２および凸部８３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに凹溝部８１を両凸部８２および凸部８３から窪ませるように構成しても良い。
【０１１３】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド８０ａに凹溝部８１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド８０ａの中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１１４】
（第８の実施形態）
図１３は、本発明の第８の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。図１３（ａ）が製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、図１３（ｂ）が本実施形態のリード配線用パッドを示す図である。
【０１１５】
本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、図１３（ａ）に示したパッド下地部９５がポリイミド層１７に形成される点と、図１３（ｂ）に示したリード配線用パッド９０の形状が異なる点のみであるが、パッド下地部９５上にリード配線用パッド９０を形成するためには、アディティブ・タイプの製造方法を利用する必要があることから、本実施形態の配線一体型サスペンションとしては、製造方法がアディティブ・タイプのものに限られる。また、本実施形態におけるその他の構成については、図１〜６に示した第１の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１１６】
本実施形態のパッド下地部９５は、例えば、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７をエッチングする工程で形成される。その際に、ポリイミド層１７からパッド下地部９５の外形を得る通常のエッチングの後に、中心線ＣＬと中心軸が一致するように開口側を下向きにしたＵ字型の下地溝部９６部分を除いた形状でレジストを設けてハーフエッチングを実施する。また、ポリイミド層１７が感光性ポリイミド層である場合には、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７を露光および現像する工程で形成され、Ｕ字型の下地溝部９６部分を除いた形状でレジストを設けた後に露光および現像を実施することにより、図１３（ａ）に示したＵ字型の下地溝部９６、下地凸部９７及び下地凸部９８を形成する。
【０１１７】
次に、従来のアディティブ・タイプの製造方法と同様にして、ポリイミド層１７上に配線１０およびリード配線用パッド９０等を銅メッキで形成する。その際に、ポリイミド層１７の下地凸部９７及び下地凸部９８上では、銅メッキで形成されたリード配線用パッド９０の両脇部となる凸部９２および凸部９３は、第１の実施形態と同様な高さで形成される。しかし、ポリイミド層１７のＵ字型の下地溝部９６上では、第６の実施形態と同様に両脇部よりも陥没してしまい、銅メッキで形成されたリード配線用パッド９０にＵ字型の陥没部（溝部）９１が形成される。なお、Ｕ字形状の寸法については、第２の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１１８】
本実施形態のＵ字型の陥没部９１は、第６の実施形態と同様なＵ字型の形状でありその中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、陥没部９１の両脇部である凸部９２および凸部９３は、第１の実施形態と同様に、陥没部９１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により陥没部９１、すなわち、凸部９２および凸部９３の間に落とし込まれ、陥没部９１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１３（ｂ）に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【０１１９】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心として第６の実施形態と同様なＵ字型の形状の陥没部９１をリード配線用パッド９０に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の陥没部を形成しても良い。
【０１２０】
また、陥没部９１は、図１３に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに陥没部９１を両凸部９２および凸部９３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに陥没部９１を両凸部９２および凸部９３から窪ませるように構成しても良い。
【０１２１】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド９０に陥没部９１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド９０の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１２２】
（第９の実施形態）
図１４は、本発明の第９の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。図１４（ａ）が製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、図１４（ｂ）が本実施形態のリード配線用パッドを示す図である。
【０１２３】
本実施形態が第８の実施形態と異なる点は、図１４（ａ）に示したパッド下地部１０５の形状、および、図１４（ｂ）に示したリード配線用パッド１００の形状が異なる点のみであり、本実施形態の配線一体型サスペンションとしては、製造方法がアディティブ・タイプのものに限られる点は同様である。本実施形態におけるその他の構成については、図１３に示した第８の実施形態の配線一体型サスペンションと同様である。
【０１２４】
本実施形態のパッド下地部１０５は、例えば、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７をエッチングする工程で形成される。その際に、ポリイミド層１７からパッド下地部１０５の抜き外形を得る通常のエッチングの後に、中心線ＣＬと中心軸が一致するように開口側を下向きにしたＶ字型の下地溝部１０６部分を除いた形状でレジストを設けてハーフエッチングを実施する。また、ポリイミド層１７が感光性ポリイミド層である場合には、配線一体型サスペンションを製造する際のポリイミド層１７を露光および現像する工程で形成され、Ｖ字型の下地溝部１０６部分を除いた形状でレジストを設けた後に露光および現像を実施することにより、図１４（ａ）に示したＶ字型の下地溝部１０６、下地凸部１０７及び下地凸部１０８を形成する。
【０１２５】
次に、従来のアディティブ・タイプの製造方法と同様にして、ポリイミド層１７上に配線１０およびリード配線用パッド１００等を銅メッキで形成する。その際に、ポリイミド層１７の下地凸部１０７及び下地凸部１０８上では、銅メッキで形成されたリード配線用パッド１００の両脇部となる凸部１０２および凸部１０３は、第１の実施形態と同様な高さで形成される。しかし、ポリイミド層１７のＶ字型の下地溝部１０６上では、両脇部よりも陥没してしまい、銅メッキで形成されたリード配線用パッド１００にＶ字型の陥没部（溝部）１０１が形成される。なお、Ｖ字形状の寸法については、第３の実施形態と同様にして設定すれば良い。
【０１２６】
本実施形態のＶ字型の陥没部１０１は、Ｖ字型の形状の中心が中心線ＣＬと一致するように設けられ、陥没部１０１の両脇部である凸部１０２および凸部１０３は、第１の実施形態と同様に、陥没部１０１との間で段差を有していることから、ハンダ・ボール４００は、重力により陥没部１０１、すなわち、凸部１０２および凸部１０３の間に落とし込まれ、陥没部１０１上の中心線ＣＬにハンダ・ボール４００の中心が略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定される。そのため、その後の窒素ガスの導入等や光学装置２００が移動する際の振動等によりハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向（図１４（ｂ）に示したＡ方向またはＢ方向）の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が移動することがなくなる。
【０１２７】
なお、本実施形態では、中心線ＣＬを中心としてＶ字型の形状の陥没部１０１をリード配線用パッド１００に形成したが、ハンダ・ボール４００を重力によって落とし込ませることができる形状であれば、中心線ＣＬを中心として他の形状の陥没部を形成しても良い。
【０１２８】
また、陥没部１０１は、図１４に示したような明確な段差を設けなくとも、例えば、曲面で滑らかに陥没部１０１を両凸部１０２および凸部１０３から窪ませるように構成しても良く、あるいは、斜面でなだらかに陥没部１０１を両凸部１０２および凸部１０３から窪ませるように構成しても良い。
【０１２９】
このように本実施形態の配線一体型サスペンションにおいては、リード配線用パッド１００に陥没部１０１を設けたので、上記した他の実施形態と同様に、ハンダ・ボール４００の中心がリード配線用パッド１００の中心線ＣＬに略一致して両パッド間の仮想両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置２００の移動等でハンダ・ボール４００に何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボール４００が直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、さらに、陥没部１０１の形状がＶ字型であることから、Ｖ字の突端方向にもハンダ・ボール４００が移動しにくくなり、よりいっそうハンダ・ボール４００を安定させて、図５に示した良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１３０】
なお、上記した各実施形態では、ボンディングパッドとリード配線用パッドとをハンダ・ボールで接続する場合、このボンディングパッドとリード配線用パッドとの間に形成される仮想の角度を直角としたが、この角度は、ハンダ・ボール４００を受け止められる角度で有れば任意の角度に変更可能である。
【０１３１】
また、同様にして、上記した各実施形態では、リード配線用パッドと、ボンディングパッドが、双方共に水平面から４５度立ち上がった角度となるようにフレキシャを固定していいるが、この角度についてもハンダ・ボール４００を受け止められる角度で有れば任意の角度に変更可能である。
【０１３２】
また、上記した各実施形態では、溝部の形状について、Ｖ字型とＵ字型の場合を記載したが、溝部を円形状や楕円形状、あるいは、長方形やひし形等の任意の形状としても本発明の効果を得ることができる。
【０１３３】
【発明の効果】
上記のように本発明の配線一体型サスペンションは、リード配線用パッドに凹部を設けたことにより、ハンダ・ボールの中心がリード配線用パッドの中心線に略一致して両パッド間の仮想直角軸方向に移動しないように仮固定されることから、その後の不活性ガスの充填や、光学装置の移動等でハンダ・ボールに何らかの仮想直角軸方向の応力が加わっても、ハンダ・ボールが直角軸方向に移動してしまうことがなくなり、良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【０１３４】
また、リード配線用パッドに凹部をＶ字形状にした本発明は、上記した効果に加えて、凹部の形状がＶ字型であることから、Ｖ字の突端方向にもハンダ・ボールが移動しにくくなり、さらにハンダ・ボールを安定させて、良好なハンダ接続状態を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の実施形態の配線一体型サスペンションの全体構成を示す斜視図である。
【図２】 図１の配線一体型サスペンションにおけるスライダが配置される先端部の部分拡大図である。
【図３】 両パッド間に配置されたハンダ・ボールをレーザビームで照射して両パッドを接続するハンダ・ボール接合装置を示す断面図である。
【図４】 図３の作業治具に保持された配線一体型サスペンションの先端部にハンダ・ボールが置かれた状態を拡大して示した断面図である。
【図５】 図４のハンダ・ボールが溶融してボンディングパッドとリード配線用パッドとを接続した状態を拡大して示した断面図である。
【図６】 本発明の第１の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図７】 本発明の第２の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図８】 本発明の第３の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図９】 本発明の第４の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１０】 本発明の第５の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１１】 本発明の第６の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１２】 （ａ）は製造途中で従来のリード配線用パッドと同様なパッドを形成した状態を示す図であり、（ｂ）は第７の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１３】 （ａ）は製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、（ｂ）は第８の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１４】 （ａ）は製造途中で絶縁性の高分子材料であるポリイミド層にエッチング等により形成されたパッド下地部を示す図であり、（ｂ）は第９の実施形態の配線一体型サスペンションにおける主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１５】 図１５は、従来の配線一体型サスペンションにおいて、リード配線用パッドとボンディングパッドとを、ハンダ・ボールを用いて接合する場合を示す図である。
【符号の説明】
１ 配線一体型サスペンション、 ２ ベースプレート、 ２ａ 開口部、 ３ サスペンションプレート、 ４ ロードビーム、 ５ フレキシャ、 ６ スライダ、 ６ａ 最先端側面、 ７ タブ、 ８ リード線（４本）、 ９ マルチコネクタ部、 １０ リード線（２本）、 １１ 開口部、 １２、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０ａ、９０、１００、 リード配線用パッド、 １２ａ〜１２ｃ エッジ近辺部、 １２ｄ 平坦部、 １３ プラットフォーム、 １４ フレキシャ・タング、 １５ ボンディングパッド、 １７ ポリイミド層、 １８ ステンレス鋼箔層、 ２１、８１ 凹溝部（凹部）、 ２２、２３、７２、７３、８２、８３、９２、９３、１０２、１０３ 凸部、 ３１ Ｕ字型切欠部（凹部）、 ３２、３３、４２、４３ 二股部（凸部）、 ４１ Ｖ字型切欠部（凹部）、 ５１ 折り曲げ部（凹部）、 ５２、５３ 斜行部（凸部）、 ６１ 平坦部（凹部）、 ６２、６３ 折り曲げ部（凸部）、７１、９１、１０１ 陥没部（凹部）、 ８０ リード配線用中間パッド、 ９５、１０５ パッド下地部、 ９６、１０６ 下地凹部、 ９７、９８、１０７、１０８ 下地凸部、 ２００ 光学（レーザ）装置、 ２０１ レーザビーム、 ３００ 載置台、 ３００ａ 載置面、 ３０１ 作業治具、 ４００ ハンダ・ボール、 Ａ、Ｂ 仮想直角軸方向、 ＣＬ 中心線、 Ｈ 水平方向、 Ｖ 鉛直方向、 Ｒ 回動方向。
Claims (16)
- サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、このハンダ・ボールを溶融させて前記リード配線用パッドと前記ボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションにおいて、
前記リード配線用パッドの前記ボンディングパッド側に、開口部を有する溝を備えた配線一体型サスペンション。 - 前記溝は、前記リード配線用パッドの中心線と平行に設けられ、前記中心線部分と、両脇の部分との間に段差が形成された請求項１に記載の配線一体型サスペンション。
- 前記溝は、前記リード配線用パッドの中心線と平行に設けられ、前記中心線部分と、両脇の部分との間に曲面が形成された請求項１に記載の配線一体型サスペンション。
- 前記溝は、前記リード配線用パッドの中心線と平行に設けられ、前記中心線部分と、両脇の部分との間に斜面が形成された請求項１に記載の配線一体型サスペンション。
- 前記溝は、前記リード配線用パッドの中心線から、両脇の部分までの距離が均等である請求項１に記載の配線一体型サスペンション。
- 前記溝は、前記リード配線用パッドを切り欠いて設けたものである請求項１に記載の配線一体型サスペンション。
- 前記溝は、その両脇の部分が前記リード配線用パッドの中心線と平行となるＵ字型の形状である請求項１に記載の配線一体型サスペンション。
- 前記溝は、その両脇の部分が前記リード配線用パッドの中心線上に配置される頂点から前記開口側に向けて延伸されるＶ字型の形状である請求項１に記載の配線一体型サスペンション。
- 前記溝は、前記ハンダ・ボールが前記ボンディングパッドに向けて落とし込まれる様に形成した請求項１乃至８の何れか１項に記載の配線一体型サスペンション。
- サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、このハンダ・ボールを溶融させて前記リード配線用パッドと前記ボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションの製造方法において、
エッチング技術を利用してリード配線用パッドを形成する際に、このリード配線用パッドの表面に、前記ボンディングパッド側に開口部を有する溝を形成する配線一体型サスペンションの製造方法。 - サスペンションのフレクシャ部に設けられるリード配線用パッドと、サスペンションのヘッド・ジンバル部のスライダに設けられるボンディングパッドとの間にハンダ・ボールを配置し、該ハンダ・ボールを溶融させて前記リード配線用パッドと前記ボンディングパッドとをハンダ接続する配線一体型サスペンションの製造方法において、
先に、平面状の表面を有するリード配線用パッドを形成し、
その後、前記リード配線用パッドの表面に、前記ボンディングパッド側に開口部を有する溝を形成した配線一体型サスペンションの製造方法。 - 前記溝は、エッチング技術を用いて設けた請求項１１に記載の配線一体型サスペンションの製造方法。
- 前記溝は、折り曲げ加工を用いて設けた請求項１１に記載の配線一体型サスペンションの製造方法。
- 前記溝は、金型プレス加工を用いて設けた請求項１１に記載の配線一体型サスペンションの製造方法。
- 前記配線一体型サスペンションがアディティブ・タイプである場合、
先に、銅メッキ技術を用いて平面状の表面を有するリード配線用パッドを形成し、
その後、このリード配線用パッドの表面の中心線近辺を除いた両脇の部分に、追加の銅メッキを実施することにより突出させ、相対的に前記溝を設けた請求項１１に記載の配線一体型サスペンションの製造方法。 - 前記配線一体型サスペンションがアディティブ・タイプである場合、
先に、前記リード配線用パッドの下地層に対して、エッチング技術を用いて下地溝を設け、
その後、この下地層の上に銅メッキ技術を用いてリード配線用パッドを形成することにより、前記溝を設けた請求項１１に記載の配線一体型サスペンションの製造方法。
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